【課題】必要となるポート数が少ないユーザが、ポート数の多い波長選択スイッチの一部のポートを利用した場合、機能しないポートが数多く存在する。
【解決手段】本発明にかかる波長選択スイッチは、波長多重された光を入力または出力可能なポートを複数備えた光入出力部と、光を反射する反射領域を複数有し、波長多重された光を波長ごとに偏向可能な第１の偏向部材と、光入出力部および第１の偏向部材の間の光路中に配置された分散素子と、光入出力部および分散素の間の光路中に配置された第１の光学系と、分散素子および第１の偏向部材の間の光路中に配置された第２の光学系と、第１の光学系および第１の偏向部材の間の光路中に配置可能な光学部材と、光を反射する反射領域を複数有し、波長多重された光のうち、光学部材からの光を波長ごとに偏向可能な第２の偏向部材とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】より正確なアライメントを行うことができる偏向素子およびアライメント方法を提供する。
【解決手段】第１，第２パタン６１，６２から構成されるアライメントパタン６を設ける。これによりアライメントパタン６にＸ軸に平行な周波数軸を有する帯状の光を照射したときに、第１パタン６１によって反射される光の光強度と、第２パタン６２によって反射される光の光強度とが、ＭＥＭＳミラーアレイチップ５がＹ軸方向に位置ずれしていない場合には同一となり、位置ずれしている場合には異なるものとなる。そこで、アライメントパタン６からの反射光の波長スペクトルにおける中央の周波数から高低両側に所定の値だけ離間した２つの周波数とにおける光強度を測定し、これらの光強度が同一となるようにＭＥＭＳミラーアレイチップ５のＹ軸方向の位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】垂直方向の光路を動的に切り替えることができる光スイッチ機能エレメントを並列配置して、波長ルーティング素子と接続することによって、光回路を構成する。
【解決手段】本発明の一実施態様は、波長周回性を有する１個の波長ルーティング素子と、経路切替光スイッチと、経路選択光スイッチ１３とを備えた光回路である。前記経路切替光スイッチおよび前記経路選択光スイッチは、光導波路が２層以上積層された光導波回路と、該光導波回路に挿入された中空構造マルチモード光導波路とから構成された光スイッチ機能エレメントを含む。前記中空構造マルチモード光導波路は、対向する２つのブラッグ反射鏡と、該ブラッグ反射鏡を支える２つの反射板と、前記光導波回路のコアの端面とに囲まれた中空光導波路を備え、前記中空光導波路の高さＨ_MMIを可変制御して、垂直方向に光路を切り替える。 （もっと読む）

【課題】変位量が温度変動に影響されない静電アクチュエータを提供する。
【解決手段】静電アクチュエータ１３０は基本駆動素子１１１ａ１を備えている。基本駆動素子１１１ａ１は、櫛歯電極１０５ａと、櫛歯電極１０６ａと、櫛歯電極１０５ａを保持している電極ポスト１０７ａと、櫛歯電極１０６ａを保持している電極ポスト１０８ａと、電極ポスト１０７ａを保持しているたわみばね１０２，１０４と、電極ポスト１０８ａを保持しているたわみばね１０３から構成されている。櫛歯電極１０５ａと櫛歯電極１０６ａは、それらの櫛歯部が互いに対向するように配置されている。櫛歯電極１０５ａは電極ポスト１０７ａを介してたわみばね１０２，１０４と電気的に接続され、櫛歯電極１０６ａは電極ポスト１０８ａを介してたわみばね１０３と電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】リサージュ走査であっても効果的な画像重複や走査解像度を有するスキャナ用偏向装置を提供する。
【解決手段】少なくとも２つの偏向軸において振動すると共に、フレームと、懸架搭載部によって可動式に配置したミラープレート４とを有するマイクロミラー１と、少なくとも２つの偏向軸においてマイクロミラーの共鳴動作に対する制御信号を生成する制御装置と、を含み、ミラープレートの懸架搭載部が少なくとも１つのバネを有し、バネの一端をミラープレートに接続し、バネの他端を固定したフレームに接続し、マイクロミラーの共鳴動作に対する制御信号の周波数が、少なくとも２つの偏向軸において実質的に等しく、そのレベルを、所定の走査解像度と所定の走査反復率によって決定するが、それらが少なくとも所定の走査反復率に関して異なること、を特徴とするリサージュ走査を行うスキャナ用偏向装置。 （もっと読む）

