【課題】試料に対してビームを傾斜しても分解能低下の少ない荷電粒子線装置を提供する
。
【解決手段】複数のレンズ６，７に対して一次ビーム４の軌道を偏向器、或いは可動絞り
によって、軸外に通し、その軸外軌道を制御することにより、ビーム傾斜時に対物レンズ
７で発生する収差を他のレンズ６の収差でキャンセルする手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】 収差補正カソード・レンズ顕微鏡機器を提供すること。
【解決手段】 収差補正顕微鏡機器が提供される。機器は、第１の非分散電子回折パターンを受け取るように配置された第１の磁気偏向器を有する。第１の磁気偏向器はまた、第１の磁気偏向器の出射面に第１のエネルギー分散電子回折パターンを投射するように構成される。機器はまた、第１の磁気偏向器の出射面に配置された静電レンズ、並びに、第１の磁気偏向器と実質的に同一の第２の磁気偏向器を有する。第２の磁気偏向器は、静電レンズからの第１のエネルギー分散電子回折パターンを受け取るように配置される。第２の磁気偏向器はまた、第２の磁気偏向器の第１の出射面に第２の非分散電子回折パターンを投射するように構成される。機器は、１つ又は複数の収差を補正するように構成された電子鏡も有する。電子鏡は、第２の磁気偏向器の第２の出射面に第２のエネルギー分散電子回折パターンを投射するために第２の非分散電子回折パターンを第２の磁気偏向器へ反射するように配置される。 （もっと読む）

【目的】非点を補正する描画方法或いは装置を提供することを目的とする。
【構成】主副２段偏向で偏向される電子ビーム描画方法において、副偏向非点補正値Ｓ１（ｎ）で副偏向非点が補正されたビームを用いて、０°と９０°の方向に所定のマークを走査して、副偏向非点格差を測定する非点格差測定工程（Ｓ１１２）と、副偏向非点係数Ｒ_１に基づいて、副偏向非点格差がなくなるＳ１（ｎ＋１）を算出するＳ１（ｎ＋１）算出工程（Ｓ１１４）と、｜Ｓ１（ｎ＋１）−Ｓ１（ｎ）｜＜ΔとなったＳ１（ｎ＋１）で副偏向非点が補正された電子ビームで試料を描画する描画工程（Ｓ１３０）と、を備えたことを特徴とする。本発明によれば、副偏向非点が補正された描画を行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】得られた全視野の分割視野においてパターン量に依存せず鮮鋭度または非点収差の評価値を算出できるようにする。【解決手段】試料２１に荷電粒子ビームを照射し、試料２１から発生する荷電粒子ビームにより試料像を形成する走査電子顕微鏡１０の画像鮮鋭度評価を、形成した試料像から得られる画像を分割する画像分割手段４１と、鮮鋭度または非点収差の程度を各分割画像のパターンの数量を算出する工程と、前記算出したパターン量を用いて、パターンの多寡によらない鮮鋭度および非点収差の程度を算出する算出手段４２と、鮮鋭度または非点収差の程度を評価する評価手段４３とを備えるものとした。 （もっと読む）

【課題】空間電荷レンズによって生じた３次幾何歪を補正可能な荷電粒子線露光装置を提供する。
【解決手段】分割露光転写方式の荷電粒子線露光装置であって、空間電荷レンズによって生じた３次幾何歪を１セット以上の８極子１４の歪により補正し、且つ、前記８極子１４から生じる低次の歪を１セットの６極子１５、２個のスティグメータ９，１０、３個のフォーカスレンズ１１〜１３、１個以上の偏向器により補正する機能を有することを特徴とする荷電粒子線露光装置。 （もっと読む）

【課題】多極子レンズを多段配置してなる収差補正器において、該多極子レンズを構成する複数の極子を駆動する電源の数を低減し、収差補正の性能を落とすことなく安価な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】収差補正器１０は１段目１１と最終段目１４に静磁型多極子レンズを、間に挟まれた領域に一対の静電・静磁複合型多極子レンズ１２、１３を配置して構成する。該多極子レンズの各極子に備えられたコイルに、発生する磁場の種類に応じた共通電流源を接続することにより電流源の数を低減する。電場を発生させるために各極子に印加する電圧の電圧源も共通化する。電源２６はこれら複数の電流源と電圧源からなる。 （もっと読む）

【課題】 一般の電子顕微鏡像が試料の形状や材質を反映したものであるのに対して、ミラー電子から得られる画像はミラー電子が反射する等電位面の形状を反映したものとなり、像解釈が複雑になっていた。
【解決手段】 測定するパターンの構造あるいは興味ある欠陥の対象に応じて、以下のミラー電子の反射面を制御する手段を設ける。
1)電子源の種類、動作条件および測定する試料７上のパターンの種類に応じて、ミラー電子線の反射面の高さに相当する電子源１と試料７の間の電位差を制御する手段を設ける。
２）照射系にエネルギーフィルタ９を配置させて、照射電子線のエネルギー分布を制御する手段を設ける。
【効果】 パターンの大きさや電位を区別して検査することが可能となる。絶縁物試料を高分解能で観察することができる。 （もっと読む）

【課題】 解像度の良い荷電粒子線光学系を実現する。
【解決手段】 試料２０に照射する為の荷電粒子ビームＥＢが透過する薄膜と該薄膜近傍に配置された絞りとで構成される薄膜レンズ２１と、前記荷電粒子ビームを前記試料面に収束する為のレンズと、前記薄膜と絞りとの間に電位差を印加するための手段２２とを有する荷電粒子線装置において、薄膜レンズ２１を最終段レンズ１１の前側焦点位置近傍に配置する。 （もっと読む）

【課題】 電極長を長くしたり、或いは、電極内径を小さくしたり、或いは、偏向電圧をあまり高くすることなく、第１の偏向器に起因する偏向収差或いは被照射物表面への斜め入射を打ち消すことができる様にする。
【解決手段】 電子源１、電子源１からの電子ビームを集束する縮小レンズ２、縮小レンズ２が集束した電子ビームを被ビーム照射物５の表面に集束する対物レンズ３、縮小レンズ２の後段に配置され、被照射物５表面に照射される電子ビームの照射位置を決定する第１の偏向器６、及び、縮小レンズ２の前段に配置され、第１の偏向器６に起因する偏向収差を打ち消す第２の偏向器１６´が備えられている。 （もっと読む）

【課題】モノクロメータを備えた走査電子顕微鏡において、モノクロメータに入射する電子ビームの調整及びモノクロメータの動作条件の調整を自動的に行うことを可能にする。
【解決手段】モノクロメータを備えた走査電子顕微鏡において、電子源及びモノクロメータの間に、モノクロメータに入射する電子ビームの集束を調整する第１集束レンズと、モノクロメータに入射する電子ビームの非点収差を補正する第１非点補正レンズとを備え、モノクロメータ内の電子ビームを集束させる位置に配置された電子ビームの調整用試料の画像を取得し、取得された画像に基づいて、モノクロメータに入射する電子ビームの集束及び非点収差を調整するよう第１集束レンズ及び第１非点補正レンズを駆動する手段を備える。 （もっと読む）