【課題】安定的な動作を保証し、小型化・薄型化が可能であり、温度管理上のセンサの偽装を防止することができる半導体集積回路、無線タグ及びセンサを提供する。
【解決手段】かかる課題を解決するため、本発明の半導体集積回路は、発振回路からの発振周波数の変化に基づいて温度を測定する半導体集積回路において、発振回路の容量が強誘電体であり、強誘電体の温度変化によって変化する誘電特性に基づいて、発振周波数を変化させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 成膜基板上に形成された機能性膜を、成膜基板から容易に剥離することができる機能性膜の製造方法を提供する。
【解決手段】 基板上に、電磁波を吸収することにより発熱する材料を用いて電磁波吸収層を形成する工程（ａ）と、電磁波吸収層上に、加熱されることにより分解してガスを発生する無機材料を用いて分離層を形成する工程（ｂ）と、分離層上に、機能性材料を用いて形成される機能性膜を含む被剥離層を形成する工程（ｃ）と、電磁波吸収層に向けて電磁波を照射することにより被剥離層を基板から剥離させる、又は、被剥離層と基板との接合強度を低下させる工程（ｄ）とを含む。 （もっと読む）

【課題】 少なくともＮａ及びＮｂを含むペロブスカイト型化合物の多結晶体からなり、擬立方｛１００｝面が高い配向度で配向し、高い相対密度を有し、しかも、その組成制御が比較的容易な結晶配向セラミックス及びその製造方法、並びに、これに用いられる異方形状粉末及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 少なくともＮａ及びＮｂを含む第２のペロブスカイト型化合物を主相とし、その発達面が擬立方｛１００｝面からなり、かつ、その厚さ（ｔ_ａ）に対する前記発達面の最大長さ（ｗ_ａ）のアスペクト比（Ｗ_ａ／ｔ_ａ）が２以上である異方形状粉末。少なくともＮａ及びＮｂを含む第１のペロブスカイト型化合物を主相とする多結晶体からなり、該多結晶体を構成する各結晶粒の擬立方｛１００｝面が配向している結晶配向セラミックス。 （もっと読む）

【課題】 内部応力による検出部等の傾きが発生しない赤外線検出器およびそれを含む赤外線固体撮像装置を提供する。
【解決手段】
検出部の温度変化を検知膜で検出する略矩形の赤外線検出器が、基板と、検知膜が設けられた検出部と、検出部を基板上に支持する支持脚と、支持脚に設けられ、検知膜と接続された配線層とを含む。赤外線検出器の対角線の交点における、基板表面に対する法線に対して、支持脚が線対称となるような構造を有する。赤外線固体撮像装置は、マトリックス状に配置された赤外線検出器を含む。 （もっと読む）

【課題】ウエハを加熱した後に冷却する際に、ウエハが急冷になることを防止し、ウエハの品質を保持するとともに、冷却時間を制御する。
【解決手段】ウエハ１に対して加熱しながら分極処理を行った後、ウエハ１を冷却する際、先ず、ヒータ２３をオンにした状態で、冷却媒体が供給されていない冷却ブロック３０を上昇させてヒータ２３に接触させる。数十秒後、ヒータ２３をオフにし、冷却媒体供給源５から供給パイプ３１０及び弁３２を介して冷却媒体を冷却ブロック３に供給し、ヒータ２３、スペーサ２２及び一対の熱伝達板２０，２１を介してウエハ１を冷却する。供給量制御部４２により、熱電対２４で測定された温度から温度勾配が計算され、設定値を超える場合、供給パイプ３１０の弁３２を閉め、設定値以下の場合、弁３２を開ける。最後に、予め決められた温度まで下がると、空気又は窒素を供給し自然放冷を行う。 （もっと読む）

【課題】 ポップコーンノイズが少なく、信頼性の高い焦電型赤外線検出素子、および焦電型赤外線検出器を提供する。
【解決手段】 焦電型赤外線検出素子１を、焦電性基板２と、焦電性基板２の対向する一対の表面２０ａ、２０ｂに形成された電極３ａ、３ｂと、を備えて構成する。焦電性基板２の体積抵抗率を、１×１０¹⁰〜１×１０¹³Ωｃｍとする。焦電性基板２の体積抵抗率が低いため、温度変化により電荷が発生しても、その電荷は焦電性基板２内を通って速やかに消滅する。このため、焦電性基板２の表面は高電圧にならず、放電が抑制され、ポップコーンノイズが低減される。 （もっと読む）

【課題】圧電性ノイズやクラックの発生を防止し、製造を容易にし、且つ、不良の発生を回避する。
【解決手段】焦電性エレメント４の下面の中央の、焦電性エレメント４の下面の面積の９％〜１６％に相当する面積の領域だけで、焦電性エレメント４をサブマウント７により支持し、その余は空隙ｇとする。
【効果】焦電性エレメントの変形が可能になり、圧電性ノイズが発生したり、クラックが発生してしまうことを防止できる。サブマウントの面積を焦電性エレメントの下面の面積の９％〜１６％の間で正確に規定でき、過不足のない熱伝導リンクを形成できる。製造時に充填材を挟み込む煩雑な作業が不要になり、充填材に起因する不良も発生しなくなる。 （もっと読む）

【課題】ＭｇＯ基板のエッチング時のサイドエッチング角をできるだけ大きくとれるようにし、生産性の高い赤外線検出素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】 基板１（１’）の表面１ａ側に下部電極２および上部電極３に挟まれる状態で薄膜の焦電体４が設けられ、絶縁膜５を介して上部電極３上に赤外線吸収膜６が設けられ、マスク１２を用いて基板１（１’）のエッチングを裏面１ｂ側から行うことにより焦電体４に対応する基板領域Ｒに空洞部１５を設ける赤外線検出素子Ｄの製造方法において、基板１（１’）に対して密着性の良い材料よりなるマスク１２を用いることを特徴としている。 （もっと読む）

Ｐ（ＶＤＦ−ＴｒＦＥ）コポリマーを精製して、ピロ電気変換のための改良された高性能コポリマーを製造するためのプロセスである。Ｐ（ＶＤＦ−ＴｒＦＥ）コポリマーのペレットを溶媒の中に溶解させて、溶液を形成させる。次いで、その溶液に無水エタノールを添加して、コポリマーのゲルの沈殿を開始させ、その後、その溶液を分離させてゲル沈殿物を得て、次いでそれを洗浄、乾燥させる。得られるコポリマーは不純物をほとんど含まず、抵抗率がより高いので、そのため、ピロ電気変換器のような用途において使用するのに適している。精製されたコポリマーはさらに、電力の出力を増やすことが可能な相転移特性も示す。
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基板上に、Ｔｉ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｍｇ、Ｆｅ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｍｎ、Ｂａ及びＡｌ並びにこれらの酸化物の群から選ばれた少なくとも１種の添加物を含有する貴金属からなる第１の電極層と、膜厚が０．５〜５μｍであり、化学組成が、（Ｐｂ_{（１−ｙ）}Ｌａ_ｙ）Ｔｉ_{（１−ｙ／４）}Ｏ_３、（０＜ｙ≦０．２）、または、（Ｐｂ_{（１−ｙ）}Ｌａ_ｙ）（Ｚｒ_ｘＴｉ_{（１−ｘ）}）_{（１−ｙ／４）}Ｏ_３、（０＜ｘ≦０．２または０．５５≦ｘ＜０．８、０＜ｙ≦０．２）、で示されたペロブスカイト型結晶構造の焦電体層と、第２の電極層とをこの順序で形成し、焦電体素子とする。
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