【課題】ミラー部の傾向量を大きくできる光走査装置及びミラー駆動装置を提供する。
【解決手段】異なる２方向に傾向駆動するミラー部３と、電気機械変換素子部と、電気機械変換素子部で発生する変位をミラー部３の傾向に伝達する弾性変形部１２と、を一体に形成し、電気機械変換素子部は、正電極と負電極で挟まれた電気機械変換素子層を複数層積層して構成され、正電極と負電極とが対向していない非活性部１７Ａ、１７Ｂを固定枠４に固定した構成の光走査装置２とし、この光走査装置２を用いたミラー駆動装置１とした。 （もっと読む）

【課題】界面を形成する２つの液体が容器内に収容された液体光学素子において、液体光学素子の光軸に対するチルト回転の外力などが素子に作用した際に、界面が過度に変形して容器の蓋部材などに接触するのを抑制する技術を提供する。
【解決手段】液体光学素子１００において、互いに混和しない２つの液体１２１、１２２が容器１０１、１１１、１１２内に収容され、２つの液体１２１、１２２の界面の端部が容器の内壁面上を移動することにより界面の状態を変化させる。容器の内壁は、液体光学素子１００の光軸１７１の周りにおいて、光軸１７１へ向かう方向に突出した部分１０２を有する。突出部１０２は、光軸１７１の方向における中心部において、面の法線が光軸１７１と交わる環状の面を有し、光軸１７１の方向における周辺部において、面の法線が光軸１７１と平行な方向へ向かって連続的に変化する環状の面を有する。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器にて反射された描画に寄与しない光が周辺部材に与える熱的影響を確実に排除して高い描画精度を担保する。
【解決手段】光学ユニットのヘッド部は、レーザ発振器から出射された光を空間変調させて、パターンの描画に寄与させる必要光Ｌ１と、パターンの描画に寄与させない不要光Ｌ０とを、互いに異なる方向に反射させる空間光変調器を備える。光学ユニットは、さらに、必要光Ｌ１を通過させつつ不要光Ｌ０を遮断する第２遮断板２３２と、第２遮断板２３２を冷却する冷却部を備える。第２遮断板２３２における不要光Ｌ０の入射領域を含む対象領域部分には、入射した光を乱反射させる乱反射面４２が形成される。 （もっと読む）

【課題】設計の自由度を向上させるとともに、印加電圧を少なくして偏向角を大きくする。
【解決手段】光スキャナOSは、外枠となる固定枠1と、主軸トーションバー3と、主軸トーションバー3の直交方向に長尺となるよう配設されるとともに、一端を主軸トーションバー3に接続し、他端を固定枠1に固定した片持ち梁構造の保持部41と、保持部41を変形させるための力を電圧印加に応じて生じさせる圧電素子42と、主軸トーションバー3を基準に揺動するミラー部21とを含む。駆動回路から圧電素子42に対して印加される電圧は、光スキャナOS自身の固有振動数に近似または一致するとともに、保持部41に、当該の保持部41の短手方向に対し交差する節を少なくとも1つ発生させる周波数である。保持部41は、前記短手方向におけるミラー部21側の部分のみで、主軸トーションバー3に接続される。 （もっと読む）

【課題】本発明は三次元構造体の製造効率の低下を招くことなく、電極パッドをシリコン基板に形成可能な三次元構造体の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の三次元構造体の製造方法は、シリコン基板T、B、Hを用いて形成された三次元微細構造体の電極パッド１６P３、１６P４の形成領域１６P３’、１６P４’に金Ａｕを堆積させる金属堆積工程と、シリコン基板T、B、Hを熱により酸化させて金Ａｕの形成領域以外の表面にシリコンの酸化膜ＳiO₂を形成する酸化膜形成工程とを含む。 （もっと読む）