【課題】
従来、薄膜形成に使用されずに装置内部に溜まる溶液を廃棄していた。そこで、材料利用効率を向上させるために、塗布液を回収し再利用する必要があった。また、回収時間が長いため、実際の生産工程で使用するには課題があった。
【解決手段】
ミスト発生室で生成したミストを基板上に塗布するミスト供給部と、ミスト供給部のスリット開口に対向して所定間隔を開けて基板を保持して水平方向に移動する移動機構を備えた駆動ステージと、ミスト発生室の底部に溜まった塗布液を回収し、再利用する塗布液を送液及び回収する送液・回収機構を備え、送液・回収機構の回収時間の短縮するため、流量を調節して溶液を補充することにより、粘度調整の精度は維持しながら回収時間を短縮することが可能とした。 （もっと読む）

【課題】 塗布ノズルへのセンサの取り付け、調整が容易であり、また塗布ノズルと基板との衝突を回避することができる安価な塗布膜形成装置を提供する。
【解決手段】 レジスト膜形成装置１０は、基板Ｇの載置台１１と、レジストノズル１２と、ノズル１２を移動させる水平駆動機構１４および昇降機構１５と、ノズルギャップの変化を検出する光学式のセンサ２１を備えたセンサアレイ２０と、ノズル１２をレジスト液の吐出開始位置に配置したときのセンサ２１の出力信号をセンサ２１ごとに標準出力信号に設定し、その標準出力信号と基板Ｇにレジスト液を吐出してレジスト膜を形成しているときの各センサ２１からの出力信号との差に基づいてギャップの変化を監視する副制御部６０と、副制御部６０からギャップの変化に関する信号を取り込み、ノズル１２と基板Ｇとの接触が回避されるように、ノズル１２の動作を制御する主制御部５０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】この発明は小型化や生産性の向上を図ることができるようにした光硬化性樹脂の塗布装置を提供することにある。
【解決手段】液晶パネルとこの液晶パネルの側辺部に接続された電子部品との接続部分に光硬化性樹脂を塗布する光硬化性樹脂の塗布装置であって、
液晶パネルが載置される基板ステージ２１と、基板ステージと対向して配置され液晶パネルと電子部品との接続部分に光硬化性樹脂を塗布する塗布ノズル１３を有するヘッドステージ１１と、ヘッドステージを駆動して上記塗布ノズルを上記基板の側辺部に沿う方向に移動させるＸ駆動源７と、ヘッドステージに設けられ塗布ノズルによって液晶パネルとタブとの接続部分に塗布された光硬化性樹脂に照射光を照射して硬化させる光照射部１４とを具備する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、感光性樹脂組成物、感光性樹脂組成物で形成された薄膜を含む薄膜表示板、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】
本発明による感光性樹脂組成物は、アクリル樹脂、キノンジアジド化合物、及び溶剤を含む。前記溶剤は、プロピレングリコールアルキルエーテルアセテート及びトリメチルペンタンジオールモノイソブチルレートを含む。前記プロピレングリコールアルキルエーテルアセテートは、１〜５個の炭素原子を含むアルキル基を含む。感光性樹脂組成物は、表示装置用薄膜表示板に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】 塗布液の吐出圧力のリニアリティが十分で、メンテナンスが容易である塗布液供給装置を提供する。
【解決手段】 塗布液供給装置の一形態であるレジスト供給装置１１は、レジスト液が充填される可撓性のチューブ３３の外周に作動油２５を充填するための作動油充填スペース３４が形成されてなるチューブフラム３１と、作動油充填スペース３４に作動油２５を送液することによりチューブ３３を収縮させ、その内部に充填されたレジスト液を押し出すためのポンプ３２を具備する。ポンプ３２を、その上面が開口するようにその長手方向を略鉛直にして配置され、その内部に作動油が充填されるシリンダ３６と、シリンダ３６に嵌挿されるピストン３７と、ピストン３７をその長さ方向に往復運動させるピストン駆動機構３８から構成した。 （もっと読む）

【課題】着色フォトレジストを塗布する塗布装置において、次のレジスト缶に交換するためにレジスト缶から配管の先端部を取り外しても、最下部から配管内の着色フォトレジストが逆流し、レジスト缶の近辺に吐出されない逆止弁を提供する。
【解決手段】１）配管２３と接続する上部口１１、ホーン状の中空部１２、段部１３を有するフランジ１０、２）チャックキャップ５０を固定する頭部３１、ホーン状の中空部３２、先端口３３を有し、中空部の下部と先端口の堺を弁座３４とするヘッドノズル３０、３）段部と頭部の間に固定され、チャックボールの流出を防止する貫通口５１を有するチャックキャップ５０、４）チャックキャップの下方、ヘッドノズルの中空部内に封入されるチャックボール７０を具備すること。 （もっと読む）

【課題】微小な異物であっても、あるいは、非常に低い高さの基板の隆起部分であっても、検出漏れをなくし、塗布ヘッドの保護を確実にしたスリットコート式塗布装置およびスリットコート式塗布方法を提供する。
【解決手段】基板１０を塗布ヘッド２に対して相対移動する相対移動手段とを備えたスリットコート式塗布装置１は、塗布対象である平面の基板１０の被塗布面上に塗布流体をスリット状の開口部から流出する塗布ヘッド２と、前記塗布ヘッドと一体に併設されている板状部材４と、前記板状部材の先端にあり基板面と平行に直線状の形状をなしている先端部５と、板状部材より塗布方向の上流にあり、異物などを検知するレーザーによる検知部６とからなる。 （もっと読む）

本発明は、光重合可能なエチレン性不飽和基を側鎖に有する樹脂を少なくとも１種類と３つ以上のエチレン性不飽和基を有し、粘度が２５℃、１気圧下において２０００ｍＰａ・ｓ以上である感光性化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物であり、それを用いた配線基板の製造方法に関する。 （もっと読む）

【課題】 レーザビーム走査露光による画像記録が可能であり、画像記録したものを実質的に現像工程を経ることなしに、そのまま印刷機に装着し印刷機上で現像し、印刷することが可能なロール状に形成された平版印刷版を製造する、現像不要な感熱性平版印刷版用版材を製造する方法と、それにより製造された感熱性平版印刷版用版材を提供する。
【解決手段】 現像不要な感熱性平版印刷版用版材を製造する方法において、連続搬送される帯状支持体上に熱溶融性微粒子及び親水性微粒子を含む塗布液をスライドコーターで塗布を行い、次いでフローターを用いた乾燥装置で乾燥することを特徴とする感熱性平版印刷版用版材の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ワークに設けられた液状材料の被膜から溶媒を除去する際、ワークの表面の温度を略均一にすることができ、均一な膜厚の（平坦度の高い）膜を形成することができる溶媒除去装置および溶媒除去方法を提供する。
【解決手段】溶媒除去装置１は、液状材料の被膜３１が設けられたワークを支持するワーク支持手段と、前記ワークを加熱する加熱手段と、前記ワークを介して前記加熱手段と反対側に設けられ、前記被膜３１が設けられている部位の前記ワークの表面の温度が略均一になるように前記ワークを冷却および／または加熱して、前記ワークの温度分布を調整する温度均一化手段６とを備え、前記温度均一化手段６により前記被膜３１が設けられている部位の前記ワークの表面の温度を略均一にしつつ、前記加熱手段により前記ワークを加熱して、前記被膜３１から溶媒を除去することを特徴とする。 （もっと読む）