【課題】本発明は集束イオンビーム装置に関し、中性粒子を除去してイオン照射が可能なようにした集束イオンビーム装置に関する。
【解決手段】デフレクタを４段構成とし、上２段によりイオンビームをある距離だけ平行移動をさせ、下２段により再びイオンビームを上２段により元の軌道に戻すように平行移動をさせる各電圧成分をそれぞれ各段の電極に重畳させ、印加できる機能を持つデフレクタ電源と、及び上の２段電極と下の２段電極の間に、前記中性粒子を遮断する遮蔽板１１を設け、前記デフレクタの上２段と下２段には本来の２段偏向器の役割を実行させるためのデフレクタ電圧を印加する場合に、上２段の内の何れか１段と、下２段の内の何れか１段にのみ本来の２段偏向器を実現させるためのデフレクタ電圧を印加することを特徴とする集束イオンビーム装置。 （もっと読む）

【課題】相対位置が固定された二段のコンデンサレンズから収束レンズが構成される場合に、各コンデンサレンズと対物レンズのそれぞれの中心に電子ビームの光軸が通るように軸合わせを行うことを可能とする。
【解決手段】それぞれ焦点調整が可能な二段の収束レンズ３１、３２と電子銃１との間に入口側ビーム偏向部２を、収束レンズ３１、３２と対物アパーチャ板５との間に出口側ビーム偏向部４を配置する。各ビーム偏向部２、４はそれぞれ軸Ｃ方向に配置された二段の偏向器からなる。収束レンズ３１、３２のレンズ中心が軸Ｃ上にない場合でも、入口側ビーム偏向部２でビームを二段階に偏向させることで両収束レンズ３１、３２のレンズ中心に光軸を合わせることができ、さらに、出口側ビーム偏向部４でビームを二段階に偏向させることで対物レンズ７の中心に光軸を合わせることができる。 （もっと読む）

【課題】
一次電子ビームの走査ずれに起因する擬似欠陥を低減する高感度高スループット電子ビーム式検査装置と検査方法を提供する。
【解決手段】
複数の一次電子ビームを有する半導体検査装置において、前記複数一次電子ビームが被検査試料を照射する位置を個別に設定調整手段を有する。前記複数一次電子ビームの試料上の照射位置を前記被検査試料の繰り返しパターン間隔に合わせて設定して、比較対象の繰り返しパターン画像を同時に取得する。同時に取得した複数の画像上に、比較する繰り返しパターンの処に一次電子ビームの走査ずれは同じである。そのため、差画像上に電子ビームの走査ずれに起因する擬似欠陥がなくなって、高感度高スループット電子ビーム式検査装置と検査方法を提供できる。 （もっと読む）

