【課題】球面収差補正光学系において倍率変化が得られるようにし、また、多極子間の光軸に垂直な面内での回転関係を多極子の位相角を変化させることなく補正可能にする。
【解決手段】 ２つの多極子（８，９）間に２つの軸対称レンズ（１０，１１）を配置した電子顕微鏡の球面収差補正装置において、軸対称レンズ間にできる電子軌道の集光面内に、光軸と垂直な面内で電子に回転作用を与える回転補正レンズ（１２）を配置したものである。 （もっと読む）

【課題】高スループットで電位コントラストの測定等を高信頼性で行うことができ、構造が簡単な電子線装置、及び該装置を用いて歩留まり良くデバイスを製造するためのデバイス製造方法を提供すること
【解決手段】パターンが形成された試料を電子線で照射し、該試料の評価を行うための電子線装置は、電子線源ＥＧ、対物レンズ１４、電磁偏向器１１、１２及び二次電子線検出器１７を収容した電子光学鏡筒１を備え、対物レンズ１４は、上部電極１８、中央電極１９及び下部電極２０から構成され、上部電極１８、中央電極１９及び下部電極２０に電圧を印加するための制御電源２１を更に備え、制御電源２１は、中央電極１９に一定値の電圧を印加し、上部電極１８でダイナミック・フォーカスを行って対物レンズ１４が合焦条件を満たすよう動作する。 （もっと読む）

【課題】
偏向器に非点補正と焦点補正を重畳した場合に、焦点補正による像倍率変化や像回転が最小になり、かつ、偏向収差も最小にして高精度な描画を行うことが可能な電子ビーム描画装置を提供する。
【解決手段】
電子ビームの主偏向を行なう静電型の主偏向器２１４と、電子ビームの副偏向を行なう静電型の副偏向器２１６とを有し、かつ、副偏向器２１６の上流に、電子ビームの焦点補正を行なう焦点補正器２１８を設け、電子ビームの非点補正を、主偏向器２１４と副偏向器２１６とを用いて行ない、電子ビームの焦点補正を、主偏向器２１４と焦点補正器２１８とを用いて行なうよう構成する。 （もっと読む）

【課題】TEM、STEM又はSEMにおいて適用する四極子・八極子収差補正器。
【解決手段】対物レンズの３次収差及び５次収差を補正する公知の補正器は、８つの四極子及び３つの八極子によって実施される。本発明による補正器は、少なくとも同じ収差補正力を有するが、本発明によれば、６つの四極子及び３つの八極子によって実施される。比較的弱い励起を備える八極子を四極子の一部分に加えることによって、対物レンズの異方性コマ収差の補正も達成される。四極子全て又はその一部分を電磁気的であるものとして実施することによって、色収差も補正することができる。 （もっと読む）

【課題】軸上色収差以外の収差を低減し、かつ、軸上色収差補正手段の長さを小さく内径を大きくしても軸上色収差を十分に低減する。
【解決手段】試料９上に長方形の視野で１次電子ビームが照射されることにより試料から放出された２次電子は、２次電子光学系により、写像投影光学系で拡大しかつ面検出器又は線検出器に導かれる。２次電子光学系は、試料から放出された２次電子による像を形成する結像手段を構成するレンズ８及び１２と、その後段に設けられ、拡大像の球面収差を補正するウィーンフィルタ１３と、ウィーンフィルタを経た電子ビームを拡大レンズ１４及び１５とを備えている。レンズ１８は、焦点距離を調整可能で軸上色収差の大きさを可変とし、これにより、該軸上色収差の大きさをウィーンフィルタの軸上色収差の大きさと一致させることができる。これにより、球面収差及び軸上色収差の両方を低減させることができる。 （もっと読む）

