【課題】周回軌道を回る間に追いつき、追い越しによって混在した異なる質量のイオンを分離して検出できるようにする。
【解決手段】周回軌道Ｐを離れたイオンを、一対の平板状の磁極７の間に形成される均一磁場Ｂ中を通過させ、ローレンツ力によりイオンを質量に応じてその進行方向と直交する方向に偏向させる。この偏向によって一次元的に広がったイオンを検出するようにアレイ状の検出器６を配置する。これにより、イオンは質量に応じてその進行方向に空間的に（検出器６に到達する時間的に）分離されるとともに、進行方向に直交する方向にも空間的に分離される。このようにして、周回軌道Ｐを周回する間に混在した異なる質量のイオンも確実に分離して検出できるから、高い質量分解能での分析を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 コイルの渡り部の張り出し距離を小さくして分析電磁石の小型化および低消費電力化を可能にし、ひいてはイオン注入装置の小型化および低消費電力化を可能にする。
【解決手段】 イオン注入装置を構成する分析電磁石２００は、第１内側コイル２０６、第２内側コイル２１２、三つの第１外側コイル２１８、三つの第２外側コイル２２４およびヨーク２３０を備えている。内側コイル２０６、２１２はそれぞれ鞍型のコイルであって、両者が協働してイオンビームをＸ方向に曲げる主磁界を発生させる。各外側コイル２１８、２２４は、それぞれ鞍型のコイルであって、主磁界の補正を行う副磁界を発生させる。各コイルは、積層絶縁体の外周面に、絶縁シートおよび導体シートを互いに重ね合わせたものを複数回巻いて積層し、その外周面に積層絶縁体を形成した扇型筒状の積層コイルに切欠き部を設けた構成をしている。 （もっと読む）

【課題】 コイルの渡り部の、ヨークからのビーム入出射方向への張り出し距離を小さくして分析電磁石の小型化を可能にすると共に、消費電力を小さくすることができる分析電磁石を提供する。
【解決手段】 この分析電磁石２００は、第１内側コイル２０６、第２内側コイル２１２、三つの第１外側コイル２１８、三つの第２外側コイル２２４およびヨーク２３０を備えている。内側コイル２０６、２１２はそれぞれ鞍型のコイルであって、両者が協働してイオンビームをＸ方向に曲げる主磁界を発生させる。各外側コイル２１８、２２４は、それぞれ鞍型のコイルであって、主磁界の補正を行う副磁界を発生させる。各コイルは、積層絶縁体の外周面に、絶縁シートおよび導体シートを互いに重ね合わせたものを複数回巻いて積層し、その外周面に積層絶縁体を形成した扇型筒状の積層コイルに切欠き部を設けた構成をしている。 （もっと読む）

【課題】 リボン状のイオンビームを曲げる分析電磁石であって、出射時のイオンビームの形態の乱れを小さく抑えることができる分析電磁石とその関連技術を提供する。
【解決手段】 この分析電磁石２００は、第１主コイル２０６、第２主コイル２１２、三つの第１副コイル２１８、三つの第２副コイル２２４、ヨーク２３０および一組の磁極２３２を備えている。両主コイル２０６、２１２は、それぞれ、リボン状のイオンビーム５０のＹ方向の一方側の半分以上ずつをカバーする本体部２０８、２１４を有する鞍型のコイルであって、互いに協働してイオンビーム５０をＸ方向に曲げる主磁界を発生させる。各副コイル２１８、２２４は、それぞれ、各主コイル２０６、２１２の外側に位置する本体部を有する鞍型のコイルであって、主磁界の補正を行う副磁界を発生させる。 （もっと読む）

【課題】 比較的簡単な構造で、リボン状のイオンビームの歪みを小さくすることができる分析電磁石を提供する。
【解決手段】 この分析電磁石４０は、平面形状が湾曲した磁極８０を、イオンビーム２の進行方向に沿って三つの部分磁極８１〜８３に分割している。そして、イオンビーム２の入口から数えて１番目および３番目の部分磁極８１および８３のギャップを、上記湾曲の外側に向けて広げている。２番目の部分磁極８２のギャップを、上記湾曲の内側に向けて広げている。 （もっと読む）

