【課題】コネクタを挿入し又は引き抜くだけで複数のポート間の信号の伝送経路を簡単に切り替えることができる、接触形のメカニカル切り替え器を提供する。
【解決手段】コネクタが第３のポートＰ３に挿入されること、及びコネクタが第３のポートＰ３から引き抜かれることに応じて機械的にスライドするスライダが、第３の入出力端２ｃを含む移動素子４を移動させる。移動素子４の移動により、移動素子４の第３の入出力端２ｃの端面が、固定素子３に含まれる第１の入出力端の端面と対向し、かつ接する状態と、固定素子３に含まれる第２の入出力端の端面と対向し、かつ接する状態との間の切り替えが行われる。移動素子４が移動する間、スライダ６により、移動素子４の入出力端２ｃ、２ｄの端面と固定素子３の入出力端２ａ、２ｂの端面が、互いに接しないよう保たれる。 （もっと読む）

【課題】電極とミラーとを近接させても、ミラーと電極との衝突を回避しつつミラーの揺動スペースを確保する。
【解決手段】ミラーデバイス１は、揺動可能なミラー２１と、ミラー２１と対向する駆動電極３１，３１，…とを備えている。ミラーデバイス１は、ミラー２１が設けられたミラー基板２と、駆動電極３１，３１，…が設けられた電極基板３と、ミラー基板２と電極基板３との間に介設され、ミラー２１と当接することによってミラー２１の揺動を所定の揺動範囲に制限するストッパ４とをさらに備えている。 （もっと読む）

【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１と、光反射部２１１を備え、かつ回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部２１と、可動部２１に連結し、かつ前記可動部２１の回動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、を有し、可動部２１は、前記可動部の板厚方向からの平面視にて、前記回動中心軸に平行な方向の長さが前記回動軸から離れるにつれて段階的に小さくなる形状を有し、前記可動部２１、前記支持部２２および前記連結部２３，２４は、シリコン基板を異方性エッチングすることにより形成される。 （もっと読む）

【課題】エッチング装置へのダメージを減らしながら、小型なＭＥＭＳミラーデバイスを提供すること。
【解決手段】底部が開放されたミラー用空洞１８およびビーム用空洞１９と、底部が閉塞された電極用空洞２０とが互いに繋がるように形成された半導体基板１２の一部を加工することにより、ミラー用空洞１８の直上にミラー８を下側から支持する揺動部２２を形成し、ビーム用空洞１９の直上に揺動部２２を横側から支持する一対のビーム２３を形成する。また、電極用空洞２０の直上には、互いに間隔を空けて噛み合う固定電極２４および可動電極２５を形成する。 （もっと読む）

【課題】それ単体で２つ以上の同じ波長の光を同時にＤＥＭＵＸ動作、ＭＵＸ動作させることが可能なＮ×Ｎ波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】ポート数Ｎの入力側導波路型分岐回路７ａ及び出力側導波路型分岐回路７ｂを備え、入力側導波路型分岐回路７ａの一の入力ポートに波長数Ｍの多波長光を入力したときに、その多波長光を波長毎に出力側導波路型分岐回路７ｂの任意の出力ポートから出力するためのＮ×Ｎ波長選択スイッチ２０であって、分光手段と、Ｎ列配置されると共にＭ行配列され、各単波長光を任意の方向に選択的に反射するミラーを有する入力側二次元ＭＥＭＳミラー１６ａと、反射手段と、Ｎ列配置されると共にＭ行配列され、各単波長光を特定の方向に向けて反射するミラーを有する出力側二次元ＭＥＭＳミラー１６ｂと、集光手段と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で分解能の低下を抑制可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、平坦な固定対向面５１Ａを有する固定基板５１と、固定対向面５１Ａに対向する平坦な可動対向面５２Ａを有する可動基板５２と、固定対向面５１Ａに設けられた固定電極５６１と、可動対向面５２Ａに設けられ、電極間ギャップＧ２介して固定電極５６１に対向する可動電極５６２と、可動対向面５２Ａに設けられ、固定対向面５１Ａ及び可動対向面５２Ａと平行で、かつ固定対向面５１Ａに対向する平坦な反射膜固定面５７Ａを有し、固定電極５６１より厚み寸法が大きい中間層５７と、反射膜固定面５７Ａに設けられた可動反射膜５５と、固定対向面５１Ａに設けられ、反射膜間ギャップＧ１を介して可動反射膜５５に対向する固定反射膜５４と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１と、光反射部２１１を備え、かつ所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部２１と、可動部２１に連結し、かつ前記可動部２１の回動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、を有し、可動部２１は、可動部２１の板厚方向からの平面視にて四角形の四隅の部分をそれぞれ矩形に欠いた形状（十字状）をなし、連結部２３、２４の回動中心軸に垂直な断面は、可動部２１の第１の面から前記第１の面に対向する第２の面側に向けて幅が漸増する形状をなす。 （もっと読む）

【課題】反射率の減少が防止されたＭＥＭＳ素子およびこれを用いた光スイッチ装置およびディスプレイ装置、ならびにＭＥＭＳ素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】支持層とデバイス層との間に絶縁層が介挿された構造を有し、前記支持層と前記絶縁層とに連通する開口部と、前記開口部に対応した前記デバイス層の領域に前記支持層とは反対側に変位可能に形成されかつ前記支持層側にミラー面を有する複数のマイクロミラー部とを有する本体部と、前記マイクロミラー部を変位させるための電圧を印加する電極が形成された基板と、を備え、前記本体部のデバイス層の表面と前記基板の表面とが接合されており、前記本体部の支持層側の前記開口部から前記マイクロミラー部へ光が入力される。 （もっと読む）

【課題】磁性アモルファス金属で構成された可動部を有するマイクロアクチュエータを提供する。
【解決手段】表面側に一部をくり抜いた凹部２１１を有するベース２１０と、凹部２１１で回転自在な可動部２３０と、凹部２１１で仮想の直線上に配置され一端部をベース２１０に固定され他端部を可動部２３０ベースに固定された一対のトーションバー２２０，２２０と、可動部２３０に回転する力を与える駆動部２４０と、を備え、可動部２３０がトーションバー２２０，２２０の幅よりも幅広に形成された、マイクロアクチュエータ２であって、一対のトーションバー２２０と可動部２３０とが磁性アモルファス金属で形成されており、駆動部２４０が可動部２３０に磁界を与えることで、可動部２３０が回転する。 （もっと読む）

【課題】共振周波数の温度依存性を低減することが可能な光スキャナと、その光スキャナの製造方法とを提供すること。
【解決手段】第１材料によって構成される平板状の構造体と、台座とを備える光スキャナである。構造体は、ミラー部分と、その一端がミラー部分の両側に連結される一対の捩れ梁部分と、一対の捩れ梁部分の他端に連結される本体部分とを有する。構造体には、ミラー部分を所定の共振周波数にて揺動可能な駆動部が設けられる。構造体は、本体部分の一部であって一対の捩れ梁部分及びミラー部分を挟んで対向する一対の被固定部分において、少なくとも台座に固定される。台座を構成する第２材料の線膨張係数は、第１材料の線膨張係数よりも大きな値であって、共振周波数の温度依存性の絶対値が、台座が第１材料によって構成された場合の共振周波数の温度依存性の絶対値よりも小さくなるような値に設定される。 （もっと読む）