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国際特許分類[G03F7/30]の内容

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【課題】現像液の濾過装置に使用する限外濾過フィルターの逆洗浄方法を改良し、濾過効率の向上と限外濾過フィルターの長寿命化を実現する現像液濾過装置を提供すること。
【解決手段】複数の限外濾過フィルターを有する現像液濾過装置であって、限外濾過フィルターの濾液を貯留するA、B、2基の逆洗浄タンクを有し、1つの限外濾過フィルターの濾液を逆洗浄タンクAに貯留し、この濾液を用いて該限外濾過フィルターの逆洗浄を行う一連の逆洗浄工程と、他の1つの限外濾過フィルターの濾液を逆洗浄タンクBに貯留し、この濾液を用いて該限外濾過フィルターの逆洗浄を行う一連の逆洗浄工程を含み、該2つの一連の逆洗浄工程を、その時間周期をほぼ2分の1ずらして交互に実施し、現像液濾過装置に含まれるすべての限外濾過フィルターに対して、順次逆洗浄を実施することを特徴とする現像液濾過装置。 (もっと読む)


【課題】現像方式の異なる被処理基板にそれぞれ対応することができ、且つフットプリントの増加を低く抑えることのできる現像処理装置を提供する。
【解決手段】露光処理後の被処理基板Gに対し現像処理を施す現像処理装置30であって、被処理基板Gに対する所定の現像処理機構を有する第一の現像処理部31と、基板搬送方向に沿って、前記第一の現像処理部31の後段に配列され、前記第一の現像処理部31とは異なる現像処理機構を有する第二の現像処理部34と、前記第一の現像処理部31の上方に設けられ、前記被処理基板Gを、前記第一の現像処理部31をバイパスさせて前記第二の現像処理部34に搬送する第一の基板搬送部32と、前記第二の現像処理機構34の上方に設けられ、前記第一の現像処理機構31により現像処理が施された被処理基板Gを、前記第二の現像処理部34をバイパスさせて後段に搬送する第二の基板搬送部35とを備える。 (もっと読む)


【課題】高品質の平版印刷版を作製することが可能な平版印刷版原版の自動現像装置と平版印刷版原版の処理方法を提供する。
【解決手段】平版印刷版原版の画像記録層を現像処理する現像液を、現像処理が行なわれる経路の外に回収可能な外部タンクを備え、外部タンクに収容された現像液を加熱して、現像液中に凝集物を発生させる外部タンク加熱部と、凝集物を捕集するフィルタ部とを備えている。 (もっと読む)


【課題】高品質の平版印刷版を作製することが可能な平版印刷版原版の自動現像装置と平版印刷版原版の処理方法を提供する。
【解決手段】支持体上に形成された画像記録層に画像露光された平版印刷版原版を現像する平版印刷版原版の自動現像装置であって、平版印刷版原版の画像記録層を現像処理する現像液に、波長200nmから450nmの光を照射して、現像液中に凝集物を発生させる光照射部と、凝集物を捕集するフィルタ部とを備えている。 (もっと読む)


【課題】解像度が高く、画像エッジ部の直線性に優れたフォトマスクを形成しうるフォトマスクの製造方法を提供する。
【解決手段】透明基材上に、遮光材料、光重合開始剤、エチレン性不飽和化合物、及びバインダーポリマーを含む感光層と、酸素遮断性層とを順次備えるフォトマスブランクスを画像露光する露光工程と、感光性層及び酸素遮断性層の未露光領域を除去する現像工程と、水洗工程とを有し、該現像工程における、露光後のフォトマスクブランクスに、フォトマスクブランクス表面での圧力が1〜10kPaとなるように現像液を接触させる高圧現像処理工程、及び、該水洗工程における、現像後のフォトマスクブランクス表面に、表面での圧力が1〜10kPaとなるように水洗水を接触させる高圧水洗工程、の少なくとも一工程を実施するフォトマスクの製造方法。 (もっと読む)


【課題】高品質の平版印刷版を作製することが可能な平版印刷版原版の自動現像装置と平版印刷版原版の処理方法を提供する。
【解決手段】現像処理時以外のときに、平版印刷版原版の画像記録層を現像処理する現像液を雰囲気の温度より低い温度に冷却する現像液冷却手段を備えている。 (もっと読む)


【課題】高品質の平版印刷版を作製することが可能な平版印刷版原版の自動現像装置と平版印刷版原版の処理方法を提供する。
【解決手段】支持体上に形成された画像記録層に画像露光された平版印刷版原版を現像する平版印刷版原版の自動現像装置であって、平版印刷版原版の画像記録層を現像処理する現像液に超音波を発振し、現像液中に凝集物を発生させる超音波発振部と、凝集物を捕集するフィルタ部とを備えている。 (もっと読む)


【課題】メンテナンスが容易な基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置100は、インデクサブロック11、塗布ブロック12、現像ブロック13およびインターフェイスブロック14を備える。塗布ブロック12は、塗布処理部121、搬送部122および熱処理部123を備える。現像ブロック13は、現像処理部131、搬送部132および熱処理部133を備える。熱処理部123,133は、搬送部122,132から離間する方向に移動可能に設けられる。熱処理部123,133を移動させることにより、熱処理部123と搬送部122との間に作業スペース200が形成され、熱処理部133と搬送部132との間に作業スペース300が形成される。 (もっと読む)


【課題】優れた処理能力を発揮し、得られる版の性能を損なうことなく、処理工程の簡素化が可能な平版印刷版の作製方法を提供する
【解決手段】増感色素、重合開始剤、エチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性化合物、及びバインダーポリマーを含有する画像記録層が親水性支持体上に設けられた平版印刷版4の原版を画像露光し、低分子ヒドロキシカルボン酸イオン、pH緩衝剤、及び界面活性剤、並びに水溶性樹脂を含有するpH8.5〜10.8の水溶液で満たされる現像槽20と、該現像槽20を含む処理パスラインの外に設けられた外部タンク5との間で、該現像槽20の液面を一定に保つように前記水溶液を循環させながら、画像露光された前記平版印刷版4の原版を該現像槽20に浸漬した状態で処理する。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、平版印刷版材料に対して像様露光後に平版印刷版を得るのに、現像処理が必要な平版印刷版材料と、不要な平版印刷版材料とを、同一の露光、現像装置で容易に同時に並行して取り扱い処理して平版印刷版を得ることができる平版印刷版の製版装置、平版印刷版の製版方法、および平版印刷版材料の搬送振り分け装置を提供することにある。
【解決手段】平版印刷版材料に対して、露光する露光手段と、露光後の該平版印刷版材料の種類を現像が必要なまたは不要な種類に判別する判別手段と、該判別手段の判別結果に対応してそれぞれ該平版印刷版材料の搬送先を現像が必要な平版印刷版材料用の現像処理手段または現像が不要な平版印刷版材料用のストッカに搬送振り分ける搬送振り分け手段、および該現像が必要な平版印刷版材料用の現像処理手段を有することを特徴とする平版印刷版の製版装置。 (もっと読む)


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