【課題】犠牲層の実現方法を提供する。
【解決手段】所定の容積を占めるリソグラフィされたレジストパターンを、所定のサイズ及び所定の形状を有する基板領域上に形成するための、基板上に堆積された樹脂のリソグラフィ段階と、前記リソグラフィされたレジストパターンの熱サイクルによるアニーリング段階とを含み、前記樹脂に応じて、前記基板領域のサイズ及び形状を決定する段階と、“ダブルエアギャップ”のプロファイルと平坦化ドーム型プロファイルとのいずれか一つから選択されたプロファイルを前記熱サイクルのアニーリングが提供するように、前記領域上に堆積される前記樹脂の量を決定する段階とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】可動構造体の容量が急激に変化する場合でも、容量検出の感度を調整して容量を検出する。
【解決手段】形状可変構造体１は、その変位に応じて容量が変化する可動構造体１０を備え、構造変位検出ユニット２ａは、可動構造体１０に電界を発生させる可変電界発生部２６と、電界発生の基となる誘導信号Ｓｄを出力する誘導信号生成部２２と、電界の発生によって可動構造体１０から出力される容量信号Ｓｃａｐから、可動構造体１０の容量を表す情報信号Ｓｉを抽出する容量情報抽出部２３と、可動構造体１０の容量から容量信号Ｓｃａｐへの変換率を調整する調整信号Ｓｃｔｌを出力する感度調整部２７とを備え、可変電界発生部２６は、調整信号Ｓｃｔｌに応じて電界の強度を変化させる。 （もっと読む）

【課題】低電圧でも容量を可変可能とし、印加電圧の値に応じて容量が変化される可変容量コンデンサを提供する。
【解決手段】間隙を有して対向する２つの電極部４，２４を有し、この２つの電極部間に外部から電圧を印加した際に、電圧の値に応じて２つの電極部間の距離Ｄ１が変化することによって容量を可変とされた可変容量コンデンサであって、２つの電極部のいずれかは、導電性及び可撓性を有する３つ以上の連結体を介して枠状の基部に連結され、連結体は、電極部の重心を通り電極部に平行な任意の線によって２分割される各領域の電極部及び基部に少なくとも１つが連結された構成とする。 （もっと読む）

【課題】安定した特性を有する小型かつ高感度なコンデンサを備えた音響感応装置を提供することにある。
【解決手段】半導体基板１１上に形成された固定電極膜１２と、固定電極膜１２上に堆積されたシリコン酸化膜１３を介して形成された多結晶シリコン膜からなる振動電極膜１４ａと、固定電極膜１２と振動電極膜１４ａとの間に位置するシリコン酸化膜１３内に形成された中空部１５とで構成されたエアギャップ型のコンデンサを備え、振動電極膜１４ａの上面に、振動電極膜１４ａに対して引張り応力を与えるシリコン窒化１４ｂが堆積されている。 （もっと読む）

【課題】衝撃等による急激な加速度を受けても、破壊や容量の変化が起きることがない。
【解決手段】一端側が固定され他端側が圧電膜の伸縮により上下に移動可能なMEMS構造の圧電駆動部１と、圧電駆動部１の他端側に誘電体膜２を挟んで対向配置される固定電極３ａ，３ｂと、圧電駆動部１の駆動を制御する制御回路部（駆動制御部）４とを備える。圧電駆動部１の他端側に設けられる可変容量素子２０の容量を制御回路部４で検出して、その容量が常に一定になるように第１および第２の圧電膜６，７に印加する電圧を帰還制御するため、可変容量素子２０の容量ばらつきを抑制でき、約９５％を上回る製造歩留まりを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 小さい力で動作する変位デバイスを提供する。
【解決手段】 第１基体部と、第１基体部と一定の距離を離間して配置された第２基体部と、第１基体部と第２基体部との間の所定位置に配置され、第１基体部との距離の変位量に応じて弾性による復元力が増加する変位部と、第１基体部と変位部との間に静電引力又は磁力による第１引力を及ぼす第１引力印加手段と、第２基体部と変位部との間に静電引力又は磁力による第２引力を及ぼす第２引力印加手段であって、変位部の変位量がゼロのときに、第１引力とつりあうように第２引力を与える第２引力印加手段と、を具備する変位デバイスである。 （もっと読む）

