【課題】 外部から衝撃等が加わっても容量値を保持することができる可変容量素子を提供する。
【解決手段】 可変容量素子１を、第１，第２の基板２，３に挟まれた機能層４を用いて形成する。機能層４には、支持部５、可動部６および支持梁７を形成する。このとき、可動部６は、第１の基板２に設けた信号電極９と対向すると共に、第２の基板３に設けた駆動電極１０と対向する。また、第２の基板３から突出した梁押付け部１２は、支持梁７の中間受け部８を第１の基板２に向けて押付ける。これにより、初期状態では、可動部６を信号電極９に向けて付勢し、可動部６と信号電極９との間に最小の間隔寸法をもった狭ギャップＧ1を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】基体上に形成され密閉空間内に封止された封止対象物を有するデバイスを製造する際に、犠牲層除去のための開口の配置の自由度を高める。
【解決手段】基体１１上に形成され密閉空間内に封止された封止対象物を有するデバイスを製造する。基体１１上に形成された封止対象物を覆うように第１の犠牲層１０２を形成する。第１の犠牲層１０２上に、複数の第１の開口５１ａを有する第１の板状部５１を形成する。第１の板状部５１を覆うように第２の犠牲層１０３形成する。第２の犠牲層１０３上に、複数の第１の開口５１ａからずれた位置に複数の第２の開口５２ａを有する第２の板状部５２を形成する。第１及び第２の開口５１ａ，５２ａを通じて第１の犠牲層１０２を除去するとともに、第２の開口５２ａを通じて第２の犠牲層１０３を除去する。その後、複数の第２の開口５２ａを封止する。 （もっと読む）

【課題】広い温度範囲に渡って可動電極を固定電極に安定して接触させ、再現性や信頼性が優れ、大きな最大容量値を持つＭＥＭＳ可変キャパシタを提供する。
【解決手段】一端が基板に固定された第１の接続梁と、それに接続された第１の駆動梁と、第１の駆動梁に接続され、逆方向に延伸する第２の駆動梁と、一端が基板に固定された第２の接続梁と、それに接続された第３の駆動梁と、第３の駆動梁に接続され、逆方向に延伸する第４の駆動梁と、第２、第４の駆動梁の端の間に設けられた可動電極と、可動電極と対向して基板に設けられた固定電極と、を備え、第１〜第４の駆動梁は、下部電極および上部電極に挟まれた圧電膜を有し、第１及び第３の駆動梁が直線上に、第２及び第４の駆動梁が直線上に、第１及び第２の駆動梁と、第３及び第４の駆動梁と、が線対称に、配置されるＭＥＭＳ可変キャパシタが提供される。 （もっと読む）

【課題】配線の寄生容量を低減することで、容量比または絶縁特性を向上し、また、気密性試験の精度を向上するＭＥＭＳ装置を提供する。
【解決手段】微小電気機械システムが設けられた基板と、前記基板に接合され微小電気機械システムを気密封止する封止キャップであって、微小可動構造体１１３を主構成要素とする微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）１３０に対向する第１主面側に設けられ、前記微小電気機械システム１３０を収容する第１凹部２０８と、前記微小電気機械システムの電極と接続され、前記第１主面に対して略垂直な方向に延在する複数の埋め込み電極２０７と、前記第１主面側において、隣接する前記埋め込み電極２０７どうしの間に設けられ第１凹部２０８と連通した第２凹部２０９と、を有する封止キャップと、を備えた。 （もっと読む）

【課題】高い可変比を有するＭＥＭＳ可変容量キャパシタを備えた電気部品を提供する。
【解決手段】基板１１の主面に形成され、基板１１と反対側の第１の面１２ａが絶縁膜１３で覆われた第１電極１２と、第１電極１２の第１の面１２ａと離間して対向する第１の面１４ａを有し、アクチュエータ部により駆動される第２電極１４と、第２電極１４の第１の面１４ａに形成され、熱履歴により第２電極１４の第１の面１４ａが粗面化するのを防止するための第１保護膜１５と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 マイクロマシンの振動を抑えることにより、出力信号のノイズを低減できるマイクロマシン装置及びマイクロマシン装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 主面上に信号用配線１５が設けられた基板１１と、前記基板１１の前記主面上に設けられ、前記信号用配線１５を跨ぐ梁部１６を有し、電界の作用により前記梁部が前記信号用配線に接離するように弾性変形するとともに、該変形に伴って電気特性を変化させるマイクロマシン１６と、前記梁部の前記信号線１５と反対側に配置され、前記梁部の前記信号線から離間する変形を規制する規制ブリッジ１８と、前記基板１１の主面上に設けられ、中空部１７を介して前記マイクロマシンを覆う封止体２０と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 マイクロマシンの振動を収まりやすくすることにより、出力信号のノイズを低減できるマイクロマシン装置及びマイクロマシン装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 主面上に信号用配線１５が設けられた基板１１と、前記基板１１の前記主面上に搭載され、導電材から梁状に構成され、電界の作用により前記信号用配線に接離するように弾性変形するとともに、該変形に伴って電気特性を変化させるマイクロマシン１６と、前記導電材よりも粘性係数が高い材料で構成され、前記マイクロマシン１６の前記信号用配線１５と反対側に設けられ、前記マイクロマシン１６の前記信号用配線１５から離間する方向への変形を規制する変形規制部１８と、前記基板１１の主面上に設けられ、中空部を介して前記マイクロマシンを覆う封止体２１、２２と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 マイクロマシンの振動を抑えることにより、出力信号のノイズを低減できるマイクロマシン装置及びマイクロマシン装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 マイクロマシン装置１は、その主面上に信号線１５が設けられた基板１１と、前記基板１１の前記主面上に前記信号線１５を跨いで設けられ、前記信号線１５を中心として一方側と他方側との構造が非対称な両持の梁形状部分１６ａが、電界の作用により梁形状部分１６ａが前記信号線に対して接離する方向に弾性変形可能に保持されるマイクロマシン１６と、前記基板１１の主面上に設けられ、中空部１７を介して前記マイクロマシンを覆う封止体２１と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マイクロマシンの振動を収まりやすくすることにより、出力信号のノイズを低減できるマイクロマシン装置を提供する。
【解決手段】マイクロマシン装置１は、主面上に信号線が設けられた基板１１と、前記基板１１の前記主面上に前記信号線１５を跨いで設けられ、梁形状部分を構成し、前記信号線１５側の寸法が前記信号線１５と反対側の寸法よりも大きい開口１６ｂが形成され、電界の作用により前記梁形状部分が前記信号線１５に対して接離するように弾性変形するとともに、該変形に伴って電気特性を変化させるマイクロマシン１６と、前記基板１１の主面上に設けられ、中空部を介して前記マイクロマシンを覆う封止体２１，２２と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高いＱ値を持つ可変容量部を実現して、回路損失を減らすことができる高周波電気素子を提供する。
【解決手段】高周波電気素子である高周波ＭＥＭＳ１は、シリコン基板２と、シリコン基板２上に互いに交差するように形成された高周波信号ライン５とグランドライン４と、高周波信号ライン５とグランドライン４の梁８との交差する部分において高周波信号ライン５とグランドライン４の少なくとも一方に形成され、高周波信号ライン５とグランドライン４が接離方向に相対変位可能に支持される可変容量部１３を構成する誘電体膜８と、を備える。 （もっと読む）