【課題】装置の小型化および低コスト化を図りつつ、第２の軸部材に複合応力が生じることを防止または抑制することができ、可動板を第１の軸および第１の軸に直交する第２の軸の周りに回動（搖動）させることのできるミラーデバイス、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス１は、枠状部材１４と、１対の第２の軸部材１５ａ、１５ｂと、光反射性を有する光反射部１２を備える可動板１１と、１対の第１の軸部材１３ａ、１３ｂと、枠状部材１４に設けられ、長手形状をなす第２永久磁石２０ａと、可動板１１に設けられ、長手形状をなす第１永久磁石２０ｃとを備え、第２永久磁石２０ａは、その軸線が第２の軸部材１５ａ、１５ｂの軸線に対して直交するように配置され、第１永久磁石２０ｃは、その軸線が第１の軸部材１３ａ、１３ｂの軸線に対して傾斜するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成によって櫛歯電極間に精度よく段差構造が形成され、かつ、全体の小型化を可能とするマイクロスキャナを提供すること。
【解決手段】反射ミラー（１０）の自由端に形成された櫛歯電極を有する第１の櫛歯部（１３ａ，１３ｂ）と、第１の櫛歯部（１３ａ，１３ｂ）と対向し互いの櫛歯が噛み合うように配置された櫛歯電極を有する第２の櫛歯部（１５ａ，１５ｂ）と、反射ミラー（１０）および第２の櫛歯部（１５ａ，１５ｂ）の一方の面に対向するようにスペースを開けて配置された透光性基板（２２）と、透光性基板（２２）を固定端として第２の櫛歯部（１５ａ，１５ｂ）の一部であって第２のトーションバー（１６）の軸から外れた位置を押圧する押圧部材（２３）と、具備する構成とする。 （もっと読む）

【課題】全体の小型化を可能とする光走査装置を提供すること。
【解決手段】被写体に照射する照射光が入射し所定方向へ反射する第１の反射面を有し、該第１の反射面で反射する照射光を第１の軸方向に走査するように前記第１の反射面を回転駆動させる第１のマイクロスキャナ（１０）と、一方の集光点が前記第１の反射面上の照射光位置に設定され、他方の集光点が前記第１のマイクロスキャナ（１０）と干渉しない位置に設定された凹面鏡（５０）と、前記凹面鏡（５０）の他方の集光点に配置された第２の反射面を有し、前記凹面鏡（５０）から前記第２の反射面に入射して反射する照射光を第１の軸方向と異なる第２の軸方向に走査するように前記第２の反射面を回転駆動させる第２のマイクロスキャナ（２０）と、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】振動系を有する基体上に導体パターンを設けた構成において、光反射面の静的なたわみを低減することができるアクチュエーター、光スキャナー、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】静的なたわみを低減することができるアクチュエーターは、揺動軸まわりに揺動可能な可動部、前記可動部から延出する連結部、および連結部を支持する支持部、を含む基体と、光反射面を有する光反射部、および前記光反射部から延出し前記可動部に固定される固定部、を含むミラー保持体と、前記可動部に設けられるコイルと、前記コイルに作用する磁界を発生する磁石とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成によって櫛歯電極間に精度よく段差構造が形成され、かつ、全体の小型化を可能とするマイクロスキャナを提供すること。
【解決手段】反射ミラー（１０）の自由端に形成された第１の櫛歯電極（１３ａ，１３ｂ）と、第１の櫛歯電極（１３ａ，１３ｂ）と対向し互いの櫛歯が交互に噛み合うように配置された第２の櫛歯電極（１５ａ，１５ｂ）と、第２の櫛歯電極（１５ａ，１５ｂ）と梁（１８）を介して結合された接触部（１９）と、接触部（１９）の上部または下部の少なくとも一方と向かい合う位置に固定配置された電極部（２０）と、を有し、接触部（１９）と電極部（２０）との間に静電引力を発生させて、接触部（１９）を変位させる構成とする。 （もっと読む）

