【課題】イメージシフトの際、両立が困難であった、広い偏向領域と高い寸法計測再現性とを両立できる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子源１０１、偏向手段（１０３、１０４、１０５等）、焦点位置変更手段（１０６、１０８）を制御すると共に検出器１１９により検出された電気信号により画像用データを作成する制御演算部１２１と、撮像条件ごとに登録された補正係数を保存する記録部１２０を有する荷電粒子線装置において、制御演算部は、焦点位置を変えながら複数の画像を取得し、画像内のマークの位置ずれ量と、記録部に登録された補正係数にもとづいて、計測用画像を取得する際に、荷電粒子線のランディング角が垂直となるように光学条件を制御する。 （もっと読む）

【課題】球面収差補正器を備えることにより副次的に生じる２回対称３次スター収差（Ｓ３）と４回対称３次非点収差（Ａ３）とを独立して補正することのできる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】第１と第２の多極子レンズ９、１３と、その間に伝達レンズ１０、１２を含む球面収差補正装置を備えた荷電粒子線装置において、第１の多極子レンズ９へ入射する荷電粒子線３１の光軸１に対する傾斜角θ１に対し、第２の多極子レンズ１３へ入射する荷電粒子線３１の光軸１に対する傾斜角θ２が連動して変化するように、第１の偏向手段８と第２の偏向手段１１とを制御する。 （もっと読む）

【課題】集束イオンビームシステムで使用するための大開口のウィーンＥ×Ｂ質量フィルタを提供する。
【解決手段】Ｅ×Ｂウィーン質量フィルタが、質量分離するために必要な電気双極子の電場と組み合わされた独立して調整可能な電場を提供する。独立して調整可能な電場は、より大きな光学的アパーチャを提供でき、非点収差を補正し、かつ磁場に平行及び／又は垂直な方向にビームを偏向するように使用可能である。 （もっと読む）

【課題】低コストで高精度かつ高分解能の荷電粒子ビーム用収束光学系を提供する。
【解決手段】ビーム軌道を輪帯状に制限し、電磁界をそのビーム軌道軸の中心方向に集中させる分布を作る。その結果、電子レンズの球面収差に代表される外側で大きな非線形の作用を打ち消す。具体的には、軸上に電極を置き電圧を印加すれば、容易に電界集中が発生する。また、磁界の場合は、回転方向に角度等分割した面に径方向に分布巻きしたコイルを形成すれば、磁束密度の集中を制御することができる。 （もっと読む）

【課題】2つの非点収差補正器の励起がそれぞれ異なることで生じるドリフトなしに、2つの面内での非点収差を補正し、同時にLDをも補正する。
【解決手段】光軸に沿って荷電粒子源202、収束光学系208、対物レンズ214、結像光学系216、及び検出系218,224で構成される荷電粒子線装置において、対物レンズ214と検出系218,224との間には、試料210を結像するときの非点収差を減少させるために第1非点収差補正器250および回折面が結像されるときの非点収差を減少させるために第2非点収差補正器252が設けられる。当該装置は、前記対物レンズ214と検出系218,224との間に、第3非点収差補正器254が設けられる結果、直線歪みを減少させる第3の自由度が生成されることを特徴とする。本発明は前記第1非点収差補正器250、第2非点収差補正器252、及び第3非点収差補正器254の使用方法に関する。 （もっと読む）

【課題】高精度で簡単に組み上がる荷電粒子線装置に用いる収差補正器や偏向器用の多極子を実現する。
【解決手段】軟磁性金属若しくは軟磁性金属材と非磁性金属材を用いて構成される複数の極子７を、荷電粒子が通過しうる貫通孔を有する絶縁性の円筒形ハウジング９の内側に設けた光軸０方向に平行な溝１０に嵌め込んで固定して多極子を形成する。これにより１０マイクロメートル以内、角度数秒以内の高精度で、短時間で再現性のよい多極子を実現できる。 （もっと読む）

【課題】 静電型の荷電粒子線レンズは、開口形状の対称性に対する非点収差が敏感であり、製造工程で破損しやすい。
【解決手段】 静電型の荷電粒子線レンズであって、前記荷電粒子線レンズは光軸方向を法線とする第１の面と、該第１の面とは反対側の第２の面とを有する平板を含み、かつ、前記第１の面から前記第２の面に貫通する貫通孔を有する電極を有し、前記貫通孔の前記法線に垂直な面での開口面を開口断面とし、前記開口断面の回帰分析により得られた円の直径を代表直径とするとき、前記第１の面側である第１の領域における前記開口断面の代表直径と、
前記第２の面側である第２の領域における前記開口断面の代表直径と、が各々、前記第１の面と前記第２の面とで挟まれた前記電極の内部の領域である第３の領域における前記開口断面の代表直径よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】 静電型の荷電粒子線レンズは、開口形状の対称性に対する非点収差が敏感であり低収差とするための課題であった。
【解決手段】 荷電粒子線レンズは光軸方向を法線とする第１の面と、該第１の面とは反対側の第２の面とを有する平板を含み、前記第１の面から前記第２の面に貫通する貫通孔を有する電極を有し、前記貫通孔の前記法線に垂直な面での開口面を開口断面とし、前記開口断面の回帰分析により得られた円の直径を代表直径とするとき、前記第１の面側である第１の領域における前記開口断面の代表直径と、前記第２の面側である第２の領域における前記開口断面の代表直径と、が前記第１の面と前記第２の面とで挟まれた前記電極の内部の領域である第３の領域における前記開口断面の代表直径よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】 収差係数の絶対値を高速に求めることができ、高精度の調整が高速にできる、
収差補正器を備えた収束荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】 物点に対して偏向コイル3により入射ビームを傾斜させ，1枚の画像からビ
ーム傾斜時のデフォーカス量と非点量を高速に測定し，得られた結果を最小二乗フィッテ
ィングすることで，ビーム傾斜前の収差係数の絶対値を求め、収差補正器の調整をする。 （もっと読む）

【課題】試料台のドリフトの影響による画像の歪を補正するため、観測用画像より短時間に補正用参照画像を計測し、観測用画像の形状を補正用参照画像の形状を比較することにより補正し、観測用画像の歪を低減する。試料台の移動が停止するまで待たずに、また、より少ない画像より歪を補正することが必要とされる。
【解決手段】観察のために取得する画像と同一の位置と倍率で、歪補正のための参照用画像を計測する。このとき、参照用画像においては、ドリフトの影響を低減するため、本来の観測用画像より短時間で計測を実行する。参照用画像と観測用画像の形状を比較し、観測用画像の形状を、参照用画像の形状に合わせて補正することにより、観測用画像の形状を補正する。 （もっと読む）