【課題】大気圧〜数Ｔｏｒｒの圧力下において、安定したプラズマ着火が可能なマイクロ波プラズマトーチを提供する。
【解決手段】誘電体からなる円筒状の放電管１と、放電管の一端開口を封閉する蓋体９と、蓋体を貫通して放電管内にその中心軸に沿ってのびるマイクロ波供給用アンテナ４と、放電管の外側を被覆するグランド電極２と、放電管内にプラズマ生成用ガスを供給するガス供給管３と、グランド電極の外面を被覆する誘電体の外被５を備える。アンテナには、その先端部から間隔をあけた位置にプラズマ遮断手段６ａ〜６ｃが設けられる。プラズマ遮断手段は誘電体からなり、プラズマ遮断手段と放電管との間、またはプラズマ遮断手段自体に、プラズマ生成用ガスを通過させるが、プラズマは遮断する通路が設けられる。 （もっと読む）

【課題】簡単かつコンパクトな構成にてアンテナや電極の温度上昇を確実に防止して安定してプラズマを発生することができる大気圧プラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】一端が吹き出し口３として開放された反応管２と、反応管２の外側近傍に配置されたアンテナ４又は電極とを備え、反応管２の他端側からプラズマ生成ガスを導入し、アンテナ４又は電極に高周波電圧を印加することで反応管２内でプラズマを発生させて吹き出し口３から吹き出す大気圧プラズマ発生装置１において、アンテナ４又は電極に接触させて非導電性放熱部材７を配設し、非導電性放熱部材７で放熱してアンテナ４の温度上昇を防止した。 （もっと読む）

【課題】プラズマを照射して、基板の改質等、ワークに所定の処理を施与するワーク処理装置において、プラズマ化したガスを生成して放出するプラズマ発生ノズルが導波管を介して伝搬されたマイクロ波のエネルギーに基づき前記プラズマ化したガスを生成する場合、処理すべきワークの幅などに対応し、無駄のないようにする。
【解決手段】複数のプラズマ発生ノズル３１が取付けられる導波管１０部分を、フランジ部Ｆで接合可能にモジュール化し、プラズマ発生ノズル３１の下方を通過するようにワークを搬送するワーク搬送手段Ｃに、処理すべきワークＷの幅や要求される処理速度などに対応して、プラズマ発生モジュールＭ１，Ｍ２を１または複数組合わせてワーク処理装置を構成する。したがって、単一のワーク処理装置Ｓで、処理すべきワークＷの幅や要求される処理速度などに柔軟に対応し、無駄なく最適な処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】基板の改質等、ワークの処理などに使用されるプラズマ発生装置において、プラズマの点灯状態を反映したメンテナンスを可能にする。
【解決手段】プラズマ発生ノズル３１の先端に設けられる保護管３６の外周面に光センサユニット３８を取付け、点灯されていることが検出されると、ＣＰＵ９０１は、メモリ９０３に記憶される点灯時間を積算して更新し、メモリ９０４に予め記憶されている閾値点灯時間となると、交換時期であることを操作部９５に表示する。したがって、プラズマの点灯状態を反映したメンテナンスが可能になり、メンテナンスのコストを抑えつつも、安定したプルームＰを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】基板の改質等、ワークの処理などに使用されるプラズマ発生装置において、導波管にプラズマ発生ノズルが複数個取付けられ、複数の被処理ワークや大面積の被処理ワークの処理などに対応するにあたって、複数のプラズマ発生ノズルのそれぞれで安定したプルームを得ることができ、かつ効率良くプラズマ処理を行うことができるようにする。
【解決手段】全体制御部９０のＣＰＵ９０１は、処理ガス供給源９２１から各プラズマ発生ノズル３１へ供給されるガス流量を流量センサ９６１でそれぞれ測定し、モニタする一方、メモリ９０３には、ガス流量のレベルに対応して、プルームの大きさや形状がどのようになり、プラズマの温度がどの程度になるかなどのプラズマ出力特性が記憶されており、それを読出し、所望とする特性となるように各流量制御弁９２３をフィードバック制御する。 （もっと読む）

