【課題】本発明は、略直方体構成を備える筐体を提供する。
【解決手段】本発明は、音響振動に敏感な装置を含むようになっている略直方体構成を備える筐体に係る。その筐体は、壁と、該壁内に設置される音響減衰材料とを有し、該音響減衰材料は音響エネルギー吸収材料の吸収体を少なくとも１つ有し、吸収体は、筐体のリブに隣接して設置されている。筐体内の装置の処理を最も妨げる音響振動が、筐体内の定常音波によって引き起こされ、定常音波の周波数は、５０Ｈｚ〜１０００Ｈｚの範囲である。これら音波は、筐体のリブのうち１つに隣接する音響吸収材料のブロックを提供することによって効果的に減衰され、減衰は、筐体の厚い壁が実質的に不要になるほどまで成され、より容積の小さい筐体へと至る。 （もっと読む）

【課題】電子ビーム鏡筒を移動させることによって、試料保持部に保持される試料の観察面上の各箇所を観察する位置に電子ビーム鏡筒を位置付けることにより、装置の床面積を節約する電子顕微鏡において、電子ビーム鏡筒の移動部から発生するパーティクルが試料の観察面に落ちることを防止する。
【解決手段】電子顕微鏡１を、試料Ｓ面と平行な面を成す第１方向（Ｘ）及び第２方向（Ｙ）のうちの第１方向（Ｘ）に沿わせて電子ビーム鏡筒（１０）を直動させるため第１方向ガイド（６０ａ、６０ｂ）と、電子ビーム鏡筒１０を第２方向（Ｙ）に沿わせて直動させるための可動第２方向ガイド（７０）と、可動第２方向ガイド（７０）を試料Ｓの上方から退避させるための退避領域Ｒと、可動第２方向ガイド（７０）を退避領域Ｒに移動させる可動第２方向ガイド移動部（６１ａ、６１ｂ）とを備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】電子ビーム鏡筒を移動させて、試料保持部に保持される試料の観察面上の各箇所を観察する位置に電子ビーム鏡筒を位置付けることによって装置の床面積を節約する電子顕微鏡において、真空試料室に試料を搬入する際にロードロック室を介さなくとも、真空試料室内の真空引き作業による電子顕微鏡のスループット低減を防止する。
【解決手段】電子顕微鏡１は、電子ビーム鏡筒１０を移動させる電子ビーム鏡筒移動部６０、６１、７０、７１と、試料Ｓａ、Ｓｂをそれぞれ収納する複数の試料室２０ａ、２０ｂと、複数の試料室の内部を個別に真空状態にする真空ポンプ３２、３３と、を備えて構成する。電子ビーム鏡筒１０を移動させて、複数の試料室２０ａ、２０ｂ内のいずれかを大気状態にしている間に真空状態にされた他の試料室内に収納された試料を観察する。 （もっと読む）

【課題】対物レンズである静電レンズに微量な塵が付着してしまうことを防止し、静電レンズに高電圧を印加することが可能な荷電粒子ビーム装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビーム装置１は、チャンバー内排気手段４によって内部２ａを排気可能なチャンバー２と、チャンバー２の内部２ａに配置された試料Ｓに対して荷電粒子ビームＢ１を照射する鏡筒３とを備えている。鏡筒３は、荷電粒子ビームＢ１が放出される照射口６が形成された筒体５と、筒体５の内部５ｂの基端５ｃ側に収容され、荷電粒子ビームＢ１を放出する荷電粒子供給部７と、筒体５の内部５ｂの先端５ａ側に収容され、電界を発生させ、荷電粒子供給部７から放出された荷電粒子ビームＢ１を集束させる静電レンズを有した対物レンズ１１とを備えている。鏡筒３の筒体５には、筒体５の内部５ｂにガスＧを供給可能な給気手段１２が、対物レンズ１１の基端側に設けられている。 （もっと読む）

