国際特許分類[H01L27/112]の内容
電気 (1,674,590) | 基本的電気素子 (808,144) | 半導体装置,他に属さない電気的固体装置 (445,984) | 1つの共通基板内または上に形成された複数の半導体構成部品または他の固体構成部品からなる装置 (52,733) | 整流,発振,増幅またはスイッチングに特に適用される半導体構成部品を含むものであり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有する集積化された受動回路素子を含むもの (38,321) | 基板が半導体本体であるもの (36,153) | 複数の個々の構成部品を反復した形で含むもの (15,853) | 電界効果構成部品を含むもの (11,969) | リードオンリーメモリ構造 (4,422)
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電気的にプログラム可能な読み出し専用メモリ (4,302)
国際特許分類[H01L27/112]に分類される特許
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メモリ及びその製造方法
【課題】 メモリサイズを小さくすることが可能なメモリを提供する。
【解決手段】 このメモリは、p型シリコン基板11の主表面に形成され、メモリセル9に含まれるダイオード10のカソードおよびワード7として機能するn型不純物領域12と、n型不純物領域12の表面に所定の間隔を隔てて複数形成され、ダイオード10のアノードとして機能するp型不純物領域14と、p型シリコン基板11上に形成され、p型不純物領域14に接続されるビット線8と、各n型不純物領域12間を分離する素子分離絶縁膜上に形成され、n型不純物領域12に対して所定の間隔ごとに接続される配線層27とを備えている。
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メモリ及びその製造方法
【課題】 メモリサイズを小さくすることが可能なメモリを提供する。
【解決手段】 このメモリは、p型シリコン基板11の主表面に形成され、メモリセル9に含まれるダイオード10のカソードおよびワード7として機能するn型不純物領域12と、n型不純物領域12の表面に所定の間隔を隔てて複数形成され、ダイオード10のアノードとして機能するp型不純物領域14と、p型シリコン基板11上に形成され、p型不純物領域14に接続されるビット線8と、ビット線8よりも下層に設けられ、n型不純物領域12に対して所定の間隔ごとに接続される配線層27とを備えている。
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半導体集積回路装置およびその製造方法
【課題】メモリセル面積が小さく信頼性の高いマスクROMを短TATで製造できる技術を提供する。
【解決手段】n型の導電型を有する不純物が導入された多結晶シリコン膜からなるn型ゲート電極10Nを備えるnチャネル型のMISFETQLと、p型の導電型を有する不純物が導入された多結晶シリコン膜からなるp型ゲート電極10Pを備えるnチャネル型のMISFETQHとからメモリセルを形成する。n型ゲート電極10Nおよびp型ゲート電極10Pには、さらにn型の導電型を有する不純物が導入し、nチャネル型のMISFETQLのしきい値電圧をnチャネル型のMISFETQHのしきい値電圧より相対的に低くする。
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レーザ照射装置、レーザ照射方法、及び半導体装置の作製方法
【課題】レーザビームの利用効率を向上させると共に、DMDにおける迷光の影響を排除し、均一なビームスポットで照射パターンを形成することのできるレーザ照射装置及びレーザ照射方法を提供する。
【解決手段】レーザ照射装置は少なくともレーザ発振器と回折光学素子と微少なミラーが二次元的に多数並べられた光学素子とを有し、該レーザ発振器から射出したレーザビームは回折光学素子によって複数のレーザビームに分割され、該レーザビームは複数のマイクロミラーにおいて偏向される。また、該前記複数に分割されたレーザビームのそれぞれは互いに等しいエネルギーを有する。
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不揮発性半導体記憶装置
【課題】MONOS型不揮発性メモリの微細化に伴って、電荷保持膜の薄膜化などによる電荷保持特性の劣化を回避可能とする。
【解決手段】電荷保持膜の膜厚方向でのトラップ密度及びトラップレベルの分布を複数のステップ状の分布などとする。一例として、トラップ密度が高くトラップレベルの浅いSi−rich Si3N4膜をトラップ密度の低いSi3N4膜で挟む3層スタック構造に構成することにより、注入電荷がSi−rich Si3N4膜に集中され、電荷保持膜が薄膜化されても、電荷保持特性の高い膜を得ることができる
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読み取り専用メモリのための復号化技術
