【課題】ＨＲイメージを得られる設定に十分なレベルに、ＳＴＥＭを常に、好ましくは自動的に調節する方法を提供する。
【解決手段】
本発明は、結晶サンプルを用いて、ＳＴＥＭのＣｓ補正器を調節する方法に関する。この方法は、スルーフォーカス法によるシリーズを記録し、求めが画像をフーリエ空間に変換し、回折画像のような一組の画像を形成するステップを有する。フーリエ画像の対称性を決定することにより、補正器をチューニングして対称性を良くできる。中心からのスポットの最大距離を決定することにより、伝達限界を決定できる。これらのステップを繰り返し実行することにより、補正器を最適性能までチューニングできる。 （もっと読む）

【課題】高密度の荷電粒子小ビームを用い、高精度で荷電粒子小ビームを操作することのできる粒子光学システムを提供する。
【解決手段】粒子光学装置であって、荷電粒子ビームを発生させる少なくとも１つの荷電粒子源３０１と、複数の開孔を有し、その下流側で荷電粒子ビーム３０９から複数の荷電粒子小ビーム３が形成され、その集束領域に荷電粒子小ビームのそれぞれが焦点３２３を有する少なくとも１つの多孔プレート３１３と、荷電粒子小ビームの焦点が形成される多孔プレートの集束領域で視野レンズの効果を有する焦点レンズ装置３０７と、粒子光学装置の物体面内に位置決め可能な物体上に多孔プレートの集束領域をおおむね結像させるための対物レンズ１０２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 荷電粒子線装置の収差を補正する収差補正器のテーブルデータを容易に取得できる多極子測定装置を提供する。
【解決手段】 光学系１０と収差補正器１１が挿入されるスペースと位置検出器７とを備えた多極子測定装置において、複数の点で行った一次荷電粒子線の収差補正器６への入射位置および角度と位置検出器７上での照射位置と多極子の関係について多極子場を励起した状態および励起しない状態で測定することにより、多極子場を励起した状態に含まれる多極子成分を抽出する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線レンズアレイを構成する絶縁体表面が帯電することによって生じる荷電粒子線の収差を補正することが可能な荷電粒子線レンズアレイを提供する。
【解決手段】荷電粒子源から放射された複数の荷電粒子線の光学特性を制御する荷電粒子線レンズアレイは、絶縁体２Ａ、２Ｂを介して互いに光軸３の方向に離間して支持された複数の電極１Ａ、１Ｂ、１Ｃを有する。電極は荷電粒子線５が通過するための複数の貫通孔４を有する。複数の貫通孔の配置が、２つの並進ベクトルで規定されるそれぞれの基準位置８から、荷電粒子線レンズアレイ内で生じる荷電粒子線の収差を補正する方向にずれている。各貫通孔の基準位置からのずらし量は、基準位置が絶縁体の表面６Ａ、６Ｂに近い程大きく、絶縁体の表面から遠ざかるに従って小さくなる。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線装置において、収差の測定と補正は自動化されていたが、複数の収差を一度に補正することに関して、どのような補正を行うべきかの判断は自動化されていなかった。
【解決手段】荷電粒子線源と、前記荷電粒子線源から放出された荷電粒子を荷電粒子線として試料に対して照射する荷電粒子光学系と、前記荷電粒子光学系の収差を補正する収差補正器と、前記荷電粒子光学系と前記収差補正器の各構成要素を制御する制御手段とを備えた荷電粒子線装置において、最適な調整手順を学習により獲得する自動収差補正装置を備える。自動収差補正装置は、収差補正を複数同時に実施可能な、最適な調整手順を強化学習により獲得する。 （もっと読む）

【課題】 残留収差を発生させることなく、色収差と球面収差を補正することができる電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 色収差補正光学系２７と球面収差補正光学系２８が接続系２９を介して直列に接続されている（タンデム式）。つまり、色収差補正光学系２７と球面収差補正光学系２８は独立して構成されており、色収差と球面収差は別々に補正される。 （もっと読む）

【課題】本発明では、（ａ）走査（透過）電子顕微鏡において、０.１ｎｍ原子サイズ構造の３次元観察を可能とすること、（ｂ）走査（透過）電子顕微鏡において、試料中の原子の３次元構造と材料の特定を可能とすることを目的とする。
【解決手段】本発明は、０.１ｎｍ原子サイズ構造の３次元観察を可能とするために、球面収差係数が小さい電子レンズシステムを有し、照射角の変更が可能な絞り、電子線プローブのプローブサイズおよび照射角度を変更することが可能な照射電子レンズ系、二次電子検出器、透過電子検出器、前方散乱電子線検出器、フォーカス可変装置、画像のコントラストを識別する画像演算装置、画像鮮鋭度を演算する画像演算装置、画像の３次元構築を行う演算装置、二次電子信号と試料前方散乱電子信号を混合するミキサー、を有する走査透過電子顕微鏡。 （もっと読む）

【目的】本発明は、電子銃あるいは試料から放出あるいは反射されたスピン偏極した電子線を任意の方向に回転させるスピン偏極装置に関し、簡略な構造にして照射系全体をコンパクトにすることを目的とする。
【構成】電子銃から放出、あるいは試料から放出または反射されたスピン偏極した電子線をフォーカスさせる第１のコンデンサレンズと、第１のコンデンサレンズで電子線がフォーカスされた点がレンズ中心であって、かつ電場および磁場を発生可能な多極子を有するスピン回転器と、スピン回転器を構成する多極子に、指定された角度だけ電子線のスピンを回転させかつ電子線を直進させるウィーン条件を満たす電圧および電流を印加するウィーン条件発生手段と、スピン回転器でスピンの回転された電子線をフォーカスする第２のコンデンサレンズとを備える。 （もっと読む）

【課題】一次電子ビームのエネルギー幅を低減し、低電圧ＳＥＭの解像度を改善するモノクロメーターを実現する。
【解決手段】光軸Ｚに添って、標準エネルギー及びエネルギー偏差を有する荷電粒子ビームを偏向させるための第１の分散ユニット２００、第２の分散ユニット４００、それらの中間面３１０に配置されたエネルギー制限アパーチャ３００及び荷電粒子ビームの焦点を調整するためのビーム調整素子１００を備えるモノクロメーター５００を形成し、荷電粒子ビームの仮想的なクロスオーバーＳ６を第１の分散ユニット２００とエネルギー制限アパーチャ３００との間に形成する。 （もっと読む）

【課題】球面収差補正器を備えることにより副次的に生じる２回対称３次スター収差（Ｓ３）と４回対称３次非点収差（Ａ３）とを独立して補正することのできる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】第１と第２の多極子レンズ９、１３と、その間に伝達レンズ１０、１２を含む球面収差補正装置を備えた荷電粒子線装置において、第１の多極子レンズ９へ入射する荷電粒子線３１の光軸１に対する傾斜角θ１に対し、第２の多極子レンズ１３へ入射する荷電粒子線３１の光軸１に対する傾斜角θ２が連動して変化するように、第１の偏向手段８と第２の偏向手段１１とを制御する。 （もっと読む）