荷電粒子ビームを導く改良された方法であり、１つまたは複数の偏向器信号を変化させることによって、荷電粒子がシステムを通過するのに要する時間を補償する方法。本発明の一実施形態によれば、ＴＯＦエラーが原因で起こることがあるオーバシュート効果を低減させ、または排除するために、デジタル−アナログ（Ｄ／Ａ）変換の前に、走査パターンをデジタル・フィルタにかける。他の実施形態では、ＴＯＦエラーを補償するのに、アナログ・フィルタ、またはより低い帯域幅を有する信号増幅器の使用を使用することもできる。走査パターンを変化させることによって、オーバシュート効果をかなり低減させ、または排除することができる。
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【課題】マニュアル操作により、表示画像を動かして、試料中の観察・検査対象物の探索を行なう際に、オペレータによる移動方向指定手段の操作を簡易化する。
【解決手段】試料ステージ１８に載置された試料１６に対して電子線１５を走査し、電子線１５が走査された領域から発生する二次的信号１７を検出し、これに基づく走査像を表示する走査電子顕微鏡において、移動方向指定手段１２からの指示に基づいて、電子線１５の走査領域が試料１６上で相対的に移動したときに、該走査領域における電子線１５の垂直走査方向が、移動方向指定手段１２により指定された表示画像の移動方向に応じた該走査領域の試料１６上での相対移動方向と平行な方向と合うように、演算制御手段１０が該走査領域の回転の制御を行なう。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、荷電粒子線装置において、左右の視差画像を上方向からだけでなく、斜め方向から取得する取得手段を提供することにある。また、立体観察方法を切り替えることのできる視差画像表示手段及び操作画面を提供することにある。
【解決手段】本発明は、荷電粒子源と、前記荷電粒子源から放出される一次荷電粒子線を集束する対物レンズと、前記一次荷電粒子線を試料上で走査する走査偏向器と、前記一次荷電粒子線の走査によって試料から発生する信号粒子を検出する検出器と、前記検出器の信号粒子を用いて試料像を取得する荷電粒子線装置において、前記一次荷電粒子線の試料への照射角を偏向する偏向器と、当該偏向器に電流を流す独立した第一及び第二の電源を備え、前記一次荷電粒子線の走査の一ライン単位又は一フレーム単位で、当該２つの電源から印加する電圧を切り替えるスイッチを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来の荷電粒子線装置では、格子状に反復して配列された複数の素子を観察又は測定することを前提とする。このため、回転軸対称に配置されたパターンに対しては、それらが規則的に反復するパターンであったとしても、観察点又は測定点毎にテンプレートを登録する必要がある。
【解決手段】試料上に回転軸対称に配置されたパターンを、予め定めた手順に従って自動的に観察又は計測する際、テンプレート画像、観察点若しくは計測点の画像又は荷電粒子線の走査範囲である視野領域を、試料上の座標から算出した角度だけ自動的に回転させる。 （もっと読む）

【課題】高ゲイン又は高周波になっても安定した動作を行う電流帰還型電源を提供する。
【解決手段】 入力信号を入力して、入力信号を反転した信号を出力する入力部１と、入力端子INを入力部１に接続し、帰還端子FBを負荷４の第１端子N4に接続し、出力端子OUTを負荷４の第２端子N3に接続し、帰還端子FBから帰還される帰還電流Ｉ_Fをゼロにする電流帰還部２と、第１端子N4と接地電位間に接続され、負荷４に流れる電流の大きさを段階的に切り替えるゲイン切り替え部３とを備え、入力信号のパターンに対応した電流を負荷４に流す。 （もっと読む）

【課題】位置ずれ補正に要する走査画像の取得回数を１回で済まし、また、ｙ軸方向の位置ずれ補正およびｘ軸方向の位置ずれ補正に要する演算を１回で済まして、位置ずれ補正に要する時間を短縮する。
【解決手段】荷電粒子ビームを試料上で二次元的に走査して走査画像を形成する走査ビーム照射装置において、試料を支持するステージ上に設けたマークと、このマークを含む走査画像を取得する走査画像取得手段と、走査画像取得手段で取得した走査画像に基づいて位置ずれを補正する位置ずれ補正手段とを備え、走査画像取得手段は、同一のマークを走査画像中に含む２つの異なる走査画像を取得し、この２つの走査画像の取得は同じ走査期間内で行う。２つの走査画像は同一のマークを走査画像中に含むため、２つの走査画像中のマークの位置を比較することによって、走査画像間に位置ずれを求めることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、種々の要因で対物レンズの光軸等に、ビームが斜めに入射されたときに生ずる諸問題を解決する荷電粒子線調整方法、及び荷電粒子線装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、荷電粒子線の走査領域を試料上で移動する第１の偏向器に対し、第２の偏向器によって、荷電粒子線の第１の偏向器に対する入射位置を調整し、第１の偏向器は、前記入射位置の調整が行われた荷電粒子線を、対物レンズの光軸に沿って前記試料に入射するように偏向する方法、及び装置を提案する。当該方法、及び装置によれば、荷電粒子線を対物レンズの光軸に沿って適正に試料に入射することが可能となる。 （もっと読む）