【課題】 焦電型検出素子の焦電材料に還元ガスが侵入し難くした構造を有する焦電型検出器、焦電型検出装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】 第１，第２電極２３４，２３６間に配置された焦電材料２３２を有するキャパシター２３０が、温度に基づいて分極量を変化させる焦電型検出素子２２０と、第１面２１１Ａ側に焦電型検出素子を搭載した支持部材２１０と、支持部材の第２面２１１Ｂが空洞部１０２に臨んで配置され、支持部材の一部を支持する支持部１０４とを有し、第１方向Ｄ１に沿って支持部、支持部材及び焦電型検出素子の順で積層され、支持部材は、少なくとも第１面２１１Ａ側に第１絶縁層２１２を有し、第１絶縁層２１２は、第１方向Ｄ１とは逆方向を第２方向Ｄ２としたとき、第１絶縁層２１２よりも第２方向Ｄ２に位置する第２絶縁層（１０４または２１６）よりも水素含有率が小さい。 （もっと読む）

【課題】 想定外の方向から想定外の大きさの赤外線放射物が検知領域に侵入してきても誤判定をおこさず、なおかつ赤外線以外の影響が補償できる焦電素子及び焦電型赤外線センサを提供すること。
【解決手段】 焦電体基板３４の受光面に、第一の矩形電極３５と第二の矩形電極３６とが互いに近接して第一の中心線に対して対称に配置され、第三の矩形電極３８と第四の矩形電極３９とが第一の矩形電極３５および第二の矩形電極３６の短辺の外側に近接して第二の中心線に対して対称に配置されており、第一の矩形電極３５と第二の矩形電極３６との間は接続電極３７によって接続され、第一の矩形電極３５および第二の矩形電極３６と、第三の矩形電極３８および第四の矩形電極３９が、それぞれＹ方向およびＸ方向に複数個配置されている。 （もっと読む）

【課題】パッケージ基部にキャップを被せて封止した後でも応答速度および感度を調整可能とする。
【解決手段】赤外線を受光する受光面を片面に有するセンサエレメント（１）をパッケージの内部に気密に封止してなる熱型赤外線センサにおいて、センサエレメント（１）を搭載した搭載部（２ａ）の搭載面から外面までの厚さを２００μｍ以下とする。
【効果】パッケージングを完了した後でも、搭載部（２ａ）の外面に熱伝導材（９）を付着させることで、応答速度および感度を調整可能となる。すなわち、熱伝導材（９）を付着させない赤外線センサを使用して、熱飽和するほど光入力が大きい場合に、搭載部（２ａ）の外面に熱伝導材（９）を付着させることで熱を排出させることが可能になり、熱飽和の状態を回避することが出来る。従って、応答速度および感度の種類に応じてパッケージを設計し分ける必要性を低減できる。 （もっと読む）

【課題】焦電型の赤外線検出素子及びこれを用いた赤外線検出装置において、画素として用いる赤外線検出素子の受光面積を小さく、膜厚を薄くしても、ノイズの影響を低減化することを目的とする。
【解決手段】基板１１と、支持電気絶縁層１２と、第１の電極１４と、焦電層１５と、第２の電極１６と、を備える。焦電層１５は、受光面積が１×１０^２μｍ^２以上１×１０^４μｍ^２以下であり、膜厚が０．８μｍ以上１０μｍ以下であり、且つ、Ｐｂ（Ｚｒ_ｘＴｉ_１−ｘ）Ｏ_３（但し０．５７＜ｘ＜０．９３とする）で表される化合物を主成分とする。圧電ノイズを抑え、十分な焦電特性が得られ、高い感度の検出が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 焦電型光検出素子に光は入射する一方で還元ガスが侵入し難くした構造を有する焦電型光検出器及びその製造方法並びに焦電型光検出装置及び電子機器を提供することにある。
【解決手段】 焦電型光検出器２００は、焦電型光検出素子２００と、焦電型光検出素子を搭載した支持部材２１０と、焦電型光検出素子と対向する位置に空洞部１０２を配置して支持部材を支持する固定部１００と、焦電型光検出素子側から見た平面視にて支持部材の輪郭に沿って開口されて、空洞部と連通する開口部１０２Ａと、支持部材の第１面と、開口部に臨む支持部材の側面２１１Ｃと、平面視にて露出する焦電型光検出素子及び支持部材の外表面２２０Ａと、を覆う第１還元ガスバリア層１４０，２８０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 焦電体を有するキャパシターの熱が、キャパシターを支持する支持部材を介して逃げ難くした構造を有する焦電型光検出器、焦電型光検出装置及び電子機器を提供することにある。
【解決手段】 焦電型光検出器２００は、第１電極２３４と第２電極２３６との間に焦電体２３２を含み、温度に基づいて分極量が変化するキャパシター２３０と、空洞部１０２と面する第１面と対向する第２面にキャパシターを搭載して支持する支持部材２１０とを有する。支持部材２１０上に配置される第１電極２３４の熱コンダクタンスＧ１が、第２電極の熱コンダクタンスＧ２よりも小さい（ＧＣ１＜Ｇ２）。 （もっと読む）

【課題】焦電素子を用いた構造で薄型化が図られた、赤外線センサを提供する。
【解決手段】シリコン基板２上には、チタン酸ジルコン酸鉛からなる薄膜状の焦電素子１４が設けられている。薄膜状の焦電素子１４は、ゾルゲル法により形成することができる。ゾルゲル法では、粉体原料の焼結により焦電素子１４を形成する手法と比較して、焦電素子１４の厚さを小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】ＩＣ素子の発熱が赤外線センサに与える影響を低減できる赤外線センサモジュールを提供する。
【解決手段】パッケージ３は、絶縁材料からなる基体４０に配線パターン４６が形成されてなり赤外線センサ１およびＩＣ素子２が横並びで実装されるパッケージ本体４と、赤外線センサ１での検知対象の赤外線を透過する機能を有しパッケージ本体４との間に赤外線センサ１およびＩＣ素子２を囲む形でパッケージ本体４に気密的に接合されるパッケージ蓋５とで構成されている。パッケージ本体４は、赤外線センサ１を実装する第１の領域４１とＩＣ素子２を実装する第２の領域４２との間に、ＩＣ素子２から赤外線センサ１側へ放射される赤外線を遮蔽する壁部４３が立設され、第２の領域４２の厚みを第１の領域４１の厚みよりも薄くしてある。 （もっと読む）

【課題】入射した赤外線を効率良く吸収し、得た赤外線エネルギーを効果的に利用できる赤外線検出素子及び赤外線検出装置を提供する。
【解決手段】温度の上昇により自発分極の値が変化し、表面電荷を生じる焦電体２と、焦電体２の上面に配置された上部電極３と、焦電体２の下面に配置された下部電極４を有する焦電素子１０，１１，１２から成る焦電素子層が上下に配置された、２層以上の焦電素子層を含む赤外線検出素子１００を構成する。また、この赤外線検出素子１００を備えた赤外線検出装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】基板と白金層と強誘電体層とを有する層構造体において、白金層と基板の間の接着性を改善する層構造体を提供する。
【解決手段】基板Ｓと、白金層ＰＳと、白金層ＰＳ上に形成された強誘電体層ＦＳとを有しており、基板Ｓの表面ＯＳは二酸化ケイ素を含み、基板Ｓと白金層ＰＳとの間にアモルファス酸化アルミニウムから成る中間層ＺＳが設けられる。この中間層ＺＳにより強誘電体層ＦＳのモルフォロジーが改善され、層構造体の均一性が保証される。 （もっと読む）