【課題】
マルチビーム型露光装置において、マルチビームを平行に照射し、歪が少ない配列で、ビームアライメントを効率よく行なうことができる荷電粒子ビームを提供する。
【解決手段】
マルチビームと同じ間隔の開口を有する絞り板３３を設置し、マルチビームをまとめて絞り板上を走査し、検出された像が極小になるようにコリメータレンズ２１のレンズ値を設定する。また、検出像が所望の対称性をもつように、非点補正器２２を調整する。検出結果を表示機構において、像を視野中心に設定することにより、ビーム検出を可能とするビームアライメント条件を導出する。 （もっと読む）

【課題】 マルチ電子ビーム描画装置などの電子ビーム応用装置において、レンズ収差の影響を軽減して高精度な電子ビーム調整を行うことができる技術を提供する。
【解決手段】 アパーチャアレイ１１３、レンズアレイ１１４、ブランカーアレイ１１５からマルチビームを生成する電子ビーム応用装置において、アパーチャアレイ１１３とレンズアレイ１１４間の対応する開口２０１，２０２の位置関係をずらして不均一とすることにより、後段のレンズにより生じる収差を補正することが可能となり、電子ビームの特性の均一性を確保することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は電子ビーム描画装置におけるフォーカス・非点収差補正調整方法に関し、Ｘ，Ｙ軸から４５゜回転した軸方向にある非点収差を確実に補正することができる電子ビーム描画装置におけるフォーカス・非点収差補正調整方法を提供することを目的としている。
【解決手段】 ナイフエッジ法を用いたフォーカス調整機構と非点収差補正機構を具備する電子ビーム描画装置であって吸収電子信号検出器としてナイフエッジ法測定器２を用いるものにおいて、非点収差補正器を６用いた非点収差の補正を先に行ない、その後に対物レンズ４を用いたフォーカス調整を行なうようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、電子ビーム傾斜時におけるビーム条件を調整するのに好適なビーム条件調整方法、及びそれを用いた装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
傾斜用偏向器によってビームを傾斜する荷電粒子線装置において、ビームの傾斜角度調整や電子ビーム傾斜時に発生する像歪を補正するための歪調整について、例えばピラミッド形状の試料等の特定の試料を用いて実施し、傾斜前後に取得する画像を取得して画像処理を実施することで傾斜角度の値や歪量を求めるようにし、所定の処理フローに従って傾斜角度の調整や歪補正の調整を自動化する。 （もっと読む）

【課題】
大角度ビーム傾斜時に像ずれや像分解能劣化をおこさない荷電粒子ビームカラムを提供する。
【解決手段】
収差補正器１０を含む荷電粒子ビームカラムにおいて、偏向器５１を用いてコンデンサーレンズの物点を動かすことなく、ビームの第２コンデンサーレンズ７への入射方向を制御することにより、光軸上にある対物レンズ１７の物点を動かすことなく、試料１８面に対し大角度で傾斜した収束荷電粒子線ビームを形成する。このとき、収差補正器１０によりビーム傾斜による像移動や分解能低下が防止される。 （もっと読む）

【課題】従来とは異なる原理および手段によるコマフリー軸調整法を提供する。
【解決手段】収束レンズ系を用いて試料の近傍に入射電子を収束し、対物レンズおよび結像レンズ系を用いて電子顕微鏡像を観察する、透過電子顕微鏡において、前記試料を結晶性試料とし、前記入射電子の入射方向を前記試料のほぼ晶帯軸とし、試料によって散乱された散乱電子により形成され、前記電子顕微鏡像に観察されるブラッグ回折斑点が、点対称となるように、前記入射電子の入射方向を調整することを特徴とする、透過電子顕微鏡のコマフリー軸調整方法。 （もっと読む）

【課題】試料に対してビームを傾斜しても分解能低下の少ない荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】複数のレンズ６，７に対して一次ビーム４の軌道を軸外に通し、その軸外軌道を制御することにより、ビーム傾斜時に対物レンズ７で発生する収差を他のレンズ６の収差でキャンセルする手段を備え、対物レンズを含む複数のレンズの励磁を同時に変調する手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】 収差の小さい対物レンズを用いて、高スループットで試料の評価を行うことが可能な電子線装置を提供すること。
【解決手段】 複数の一次電子線を対物レンズで収束して試料を走査し、該試料から放出される二次電子線を検出して前記試料の評価を行う電子線装置は、電子銃ＥＧからの電子線で照射される複数の開口６と、ＮＡ開口７と、縮小レンズ８と、磁極間隙１４を試料１０の側に有する電磁レンズを有する対物レンズ９と、電子線走査用の偏向器１２と、二次電子線を一次電子線から分離する分離器１３と、二次電子線を検出する複数の二次電子検出器２０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 試料の傾斜角や高さに依存することなく、精度のよい試料の画像計測が行なえる電子線装置と電子線装置用基準試料を提供する。
【解決手段】 上記目的を達成する本発明の電子線システムは、例えば図１に示すように、電子線を射出する電子線源１と、電子線源１から射出された電子線７を収束し、試料９に照射する電子光学系２と、電子線７が照射された試料９からの電子７ｄを受け取る検出部４と、試料９を支持する試料支持部３と、試料支持部３で支持された試料９に照射される電子線７と試料３とを相対的に傾斜させる試料傾斜部５（５ａ，５ｂ）と、前記相対的な傾斜が自在であるように試料支持部３で支持された少なくとも傾斜した２面を有する基準試料９ａから電子を受け取った検出部４からの検出信号を、傾斜毎に受け取り、前記傾斜した２面の画像と基準試料９ａの基準寸法とから、基準試料９ａの傾斜角度を求めるデータ処理部２０等とを備える。 （もっと読む）

【課題】 電子ビームの非点補正作業を効率良く行える電子ビーム装置を提供する。
【解決手段】 電子ビーム源１から試料１０に照射された電子ビーム３１の非点を補正するための非点補正手段２４と、非点補正手段２４による電子ビーム３１の非点補正方向とその補正量を調整するための操作部２５と、電子ビーム３１が照射された試料１０の像を作成するための像作成手段と、像作成手段により作成された像を表示するための表示手段１７とを備える電子ビーム装置において、操作部２５による調整方向と電子ビーム３１の非点補正方向との関係を表す図形を表示する指示ウインドウを作成するためのウインドウ作成部１５を備え、当該ウインドウ作成部１５により作成される指示ウインドウ内の前記図形が設定可能とされ、設定された前記図形を含む指示ウインドウが表示手段１７により表示される。 （もっと読む）