【課題】軸上色収差補正レンズにより発生される軸外収差を良好に補正する。
【解決手段】電子線の照射により試料１０から放出された２次電子は、ビーム分離器７で偏向され、収差補正静電偏向器１１により垂直方向に偏向され、補助レンズ１２の主面に拡大像を形成する。補助レンズ１２から発散した２次電子ビームは、軸上色収差補正レンズ１４〜１７を通り、拡大レンズ１９用の補助レンズ１８の主面に結像する。補助レンズ１２の主面に形成された拡大像は、光軸から離れた位置にも像が形成されるため、補助レンズ１２から発散された２次電子ビームをそのまま軸上色収差補正レンズ１４〜１７に入射すると、大きな軸外収差が生じる。それを解消するために、補助レンズ１２により、開口２４の像が軸上色収差補正レンズ１４〜１７の光軸方向のほぼ中央１８に形成されるようにする。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビームカラムの自動アライメント及び非点収差の自動補正を高精度でかつ短い時間で実施できるようにする。
【解決手段】ビームを絞りの２つのエッジに向けて偏向し、消光を得るために必要な信号から計算した補正偏向フィールドを偏向部に与えて自動アライメントを行なう。更に、加速電圧の変調（ウォブリング）によってデフォーカシングを行い、これにより生じた画像シフトに基づいて計算された信号を偏向部に与えて自動アライメントを行なう。更に、加速電圧と非点補正コイル励磁電流を変えながら測定した一連のフレームに対して鮮鋭度を評価し前記非点補正コイル励磁電流を最適値に設定して非点収差を自動補正する。 （もっと読む）

【課題】半導体の検査および計測に使用される電子顕微鏡等の荷電粒子ビーム装置用の「撮像装置」（収差補正装置に準ずる装置）であって、ＥＤＸ分析、ＷＤＸ分析、欠陥検査等の分解能およびスループットを向上させるために高プローブ電流で分散の小さいビームを形成できるようにする。
【解決手段】２ｘｍ極子要素を備えたウィーンフィルタ２の第１開口６の上流と第２開口７の下流にそれぞれ第１レンズ１および第２レンズ３を配置し、第１レンズ１の中間像面Ｚ_１を前記第１開口６と前記第１レンズ１との間に、第２レンズ３の中間物体面Ｚ_３を前記第２開口７と前記第２レンズ３との間に位置させ、前記Ｚ_１に形成された像をウィーンフィルタで分散を除去して前記Ｚ_３に移送する。 （もっと読む）

【課題】軸上色収差を小さくして、２次電子の透過率を大きくし、高スループットで試料の評価を行う。
【解決手段】電子銃１-1から放出された電子ビームが１次電子光学系を介して試料７-1上に照射され、それにより試料から放出された電子が２次電子光学系を介して検出器１２-1において検出される。軸上色収差補正用の多極子レンズからなるウィーンフィルタ８-1が、２次電子光学系の拡大レンズ１０-1と１次電子ビーム及び２次電子ビームを分離するビーム分離器５-1との間に配置され、磁気ギャップが試料側に設けられた電磁レンズからなる対物レンズ１４-1で生じた軸上色収差を、ウィーンフィルタで補正する。 （もっと読む）

【課題】 視野が大きい写像投影型の欠陥検査装置及びリソグラフィ装置において、ビーム電流を大きくできるようにする。
【解決手段】 電子銃１からの１次電子線は、コンデンサレンズ２、開口（ＮＡ）３、照射レンズ４、対物レンズ５を介して試料６の表面に照射される。電子線は、光軸から離れるほど収差が大きくなるが、対物レンズ５の内部に配置されたＭＯＬ偏向器７及び軸対称電極８によって適切な電界又は磁界を与えることにより、対物レンズの軸の平行移動ができるので、広い視野を得ることが可能となる。対物レンズを通過した２次電子像の正の軸上色収差は、色収差補正器１２により生じる負の軸上色収差で補正される。これにより、ＮＡを大きくすることができるので、同一の解像度を得る場合であってもビーム電流を大きくすることができ、高スループットの評価を行うことができる。 （もっと読む）