【課題】走査形荷電粒子顕微鏡の非点収差補正作業の簡易化方法に関する。
【解決手段】荷電粒子銃１と対物レンズ６との間に荷電粒子ビーム２のクロスオーバー１１を設け、荷電粒子ビーム２をクロスオーバー１１を頂点とする円錐の母線に沿って錐面を周回するように偏向したときの顕微鏡像の軌跡が真円状に位置移動するように非点収差補正器１５を調節する。 （もっと読む）

【課題】本発明は荷電粒子ビーム装置における非点補正・フォーカスの自動調整方法及び装置に関し、非点補正・フォーカスの自動調整を行なう方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】Ｘ，Ｙ方向に周期的なパターンを持つ調整用試料からの強度分布信号に対してトリミングを行なって第１のフーリエ級数展開を行ない周期パターンを求める手段２５と、この周期パターンに対してトリミング領域を決定して第２のフーリエ級数展開を行なう手段２５と、前記第１のフーリエ級数展開と第２のフーリエ級数展開の結果の差分を求める演算手段２５と、該演算手段２５により求めた差分と非点補正量及びフォーカス値を記憶する記憶手段２７と、該記憶手段２７に記憶されたものの中から差分が最小となる時の非点補正量とフォーカス値が最適になるものを読み出して荷電粒子ビーム装置の動作を調整する非点補正・フォーカス調整手段２８とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】試料に形成されたパターンから取得した画像のオートフォーカス評価値を利用して、簡単なアルゴリズムで且つ迅速に非点収差調整を行うこと。
【解決手段】電子ビームを試料Ｗに照射し、該試料から放出される電子、反射電子、後方散乱電子等の二次電子を検出することによって前記試料を観察評価する電子ビーム装置は、電子ビームの非点収差調整を行う非点収差調整手段１７を備え、試料Ｗに形成されたパターンの画像から得たフォーカス評価値を最大にする補正電圧を非点収差調整手段１７に与える。非点収差調整手段１７は電子ビームの光軸を中心として対向する複数対の電極又はコイルを備える多極子である。 （もっと読む）

【課題】電磁レンズの非点収差を定量的且つ高精度に測定できる電磁レンズの非点収差測定方法、非点収差測定装置、非点収差補正方法、及び非点収差補正機能を備えた電子線装置を提供する。
【解決手段】ＳｒＴｉＯ₃等の単結晶試料に電子線を入射し、それにより出現するロンチグラムを撮像部により取得して画像データとする。その後、ロンチグラムの中心位置を決定した後、ロンチグラムを２回フーリエ変換して画像のスケールのキャリブレーションを行う。次いで、ロンチグラムを１回フーリエ変換して１回フーリエ変換像を得る。その後、制御部により１回フーリエ変換像における輝点と結晶軸方向とのずれ量を検出し、非点収差係数を算出する。そして、その結果に基づいて非点収差補正用偏向コイルを制御し、電磁レンズの非点収差を補正する。 （もっと読む）

【課題】複数の電子線の軸上色収差が補正でき、非点収差や偏向収差も低減できる電子線装置及びこれを用いたパターン評価方法を提供すること。
【解決手段】一次電子線を放出する電子銃と、前記一次電子線の一部が通過する複数の開口を有するマルチ開口板と、前記開口を通過する一次電子線を縮小するコンデンサレンズと、縮小された一次電子線を試料の表面に結像させる対物レンズとを備える一次光学系と、前記試料から放出される二次電子線を偏向する偏向器群と、前記偏向器群で偏向された二次電子線を拡大する拡大レンズと、拡大された二次電子線を検出する二次電子線検出器とを備える二次光学系とを備え、前記一次光学系に、前記対物レンズで生じる軸上色収差に対応した軸上色収差を発生させる非分散ウィーンフィルタからなる軸上色収差補正レンズを備えること。 （もっと読む）

【課題】 ２回対称３次収差Ｓ３を補正すること。
【解決手段】 Ｃｓ補正装置１７を動作させると、寄生収差Ｓ３（２回対称３次収差Ｓ３）が発生する。そこで図１の装置においては、その寄生収差Ｓ３を打ち消す２回対称３次収差Ｓ３を多極子７内で新たに発生させることにより、寄生収差Ｓ３を補正するようにしている。すなわち、６極場を発生している多極子７内で電子線ＥＢを光軸Ｏに対して傾斜させることにより、その傾斜された電子線ＥＢを構成する各電子に対して、新たな２回対称３次収差Ｓ３を導入している。 （もっと読む）

本発明は、２つの二次元画像の類似性を測定するための方法に関し、該方法では、少なくとも１つの画像に付加信号が付随しており、この付加信号の位置依存性又は対称性が、少なくとも近似的に既知である。本発明では、少なくとも１つの部分画像の、付加信号の勾配の方向における拡がりが、この部分画像の、前記方向に対する垂直方向における拡がりよりも小さくなるように、画像が、相互に同一である部分画像に分割される。部分画像は、個別に比較され、全ての比較の結果が、類似性に関する測定結果に集約される。これにより、本方法は、付加信号の変動の影響を受けなくなる。本方法は、特に、電子顕微鏡画像の焦点外れ及び非点収差を決定するために適している。その際、重要であるのは、実験で測定された画像と、焦点外れ及び非点収差に関する所定の値を用いて生成されたシミュレートされた画像との類似性を比較することである。
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【課題】 荷電粒子線顕微装置において、任意倍率における幾何歪みを高精度に測定し、補正する。
【解決手段】 周期構造を持つ標準試料を基準にした絶対歪みとして第1の倍率における幾何歪みを測定する。幾何歪み測定済の第1の倍率と、幾何歪み未測定の第２の倍率で微細構造試料を撮影する。第1の倍率の画像を第2の倍率まで等方的に伸縮した伸縮画像を生成する。第2の倍率における幾何歪みを、伸縮画像を基準とした相対歪みとして測定する。第1の倍率における絶対歪みと第2の倍率における相対歪みから 、第2の倍率における絶対歪みを求める。以後、第2の倍率を第1の倍率に置き換えて相対歪み測定を繰り返すことにより、任意倍率における幾何歪みを測定し、補正する。 （もっと読む）

【課題】電子ビーム描画方式に関して、第１偏向器と第２偏向器とによる歪み補正の分担についての新たな手法を提案する。
【解決手段】電子ビーム描画装置は電子ビーム描画用の電子光学系１１１と、電子ビームの第１偏向用の偏向器１５３を有し、電子ビームの第１偏向により、電子光学系の歪み補正と下地の歪み補正とを実行する第１偏向器と、電子ビームの第２偏向用の偏向器１５４を有し、電子ビームの第２偏向により、電子光学系の歪み補正と下地の回転補正とを実行する第２偏向器と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
収差補正器で使用する多数の電源のノイズの影響を低減し、安定した高分解能観察の可能な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】
電子線を試料１８上に照射し、走査させるＳＥＭカラム１０１と、前記試料を載置する試料ステージ８０が格納される試料室と、前記電子線の走査により発生する２次電子を検出する検出器７３と、前記検出器の出力信号をＳＥＭ画像として表示する表示手段と、前記ＳＥＭカラム、前記試料室、前記表示手段を含む各構成部品を制御するための制御ユニット１０３とを備えた荷電粒子線装置において、前記ＳＥＭカラムは、一対の静電レンズ９１、９２と、前記一対の静電レンズの間に置かれた前記電子線の収差を補正する収差補正器１０とを有し、前記一対の加速電極に高電圧を印加して、前記収差補正器を通過する間の前記電子線を加速せしめる構成とする。 （もっと読む）