【課題】レジストパターンの線幅を含んだパターン情報を求めるにあたり、そのパターン情報の精度を向上させることができる塗布、現像装置を提供すること。
【解決手段】下地膜を形成するときの処理パラメータに応じて基板面内の下地膜の膜厚分布を求める手段と、光照射部の照射領域から反射された光を受光する受光部が受光した光についてその波長と光強度との関係を示す光強度分布を取得する手段と、レジストパターンのパターン情報と、下地膜の膜厚と、前記光強度分布とを対応付けたデータが記憶された記憶部と、前記光照射部の光の照射位置における下地膜の膜厚を前記膜厚分布から求め、その下地膜の膜厚と取得した光強度分布とに対応するパターン情報を前記データに基づいて求める手段と、を備えるように塗布、現像装置を構成し、膜厚分布によるパターン形状の測定誤差を抑える。 （もっと読む）

【課題】はんだ耐熱性、長期信頼性、電気絶縁性の改善などのため無機フィラーを添加しても残渣を抑制でき、かつ基板およびフォトレジストにダメージがなく、コスト削減が可能となるフォトレジストの現像方法および装置を提供する。
【解決手段】基板８にフォトレジスト１１を形成し、露光した後、現像液２中に浸漬させ、現像液２中に電圧を印加しながら現像を行う。この際、電源４を駆動し、電極５、６により現像液２に電圧を印加する。現像液２への電圧印加は、基板８の浸漬に先だってするのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ネガ型平版印刷版原版を用いて、水溶性樹脂を含有する水溶液による現像を採用するにあたって、良好な現像性を発揮し、細線再現性に優れ、現像カスの発生を抑制し、さらにＵＶインキ（紫外線硬化インキ）を用いた印刷を行っても細線に挟まれた非画像部が汚れ難く、耐刷性も備えた、平版印刷版の製版方法を提供する。そのように製版された平版印刷版を用いた平版印刷方法を提供する。
【解決手段】親水性支持体上に、マレイミド由来の環状構造及び親水性基を分子内に有する高分子化合物を含有する光重合層を有することを特徴とするネガ型平版印刷版原版を、レーザーで画像様に露光した後、水溶性樹脂を有する水溶液を接触させブラシで擦る現像処理を施して光重合層の未露光部分を除去することを特徴とする平版印刷版の製版方法；上記のように製版された平版印刷版を、印刷機に取り付け、該平版印刷版に油性インキと水性成分とを供給して印刷する平版印刷方法。 （もっと読む）

【課題】耐刷性と耐汚れ性が共に優れた平版印刷版を作製することができ、画像露光前に保存した場合でも、耐汚れ性が良好に維持される平版印刷版原版を提供すること。
【解決手段】支持体上に、中間層と画像形成層とをこの順に有し、前記中間層が、特定の繰り返し単位を含む重合体を含有することを特徴とする平版印刷版原版。 （もっと読む）

【課題】ネガ型平版印刷版原版を用いて、水溶性樹脂を含有する水溶液による現像を採用するにあたって、良好な現像性を発揮し、細線再現性に優れ、現像カスの発生を抑制し、さらにＵＶインキ（紫外線硬化インキ）を用いた印刷を行っても細線に挟まれた非画像部が汚れ難く、耐刷性も備えた、平版印刷版の製版方法を提供する。そのように製版された平版印刷版を用いた平版印刷方法を提供する。
【解決手段】親水性支持体上に、スルホンアミド基及び親水性基を分子内に有する高分子化合物を含有する光重合層を有するネガ型平版印刷版原版を、レーザーで画像様に露光した後、水溶性樹脂を有する水溶液を接触させブラシで擦る現像処理を施して光重合層の未露光部分を除去することを特徴とする平版印刷版の製版方法；上記のように製版された平版印刷版を、印刷機に取り付け、該平版印刷版に油性インキと水性成分とを供給して印刷する平版印刷方法。 （もっと読む）

