マイクロ電子−機械的可変キャパシタ装置は、第１の基板24と、基板の第１の表面に配置される第１のコンタクト34と、基板の第１の表面の上方に配置されるピエゾ電気アクチュエイタ16と、アクチュエイタに結合され第１のコンタクトに近接して配置される第２のコンタクト18と、第２のコンタクトに関する第１のコンタクトの移動を限定する基板とアクチュエイタとの間に配置されたギャップ制御機構とを含んでいる。実施例ではギャップ制御機構は誘電体材料で構成されたギャップ制御停止部37である。実際には複数の停止部が使用される。実施形態では複数の超音波熱圧縮結合部25がアクチュエイタを第１の基板に接続するのに使用される。第２の基板14はピエゾ電気アクチュエイタ上に配置される。第２の基板は結合部への結合ツールの適用を容易にするウェル15、17を結合部上に有する。ギャップ制御機構は、高温に露出せずにフリップチップとベース基板との間で一定の高さ制御を行う。 （もっと読む）

【課題】設計した容量値に対してばらつきが少なく、外部からの振動やノイズ等がある場合でも安定した容量値を実現できるとともに、電子回路に組み込んだときにも所望の容量値を実現でき、生産性高く、電子回路全体として小型化を可能とする可変容量コンデンサを提供する。
【解決手段】基板１上に下部電極２が形成され、下部電極２に対向させて上部電極４が配置され、下部電極２と上部電極４との間に、上部電極４を複数の可動領域に分けてそれぞれを下部電極２側に変位させるための絶縁性の支持部材３が配置されているとともに、下部電極２は、それぞれ少なくとも一部が可動領域に対向しており、可動領域を駆動するための制御電圧が印加される複数の第１の下部電極２ａと、この第１の下部電極２ａと分離されて少なくとも一部が可動領域に対向しており、可動領域との間で容量を形成する第２の下部電極２ｂとからなる可変容量コンデンサである。 （もっと読む）

【課題】 従来技術のコンデンサのようなすべり接点が存在しない、マイクロコンデンサを製作する。
【解決手段】 共通の極板に隣接して配置された様々な幅の梁または極板の組合せを有する、デジタル同調式コンデンサである。極板は、組み合わさって共通の極板に対して前後に直線移動し、調節可能な所望のキャパシタンスを実現する。 （もっと読む）

本発明は、可変キャパシタンスに基づいて撓み距離だけ隔離された第１のプレート及び第２のプレートを有する、静電気的に制御される微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）素子（２６）と、ある電荷量を蓄積するよう構成された電荷蓄積素子（２２）と、スイッチ回路（１８）とを備える、微小電気機械システム（１０）を提供する。前記電荷蓄積素子と前記ＭＥＭＳ素子との間で前記電荷量を分配して、該電荷蓄積素子と該ＭＥＭＳ素子とを同じ電圧に均等化することによって、ＭＥＭＳ素子の可変キャパシタンスを制御するよう前記スイッチ回路が構成される。
（もっと読む）

【課題】 圧電駆動機構を持つＭＥＭＳ容量可変キャパシタの構造上の大きな問題点、す
なわち容量可変キャパシタの可動電極と固定電極の距離や容量を一定に作成し、再現性や
信頼性のある制御性を得る。
【解決手段】 可動電極１２が複数配置された可動ヘッド部１１、基板１表面に形成され
、可動電極１２と対向する複数の固定電極１３、可動ヘッド部１１に連結され、一端が前
記基板１に固定されている圧電駆動部９とを有しており、可動電極１２と固定電極１３と
で容量可変キャパシタを構成する。 （もっと読む）

電気的に駆動されることによって変位する変位部材の、初期状態での位置を安定させ、変位部材に対する位置制御性を優れたものとする。
その固定端部（１５）が固定部（１７）に固定される、片持ち梁（１２，１３）と、片持ち梁の自由端部（１８）に固定される、連結部材（１９）と、その基端部（２０）が連結部材に固定されかつ片持ち梁とは平行に折り返すように延びる、折り返し梁（１４）と、折り返し梁の先端部（２１）に固定される、変位部材（２２）とを備える。片持ち梁（１２，１３）と折り返し梁（１４）とは、互いに同じ積層構造かつ互いに同じ幾何学的形態を有し、さらに、長手方向寸法が互いに等しくされる。作製直後の初期状態において、片持ち梁（１２，１３）と折り返し梁（１４）とに反りが生じていたとしても、これらの反りは互いに同等であるので、変位部材（２２）の高さ位置は、一定に保つことができる。
（もっと読む）

両持ち状態の梁を有し、初期状態での絶対位置の制御性に優れた変位素子を提供する。複数の機能材料層（１３〜１６）を厚み方向に積層した構造を有する梁（１２）において、その有効撓み部分（２５）の中央部（２６）に、厚み付与部材（２７）を配置するとともに、有効撓み部分（２５）を、第１の支点（２３）と第２の支点（２４）との垂直二等分面（２８）に関して対称とし、第１の片側撓み部分（３０）については、第１の支点（２３）と第１の内端（２９）との垂直二等分面（３１）に関して対称とし、第２の片側撓み部分（３３）については、第２の支点（２４）と第２の内端（３２）との垂直二等分面（３４）に関して対称とする。 （もっと読む）

基板上に基層及び機械層を設けることと、基層と機械層との間に犠牲層を設けることと、犠牲層と基板との間にエッチストップ層を設けることと、ドライ化学エッチングを用いて犠牲層を除去することとを含み、ドライ化学エッチングはフッ素含有プラズマを用いて行われ、エッチストップ層は、ＨｆＯ_２，ＺｒＯ_２，Ａｌ_２Ｏ_３及びＴｉＯ_２のような実質的に非導電性のフッ素の化学作用を起こさない材料を有するマイクロマシン技術（ＭＥＭＳ）デバイスの製造方法である。
（もっと読む）

本発明は、ゼロの力を含む連続的な範囲の印加力に対して印加力の差を検出するように構成された、新規な容量性デバイスを提供する。このデバイスは、停止位置において互いに所定の距離だけ間隔をおいて離れている第１および第２の電極を含む。第１の電極と第２の電極との間には測定可能な容量が存在する。第１の電極と第２の電極との間の所定の距離を制御するために、所定の最大寸法を有する構造化素子がデバイス内に配置される。デバイスへの印加力により、第１の電極と第２の電極との間の距離が変化し、関連して容量が変化する。この容量の変化を測定することによって、印加力に関連した情報を特定することが可能である。
（もっと読む）