【課題】 ガラス基板やウェーハの表面の帯電を効果的に除去する除電装置を提供する。
【解決手段】 除電装置７は搬送方向と直交する方向を長手方向としたスリット状の開口を有するノズル８をガラス基板Ｗの上方と下方に配置して構成され、スリット状の開口を分離板９で２つに分け、一方を帯電した微細な水滴ｍの噴出口１０とし、他方を除電を行った後の水滴ｍの吸引口１１とし、噴出口１０の上流側には粒径１０μｍ以下の水滴を生成する超音波振動装置と、この超音波振動装置によって生成された微細な水滴を帯電させるための電極が配置されている。 （もっと読む）

【課題】従来の静電除去装置は、電気を利用してイオンを発生させ中和させる方法で、完全防爆ではなく、静電気除去効果は非常に低い状態であった。
【解決手段】磁場及び磁界にて、静電気を吸収する方法は完全防爆であり、発生した静電気を磁界で吸着させる事で、完全静電除去が可能である。 （もっと読む）

【課題】軽量粒状物としてのワークＷを効果的に除電し得るパーツフィーダの除電装置および方法を提供すること。
【解決手段】粒状のワークＷを所定経路に沿って搬送するインラインフィーダＩＦ、および供給された前記ワークを少量ずつ連続的に前記インラインフィーダの所定個所に対して落とし込む回転ドラムＤを有するパーツフィーダにおけるワークの帯電を除去するパーツフィーダの除電装置において、前記回転ドラムにおける前記インラインフィーダの所定位置近傍に設けられた＋電極と−電極とを含む少なくとも一対の電極Ｅ１，Ｅ２と、直流高電圧電源Ｐと、前記電源から給電されて極性高電圧を形成し、前記＋電極に正の、また前記−電極に負の電圧を印加する極性電圧形成回路とをそなえたことを特徴とするパーツフィーダの除電装置、および方法。 （もっと読む）

【課題】半導体装置のパッケージ表面から静電気を確実に除去する。
【解決手段】パッケージ化された半導体装置１２はキャリア１３により噴霧装置１０まで搬送される。ノズルガン１９の噴霧部１９ａから霧状のアルコール３０が半導体装置１２のパッケージ表面１２ａに噴き付けられる。アルコールの揮発によってパッケージ表面１２ａに帯電した静電気が除去される。噴霧室１５を出た半導体装置１２はイオナイザ１１に送られる。電源供給器３３により針状電極３５に電圧が加えられると、コロナ放電が発生する。コロナ放電により針状電極３５の周囲にイオンが集まる。送風器３４は針状電極３５に対して風３４ａを送る。イオン化エアー４０が半導体装置１２のパッケージ表面１２ａに当てられる。 （もっと読む）

【課題】被除電対象物に帯電した電荷を効率良く、しかも簡便に除電することができる除電装置、除電方法および該除電装置を備えた基板処理装置を提供する。
【解決手段】吐出部３１において液吐出管３２を介して供給されるＤＩＷとガス導入管３７を介して供給される窒素ガスとが混合され、ＤＩＷの液滴が被除電対象物に向けて吐出される。液吐出管３２および該液吐出管３２にＤＩＷを導く液導入管３５はガラス状カーボンにより形成され、液導入管３５が導電線８２を介して接地される。吐出部３１の吐出口３１１近傍には、円環状の誘導電極６が配置され、誘導電極６は極性可変電源８１に接続される。接液部である液吐出管３２および液導入管３５と、誘導電極６との間に電位差を付与して接液部に接液するＤＩＷに電荷を誘導する。これにより、帯電した液滴が被除電対象物に供給される。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置の製造に用いられるガラス基板等の基板の除電が容易で、基板の大型化に十分対応でき、基板に対するパーティクルの付着を防止して製品の歩留まりを向上させることが可能な基板除電方法、基板除電装置、及び液晶表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】過熱蒸気Ｓを発生するための過熱蒸気発生装置２と、過熱蒸気Ｓを噴射するノズル３を備える除電処理室５と、ガラス基板４を前記除電処理室５に搬送するための搬送ローラ６とを備える基板除電装置１を用い、プラスに帯電したガラス基板４の表面に４００℃以上の過熱蒸気を噴射することで、ガラス基板４をマイナスに帯電させて除電を行った後、ガラス基板４の表面に薄膜による素子を形成して、液晶表示装置を製造する。 （もっと読む）

【課題】 段ボールシートおよび紙粉や紙片の静電気を除去することにより、段ボールへの異物混入や印刷品質の向上を図ると同時に、製函工程のシート供給部やスロッタ部でのトラブルの発生が押さえられる。
【解決手段】 図１のように、電位センサ３で測定した電位を制御装置６でシート１と逆の極性に帯電させて中和すべく、樹脂製の除電ロール２に対する樹脂製ブラシ４の押さえ強さをアクチュエータ５で自動調整する。 （もっと読む）

【課題】プラスイオンを効率よく吸着することが可能で、車内、ＯＡ機器付近などの様々な場所で簡単に設置可能な静電気緩和器具を提供することにある。
【解決手段】均一に炭化された複数の竹炭小片３からなる竹炭群と、竹炭群を収納し、竹炭小片３より小さい複数の通気孔２ａが開けられた箱２とを備え、竹小片３０を、燃焼室１２の中に内釜１７を設けた炭化炉１１の内釜１７内にいれて加熱することによって製造されることを特徴とする静電気緩和器具１である。 （もっと読む）