【目的】本発明は、大判の試料を非切断で画像を生成するハンディ電子顕微鏡に関し、シュラウドを大判の試料に接触させて真空排気した状態でシュラウドを任意の位置に容易に移動して画像を生成すことを目的とする。
【構成】 真空排気する真空排気管を接続する接続口を設けて内部を真空排気経路とした、円筒状の一方を密閉し他方を開放したシュラウドと、シュラウドの内部に内蔵あるいは真空排気する部分を内蔵した超小型の小指タイプの走査型電子顕微鏡の鏡筒と、シュラウドの開放した部分に大判試料と接して真空シールする真空シール機構と、シュラウドの開放した部分に大判試料と接したときに真空シール機構で真空シールしたときにシュラウドが大判試料に対して容易に移動可能にする移動機構と、検出器とを備える。 （もっと読む）

【課題】高スループットな検査装置を提供すること。
【解決手段】シートビーム式検査装置は、ウェハを収納したカセットを保持するカセットホルダ１０と、空間内の雰囲気が制御されたミニエンバイロメント装置２０と、試料を保持するステージ５０と、試料に所定幅のシート状の一次電子線を照射する一次光学系と、試料から放出された二次電子を捕捉する二次光学系とを有するワーキングチャンバ３０と、ミニエンバイロメント装置とワーキングチャンバとの間に設けられ、試料を搬送するローダハウジング４０と備え、ミニエンバイロメント装置とローダハウジングとの間に防振用クッションを備え、ワーキングチャンバが頂壁、周壁及び底壁に囲まれた剛構造からなり、ローダハウジング及びワーキングチャンバの下に、床からの振動の伝達を阻止するための防振装置３７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】電子ビーム露光装置内部のコンタミネーションの発生を抑制するとともにビームドリフトの発生を抑制することのできる電子ビーム露光装置及び電子ビーム露光装置のクリーニング方法を提供すること。
【解決手段】電子銃１０１から発生させた電子ビームでウエハステージ１２４に載置した試料上に所望のパターンを露光する電子ビーム露光装置において、前記電子銃１０１及びウエハステージ１２４が収納されているコラム１００内に還元性ガスを注入する手段１２９と、前記コラム１００内に前記還元性ガスの注入を所定の時間継続して行わせる制御手段２０９とを有する。更に前記コラム１００内にオゾンガスを注入する手段１２８を有し、前記制御手段２０９は、前記コラム１００内に前記還元性ガスの注入に加えてオゾンガスの注入を所定の時間継続して行わせるようにしてもよい。 （もっと読む）

【目的】本発明は、電子線を細く絞って試料に照射しつつ平面走査し、放出された２次電子あるいは反射された反射電子を検出して画像を生成する走査型電子顕微鏡の試料室差動排気装置に関し、小さな排気系で差動排気性能を有効活用し、試料室の真空を低真空にしても２次電子や反射電子を検出する検出器の寿命を大幅に向上させることを目的とする。
【構成】 試料を配置する試料室と試料室に配置した試料に電子線ビームを照射して放出された２次電子あるいは反射された反射電子を検出する検出器との間に設けた、差動排気するための複数段のオリフィスと、複数段のオリフィスの部分に直接に接続した排気系と
からなる試料室差動排気装置である。 （もっと読む）

【課題】 分析内容に応じて冷凍機本体の運転を切替えて、振動による影響の低減と冷却性能の向上とを両立させるようにした試料分析装置を提供する。
【解決手段】
電子顕微鏡２０またはＥＤＳ検出器１０のどちらが運転されているかという運転状態を検出して冷凍機本体１ａに対して運転切替信号を出力する運転状態検出制御部７と、運転切替信号に基づいて冷凍機本体１ａの駆動を制御する駆動電源部６と、を備え、電子顕微鏡２０の運転時ではＸ線検出素子の許容上限温度まで温度上昇させて予冷運転し、ＥＤＳ検出器１０の運転時ではＸ線検出素子の運転温度まで温度下降させて本運転するような試料分析装置１０００とした。 （もっと読む）

【課題】環境磁場のシールド性を備えた電子線装置の構造を提供する。
【解決手段】電子線を試料に収束させる磁界レンズを収納する鏡筒と、前記試料を収納する試料室容器とを備え、該試料室容器本体は、その材料として非磁性かつ導電性を有するアルミニウム合金を用い、側壁の肉厚は３５mm以上であり、該側壁と底壁とが一体構造であり、内側面の４つの角部にアールを付けた構造とした。 （もっと読む）