【課題】 本発明は、ＥＬ材料の利用効率を高め、且つ、ＥＬ層成膜の均一性やスループ
ットの優れた成膜装置の一つである蒸着装置及び蒸着方法を提供するものである。
【解決手段】
本発明は、蒸着室内において、蒸着材料が封入された容器を複数個設置した細長い矩形形
状の蒸着源ホルダ１７に設け、基板１３に対してあるピッチで移動しながら蒸着を行うこ
とを特徴とする。また、基板の一辺に対して矩形形状の蒸着ホルダの長手方向を斜めにし
たまま移動させてもよい。また、ＴＦＴ作製時におけるレーザー光の走査方向に対して、
蒸着時における蒸着ホルダの移動方向を異ならせることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】オンチップカラーフィルター方の有機ＥＬ装置の信頼性を向上させる。
【解決手段】基板１０と、基板１０上に形成された、第１電極５２と発光機能層５４と透明導電性を有する第２電極５６とを有し第２電極５６側に光を射出する有機ＥＬ素子５０と、有機ＥＬ素子５０が光を射出する領域である画素領域４２において第２電極５６側に形成されたカラーフィルター９０と、画素領域４２以外の領域である遮光領域４３に形成された隔壁４４と、を有する有機ＥＬ装置１であって、カラーフィルター９０は、赤色カラーフィルター９０Ｒと緑色カラーフィルター９０Ｇと青色カラーフィルター９０Ｂとの３色のカラーフィルター９０のいずれかであり、３色のカラーフィルター９０のうちの１色のカラーフィルター９０が隔壁４４の少なくとも一部を構成している有機ＥＬ装置１。 （もっと読む）

【課題】十分なガスバリア性を示す高密度の非晶質窒化珪素膜を簡便な方法で提供すること。
【解決手段】高周波放電を利用したプラズマＣＶＤ法において、シランガスと、水素ガスと、アンモニアガスまたは窒素ガスの少なくとも一方とを含む混合ガスを用いて、電極間距離を５０〜１００ｍｍとし、シランガスに対する水素ガスの流量比（Ｈ₂／ＳｉＨ₄）を０．５〜３．０として非晶質窒化珪素膜を成膜する。 （もっと読む）

【課題】画素内での発光ムラ、画素間での発光ムラ、混色の発生を抑制することが可能な有機ＥＬ素子と、この有機ＥＬ素子の製造方法を提供する。
【解決手段】基板２と、基板２上にパターン化して形成された複数の第一電極４と、基板２上に形成され、且つ各第一電極４をそれぞれ四方から囲む四辺を有する隔壁６と、隔壁６内で各第一電極４上に形成され、且つ有機発光層１２を含む有機発光媒体層８と、基板２、隔壁６及び有機発光媒体層８上に形成された第二電極１０を備える有機ＥＬ素子１であって、各第一電極４をそれぞれ四方から囲む四辺を構成する隔壁６は、四辺のうち一辺または二辺を構成する高隔壁６ａと、四辺のうち残りの辺を構成し、且つ高隔壁６ａよりも高さが低い低隔壁６ｂとから形成されている。 （もっと読む）

【課題】分散物の分散安定性が良好な、有機エレクトロルミネッセンス素子用塗布分散液及び有機エレクトロルミネッセンス素子用非水分散液を提供し、該塗布分散液または該非水塗布分散液を用いて、高い外部取り出し量子効率を示し、且つ、発光寿命が長い有機ＥＬ素子を提供し、該有機ＥＬ素子を具備した照明装置および表示装置を提供する。
【解決手段】支持基板上に少なくとも陽極、陰極を有し、該陽極と該陰極間に発光層を含む有機化合物層を有する有機エレクトロルミネッセンス素子において、
該発光層は、有機金属錯体を除いた少なくとも１種の非イオン性分散安定剤で分散された少なくとも１種の有機イリジウム錯体からなる発光ドーパントを含有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。 （もっと読む）

【課題】第二有機化合物層の発光時に、第二電極から接続電極へ電流が流れて第一有機化合物層が発光するのを防止でき、色ずれがなく、輝度低下のない良好な有機ＥＬ表示装置を提供する。
【解決手段】基板１１の上に、第一電極１２、第一有機化合物層１４、第二電極１５、第二有機化合物層１６及び第三電極１７が積層され、第三電極１７を駆動回路に接続するための接続電極１２Ａを有し、第一有機化合物層１４または／および第２有機化合物層１６には、第二電極１５に接する電子注入層ＥＩＬまたは正孔注入層ＨＩＬが形成され、第二電極１５から接続電極１２Ａに至るリークパスが形成されうる経路、及び接続電極１２Ａの面上のいずれかの部分には、第一有機化合物層１４及び第二有機化合物層１６のうち、少なくとも、電子注入層ＥＩＬまたは正孔注入層ＨＩＬが部分的に存在しない。 （もっと読む）

【課題】吐出待機時間中においてもインクジェットヘッドのノズルが詰まり難く、引火の可能性が低いインクジェット用インク組成物を提供する。
【解決手段】π電子共役系の機能性有機材料と、下記一般式（１）（ｍは０〜３の整数を示し、ｎは１〜８の整数を示す。但し、ｍとｎの合計は４〜８である）で表されるエーテル系溶媒を含有する有機溶媒と、を含むインクジェット用インク組成物である。
【化１】
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【課題】成膜開始時、成膜時、及び成膜停止時における配管系、原料容器、及び吹き出し容器の圧力を制御することにより、高品質で長寿命の膜、特に、有機ＥＬ膜を得ることである。
【解決手段】原料を気化させ、気化した原料をガスで輸送してガス放出部から基板に放出して膜を成膜する成膜装置として、気化手段と、該気化手段とガス放出部との間に輸送ガス及び原料の流通経路を設けると共に、輸送ガスと同種のガスを気化手段を介さずに流通経路を用いてガス放出部に供給するガス供給手段を設け、成膜前および成膜停止時に原料をガス放出部に流通させない制御とガス供給手段からのガスをガス放出部に供給する制御とを成膜状態との遷移時に行なうと共に、ガス放出部と気化手段の圧力が成膜時の圧力となるようにガスを供給する制御を行う一方、成膜時にガス供給手段からのガスが流通させない制御と気化手段からガスを供給する制御とを行い、成膜する。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ材料の塗布液を塗布する際に、塗布液の液切れを良くして効率的に塗布
する手段を提供する。
【解決手段】塗布液を塗布する際に成膜形成装置にヒーターもしくは超音波振動子を設け
て、塗布液に熱や超音波振動を与える。これにより塗布液の液切れ不良や液詰まりを解決
することができる。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬデバイスを作製する際、大型の成膜対象物の表面に分布が均一な成膜を行うことができる技術を提供する。
【解決手段】真空槽２内に設けられたプラズマＣＶＤ装置３と蒸着重合装置４とを備える。プラズマＣＶＤ装置３のプラズマ放出器１０は、原料ガス供給源３Ｂから原料ガスがそれぞれ供給され互いの雰囲気が隔離されたガス分岐ユニット６１〜６４と、ガス分岐ユニット６１〜６４において拡散された原料ガスのプラズマを形成するプラズマ形成室５１とを有する。蒸着重合装置４の蒸気放出器１１０は、原料モノマー供給源４Ｂから原料モノマーの蒸気がそれぞれ供給され互いの雰囲気が隔離された複数の蒸気分岐ユニット１０１Ａ、１０１Ｂと、蒸気分岐ユニット１０１Ａ、１０１Ｂにおいて拡散された複数の原料モノマーの蒸気を混合する蒸気混合室１５１とを有する。 （もっと読む）