【課題】ターゲットに照射されるビームの焦点ずれ及び位置ずれを独立に調整することが可能な光軸調整装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る光軸調整装置は、光学ベースと、受発光素子と、光学部品と、反射部材と、ターゲットと、支持部材とを備える。前記受発光素子と、前記光学部品と、前記反射部材と、前記ターゲットと、前記支持部材とは、前記光学ベース上に接着等により固定されて実装される。前記反射部材は、前記光学ベース上に接着された支持部材と接着されて前記光学ベース上に実装される。前記反射部材は、第１の反射面と、第２の反射面とを備え、ビームは、前記反射部材によって２回反射されて、前記ターゲットに照射される。 （もっと読む）

【課題】２軸動作が可能なミラー素子をより小さな領域により多く配列できるようにする。
【解決手段】基板１０１の上に離間して配置されたミラー１０２と、ミラー１０２の一端を１つの連結部１０３を介して連結して基板１０１の上で支持する第１支持部１０４と、ミラー１０２を挟んで第１支持部１０４に対向する第２支持部１０５と、第２支持部１０５に一端が支持されて他端がミラー１０２の他端に各々１つの連結部１０６ａ，１０６ｂを介して連結する２つの第１可動梁１０７および第２可動梁１０８と、第１可動梁１０７のミラー１０２側の他端を基板１０１より離れる方向および基板１０１に近づく方向の選択された第１方向に変位させるための第１駆動電極１０９と、第２可動梁１０８のミラー１０２側の他端を上記第１方向に変位させるための第２駆動電極１１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】小型化可能であり、且つ、チャネルごとの透過帯域の幅が一定な波長選択スイッチを提供すること。
【解決手段】本発明に係る波長選択スイッチは、入出力ファイバアレイと、合分波用回折格子と、集光レンズと、複数のＭＥＭＳミラーから成るＭＥＭＳミラーアレイとを備える。前記ＭＥＭＳミラーアレイにおいて、隣接するＭＥＭＳミラー間の各ミラーピッチは、波長分散方向に沿って短波側から長波側へ進むにつれて増加する。前記波長選択スイッチにおいて、前記複数のＭＥＭＳミラーのうち最も短波側のＣＨに対応するＭＥＭＳミラー上に入射した信号光の径は、他の全てのＣＨに対応する複数のＭＥＭＳミラー上に入射した信号光の径より小さいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳミラーの設計を変更することなく、所望の波長の光をＭＥＭＳミラーへ入射することが可能な波長選択スイッチ（ＷＳＳ）を提供すること。
【解決手段】本願発明の一実施形態に係るＷＳＳは、入出力ファイバアレイと、合分波用回折格子と、ＭＥＭＳミラーアレイとを備え、さらに当該ＭＥＭＳミラーアレイの前段に遮光マスクを備えることを特徴とする。また、本願発明の別の一実施形態に係るＷＳＳは、入出力ファイバアレイと、合分波用回折格子と、ＭＥＭＳミラーアレイとを備え、さらに当該ＭＥＭＳミラーアレイの前段に折り返しミラーを備え、前記ＷＳＳを構成する光学素子の何れかにおいて、誘電体多層膜などから成るバンドストップフィルタを集積することを特徴とする。本願発明の更に別の実施形態に係るＷＳＳは、ＭＥＭＳミラーアレイの前段且つ信号光の光路の途中にバンドパスフィルタを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】より正確なアライメントを行うことができる偏向素子およびアライメント方法を提供する。
【解決手段】アライメントパタン６は、Ｘ軸に平行な軸から離れるにつれて波長分離方向の反射面の幅が変化する形状を有する。これにより、そのアライメントパタン６に入力光を照射したときに、そのアライメントパタン６による反射光の帯域幅が、ＭＥＭＳミラーアレイチップ５がＹ軸に位置ずれしていない場合に極値をとるようにすることが可能となる。結果として、その反射光の帯域幅に基づいてＭＥＭＳミラーアレイチップ５のＹ軸方向の位置を調整するだけで、ＭＥＭＳミラーアレイチップ５のＹ軸方向におけるアライメントを行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 反射面を二軸周りに揺動するときの回転角を減少させることなく、反射面の二軸周りの揺動を精度良く検知できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器１は、第１圧電アクチュエータ３１及び第２圧電アクチュエータ５１の駆動で二軸周りに揺動する反射面２ａと、当該揺動を検知する第１検知部７１ｙ及び第２検知部７１ｘを有する第１支持部４とを備える。第２圧電アクチュエータ５１には、第１圧電アクチュエータ３１に導通する第１駆動配線Ｗｙと、第２圧電アクチュエータ５１に導通する第２駆動配線Ｗｏ，Ｗｅと、第１検知部７１ｙに導通する第１検知配線Ｗｍｙと、第２検知部７１ｘに導通する第２検知配線Ｗｍｘと、第１接地線Ｗｇｙとが並行に配置される。第１接地線Ｗｇｙは、第１駆動配線Ｗｙ及び第２駆動配線Ｗｏ，Ｗｅと、第１検知配線Ｗｍｙ及び第２検知配線Ｗｍｘとの間に配置される。 （もっと読む）

【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１と、光反射部２１１を備え、かつ所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部２１と、可動部２１に連結し、かつ前記可動部２１の回動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、を有し、可動部２１は、可動部２１の板厚方向からの平面視にて四角形の四隅の部分をそれぞれ矩形に欠いた形状（十字状）をなす。 （もっと読む）

【課題】より容易にアライメントを行うことができるミラーアレイ、ミラー素子およびアライメント方法を提供する。
【解決手段】基板５１上には、ミラー５２’の下面を押圧する突起５１ｂが設けられている。この突起５１ｂによりミラー５２’が予め所定の角度に傾向しているので、そのミラー５２’を所定の角度に傾向させるための駆動電圧を供給しなくてもＭＥＭＳミラーアレイのアライメントを行うことができる。この結果、簡易な装置構成でアライメントを容易に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】２軸動作が可能なマイクロミラー素子より構成されるミラーアレイが、配線数の増加を抑制した状態で形成できるようにする。
【解決手段】第１可動梁１３１を駆動するための第１駆動電極１１１が、基板１０１の側に第１可動梁１３１に対向して配置され、第２可動梁１４１を駆動するための第３駆動電極１１３が、基板１０１の側に第２可動梁１４１に対向して配置されている。一方、第３可動梁１６１を駆動するための第２駆動電極１１２は、基板１０１の側とは反対側で第３可動梁１６１に対向して配置され、第４可動梁１７１を駆動するための第４駆動電極１１４も、基板１０１の側とは反対側で第４可動梁１７１に対向して配置されている。 （もっと読む）

【課題】２種の液体の界面を光の屈折面とする可変焦点レンズにおいて、両液体の界面の位置を精度良く規定する。
【解決手段】可変焦点レンズ１４が、第１および第２の液体Ｌ１，Ｌ２をそれぞれ収容する第１および第２の液室３１，３２と、両液室間を仕切るように配置され、それら液室を連通すると共に光が通過する貫通孔を有する界面保持プレート２２と、第１および第２の液体の少なくとも一方の圧力または体積を変動させるアクチュエータ３５とを備え、界面保持プレートは、貫通孔内またはその周囲に界面を保持する界面保持部を有し、当該界面保持部から第１の液室側には、第１の液体に対して親液性であり且つ第２の液体に対して疎液性である第１の表面領域を有する一方、界面保持部から第２の液室側には、第２の液体に対して親液性であり且つ第１の液体に対して疎液性である第２の表面領域を有する構成とした。 （もっと読む）