【課題】高い精細性とベタ部の高い濃度をバランスよく印刷でき、かつ版面のインキ汚れを長期間防止し、版拭きなどの印刷作業時の煩雑な操作を極力防止できる感光性樹脂版の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、露光工程、現像工程および後露光工程を含む凸版印刷用水現像感光性樹脂版の製造方法であって、露光工程以降に変性シリコーン化合物および／またはフッ素化合物を含有する液と感光性樹脂版を接触させることを含む、上記方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】自由度を損なうことなく高解像度を実現する微細構造の作製方法を提供すること。
【解決手段】まず、図１（ｂ）のように、ネガ型レジスト１０２を基板１０１に塗布する。次に、図１（ｃ）のように、ネガ型レジスト１０２に、電子ビーム（エネルギービームに対応）１０３を第１のパターンで照射する（第１の露光ステップ）。ついで、図１（ｄ）のように、ネガ型レジスト１０２を現像して、ブロック状（第１の構造に対応）のレジスト１０２Ａを形成する（第１の現像ステップ）。そして、図１（ｅ）のように、ブロック状のレジスト１０２Ａに、電子ビーム１０３を第１のパターンとは異なる第２のパターンで照射する（第２の露光ステップ）。最後に、図１（ｆ）のように、ブロック状のレジスト１０２Ａを現像して、３本の直交ナノワイヤ状（第２の構造に対応）のレジスト１０２Ｂを形成する（第２の現像ステップ）。 （もっと読む）

【課題】酸性から中性領域で現像可能であり、その際に問題となる耐傷性および現像性、更に現像によって除去した保護層成分（現像カス）の分散安定性の問題を克服した平版印刷版の製版方法及び平版印刷版原版を提供すること。
【解決手段】親水性支持体上に、（Ａ）増感色素、（Ｂ）重合開始剤、（Ｃ）重合性化合物、（Ｄ）バインダーポリマーを含有する感光層と、（Ｅ）少なくとも１種のポリビニルアルコール、（Ｆ）無機フィラー、（Ｇ）カルボン酸を含有するモノマー単位を９０モル％以上含む重合体を含有する保護層とをこの順に有する平版印刷版原版を画像露光した後、ｐＨが２〜８の現像液で保護層および非露光部の感光層を除去することを特徴とする平版印刷版の作製方法及び平版印刷版原版。 （もっと読む）

【課題】現像後のリンス処理における現像液濃度の偏りに起因するムラを防止する現像装置及び現像方法の提供。
【解決手段】基板上に現像液を供給する現像液供給機構と、基板上にリンス液を吐出するリンスノズル２とリンスノズルにリンス液を供給するバッファタンク３とバッファタンクに純水を供給する純水配管７及びエアオペレートバルブ６とバッファタンクに現像液を供給する現像液配管４及びエアオペレートバルブ５とバッファタンク内のリンス液の現像液濃度を測定し、現像液濃度が所望の値になるようにエアオペレートバルブ５、６の開閉を制御する現像液濃度測定部８とを少なくとも備えるリンス液供給機構とを少なくとも備え、現像液濃度測定部８は、基板上に現像液が供給された後、リンス液を吐出する際に、リンス液の現像液濃度をリンス処理の時間経過に伴って徐々に低下させる。 （もっと読む）

【課題】高品質の平版印刷版を作製することが可能な平版印刷版を作製できる自動現像装置とその方法を提供する。
【解決手段】支持体上の画像記録層が画像露光された平版印刷版原板４を炭酸イオン、炭酸水素イオン及び水溶性高分子化合物を含有する水溶液の満たされた現像槽２０に浸漬した状態で非画像部の除去が行われる浸漬型平版印刷版用自動現像装置２において、処理パスラインを形成する浸漬型の現像槽２０と処理パスライン外に設けた外部タンク５５との間で上記水溶液からなる現像液を浸漬型の現像槽２０の液面を一定に保つように循環させるようにした。
【代表図】図１ （もっと読む）