【課題】固定電極に対して可変電極を押圧して、その押圧力を固体誘電体に付加したとき、その押圧力が固体誘電体に対して二次元的情報として反映される構造の可変コンデンサを提供する。
【解決手段】固定電極１１と、その固定電極の上に導電性接着材１２を介して接合された誘電体セラミックス層１３と、その誘電体セラミック層の上方に所定空間Ｓを介して基端部１４ａで支持体１５に片持ち支持した可変電極１４とを以て可変コンデンサを構成するとともに、その可変コンデンサの可変電極の先端部を前記誘電体セラミックス層に向かって押圧したとき、その押圧力に相応して可変電極と前記誘電体セラミック層との接触面積が変化させるようにする。 （もっと読む）

【課題】小型な可変容量素子を提供する。
【解決手段】可変容量素子は、基板１０と、基板１０上に設けられる信号線路１と、基板１０上に設けられる固定電極７と、信号線路１を跨いで固定電極７の上方まで延び、前記固定電極７に対して可動である可動部と、固定電極７に誘電体層９を挟んで固定される固定部と、を含む可動電極３ａとを備える。 （もっと読む）

【課題】 圧電駆動型ＭＥＭＳ素子の、バリキャップのＱ値の増加、又はスイッチの通過損失の低減を目的とする。
【解決手段】 圧電駆動型ＭＥＭＳ素子は基板と前記基板上に梁の一方の端部を固定して、梁の少なくとも一部を中空状に保持する固定部と、下部電極膜と，前記下部電極膜上に形成された下部圧電膜と，前記下部圧電膜上に形成された中間電極膜と，前記中間電極膜上に形成された上部圧電膜と，前記上部圧電膜上に形成された上部電極膜とを有する梁と，前記梁の下部電極膜及び上部電極膜と，中間電極膜との間に電圧を印加する電源部と，前記梁の固定部とは反対側の端部と電気回路を構成する基板上に配置された固定電極とを備え，前記下部電極膜，前記中間電極膜，前記上部電極膜のうちいずれか１つ又は２つの電極膜が他の前記電極膜より厚いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】フィルタにおいて通過帯域の中心周波数とともに通過帯域幅を調整すること。
【解決手段】高周波信号が入力される入力点１３からそれぞれ延びる第１の共振線路１２ａおよび第２の共振線路１２ｂが設けられ、第１の共振線路１２ａの伝搬長Ｌ₁ および第２の共振線路１２ｂの伝搬長Ｌ₂ が、Ｌ₁ ＝〔λ₁ ／４〕×ｎ、Ｌ₂ ＝〔λ₂ ／４〕×ｎ、但し、λ₁ 、λ₂ は特定の高周波信号の波長、ｎは正の奇数、に設定される。 （もっと読む）

【課題】電圧の印加によって可動電極と固定電極との距離が変動しにくいＭＥＭＳチューナブルキャパシタを提供する。
【解決手段】デバイス１０は、基板の表面Ｐ上に形成された信号ライン１２と、これを挟む位置に２対またはそれ以上立設された柱状のアンカー２０と、信号ライン１２を挟む位置に立設された板状の固定電極１４と、アンカー２０から延設されたバネ１８で信号ライン１２上の空間に固定電極１４に挟まれるように懸架された板状の可動電極１６とからなる。アンカー２０は信号ライン１２の長手方向両端近傍で固定電極１４の外側位置に固定され、先端部には信号ライン１２を跨ぐようにバネ１８が設けられる。対になったアンカー２０から信号ライン１２を跨いで延設された一対のバネ１８は信号ライン１２の上の空間で信号ライン１２の長手方向に沿って設けられた可動電極１６を懸架し、可動電極１６は固定電極１４の中間に、これと平行に位置する。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ素子の素子特性を向上する。
【解決手段】本発明の例に関わるＭＥＭＳ素子は、基板１上に設けられる第１の電極１２と、第１の電極１２上方に設けられ、第１の電極１２に向かって機械的に駆動される第２の電極１６と、第２の電極１６を中空に支え、幅方向の端部に下向きの凸部分を有する側壁部２２が設けられている梁２１Ａと、備える。 （もっと読む）

【課題】耐湿性等の信頼性を向上させたコンデンサを提供する。
【解決手段】コンデンサは、半導体基板１００の貫通孔１２３を覆うように形成された第１の膜１０２と、第１の膜１０２の上方に第１の膜１０２と対向するように形成された第２の膜１１５とを備えている。第２の膜１１５は、半導体基板１００の貫通孔１２３上に位置する複数の第１の孔１２４と、複数の第１の孔１２４よりも開口面積が大きい少なくとも１つの第２の孔１２６とを有している。第２の孔１２６は、第１の膜１０２のうち貫通孔１２３に露出した部分よりも外側の部分と対向する領域のみに存在している。 （もっと読む）

【課題】小型化することができるフィルタ、フィルタモジュール、通信装置を実現する。
【解決手段】基板と、基板上に形成され分布定数伝送線路からなる入力線路２ａと出力線路２ｄとが接点３で直列接続された信号線路と、信号線路の接点３に接続された分布定数伝送線路からなる共振線路２ｂ，２ｃとを備え、共振線路２ｂ，２ｃは、信号線路とグランドとの間に接続されている。 （もっと読む）

【課題】寄生ＬＣＲが小さく、小型な可変容量素子を提供する。
【解決手段】可変容量素子は、基板１０に設けられた信号線路１と、前記信号線路１を跨ぐように設けられ、両端が基板１０に対して固定された可動電極３ａ、３ｂ、３ｃと、可動電極３ａ、３ｂ、３ｃの両端のうち少なくとも一端と基板１０との間に設けられる固定容量４ａ、４ｂ、４ｃを有する。 （もっと読む）

【課題】安定した初期静電容量値を実現するのに適し且つ低駆動電圧化を図るのに適した可変キャパシタ、および、そのような可変キャパシタの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の可変キャパシタＸ１は、例えば、固定電極１２と、固定電極１２に対向する可動電極膜１３と、固定電極１２とは反対の側において可動電極膜１３に対向するストッパ部１７とを備える。本発明の可変キャパシタ製造方法は、基材上に第１電極を形成する工程と、第１電極の上位に第１犠牲膜を形成する工程と、第１犠牲膜上に第２電極を形成する工程と、第２電極上に第２犠牲膜を形成する工程と、第２犠牲膜上にストッパ部を形成する工程と、第１および第２犠牲膜を除去する工程とを含む。 （もっと読む）