【課題】マイクロアンテナの異常な温度上昇を確実に防止し、高い信頼性をもってプラズマジェットを発生する。
【解決手段】複数巻のマイクロアンテナ４と、マイクロアンテナ４の近傍に配置された放電管５と、マイクロアンテナ４に高周波電力を供給する高周波電源と、放電管５の一端にガスを供給するガス供給手段とを備えたマイクロプラズマジェット発生装置１において、金属板を加工して製作したマイクロアンテナ４を一対の基板２、３の間に挟んで配置した。 （もっと読む）

【課題】プラズマ発生用電力の供給部やガスの供給部からの供給線路部を改良し、作業性を改善すること。
【解決手段】携帯型大気圧プラズマ発生装置と、ガス供給部、プログラマブル高周波電源部、パルスバイアス電源部及び分光分析部からなるプラズマ発生用機器・分光分析系と、これと携帯型大気圧プラズマ発生装置とを結ぶマルチフレキシブルフィーダ系Bとからなり、フィーダ系Bを、ＰＴＦＥ製ガス導入管B-2aからなるガス供給線路部B-2と、ガス導入管B-2aの外面の溝に埋め込んだ光ファイバーコンジットB-3aからなるファイバー光伝送線路部B-3と、ガス導入管B-2aに外装する電力スリーブB-1bと電力スリーブB-1bに絶縁スリーブB-1cを介して外装する接地スリーブB-1aとからなる電力供給線路部B-1と、ガス導入管B-2aの周側外面の溝に埋め込んだ単線導体からなるパルスバイアス電圧印加線路部B-4とで構成した。 （もっと読む）

【課題】ガス流量を抑えて大気圧プラズマを安定に維持し、その発光分析により所望のガス励起状態を得る携帯型大気圧プラズマ発生装置の提供。
【解決手段】外部絶縁管８に軸方向移動可能に配した接地電極４及びその先端に固設した補助電極４ａと、外部絶縁管８の軸心に配した内部絶縁管９と、その内部に配した電力電極３と、外部絶縁管８の後端に配したガス導入用のラバルノズル１と、外部絶縁管８先端のプラズマガス吹出口とで構成し、ガス供給部A-4から供給されたプラズマ生成ガスをラバルノズル１から外部絶縁管８内に導入し、接地電極４及び補助電極４ａと電力電極３との間に、プログラマブル高周波電源部A-1により放電用の高周波電力を供給し、かつ電力電極３と被処理物７との間に、パルスバイアス電源A-2により、パルスバイアス電圧を印加してプラズマを発生させるように構成した。 （もっと読む）

【課題】 キャピラリーチューブをメイクアップガスチューブと同心に安定かつ容易に保持するとともにメイクアップガスをスムーズに流し、かつキャピラリーチューブ先端部の軸方向の位置を容易に調整することが可能な誘導結合プラズマトーチの提供。
【解決手段】 気体状の試料を導入するキャピラリーチューブ（4）を包囲するようにして受容し、前記キャピラリーチューブとの間の空間にメイクアップガスを通過させるメイクアップガスチューブ（3）と、前記メイクアップガスチューブを外部から加熱する筒状体と、前記筒状体を支持するトーチ本体（7、8）とを含み、前記筒状体の先端側に、前記メイクアップガスを通過可能にしつつ前記キャピラリーチューブを径方向に位置決めする位置決め部材（15）が設けられた誘導結合プラズマトーチ組立体において、前記位置決め部材が前記筒状体の先端部分に対して固定されている。 （もっと読む）

【課題】誘電結合プラズマ高周波（ＲＦ）電源を実現するためのシステム及び方法を提供する。
【解決手段】調節可能な作動周波数で高周波電力信号を発生する電力増幅器を含む電源を実現するためのシステム及び方法。電力増幅器はまた、高周波電力信号から導出される基準位相信号を発生する。インピーダンス整合器は、可変共振条件を有するプラズマコイルに高周波電力信号を供給する。位相プローブは、プラズマコイルに隣接して位置決めされ、調節可能作動周波数に対応するコイル位相信号を発生する。位相固定ループは、次に、基準位相信号とコイル位相信号の間の位相関係に基づいてＲＦ駆動信号を発生する。位相固定ループは、電力増幅器にＲＦ駆動信号を供給して調節可能な作動周波数を制御し、それによって調節可能な作動周波数は、次に、可変共振条件を追跡する。 （もっと読む）

プラズマリアクタ（１０）は、ガス入口（１８）及びガス出口（２０）を有するマイクロ波共振空胴（１２）と、マイクロ波放射を共振空胴に伝えるための導波管（１４）と、ガス入口（１８）からガス出口（２０）に流れるガスと反応するイオンを含むプラズマ流を、共振空胴内に注入するためのプラズマトーチ（４０）と、を含む。
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【課題】従来より反応効率が良く、ラジカルの発生量を容易に調節することができ、消費ガス量の低減を図ることができるマイクロ波プラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】外側導体２と、外側導体の内部空間４内に配置された内側導体３と、内管５及び外管６からなる二重管構造を有し、かつ外側及び内側導体を軸方向に貫通する放電管７と、放電管における内管の外管に対する軸方向の位置を調節する調節手段を有するキャビティ１を備える。第１の流量制御バルブ１８を備え、ガスボンベ１４から放電管の外管内に第１のガスを供給する第１のガス供給パイプ１６と、第２の流量制御バルブ１９を備え、放電管の内管内に第２のガスを供給する第２のガス供給パイプ１７と、マイクロ波発生源２１と、マイクロ波発生源からキャビティにマイクロ波を供給するマイクロ波供給路２２を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明はプラズマ発生装置及び低真空走査電子顕微鏡に関し、小型で雑音の影響を受けにくく、プラズマ発生による光が画像検出系に悪影響を与えないプラズマ発生装置及び走査電子顕微鏡を提供することを目的としている。
【解決手段】 円筒状をなし、その内部に電離化用のガスを流す石英管６０と、該石英管６０の先端部に巻回された高周波コイル６３と、前記石英管６０及び高周波コイル６３の周囲を覆うモールド６５と、トーチ全体及び陽極部近辺までを覆った金属部６６と、該金属部６６の内側に設けた絞り７３とパイプ６７及び陽極７４を含んで構成される。 （もっと読む）

トーチにおいてプラズマを維持するための装置が提供される。ある実施例では、装置は、電源に連結するように構成されてトーチの半径面に沿ってループ電流を流すように構成配置された第１の電極を備える。いくつかの実施例では、トーチの半径面はトーチ長手方向軸に実質的と直交する。
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【課題】 高周波誘導熱プラズマトーチで合成した固体物質が、該プラズマトーチの内部に付着するのを抑制することができ、かつ比較的細いターゲット棒上に合成した固体物質を効率よく堆積できる高周波誘導熱プラズマトーチおよび固体物質の合成方法を提供する。
【解決手段】 本発明の高周波誘導熱プラズマトーチは、固体物質を合成するための高周波誘導熱プラズマトーチにおいて、最内側から順に、第１管13を原料ガスおよび不活性キャリアガス流路17とし、第２管14を不活性ガス流路18とし、第３管15を必要に応じて不活性ガスで希釈した副原料ガス流路19とし、第４管16を冷却水流路20とする４重管構造を有し、第１管13および第２管14は第３管15および第４管16より後退して配置され、第４管16の外側で、かつ第１管13および第２管14の先端より前方の部分に、高周波コイル21を配置してなることを特徴としている。 （もっと読む）