【課題】本発明は試料観察装置に関し、薄膜が破損した時に真空室内に試料溶液が飛翔することを防止することができる試料観察装置を提供することを目的としている。
【解決手段】第１の面に試料が保持される薄膜４１と、該薄膜４１の第２の面に接する雰囲気を減圧する真空室と、該真空室に接続され、前記薄膜４１を介して試料２０に１次線を照射する１次線照射手段と、該１次線の照射により試料から発生する２次的信号を検出する信号検出手段４を具備する試料観察装置において、前記薄膜４１をその中央部に配置するシャーレ４０と、該シャーレ４０を支持する台座４２’よりなる試料保持手段を有し、該試料保持手段の台座４２’の真空室側に試料溶液が飛翔することを防止するための溶液飛翔防止壁４７を設けて構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、大電流が得られ、高安定なガス電界電離イオン源、及び高分解能でかつ大焦点深度のイオン顕微鏡を提供することに関する。
【解決手段】本発明は、ガス電界電離イオン源を備えたイオン顕微鏡において、ガス電界電離イオン源を冷却する冷凍機をイオン顕微鏡本体とは独立に設置し、ガス電界電離イオン源と冷凍機の間で冷媒を循環させる冷媒循環回路冷却機構を設けることに関する。本発明により、ガス電界電離イオン源に伝播する冷凍機の機械振動を低減でき、イオン源輝度の向上と、イオンビームの集束性能向上と、を両立できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は電子顕微鏡に関し、大気圧での気体と固体の反応過程の観察が実現できる電子顕微鏡を提供することを目的としている。
【解決手段】電子線を出射する電子線源１と、該電子線源１から出射される電子線を集束させる電磁レンズと、該電磁レンズを通過した電子線の光軸調整を行なうアライメントコイルと、試料近傍の雰囲気を制御する制御装置と、鏡筒の所定の箇所に少なくとも一つ設けられた排気ポンプと、試料近傍に設けられたガス導入装置１２と、試料に電子線を照射して該照射領域からの信号に基づいて画像を構成する画像構成装置３５と、画像を記録及び表示する画像出力装置と、これら各構成要素を制御するコンピュータ５０とを搭載した電子顕微鏡において、前記コンピュータ５０は、ガス種と試料近傍の圧力とから、高圧タンクを放電させない圧力を維持できるオリフィスの数及びこれらオリフィスの径を求めるように構成される。 （もっと読む）

【課題】ステージ駆動時の反力で励起されるイオンポンプの固有振動を短時間で減衰させ、力のループと電流のループの発生を防ぎ、高分解能かつ高スループットの荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】試料３を内部に配置する試料室４と、荷電粒子線１０を試料３に照射するための荷電粒子線光学鏡筒１と、荷電粒子線光学鏡筒１の内部を排気するイオンポンプ２ａ、２ｂとを備える荷電粒子線装置において、試料室４に、イオンポンプ２ａ、２ｂの一端に対向してフレーム１６が固定され、フレーム１６とイオンポンプ２ａ、２ｂの一端との間に振動吸収体が設けられ、この振動吸収体は、粘弾性体シート２０ａ、ｂを金属板１８ａ１８ｂ、２１ａ、２１ｂで挟んだ積層構造体によって構成される。 （もっと読む）

【課題】安価で、使い易く、例えば教室のテーブル上に置くことのできる十分に小さな寸法とすることができる走査型電子顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 小型の電子顕微鏡が、サンプルが存在する真空領域の一部を形成する壁を有する取外し可能なサンプルホルダを使用する。取外し可能なサンプルホルダを用いて真空を含むことによって、撮像の前に真空排気を必要とする空気の容積が著しく低減され、顕微鏡を迅速に真空排気することができる。好適な実施形態では、摺動真空シールが電子カラムの下にサンプルホルダを位置決めすることを可能にし、サンプルホルダは最初に真空バッファの下を通過されて、サンプルホルダ内の空気が除去される。 （もっと読む）

【課題】構成を複雑化することなくステージの移動時の振動を抑制することが可能なステージ装置を提供する。
【解決手段】ステージ装置は、ステージ機構とカウンタマス機構と制御装置とを有し、制御装置は、ステージ機構を制御するカウンタマス制御ユニットとカウンタマス機構を制御するカウンタマス制御ユニットを有する。カウンタマスの可動平面とステージの可動平面は、互いに平行であり、且つ、互いに隔てられて配置されている。 （もっと読む）

【目的】真空下で使用した際の電子光学鏡筒の傾斜角をより小さくすることが可能な描画装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様の描画装置は、試料を載置するＸＹステージ１０５と、ＸＹステージ１０５を内部に配置し、１つの側面にＸＹステージ１０５の搬出入が可能なサイズの開口部２０が形成され、開口部２０が別体の扉３０で塞がれた描画室１０３と、描画室１０３上に配置された電子光学鏡筒１０２と、開口部２０が形成された描画室１０３の側面の上部に凸に形成されたリブ部１０と、を備えたことを特徴とする。本発明によれば、真空雰囲気下で使用した際の電子光学鏡筒の傾斜角をより小さくすることができる。 （もっと読む）

複数の荷電粒子リソグラフィ装置を具備する構成体であって、各荷電粒子リソグラフィ装置は、真空チャンバ（４００）を有する。この構成体は、複数のリソグラフィ装置にウェーハを運搬するための共通のロボット（３０５）と、夫々の真空チャンバ（４００）の前面に配置された、各荷電粒子リソグラフィ装置のためのウェーハロードユニット（３０３）とをさらに具備する。複数のリソグラフィ装置は、これらリソグラフィ装置の前面が、各装置にウェーハを運搬するための共通のロボット（３０５）の通路を収容している通路（３１０）を面している状態で、列をなして配置され、各リソグラフィ装置の後面は、アクセス通路（３０６）に面し、各真空チャンバの後壁には、夫々のリソグラフィ装置へのアクセスのためのアクセスドアが設けられている。
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本発明は、少なくとも１つの荷電粒子ビーム（１２３）を発生させるための荷電粒子源（１０１）と、ビームをウェーハ上に投影するための荷電粒子投影器（１０８，１０９，１１０）と、ウェーハ（１３０）を移動させるための可動式のウェーハステージ（１３２）とを具備する荷電粒子リソグラフィ装置（１００）に関する。荷電粒子源、荷電粒子投影器及び可動式のウェーハステージは、真空環境を形成する共通の真空チャンバ（１４０，４００）中に配置されている。真空チャンバは、チャンバ及びドア（４０２）にウェーハをロードするための開口を有する。
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【課題】荷電粒子リソグラフィ装置と、真空チャンバー内の真空を生成する方法を提供する。
【解決手段】内部空間を取り囲む複数の壁パネル（５１０）を備えている真空チャンバー（４００）であり、壁パネルは、所定の配置で壁パネルを設置するための複数の接続部材（５０４，５２４，５２８）を使用してチャンバーに取り外し可能に取り付けられてチャンバーを形成する。真空チャンバーは、壁パネルの端に設けられた一つ以上のシール部材（５２２）をさらに備えている。壁パネルは、内部空間に真空を形成する結果として壁パネルの端に真空密接シールが形成されるように配置される。
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