【課題】荷電粒子ビームの無球面収差化・色消し化・エネルギー単色化を回転対称構造のレンズのみを使って行う荷電粒子ビーム発生装置を提供する。
【解決手段】１９から出た種々のエネルギー値を有するイオン線は１０に入射し、つぎに、３に入射する。３を出たイオン線のうち１８の中心孔を通り抜けたイオン線のみが４に入射し、４で集束されて２を照射する。３の励起電圧を調節することで無球面収差化がなされる。１０の励起電圧を調節することで色消し化、もしくは、エネルギーの単色化がなされる。本発明の解決手段は、（１）２つ以上のレンズを使って１９の像を２の上に投影すること、（２）１９と２との間には、１９と２を含めて少なくとも３つ以上のビームクロスオーバーを産むようにレンズを励起すること、（３）クロスオーバーの少なくとも１つはレンズの作用領域の内部に設けること、である。各レンズの励起強度は荷電粒子線の軌道計算を行って決める。 （もっと読む）

【課題】収差情報の基になる透過画像情報の取得を短時間に済ませ、収差の補正を速く行う透過型電子顕微鏡を実現すること。
【解決手段】基準試料１２上でコーン状に絞られた形状の電子ビーム束１３を、基準試料１２に入射し、入射角度が照射方向２に対して扇形に拡がる電子ビームを含む構成とし、蛍光板１５上に、入射角度に応じて中心からの距離τが異なる位置に電子ビームを結像させて、電子ビーム束１３の透過画像を取得し、透過画像上に設定される複数の検査領域ごとにフーリエ変換を行い、得られたフーリエ変換像から画像処理により、収差係数Ｃ₁、Ｃ₂…Ｃ_iを算定し、結像レンズ１４の収差を補正することとしているので、一枚の透過画像のみから収差係数Ｃ₁、Ｃ₂…Ｃ_iを求めて収差の補正を行うことができ、ひいては、高精度あるいは高次の補正を行う場合の透過画像の枚数あるいは取得時間を減少させ、速く収差の補正を完了することを実現させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は２レンズ，３レンズ光学系走査型収差補正集束イオンビーム装置及び２レンズ，３レンズ光学投影型収差補正集束イオン・リソグラフィー装置を提供することを目的としている。
【解決手段】イオン源からイオンビームを引き出す引出電極と、引き出されたイオンビームの開き角を制御するコンデンサレンズから構成されるガンレンズ、前記イオン源から発生した比較的広い放射角をもつイオンビームからの特定の放射角を持つイオンビームを取り出す電流制限絞り、該電流制限絞りを通過したイオンビームの電流量を変えることなく開き角制御が可能な静電型開き角制御レンズ、色収差や球面収差を補正する静電型収差補正装置、ビームを試料上に集束するための静電型対物レンズの順で並べられ、更に集束したイオンビームを試料上の２次元方向に走査するデフレクタを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は多極子レンズ及び多極子レンズの製造方法に関し、加工精度を向上させることができる多極子レンズ及び多極子レンズの製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】極子となる極子ブランク材１３と、該極子ブランク材１３を上下に挟むフィルム状の絶縁材１２と、極子ブランク材１３とフィルム状の絶縁材１２とを上下に挟むリング１１とを有し、これら部材には硬化材を注入するための穴がその位置が一致するように共通に設けられており、前記硬化材が前記穴に注入されて硬化した後、前記極子ブランク材１３を放電加工することにより極子が形成されるように構成される。 （もっと読む）

隣接するヘクサポールフィールド間に丸形レンズデュプレットが設けられ、丸形レンズデュプレットは真ん中のヘクサポールフィールドがそれ以外のヘクサポールフィールド上に結像されるように調整され、調整時にヘクサポールフィールド間に中間面が位置するようになり、中間面は相互に共役となり、３つのヘクサポールフィールドはラーモア関係系内で同じ方向に配向され、３つのヘクサポールフィールドの各強度は３数値非点収差が０になるようにされ、補正器はヘクサポールフィールド対のフィールドが非対称に相互に励起される２つのヘクサポールフィールド対を有し、対は両中間面を中心にして設けられ、ヘクサポールフィールド対の配向はヘクサポールフィールドによって定義された配向に対して３次の光軸外コマ収差が補正されるような角度だけ回転される。
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【課題】この発明は直線光軸（１）とこの光軸に沿って前後に配置し、それぞれ四重極電場と重ね合わせた球レンズの電場を備える二個の矯正部（８，９）から成る静電矯正器に関する。一方の矯正部の軸線上に生ずる一方の断面の非点中間像に対して、第二の矯正部の非点中間像は前記断面に対して直角をなす断面に生ずる。そこで、この発明の課題は、粒子レンズの色収差を除去することにある。
【解決手段】その解決に当たって、この発明は構造が類似する二個の矯正ユニットの各一個を二個の静電四重極を備える入力側と出力側とに配置する。この矯正ユニットは軸線について１：１の同じ割合で前後に移動されるもので、二個の矯正ユニットは光軸上に前後に配列してあって、しかも互いに光軸を中心として９０°回動してある。 （もっと読む）

【課題】電子光学系の軸上の像の収差を除去する方法であって、１次、２次、３次およびｎ次の軸上の像収差を除去する、および六極子フィールドを備えた電子光学系の像収差の除去をすることを課題とする。
【解決手段】電子光学系の軸上の像収差α^ｎと表したとき、軸外の高次の像の収差α・γなどを利用して、ビーム路をシフトあるいは傾斜させ、軸上の像収差を除去する。また、六極子フィールドを備えた電子光学系における１次、２次の像収差の除去は、その六極子フィールドに四極子フィールドや六極子フィールドを重畳させ除去する。 （もっと読む）

【課題】高電流密度の成形ビームを生成するための方法および荷電粒子光学装置を提供すること。
【解決手段】この荷電粒子ビームリソグラフィ装置及び／又は方法は、複数のビーム成形アパーチャを要せずに高電流密度成形ビーム２２２を生成するビームパターン限定アパーチャ２１２と、ウエハ２２１上に荷電粒子ビーム２２２を収束させるレンズ２０５，２１６と、電子源２０１とウエハ２２１との間の中間でクロスオーバを要せずに荷電粒子ビーム２２２を偏向させるブランキング偏向器とを有する。 （もっと読む）

【課題】複数の多極子型ウィーン・フィルターを有し、荷電粒子線光学系の収差を補正できる収差補正光学装置を提供する。
【解決手段】本発明による荷電粒子線光学系用の収差補正光学装置１ａは、二つの同じ大きさの多極子型ウィーン・フィルターであって、その収差補正光学装置の物面−像面間の１／４面位置と３／４面位置にそれぞれの中心が一致するように配置された多極子型ウィーン・フィルター２、２′と、その収差補正光学装置の物面位置、中間結像面位置及び像面位置に配置された二方向集束性を有する光学要素３ａと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 試料傾斜機構や人間では制御できない傾斜を電気的に行い、精密な傾斜合わせを実現する透過型電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 高電圧電源に接続した電子銃１から発生し加速された電子線Ｅは、コンデンサレンズからなる収束レンズ３で収束されてから、偏向部４の２段の偏向コイルにより傾斜されて試料室５内の試料載置台上の試料５に照射される。対物レンズ６には、試料載置台に載置支持された試料５ａを透過した電子線が入射する。収差補正器７は、対物レンズ６で発生した収差を補正する。 （もっと読む）