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国際特許分類[G03F7/09]の内容

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【課題】 密着性及び解像度と、剥離性とのバランスが良好である感光性エレメントを提供すること。
【解決手段】 支持フィルム10と、該支持フィルム10上に感光性樹脂組成物を用いて形成された感光層20と、を備える感光性エレメントであって、上記感光性樹脂組成物が、(A)バインダーポリマーと、(B)エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、を含有し、且つ、上記(B)エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物として、重量平均分子量が3,300以下であるカーボネート結合含有ウレタン(メタ)アクリレート化合物を含有するものである、感光性エレメント。 (もっと読む)


【課題】高解像性とマスクフィルムに忠実なパターン形状を有し、基板にDFRをラミネートした際にエアーボイドの発生が少なく、露光、現像工程におけるレジストパターンの欠陥や、続くエッチング工程またはめっき工程において形成される回路の欠けや断線、ショートなどの欠陥の低減が可能であり、また、感光性樹脂層上に保護層を積層して感光性樹脂積層体を製造する際に、感光性樹脂層が保護層と密着しやすい感光性樹脂積層体を提供すること。
【解決手段】支持体(A)、感光性樹脂層(B)、および保護層(C)からなる感光性樹脂積層体において、前記支持体(A)の膜厚が10μm以上30μm以下、ヘーズが0.01%以上1.5%以下であり、且つ前記保護層(C)の膜厚が30μm以上50μm以下、中心線平均粗さ(Ra)が0.1μm未満であり、該感光性樹脂層(B)が(i)アルカリ可溶性高分子、(ii)エチレン性不飽和付加重合性モノマー、(iii)光重合開始剤を含有し、該(i)アルカリ可溶性高分子がスチレン及びスチレン誘導体を有し、該(iii)光重合開始剤が2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体を含有することを特徴とする感光性樹脂積層体。 (もっと読む)


【課題】赤外線レーザーによる直接描画が可能であり、高耐刷性及び耐汚れ性に優れ、明室下での取り扱いが簡便であるネガ型平版印刷版原版及びその製造方法、並びに、平版印刷版の製版方法を提供すること。
【解決手段】平均開口径0.5〜5μmの中波構造と平均開口径0.01〜0.2μmの小波構造とを重畳した構造の砂目形状を表面に有し、かつ有機ホスホン酸化合物により親水化処理を施した支持体上に、(A)赤外線吸収剤、(B)オニウム塩、(C)分子内にウレタン結合及び複数のエチレン性不飽和基を有する重合性化合物、並びに、(D)ポリウレタンバインダーを含有する記録層と、保護層と、をこの順に有することを特徴とするネガ型平版印刷版原版及びその製造方法、並びに、前記ネガ型平版印刷版原版を使用した平版印刷版の製版方法。 (もっと読む)


ネガ型画像形成性要素を熱画像化して、融合したコアシェル粒子から本質的になる露光領域と非露光領域とを有する画像化された要素を得る工程と、前記画像化された要素を印刷機上で、平版印刷インク、湿し水、またはその両方を用いて現像して、前記非露光領域のみを除去する工程とを含む方法を用いて、画像を得ることができる。この画像形成性要素は、赤外線吸収性化合物および熱画像化時に融合するコアシェル粒子から本質的になる単一の感熱画像形成性層を含む。前記コアシェル粒子のコアは、疎水性熱可塑性ポリマーから成り、前記コアシェル粒子のシェルは、前記コア用疎水性熱可塑性ポリマーに共有結合している親水性ポリマーから成り、前記感熱画像形成性層は、10重量%未満の遊離ポリマーを含む。 (もっと読む)


【課題】 水系現像液によるスプレー現像において高速印刷に対応できる現像時間を満足する現像性を有し、且つ高速印刷においても画像再現性に優れる感光性フレキソ樹脂印刷原版を得られる樹脂組成物およびこれを支持体上に設けたフレキソ印刷原版を得ることを目的とする。
【解決手段】 少なくとも(A)水分散ラテックスから得られる疎水性重合体、(B)親水性重合体、(C)エチレン性二重結合不飽和化合物及び(D)光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物において、(A)成分の水分散ラテックスから得られる疎水性重合体がポリブタジエン、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体及びメチルメタクリレート系共重合体の3種類からなることを特徴とするフレキソ印刷版用感光性樹脂組成物、および該樹脂組成物と支持体とが積層された印刷用感光性樹脂原版。 (もっと読む)


【課題】薄膜でも光透過度と電気伝導度に優れる透明電極、伝導性積層体および伝導性樹脂膜を提供すること。
【解決手段】本発明の透明電極は、炭素ナノチューブを含有し、200℃〜900℃で少なくとも5%の重量減少を示す熱分解領域が現れ、当該熱分解領域は、200℃〜450℃で熱分解を開始し且つW1(%)の重量減少率を示す第1熱分解領域、および450℃〜700℃で熱分解を開始し且つW2(%)の重量減少率を示す第2熱分解領域からなり、W1/W2の値が0.1〜20の伝導性樹脂膜を含んでなる。 (もっと読む)


【課題】高感度で硬化し、且つ、保存安定性に優れたフォトマスクブランクス、及び、該フォトマスクブランクスを用いて作製された高解像度で画像形成可能であり、画像エッジ部の直線性の高いフォトマスクを提供することを目的とする。
【解決手段】基板上に、(A)分子内に下記一般式(I)で表される部分構造を有する増感色素と、(B)重合開始剤と、(C)エチレン性不飽和結合を有する化合物と、(D)バインダーポリマーと、(E)遮光材料と、を含む感光性組成物層を有するフォトマスクブランクス。式(1)中、Yは隣接する窒素原子および炭素原子と共に含窒素ヘテロ環を形成する非金属原子団を表す。Xは一価の非金属原子団を表す。
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【課題】基板との密着性に優れた100nm以下の微細なレジストパターンを形成し得るレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】(i)基板上に特定の構造を有する表面処理剤を塗布し、前記基板を表面処理する工程、(ii)前記表面処理された基板上に、フェノール系樹脂を含む感光性組成物を塗布した後、加熱処理し、レジスト層を形成する工程、及び(iii)前記レジスト層を電子線、EUV、又はX線で露光し、加熱、現像する工程、を含むレジストパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】高感度で、解像度に優れたパターンを形成しうるフォトマスクブランクスを提供し、細線等の微細パターンを有するものであっても、遮光膜の膜強度とマスク洗浄の溶剤に対する溶剤耐性に優れたフォトマスクを提供する。
【解決手段】基板上に、(A)バインダーポリマー、(B)分子内にビニルフェニル基を2個以上有する化合物、(C)重合開始剤、および(D)遮光材料、を含む感光性組成物層を備えるフォトマスクブランクス。 (もっと読む)


【課題】遮光材料を大量に含む場合であっても露光により高感度で硬化し、且つ、保存安定性に優れたフォトマスクブランクス、該フォトマスクブランクスを用いて作製された高解像度で画像形成可能であり、耐溶剤性及び膜強度の高いフォトマスクを提供すること。
【解決手段】基板上に、(A)増感色素、(B)重合開始剤、(C)2つ以上のエチレン性不飽和結合を有する複素環化合物、(D)バインダーポリマー、及び(E)遮光材料を含有する感光性組成物層を備えるフォトマスクブランクス、及び該フォトマスクブランクスを用いて作製されたフォトマスク。 (もっと読む)


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