【課題】高周波信号の損失を低減することができるＭＥＭＳデバイスを提供すること。
【解決手段】基板１１と、基板１１上に設けられ、信号が通過する固定電極１２と、基板１１の上方に固定電極１２と対向して設けられ、信号が通過する可動電極１４と、基板１１内に設けられ、可動電極１４を変位させるための駆動電圧を印加するための駆動配線ＤＬと、基板１１内に形成された第一のビアホールに設けられた信号を遮断するためのビア抵抗ＲＶａと、を備え、固定電極１２または可動電極１４は、ビア抵抗ＲＶａを介して駆動配線ＤＬと接続されている。 （もっと読む）

【課題】Ｓｉを材料として用いた場合でも犠牲層の表面をできるだけ平坦とすることができ、犠牲層の上に形成される可動梁のような第２の電極を適正に形成することのできる方法を提供すること。
【解決手段】基板１１の上方に、少なくとも一方の端部にテーパ側壁ＴＳ１を有した基部電極１４ａを形成する工程と、基部電極１４ａが形成されていない領域から延びてテーパ側壁ＴＳ１の上方に重なるようにかつ端部に当該テーパ側壁ＴＳ１と逆の方に傾斜するテーパ端面ＴＳ２を有する犠牲層ＢＧＰ０を形成する工程と、基部電極１４ａの上に、犠牲層ＢＧＰ０のテーパ端面ＴＳ２に当接するスペーサ１４ｂを形成する工程と、犠牲層ＢＧＰ０およびスペーサ１４ｂの上に可動電極１５を形成する工程と、可動電極１５を形成した後で犠牲層ＢＧＰ０を除去する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値の変動を抑制することができ、特性の安定した可変容量デバイスを提供する。
【解決手段】固定電極１２、固定電極の上に形成された誘電体層１３、誘電体層の上に形成されたキャパシタ電極１４、キャパシタ電極に対向して設けられキャパシタ電極に対して接離可能な可動電極１５、およびキャパシタ電極１４の表面に形成された突起２１を有する。キャパシタ電極１４と可動電極１５との間において、突起２１を介した間接的な接触時に、接触抵抗Ｒｍおよび接触容量Ｃｍが形成され、接触抵抗Ｒｍの抵抗値および接触容量ＣｍのリアクタンスＸＣｍによる誘電正接ｔａｎδ＝ＸＣｍ／Ｒｍの逆数をＱ値としたときに、Ｑ値が１０以上となるように、接触抵抗Ｒｍの抵抗値が設定される。 （もっと読む）

【課題】高い導電性を有しかつ繰り返し動作しても機械的な物性の変化が抑制される可動部を備えたＭＥＭＳデバイスを提供すること。
【解決手段】基板１１と、基板１１上に設けられる支持層１４ａ、１４ｂと、基板１１上に設けられる固定電極１２と、支持層１４ａ、１４ｂによって支持されており、固定電極１２と対向して設けられる可動電極１３と、を備え、可動電極１３は、導電性を有する材料からなる電気的機能層１３１と、電気的機能層１３１よりも強度が高い材料または電気的機能層１３１よりも脆性が高い材料からなる補強材料層１３２と、を含む。 （もっと読む）

バラクタデバイスを有するシステムが提供される。バラクタデバイス（４００）は、ドライブ櫛型構造（２０１）と、出力キャパシタンスを定義する出力バラクタ構造（５１４）と、基準キャパシタンスを定義する基準バラクタ構造（２１４）と、ドライブ櫛型構造、出力バラクタ構造及び基準バラクタ構造と嵌合する可動トラス櫛型構造（２０４）とを有するギャップ閉塞アクチュエータ（ＧＣＡ）バラクタ（２００）を有する。トラス櫛型構造は、バイアス電圧に基づき嵌合位置の間で運動軸に沿って動く。バラクタデバイスは、出力バラクタ構造で入力バイアス電圧に関連する目標キャパシタンスを提供する出力バイアス電圧を生成するために基準キャパシタンスに基づき入力バイアス電圧を変更するよう構成されるフィードバック回路（４０４）を更に有する。
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【課題】１画素のサイズが大きくなった場合でも、検出帯域の広帯域化を図ることが可能となる容量検出型の電気機械変換素子を提供する。
【解決手段】基板に配された第１の電極と、第１の電極と間隙を介して設けられた振動膜に第１の電極と対向するように配された第２の電極と、によって構成されたセルと、
第１の電極と第２の電極との間の容量変化により、振動膜の変位の検出が可能な検出回路と、を備えた容量検出型の電気機械変換素子であって、
セルが複数備えられ、該複数のセルにおける少なくとも二つのセルの第１の電極又は第２の電極同士が、同一の検出回路に接続されてなる構成を１グループとするグループを複数有し、
複数のグループにおける各検出回路の信号を合算して１つの情報として出力する合算回路を備え、１つの検出回路に掛かる容量負荷を分散させて構成されている。 （もっと読む）

