【課題】可変型光偏向装置を提供する。
【解決手段】複数の光反射ミラーアクチュエータ（１８、２０、２２、３４、２６）を有するマイクロメカニカルミラーシステム（１４）と、ミラーアクチュエータ（１８、２０、２２、２４、２６）を異なる反射位置へと制御して、光偏向を変化させる制御ユニット（３２）と、を備える可変型光偏向装置（１００）が開示される。この装置（１００）は、ミラーシステム（１４）に合わせて体系的に調整された後方反射構造（６０）を有し、これはミラーアクチュエータ（１８、２０、２２、２４、２６）の一部分から後方反射構造（６０）へと反射された光を、ミラーアクチュエータ（１８、２０、２２、２４、２６）の他の部分へと、狙いを定めた方法で反射し返す。 （もっと読む）

【課題】複数の偏向角に自動的かつ高精度に位置決めされた状態で偏向させることが可能であり、構造や制御アルゴリズムの設計が容易な静電偏向素子を提供する。
【解決手段】静電偏向素子１００は、支持基板１１０と、支持基板１１０に対して偏向し得るマイクロミラー１２１から構成される。支持基板１１０は、マイクロミラー１２１に対向する面に設けられた複数個の駆動電極１１１Ａ〜１１１Ｍと、駆動電極１１１Ａ〜１１１Ｍの上に設けられた絶縁層１１３を有している。マイクロミラー１２１は、支持基板１１０に対向している対向面１２３が円筒面で構成されている。対向面１２３の一部は互いに連結されない状態で支持基板１１０に接している。 （もっと読む）

【課題】光干渉ＭＥＭＳディスプレイ素子を備えている光干渉変調器ディスプレイを提供する。
【解決手段】第一の電極７０２と可動物質７１４の間にかけられた電圧でＭＥＭＳデバイスが電気的に動作される。第一の電極から離れているラッチ電極７３０ａ、７３０ｂによってデバイスが動作状態に維持されうる。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の鏡面性と製造歩留りに優れたＭＥＭＳ走査型ミラーの製造方法を提供する。
【解決手段】空洞HOが形成されるハンドル層Hと表面が鏡面仕上げされたデバイス層B、Ｔとがシリコン酸化膜を介して接合されたウエハを準備する工程、デバイス層にＭＥＭＳ走査型ミラーの下層構成要素に対応しかつデバイス層に形成すべき下層構造体を形成する工程、下層構造体形成後のウエハのデバイス層にシリコン酸化膜を介して上層のデバイス層を形成するためのウエハを接合する工程、上層のウエハを加工して所定厚さの上層のデバイス層を形成する工程、上層のデバイス層にＭＥＭＳ走査型ミラーの上層構成要素に対応しかつ上層のデバイス層に形成すべき上層構造体を形成する工程、ハンドル層Hに空洞を形成する工程、下層構造体のシリコン酸化膜を除去してＭＥＭＳ走査型ミラーを完成させる工程とからなる。 （もっと読む）

【課題】機能性有機材料の電気的特性を簡便かつ精度よく測定することができる電極構造体、電極構造体の製造方法ならびにそれを用いた電気光学素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る電極構造体は、第１の電極層と、有機物層と、第２の電極層とを具備する。有機物層は、第１の電極層からの高さが第１の高さである第１の樹脂領域と、第１の電極層からの高さが第１の高さより小さい第２の高さである第２の樹脂領域とを有し、第１の電極層上に形成される。第２の電極層は、有機物層の第1の樹脂領域上に形成された第１の電極領域と、有機物層の第２の樹脂領域上に、第１の電極領域と分離して形成された第２の電極領域とを有する。 （もっと読む）

【課題】表示映像に悪影響を与えることなく、微細ミラーが駆動する角度が異なる複数種の反射型表示デバイスに対応可能な映像表示装置を得る。
【解決手段】回路基板３３は駆動角度が異なる２種類のＤＭＤに対して互いに異なる正向き状態及び逆向き状態で設置可能であり、正向き状態時における光検出素子１５の位置と、逆向き状態における光検出素子１５の位置とが、ねじ穴３５，３６間を結ぶ基準線の中心点となる基準点ＳＰに対して距離Ｌ隔てて互いに点対称の関係を有している。そして、オフ光１７ａの光軸中心線とオフ光１７ｂの光軸中心線との中線ＭＬは、上述した基準点ＳＰを通過する位置関係を有する。 （もっと読む）

【課題】大きな光偏向角が得られる光偏向装置、広範囲な範囲を走査できる光走査装置、大きさサイズの記録媒体への画像形成が可能となる画像形成装置及び大型スクリーンへの投影が可能となる画像投影装置を提供できる。
【解決手段】一対のトーションバースプリング１２、１３の一端がミラーの回動軸の仮想線から所定値オフセットしてミラー１１の両端縁に接続されている。一対のトーションバースプリング１２、１３の他端には一対のカンチレバー１４、１５の可動端がそれぞれ接続され、各カンチレバー１４、１５には圧電材料が積層されユニモルフまたはバイモルフ構造が形成されている。カンチレバー１４、１５の固定端は保持枠１６に接続されている。 （もっと読む）

【課題】変形可能である光学素子と電極を備える圧電セラミック製の能動素子とを備えるバイモルフ光学装置に関し、１組の第１素子に関して圧縮運動を、１組の第２素子に関しては伸張運動を生じさせるよう、前記素子が対で反対に制御される。
【解決手段】装置は、光学素子１が光学活性の第１主表面６と、第１主要面に対向する第２主表面７とを、少なくとも第１および第２の対向する側面２，３と共に備えることと、セラミック能動素子が、前記第１および第２側面上で相互に対面する少なくとも２組の圧電セラミック棒（２１、２２；３１、３２）を備え、各組が光学素子の中立軸をなす中央面のいずれかの側で第１および第２側面の一方に配置される２つの棒（２１、２２；３１、３２）を備える。 （もっと読む）

【課題】必要となるポート数が少ないユーザが、ポート数の多い波長選択スイッチの一部のポートを利用した場合、機能しないポートが数多く存在する。
【解決手段】本発明にかかる波長選択スイッチは、波長多重された光を入力または出力可能なポートを複数備えた光入出力部と、光を反射する反射領域を複数有し、波長多重された光を波長ごとに偏向可能な第１の偏向部材と、光入出力部および第１の偏向部材の間の光路中に配置された分散素子と、光入出力部および分散素の間の光路中に配置された第１の光学系と、分散素子および第１の偏向部材の間の光路中に配置された第２の光学系と、第１の光学系および第１の偏向部材の間の光路中に配置可能な光学部材と、光を反射する反射領域を複数有し、波長多重された光のうち、光学部材からの光を波長ごとに偏向可能な第２の偏向部材とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低コスト化および小型化を図りつつ、質量部を互いに直交する２軸のそれぞれの軸まわりに回動させることができるアクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】電源回路５は、第１の周波数で周期的に変化する第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２を発生する第１の電圧発生部５１と、第１の周波数と異なる第２の周波数で周期的に変化する第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２を発生する第２の電圧発生部５２と、第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２と第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２とを重畳する電圧重畳部５３とを備え、電圧重畳部５３で重畳された電圧を各圧電素子４１、４２、４３、４４に印加することにより、質量部をこれを支持する１対の弾性部に沿った第１の軸線まわりに第１の周波数で回動させつつ第１の軸線に直交する第２の軸線まわりに第２の周波数で回動させるように構成されている。 （もっと読む）