【課題】人体等から放射された赤外線の入射エネルギーの受光量を微調整することができる焦電型赤外線検出装置の提供。
【解決手段】少なくとも１個以上の貫通孔を有した板４を用いた焦電型赤外線検出装置で、検知領域と焦電型赤外線検出器２の間に少なくとも１個以上の貫通孔を有した板を配置する事により、人体等から放射される赤外線エネルギーの受光量を調整する事を特徴としている。 （もっと読む）

【課題】出力電圧の高出力化を図れ且つＳ／Ｎ比の向上を図ることが可能な焦電型赤外線センサを提供する。
【解決手段】焦電型赤外線センサ１０は、基板１の一表面側に設けられたダイアフラム部２の一面側に複数の受光部３を備えている。各受光部３の各々は、ダイアフラム部２の厚み方向において互いに対向する第１電極３１と第２電極３２との間に焦電体薄膜３３を有する複数個の受光エレメント３ａを有し且つ当該複数個の受光エレメント３ａが直列接続されている。要するに、各受光部３の各々は、複数個の受光エレメント３ａに分割され直列接続されている。また、複数の受光部３は、逆直列に接続されている。 （もっと読む）

【課題】検出部からシリコン基板に放射による熱伝導を抑制する赤外線検出素子を提供する。
【解決手段】第１基板２と、表面３４ａ及び表面３４ａの反対側に第１基板２を向く裏面３４ｂを有し、一端が第１基板２に固定される梁３５によって保持された支持部３４と、支持部３４の表面３４ａに位置し赤外線を検出する検出部４と、を有し、裏面３４ｂにはＰｔ、Ａｌ、ＡｌＯｘ、Ｎｉ、Ｗ、Ｍｏ、Ｆｅのいずれか１つを含む光放射低減膜２２を備える。 （もっと読む）

【課題】ＩＣチップの発熱に起因した赤外線センサチップの面内でのＳ／Ｎ比のばらつきを抑制することが可能な赤外線センサを提供する。
【解決手段】赤外線センサは、赤外線センサチップ１００と、ＩＣチップ２００と、パッケージ３００とを備える。パッケージ３００は、赤外線センサチップ１００が一面側に実装されＩＣチップ２００が他面側に実装されるベース基板部３０１と、ベース基板部３０１の上記一面側でベース基板部３０１から突設され赤外線センサチップ１００を囲む第１壁部３０２と、ベース基板部３０１の上記他面側でベース基板部３０１から突設されＩＣチップ２００を囲む第２壁部３０３とを備える。赤外線センサは、赤外線センサチップ１００とＩＣチップ２００とが、ベース基板部３０１を介して対向している。 （もっと読む）

【課題】 熱容量が小さく、感度や応答性が高く、さらに、分極時に絶縁破壊が発生し難い、小型かつ低コストで量産可能な焦電型センサ素子を提供すること。
【解決手段】 基板２と、基板２上に形成された焦電体薄膜４と、焦電体薄膜４上に設置された上部電極３とを有し、上部電極３は、対向配置された２つの電極対３ａ、３ｂと信号取り出し用電極３ｃ、３ｄとを含み、くし形電極を構成している。また、焦電体薄膜４は、信号取り出し用電極３ｃ、３ｄ間に電圧を印加することにより、対向配置された電極対３ａの間、電極対３ｂの間、および電極対３ａと３ｂとの間の部分においては膜の面内方向に分極されている。また、焦電体薄膜４の電極対３ａ、３ｂが存在する領域６の下面の近傍には、導体が存在しない。基板２は、シリコン基板であり、また、焦電体薄膜４の電極対３ａ、３ｂが存在する領域６の下部領域７において、基板２のすべてが除去されている。 （もっと読む）

【課題】薄膜形成したニオブ酸化物系多結晶の利点を活かした、高精度、高感度な焦電センサ素子及びそれを用いた検出装置を提供する。
【解決手段】非鉛のアルカリニオブ酸化物系多結晶からなる焦電体層２と、焦電体層２の下面に形成された下部電極３と、焦電体層２の上面に形成された上部電極４と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】感度の調整ができる検出装置、センサーデバイス及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】検出装置は、焦電素子１０と、焦電素子１０に接続され、焦電素子１０の出力電圧の電圧感度を調整する感度調整回路３０と、焦電素子１０に接続される検出回路２０とを含む。感度調整回路３０は、感度調整用の可変容量回路４０を含み、可変容量回路４０に並列に接続される可変抵抗回路５０をさらに含む。可変容量回路４０の容量値が小さな値に設定された場合に、可変抵抗回路５０の抵抗値は大きな値に設定され、可変容量回路４０の容量値が大きな値に設定された場合に、可変抵抗回路５０の抵抗値は小さな値に設定される。 （もっと読む）

【課題】 軽量でかつ基板に立設させて十分な支持強度で取り付けることが容易な赤外線センサを提供すること。
【解決手段】 絶縁性フィルム２と、該絶縁性フィルム２の一方の面に互いに離間させて設けられた第１の感熱素子３Ａ及び第２の感熱素子３Ｂと、絶縁性フィルム２の一方の面に形成され第１の感熱素子３Ａに接続された導電性の第１の配線膜４Ａ及び第２の感熱素子３Ｂに接続された導電性の第２の配線膜４Ｂと、第２の感熱素子３Ｂに対向して絶縁性フィルム２の他方の面に設けられた赤外線反射膜６とを備え、センサ部に対応したセンサ部用窓部８ａが形成されて絶縁性フィルムに貼り付けられた補強板８と、第１の配線膜および第２の配線膜に接続され絶縁性フィルムの端部に形成されコネクタに嵌め込み可能な第１の端子電極７Ａおよび第２の端子電極７Ｂとを備えている。 （もっと読む）

【課題】マイグレーションの問題を生じることなく、微細でアスペクトの高く絶縁特性に優れた絶縁膜を備えた貫通電極を有する素子付き基板、赤外線センサーおよび貫通電極形成方法を提供する。
【解決手段】予め、素子回路形成前のベース基板にビアホールを形成し、前記ベース基板の素子回路形成面と前記ビアホールの内面に熱酸化により絶縁膜を形成する熱酸化を行なう。前記熱酸化工程後に前記ビアホール形成部に導電部を有する素子回路を形成した後、前記素子回路形成工程後に前記ビアホールに導電体を埋め込み形成するようにしている。 （もっと読む）

【課題】 光吸収膜にて吸収されなかった光を効率よく反射させて光吸収膜に導き、熱型光検出器の検出感度を高めること。
【解決手段】 熱型光検出器１０Ａは、第２凹部２２の底面２３が光反射曲面２４となる基板２０と、光吸収膜３２を含む熱型光検出素子３０と、熱型光検出素子を支持する支持部材４０とを有する。支持部材４０の少なくとも一部は多結晶シリコンに不純物が分散した光吸収部４１を有する。入射光のうち光吸収膜３２にて吸収されなかった光は、光反射曲面２４にて反射されて、光入射方向とは逆向きの反射光経路を辿って光吸収部４１に吸収されることで、光検出感度が向上する。 （もっと読む）