【課題】 複雑で高価な工法を用いることなく、光スキャナ素子構造の破損を防止しながら光スキャナ素子を個片として加工できる光スキャナの製造方法を提供する。
【解決手段】 光スキャナ素子１を形成する加工ウエハ１１の表面を加工する際に、光スキャナ素子１をチップとして個片化するためのダイシングストリート１２を形成する工程と、加工ウエハ１１が光スキャナ素子１の可動部に対応したキャビティ１３を有する支持基板１４を加工ウエハ１１の一方の表面に仮接合する工程と、加工ウエハ１１の仮接合面と反対側の面を粘着フィルム１６に貼り付け、仮接合に用いた部材１５の接合力を消失させて加工ウエハから支持基板１４を剥離する工程と、粘着フィルム１６をエキスパンドさせた後、光スキャナ素子１をピックアップしてパッケージングする工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構成でありながら正確に動作可能な光学素子を提供する。
【解決手段】第１および第２の基板と、第１の基板の内面に第１の方向において隣り合うように立設し、かつ、第１の方向と異なる第２の方向へ延在する複数の壁部と、第１の基板の、隣り合う一対の壁部に挟まれた領域に設けられた第１および第２の貫通孔と、壁部の壁面に、互いの一部が対向するように設けられた第１および第２の電極と、第１および第２の電極をそれぞれ覆う絶縁膜と、第２の基板の内面に設けられた第３の電極と、第１の基板と第３の電極との間に封入され、互いに異なる屈折率を有する極性液体および無極性液体とを備える。第１および第２の電極は、それぞれ、第１の基板の外面に設けられた第１および第２の引出線と第１および第２の貫通孔を通じて接続されている。 （もっと読む）

【課題】櫛歯同士の貼り付きが生じない櫛歯型アクチュエータを提供する。
【解決手段】光偏向器は、可動板１０１と、可動板１０１を回転軸１１１の回りに傾斜可能に支持する一対のトーションバー１０２と、トーションバー１０２が接続された固定部１０３を有している。可動板１０１は、複数の導電性の可動櫛歯１０４，１０７を有している。固定部１０３は、複数の複合固定櫛歯１０５，１０８を有している。複合固定櫛歯１０５は、複数の導電性の固定櫛歯１０５ｂを有している。複合固定櫛歯１０５はまた、外部衝撃などによる可動櫛歯１０４と固定櫛歯１０５ｂの接触を防止する複数の導電性のストッパー１０５ａを有している。 （もっと読む）

【課題】出力ポート間に生じるクロストークを抑制した光信号選択スイッチを提供すること。
【解決手段】本発明に係る光信号選択スイッチは、少なくとも１つの入力ポートと、複数の出力ポートと、前記少なくとも１つの入力ポートから出射される光信号を集光する集光レンズと、前記集光レンズにより集光された光信号に位相シフトを与える偏向手段であって、当該位相シフトが与えられた光信号が前記集光レンズを介して前記出力ポートに結合するように該光信号を反射する偏向手段とを備える。前記偏向手段によるある出力ポートにおける位相シフト波形の周期は、前記偏向手段による他の出力ポートにおける位相シフト波形の周期の１／ｉ倍（ｉはゼロ以外の整数）と相違することを特徴とする。
前記特徴により、ある出力ポートにおいて他の出力ポートの２次以上の高次回折光が結合されることがないため、ポート間クロストークを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】 シリコン貫通電極などの複雑な構造をとることなく、MEMSデバイスの光スキャナをワイヤーレスで実装することができる小型・薄型にパッケージ化した光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器は、光スキャナチップ２１のミラー部２１ａの光反射面側に開口部１６を有し、両面に互いに電気的接続された複数の電極１２，１３を有する第１の基板１１と、その開口部１６に光反射面が向くように第１の基板１１上に実装された光スキャナチップ２１と、光スキャナチップ２１の光反射面と反対側の面に装着された第２の基板３１とでパッケージ化される。光スキャナチップ２１の電極２２は、第１の基板１１の一方の面の電極１２と金属の溶融又は圧接によって接続され、第１の基板１１の他方の面の電極１３，１４を介して給電される。 （もっと読む）

