【課題】振動に強く、かつ、出力電圧も高い赤外線検出素子を提供する。
【解決手段】基枠１と、基枠１に囲まれて配置された赤外線を受光する受光部２と、受光部２と基枠１とを連結する少なくとも一つの屈曲点１２を有する支持梁３と、受光部２と支持梁３とを接合する温点接合部４と、基枠１と支持梁３とを接合する冷点接合部５と、受光部２の温度上昇を検出する温度上昇検出部１３とを有する赤外線検出素子において、支持梁３中の第一の屈曲点１２から温点接合部４までを構成する第一の梁３ａの長さを、該第一の梁３ａと平行な受光部２の辺の長さよりも短くし、第一の梁３ａの幅を、支持梁３中の第一の梁３ａを除いた部分である第二の梁３ｂの幅よりも小さくする。 （もっと読む）

【課題】受動型赤外線センサにおいて、警戒範囲の調整を、容易に、且つ複雑な構成を用いることなく行うことができるようにする。
【解決手段】第１光学系１１と、第２光学系２１の２つの集光光学系を備えており、これら２つの集光光学系は何れも複数のフレネルレンズで構成されている。第１、第２光学系１１、２１に対応して、それぞれ第１、第２素子１２、２２が配置されている。これらの素子と集光光学系により、ゾーン形成面には検知ゾーンが所定の通り配置される。警戒範囲を調整する際には、第１光学系１１の所望のフレネルレンズ、及び／または第２光学系２１の所望のフレネルレンズをマスク部材Ｍによりマスキングする。 （もっと読む）

【課題】 焦電体薄膜そのものの特性を十二分に発揮させうる焦電型赤外線薄膜素子およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】 基板１上に下部電極５を形成し、その上面に焦電体薄膜３を成膜した後、上部電極４を成膜し、その後、上部電極４、焦電体薄膜３、下部電極３をそれぞれパターニングするようにして、焦電体薄膜３と上部電極４および下部電極５との間に他の部材が介在しないようにした。 （もっと読む）

【目的】 従来用いることができなかった材料からなる基板の上に直接または間接に強誘電体単結晶薄膜が形成された構造を有する強誘電体薄膜素子の製造方法を提供する。
【構成】 幅ａ及び長さｂであり、かつｂ／ａ≧５である矩形板状の基板上に、キュリー点における熱膨張係数が上記基板材料の同じ温度における熱膨張係数と異なる強誘電体材料を上記基板上にスパッタリングして強誘電体単結晶薄膜を形成する、各工程を備える強誘電体薄膜素子の製造方法。 （もっと読む）

【目的】 赤外線検出装置をモノリシック化する。
【構成】 支持基板上に赤外線検出器が搭載された赤外線検出装置において、支持基板表面の所定位置に形成された電極パターンと、この電極パターンに一部が接するように所定パターンで支持基板上に形成された赤外線検出器の下部電極と、この下部電極を覆うように所定パターンで形成された赤外線検出器の構成材料の層および上部電極とを備える。このように、ハイブリッド形式ではなくモノリシック形式で形成したので、非常に安定した高歩留り、再現性が実現でき、極めて優れた装置性能と特に低雑音化が実現できる。 （もっと読む）