【課題】読み取り専用メモリのための復号化技術を提供すること。
【解決手段】メモリ回路が、少なくとも3つのビット線をそれぞれが含む、いくつかのビット線構造と、いくつかのサイトにおいてそれらのビット線構造と交差するいくつかのワード線と、それらのサイトに配置された、いくつかのスイッチング・デバイスとを含む。また、ビット線構造に対応する、いくつかの縦列方向論理ユニットも提供される。縦列方向論理ユニットのそれぞれは、第1の論理ゲートと、第2の論理ゲートとを含む。第1の論理ゲートは、ビット線の第1のビット線に接続された第1の入力と、ビット線の第2のビット線に接続された第2の入力とを有する。第2の論理ゲートは、ビット線の第3のビット線と互いに接続された第1の入力と、ビット線の第2のビット線と互いに接続された第2の入力とを有する。
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読み取り専用メモリおよびそれに類するメモリのためのレイアウト技術
【課題】読み取り専用メモリおよびそれに類するメモリのためのレイアウト技術を提供すること。
【解決手段】集積回路は、少なくとも3つのビット線をそれぞれが含むビット線構造と、サイトにおいてビット線構造と交差するワード線と、当該サイトに配置されたスイッチング・デバイスとを有するメモリ回路を含む。VSS面がスイッチング・デバイスと互いに接続される。スイッチング・デバイスとVSS面は第1のレベルにおいて形成される。VSS面は、スイッチング・デバイスの機能部分も形成する実質的に相補形のインタロックする領域として形成されうる。スイッチング・デバイスは、隣接する1つのワード線と、隣接する1つのビット線構造のビット線の選択された1つのビット線との間に、当該隣接する1つのワード線によって活性化された際に、ワード線とビット線との間で選択的に電気伝導をもたらすために接続されることが可能である。
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半導体記憶装置、半導体装置、半導体記憶装置の製造方法および半導体装置の製造方法
【課題】メモリセルごとに書き込まれる電位のばらつきを抑えることが可能な半導体記憶装置、半導体装置、半導体記憶装置の製造方法および半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体記憶装置100は、半導体基板11と、半導体基板11上に形成されたゲート絶縁膜14と、ゲート絶縁膜14上に形成されたゲート電極15と、半導体基板11上部であってゲート電極15下を挟む一対の領域に形成された低濃度拡散領域16と、低濃度拡散領域16上に形成された電荷蓄積部18とを含むメモリセル1と、メモリセル1を覆うように半導体基板11上に形成され、所定波長のUVレーザ光を透過させる絶縁性の第1パッシベーション21と、第1パッシベーション21上に形成され、UVレーザ光を遮断し、電荷蓄積部18上に開口を有する第2パッシベーション23とを有する。
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マスクROMを具備する半導体装置及びその製造方法
【課題】マスクROMを具備する半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板100と、半導体基板の複数の活性領域を画定する素子分離膜パターン110と、活性領域に形成されノーマリオントランジスタとノーマリオフトランジスタにより構成されたマスクROM領域MRRと、活性領域上に配置され素子分離膜パターン110上を交差して伸びるゲートライン170と、ゲートライン170と活性領域との間に形成されたゲート絶縁膜121,160を有し、ノーマリオフトランジスタはさらに前記ゲートラインと前記ゲート絶縁膜190との間において浮遊導電パターン131とゲート層間絶縁膜パターン141を順に積層する。
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高密度のリードオンリーメモリ
【課題】高密度で、アクセス時間の速いリードオンリーメモリを提供する。
【解決手段】複数のワードラインと、複数のビットラインと、複数のメモリセルトランジスタとを含むリードオンリーメモリ(ROM)が提供される。前記ROMにおいて、前記複数のメモリセルトランジスタは、或るワードラインがアサートされたとき、対応するメモリセルトランジスタが導通するようにワードラインに対応する行に配置され、またビットラインに対応する列に配置される。前記メモリセルトランジスタの列は、カラムグループをなすように配置される。前記カラムグループは、対応するビットラインに接続されたアクセストランジスタを含み、該カラムグループの中に含まれるトランジスタが、前記アクセストランジスタから該カラムグループの最後のトランジスタまで直列に接続される。前記最後のトランジスタは電圧ノードに接続される。
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