【課題】捻り振動を用いた光走査装置において温度変化による走査特性の変化を抑制する
【解決手段】光を反射させる反射面を有するミラー３１と、ミラー３１を捻り振動させるための回転軸ｋとなる弾性連結部１６ａ，１６ｂを備え、回転軸ｋを中心にしてミラー３１を揺動させて光を走査する。そしてミラー支持枠３２と熱アクチュエータ３３が、ミラー３１と弾性連結部１６ａ，１６ｂとを連結するとともに、温度が高くなるほどミラー３１の回転軸ｋ周りの慣性モーメントが低くなるようにミラー３１を変位させる。なお、ミラー３１の慣性モーメントを変化させるために、ミラー３１の反射面は、円以外の形状（図では楕円形状）を有し、熱アクチュエータ３３は、反射面に垂直な回転軸を中心にミラー３１を回転させる。 （もっと読む）

【課題】高性能で高機能の表示装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、複数の光出射部と、複数の導光部と、複数の光取り出し部と、受光部と、を含む表示装置が提供される。複数の導光部は、光出射部から出射した光を導光する。複数の導光部のそれぞれは、側面と、第１端部と、第２端部と、を有する。側面は、第１方向に沿って延在する。第１端部は、導光部の第１方向における一方の端である。第２端部は、導光部の他方の端である。複数の導光部は、第１方向に対して垂直な第２方向に並ぶ。複数の光取り出し部のそれぞれは、複数の導光部の側面に対向する。光取り出し部は、複数の導光部中を導光された光を導光部の外に向けて出射可能である。受光部は、第１端部に対向する。受光部は、複数の導光部中を導光され第１端部のそれぞれから出射する光を受光する光電変換部を含む。 （もっと読む）

【課題】暖機運転に必要な時間を短縮すると共に、煩雑な作業を伴わずに加工精度を安定させる。
【解決手段】レーザ発振器から出射されたレーザビームを、加工光学系を介してワークに入射し、ワークをレーザ加工するレーザ加工装置であって、加工光学系が、レーザビームをワークに対して垂直に入射・集光させるためのスキャンレンズ９と、スキャンレンズ９を予め設定された温度に加熱するヒータ１１と、を備え、ヒータ１１はスキャンレンズ９の外周部に対して近接離間可能に設けられている。ヒータ１１に対しては、ヒータ１１が離間した場合には断熱部材１３をヒータ１１とスキャンレンズ９との間に位置させ、近接した場合には断熱部材１３をヒータ１１とスキャンレンズ９との間から後退させる。 （もっと読む）

【課題】小型化に適した光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器は、基板１５０と、基板１５０に設けられた一対の駆動電極１２０Ａ，１２０Ｂと、基板１５０に固定された一対の固定部１０７と、一対の固定部１０７にそれぞれ接続された一対のヒンジ１１０と、一対のヒンジ１１０によって揺動可能に支持された接続部１０５と、接続部１０５に固定された支柱１０２と、支柱１０２に固定された可動板１０１とを有している。可動板１０１は、駆動電極１２０Ａ，１２０Ｂに対向するように基板１５０から間隔を置いて支持されている。可動板１０１は、駆動電極１２０Ａ，１２０Ｂに対向する第一の面に対向電極を有し、第一の面の反対側の第二の面に反射面１０３を有している。駆動電極１２０Ａ，１２０Ｂと固定部１０７とヒンジ１１０と接続部１０５は同一の層から形成されている。 （もっと読む）

【課題】焦点調節と開口調節とを選択的に、または同時に行ってＮＡを制御するＮＡ（ｎｕｍｅｒｉｃａｌ ａｐｅｒｔｕｒｅ）制御ユニット、それを採用した可変型光プローブ、映像診断システム、深度スキャニング方法、イメージ検出方法、及び映像診断方法を提供する。
【解決手段】ＮＡ制御ユニット１０００は、光が透過する開口が調節される開口調節ユニットＶＡと、開口を通過した光をフォーカシングし、焦点距離が調節される焦点調節ユニットＶＦと、を含む。 （もっと読む）