【課題】 縦断面が長円形、円形、楕円形の粒子ビームを、縦断面が横方向に長い長円形状、楕円形状の粒子ビームとなるように整形して、偏向走査装置に入射させることができるようにする。
【解決手段】 イオンビーム発生源１１から引き出されたイオンビームを、質量分析磁石装置１３、質量分析スリット１５、偏向走査装置１７の順に通過させ、被処理物に照射させるビーム処理装置において、質量分析磁石装置と偏向走査装置との間であって質量分析磁石装置を通過したイオンビームが横方向に最も集束する位置に前記質量分析スリットを設け、該質量分析スリットの上流側及び下流側に、それぞれ第１の直流四極電磁石１４及び第２の直流四極電磁石１６を設けた。 （もっと読む）

【課題】プリカーサイオンの運動エネルギー分布および空間的な拡がりを、共に小さく抑えつつ、プリカーサイオンを減速させるタンデム型質量分析装置を実現する。
【解決手段】第１の質量分析装置１１で生成および抽出されるプリカーサイオンを、第１〜３の電極１２〜１４に対して、これら電極より形成される減速電場の方向と若干の角度を有する斜め方向に入射し、減速電場方向の速度が零となる第２の電極１３および第３の電極１４の中心位置にプリカーサイオンが到達するタイミングで、減速電場と直交する加速電場を印可し、開裂手段１７に入力させることとしているので、プリカーサイオンの運動エネルギー分布を小さなものとし、ひいては開裂手段１７によりプリカーサイオンから形成されるプロダクトイオンの運動エネルギー分布も小さなものとすることを実現させる。 （もっと読む）

【課題】予め定められた軌道を選択的に設定するための装置と方法であり、軸に関して第１質量／電荷比（m₁）のイオンに対して電界が実質的に均一な磁界（E x B）を横切ることを必要とする。
【解決手段】磁界は軸に沿って方向付けられ、電界は直流電圧成分（∇Φ₀）及び交流電圧成分（∇Φ₁）の両方を有する。操作において、Φ₁がゼロのとき、軸の周囲の限定軌道上にイオン（m₁）を位置付けするために電圧Φ₀は固定的に設定される。一方、Φ₁が予め定められた値に調整されたとき、イオン（m₁）は軸から離れて放出される。チャンバ内に（E x B）が設定されることにより、限定軌道（Φ₁=0）のとき、イオン（m₁）はチャンバを通過し、非限定軌道上（Φ₁=所定値）のとき、イオンはチャンバの壁に放射される。 （もっと読む）

【課題】微量ガス漏れ検出分野に於いて改良された質量分析計と方法とが必要である。
【解決手段】質量分析計は、間隙を区画する相互離間した磁極片を含み、かつ前記間隙に於いて磁界を生成する主磁石と、イオンを発生させかつ前記イオンを前記間隙内の前記磁界内部に加速させる、前記間隙外部に位置するイオン源と、前記イオン源により生成され且つ前記磁界により偏向されたイオンのうちの選択種を検出するイオン検出器とを含む。前記イオン検出器は、前記間隙に於いて、前記選択イオン種の自然焦点に位置している。この質量分析計は、微量ガス漏れ検出器に於いて使用してもよい。 （もっと読む）

【課題】シリコーンウエハへイオンを注入するためにイオンビームを供給するのに使用する質量分析磁石及び／あるいは他の磁石構造を有するイオン注入機、システム、方法を提供する。
【解決手段】イオンビーム注入機10は、ビームラインに沿って移動するイオンビーム14を発生するためのイオン源12と、イオン注入室22とを含み、イオンビームによってワークピース24の表面にイオン注入するために、ワークピースがイオンビームを横断するように位置づけられる。ビームラインに沿って位置する種々の超伝導材料からなる磁石30,40,42,44が、イオンビーム及びイオンを操作するために備えられる。超伝導材料として、臨界温度の低いＴ_Ｃ材料（例 ＮｂＴｉ）又はより高いＴ_Ｃ材料（例 ＭｇＢ_２、Ｂｉ_２Ｓｒ_２ＣａＣｕ_２Ｏ_８）で作られる磁石を有するイオンビーム注入機が開示されている。 （もっと読む）