【課題】インダクタンスの調整が容易でかつ性能のよい可変インダクタなどを提供すること。
【解決手段】可変インダクタ３に、一方の端部が第１の信号線路２ｂと接続されたコイル３１と、コイル３１の他方の端部および少なくとも１箇所の中間部にそれぞれ接続され、複数の信号端子２ｃＴの近傍にそれぞれ配置された複数のコイル端子３２と、信号端子２ｃＴとコイル端子３２とを１組として各組ごとに信号端子２ｃＴおよびコイル端子３２と対向するように配置された接点部材４４１を含む第１の可動部材４４を変位させて接点部材４４１を信号端子２ｃＴおよびコイル端子３２と接触または離間させることにより、各組ごとに信号端子２ｃＴとコイル端子３２とを接続または非接続とするための複数のスイッチ４と、を設ける。 （もっと読む）

【課題】 電極間隔をローレンツ力によって変化させることにより、静電容量を変化させるときの可変領域を拡大し、性能を向上させる。
【解決手段】 基板２上には、支持部５と支持梁６とを介して可動部７を設け、この可動部７に設けた可動電極８と基板２上に設けた表面電極３，４とを対面させる。また、可動部７には、マグネット１３によるＹ軸方向の磁界Ｈが作用する電流路１１を設ける。そして、電流路１１に電流Ｉ₁，Ｉ₂を通電することにより、Ｘ軸方向に延びた中間配線部１１ＡにＺ軸方向のローレンツ力Ｆ₁，Ｆ₂を生じさせ、可動部７をＺ軸方向の一側または他側に変位させる。これにより、表面電極３，４と可動電極８との間の静電容量を非通電時よりも小さい値から大きい値まで広い範囲に亘って変化させることができ、コンデンサ１の性能を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の極性を切り替えなくとも、または切替えのタイミング（周期）を限定しなくとも、Ｃ−Ｖ特性のシフトが抑制される可変容量素子を提供すること。
【解決手段】可変容量素子２に、互いに絶縁された第一固定電極２３ａ、２３ｂおよび第二固定電極２４ａ、２４ｂと、第一固定電極２３ａ、２３ｂおよび第二固定電極２４ａ、２４ｂに対向する可動電極２６と、第一固定電極２３ａ、２３ｂおよび第二固定電極２４ａ、２４ｂと可動電極２６との間に設けられる誘電体層２５ａ、２５ｂ、２５ｄ、２５ｅと、第一固定電極２３ａ、２３ｂに可動電極２６を基準とする駆動電圧Ｖ１を印加するための第一引出電極２１と、第二固定電極２４ａ、２４ｂに可動電極２６を基準としかつ駆動電圧Ｖ１とは極性が異なる駆動電圧Ｖ２を印加するための第二引出電極２２と、を設ける。 （もっと読む）

【課題】製造工程が簡易で歩留まり低コスト化を可能とする圧電駆動型ＭＥＭＳ素子を提供する。
【解決手段】第１の基板１０の可動部１６となる領域上に可動部１６の一部として設けられた圧電体膜２２と、圧電体膜２２を挟むようにして配設された一対の電極２１、２３とからなる圧電駆動部２０により駆動されて凸状に変位する可動部１６を一部に備え、該可動部１６の表面中央部に可動電極２５が設けられてなる第１の基板１０と、第１の基板１０に接合された、可動電極２５と所定間隔で対向する固定電極３５を支持する第２の基板３０とから、圧電駆動型ＭＥＭＳ素子１を構成する。 （もっと読む）