【課題】水平方向と垂直方向の走査周波数が互いに大きく異なる仕様に対しても対応可能であり、かつ、従来よりも破損しにくい２次元光偏向器及びこれを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】２次元光偏向器１は、照射された光を反射するミラー部２と、ミラー部２を囲うように間隙３を有して配置されたジンバル部４と、ジンバル部４を囲うように間隙５を有して配置されたフレーム部６と、ミラー部２とジンバル部４とを接続する一対の第１トーションバー部７ａ，７ｂと、ジンバル部４とフレーム部６とを接続する一対の第２トーションバー部８ａ〜８ｄ，９ａ，９ｂと、を備え、一対の第２トーションバー部８ａ〜８ｄ，９ａ，９ｂは、所定の材料から構成された第３トーションバー部８ａ〜８ｄと、所定の材料よりも展延性を有する展延性材料から構成された第４トーションバー部９ａ，９ｂと、をそれぞれ有する。 （もっと読む）

【課題】ミラー素子の状態を検出することができる光通信装置およびミラー素子を提供する。
【解決手段】可動梁２２−１〜２２−４には、センサ部２５−１〜２５−４が設けられている。これにより、センサ部２５−１〜２５−４の抵抗値の変化に基づいて可動梁２２−１〜２２−４の状態を検出することができる。結果として、ミラー素子１が故障しているか否かを特定することもできる。 （もっと読む）

【課題】本発明によれば、第１の揺動軸を中心として揺動し得るように構成されたサポートフレーム、及びサポートフレームに固定されたミラーを備えた可動部材であり、サポートフレームの揺動によりミラーが揺動される、可動部材と、サポートフレームと共働するコイルと、サポートフレームとミラーとの間に設けられ、サポートフレームが第１の揺動軸を中心として揺動する際にサポートフレームの縁部からミラーに伝達されるワープの影響を低減させる境界部分とを具備し、サポートフレームが切欠領域をさらに備え、切欠領域が、
【解決手段】サポートフレームが第１の揺動軸を中心として揺動する際にコイルに対する応力を低減させるように、及び／又は前記アクチュエータの特性の中の温度依存性を低減させるように、コイルの少なくとも一部分に対して平行となるように構成されるアクチュエータが、提供される。 （もっと読む）

【課題】センサ配線のノイズを低減し、ミラーの傾きを高精度に検出することが可能な光走査装置及び光走査制御装置を提供することを目的としている。
【解決手段】ミラー及び前記ミラー支持部を挟むように対をなして設けられた第１の駆動梁と、第１の駆動梁の片側を前記捻れ梁と連結する連結梁と、連結梁上に形成されており、第１の駆動梁に駆動電圧が印加されて前記ミラーが揺動しているとき、捻れ梁の軸周りの揺動による連結梁の変位を検出する第１の圧電センサを有し、第１の圧電センサ手段は、上部電極配線がミラー及びミラー支持部を挟む一方の第１の駆動梁に向かって引き出され、下部電極配線がミラー及びミラー支持部を挟む他方の第１の駆動梁に向かって引き出される。 （もっと読む）

【課題】小型化可能であり、且つ、チャネルごとの透過帯域の幅が一定な波長選択スイッチを提供すること。
【解決手段】本発明に係る波長選択スイッチは、入出力ファイバアレイと、合分波用回折格子と、集光レンズと、複数のＭＥＭＳミラーから成るＭＥＭＳミラーアレイとを備える。前記ＭＥＭＳミラーアレイにおいて、隣接するＭＥＭＳミラー間の各ミラーピッチは、波長分散方向に沿って短波側から長波側へ進むにつれて増加する。前記波長選択スイッチにおいて、前記複数のＭＥＭＳミラーのうち最も短波側のＣＨに対応するＭＥＭＳミラー上に入射した信号光の径は、他の全てのＣＨに対応する複数のＭＥＭＳミラー上に入射した信号光の径より小さいことを特徴とする。 （もっと読む）