【課題】基板の改質等、ワークの処理などに使用されるプラズマ発生装置において、プラズマの点灯状態を正確に反映した制御や表示を可能にする。
【解決手段】プラズマ発生部３０に複数個のプラズマ発生ノズル３１が設けられていることに対応して、このプラズマ発生部３０から離間し、ワークＷの搬送の邪魔にならず、かつ総てのプラズマ発生ノズル３１を見通し可能な固定位置に、プルームＰの発光光量だけを正確に測光できるようなスポット測光手段１０１を設け、全体制御部９０のＣＰＵ９０１は、このスポット測光手段１０１を、変位手段１０２によって首振り走査させ、読取った明るさに対応して、処理ガスの流量制御弁９２３を制御する。したがって、プラズマの点灯状態を反映した制御や表示を行うことができ、またプラズマの点灯状態を検出する検出手段を、複数のプラズマ発生ノズル間で共用することができる。 （もっと読む）

【課題】プラズマの照射範囲を拡大しながら、プラズマ発生ノズルにおいてプラズマが発生しにくくなるのを抑制できるようにする。
【解決手段】プラズマ発生ユニットＰＵは、マイクロ波を発生するマイクロ波発生装置２０と、マイクロ波を受信しそのマイクロ波のエネルギーに基づきプラズマ化されたガスを生成して放出するプラズマ発生ノズル３１とを備えている。そして、プラズマ発生ノズル３１は、マイクロ波を受信する内部導電体３２と、この内部導電体３２の周囲に離間して配置されたノズル本体３３とを含み、内部導電体３２で受信したマイクロ波のエネルギーを利用して内部導電体３２とノズル本体３３との間に供給される所定のガスをプラズマ化して放出するものであって、内部導電体３２は、所定の間隙を隔てて設けられた複数の導電体３２ａからなる。 （もっと読む）

【課題】基板の改質等、ワークの処理などに使用されるプラズマ発生装置において、プラズマの点灯状態を正確に反映した制御や表示を可能にする。
【解決手段】プラズマ発生ノズル３１の先端に臨んで、光ファイバ３８の一端を取付け、前記プラズマ発生ノズル３１から離間して配置され、シールド筐体９８１で覆われたセンサ入力部９８で、捉えた光の光電変換を行い、全体制御部９０へ出力する。したがって、光電変換によって得られた微弱な電圧および／または電流は、マイクロ波ノイズの影響を受けることなく、制御のための出力や表示のための出力などに正確に変換されるので、プラズマの点灯状態を正確に反映した制御や表示が可能になり、安定したプルームを得ることができる。また、ノズル周りに光電変換手段が存在しないので、被照射物を保護管３６に近接させ、密度の高いプラズマを照射することができる。 （もっと読む）

【課題】プラズマ発生ノズルの耐久性を向上させることが可能なプラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】プラズマ発生装置ＰＵは、マイクロ波を発生するマイクロ波発生装置２０と、マイクロ波を伝搬する導波管１０と、導波管１０のワークＷとの対向面に設けられたプラズマ発生部３０とを具備し、該プラズマ発生部３０には、マイクロ波を受信しそのマイクロ波のエネルギーに基づきプラズマ化したガスを生成して放出するプラズマ発生ノズル３１が複数個配列して取り付けられている。プラズマ発生ノズル３１は、シール部材３５で保持され導波管１０の内部に一端が突出する中心導電体３２と、該中心導電体３２の周囲に離間して配置されたノズル本体３３とを含んでおり、シール部材３５を冷却すべくガスをシール部材３５内部に形成されたシール部材側流路３５４を経由させて中心導電体３２とノズル本体３３との間に供給するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】マイクロプラズマジェットの制御方法において、コンパクトで安価な構成にてプラズマ点灯直後からプラズマ発生中、プラズマ発生量をほぼ一定に安定して制御する。
【解決手段】複数巻のマイクロアンテナ３に高周波電力を供給し、マイクロアンテナ３近傍に配置された放電管４の一端からガスＧを供給し、放電管４内で発生したプラズマＰを放電管４の他端から吹き出すマイクロプラズマジェットの制御方法において、マイクロアンテナ３近傍の温度を温度検出手段７で検出して発熱体６などの温度調整手段を制御し、プラズマＰの発生開始時からプラズマ発生中、マイクロアンテナ３近傍の温度を所定値又はその近傍に制御することで、プラズマ発生量をほぼ一定に制御するようにした。 （もっと読む）