【課題】温度変化に起因する静電容量変動を抑制するのに適した可変キャパシタ、および、そのような可変キャパシタを製造するのに適した方法を提供すること。
【解決手段】本発明の可変キャパシタＸ１は、例えば、固定電極１２と、固定電極１２に対向する可動電極膜１３と、固定電極１２および可動電極膜１３の間を部分的に連結するアンカー部１４ａとを備える。本発明の可変キャパシタ製造方法は、例えば、第１電極たる固定電極１２を形成する工程と、固定電極１２上にアンカー部１４ａを形成する工程と、アンカー部１４ａを部分的に露出させつつ固定電極１２を覆うように犠牲膜を形成する工程と、アンカー部１４ａと接合する第２電極たる可動電極膜１３を犠牲膜上に形成する工程と、犠牲膜を除去する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】 圧電膜や上下の電極の残留歪に起因する反りを抑制して、圧電駆動の変位量を再現性良く、広い範囲で制御可能な圧電アクチュエータの提供。
【解決手段】
本発明に係る圧電アクチュエータは、基板と、前記基板上に配置された固定電極と、前記固定電極に対向して配置され、前記固定電極とキャパシタを形成する作用部と、前記作用部から延在して配置され、前記基板上に固定された固定部とを備え、前記作用部から前記固定部にかけて圧電膜及び該圧電膜を挟む上下の電極とで構成された梁と、前記上下の電極に各々接続された配線と、前記配線に接続され、前記上下の電極に電圧を印加する電圧印加手段と、前記上下の電極と前記電圧印加手段との間に設けられた高インピーダンス素子と、を備える。 （もっと読む）

ＭＥＭＳチューナブル装置たとえば可変キャパシタにおいて、２つまたはそれよりも多くのチューナブルデバイスたとえば可変キャパシタと、複数のチューナブルデバイスをいっしょに結合する結合回路が設けられている。これによってチューニング信号に応じて可変の合成出力たとえば合成容量が供給される。結合回路は、チューニング信号における変化に対し装置の応答を変化させるためにリコンフィギュレーション可能であり、これによって用途の範囲を広げることができ、製造コストを低減可能であり、さらに設計におけるフレキシビリティを高めることができる。この装置には、制御信号により動作可能なピボット式ビームを設けることができ、このビームは、ピボットの両側に配置された電極と、ビームにおいてこの電極と対向する対応する固定電極を有しており、これによってスイッチまたは可変キャパシタのような２つまたはそれよりも多くの可変デバイスが提供され、これは２つまたはそれよりも多くのキャパシタについてビームの定められた動きにより電極の分離が同じ方向で生じるように構成されている。
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ＲＦ用途のためのチューナブルキャパシタ装置において、制御信号に従い可変である直列接続された２つのＭＥＭＳ可変キャパシタが設けられている。直列接続によってキャパシタはいっそう高い電圧に耐えられるようになる。なぜならば、そのように高い電圧は直列接続された個々のキャパシタによって分配されるからである。各キャパシタごとの電極サイズ増大は、ばね支援型の可動電極のサイズ低減によって相殺される。容量がいっそう大きいことから、これらのばねに対しいっそう大きい剛性をもたせることができる。つまりこのことはばねが短くなることを意味し、その結果、静止摩擦、抵抗ならびに緩慢なスイッチングの問題も低減できる。キャパシタは固定電極と可動電極を有しており、ばねがＲＦ信号を搬送しなくても済むよう、固定電極にＲＦ信号が供給される。これによって、ばねのインダクタンスと抵抗の問題を低減できる。
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