【課題】表面下損傷を生じさせないで取扱い困難な材料を造形して仕上げる作製装置及び方法を提供する。
【解決手段】この装置及び方法は、例えば融合状態にあるシリカと単結晶シリコン、炭化ケイ素及び他の材料のサブアパーチュアポリッシャとして大気圧混合ガスプラズマ放出物を用いる。一例では、加工物の材料をフッ素原子との反応により原子レベルで除去する。この例では、これら反応性化学種は、希ガスプラズマによって、ホースアルゴンマトリックスに添加された微量成分としてのフルオロカーボン又は他のフッ素含有ガスから作られる。反応生成物は、加工物の表面から流れ、新たな材料を縮合及び新たに生じた表面上への再付着が生じることなくエッチング剤に露出させる気相化合物である。放出物により計算された経路に沿って加工物を横切ってプラズマを移動させることにより、所定の表面の生成を可能にする反応性化学種の安定且つ予測可能な分布が得られる。 （もっと読む）

【課題】 プラズマが不安定に成らない様にする。
【解決手段】 絶縁性物質で形成された円筒部材２と、プラズマガスを円筒部材２内に供給するためのガスリング３と、粉末材料とキャリアガスを円筒部材２内に供給するためのパイプＱ´が挿入されており、ガスリング３の中心軸に沿って設けられたプローブ１１´と、円筒部材２の外側に巻かれた誘導コイル４を備えており、誘導コイル４に高周波電力を供給することによって円筒部材２内に高周波誘導熱プラズマを発生させる様に成っている。パイプＱ´の少なくとも先端部分とプローブ１１´の中心孔Ｈ内の少なくとも先端部分のそれぞれに係脱可能な係合部を形成している。 （もっと読む）

【課題】従来は困難であった微細でかつ粒度分布幅の狭いナノ粒子を高効率に生成可能とする微粒子の製造方法、並びにこの方法の実施に用い得る微粒子の製造装置を提供する。
【解決手段】微粒子製造用原料としての一種以上の粒子を分散させて熱プラズマ炎中に供給し、前記微粒子製造用原料粒子を蒸発させ気相状態の混合物とし、この混合物を冷却して、微粒子を製造する方法において、前記熱プラズマ炎の発生装置として変調誘導熱プラズマ装置を用い、この変調誘導熱プラズマ装置のコイル電流の振幅変調を所定時間間隔で繰り返させる。 （もっと読む）

【課題】ウエハのような大型でかつ薄いワークを用いた場合であっても、割れを防止しつつ、十分な加工量でワークの縁部の角に面取り加工を施すことができるプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】本発明のプラズマ処理装置１は、板状のワーク１０を支持する支持部４と、支持部４に支持されたワーク１０の縁部１０２付近に、互いの離間距離が当該ワーク１０の中央部側から縁部１０２側に向けて漸減するように対向配置された第１の電極２１および第２の電極２２と、第１の電極２１と第２の電極２２との間に処理ガスを供給する処理ガス供給手段６と、第１の電極２１と第２の電極２２との間へ通電する通電手段７とを有する。 （もっと読む）

【課題】製造コストの低減を図りつつ、各種の径のプラズマを低コストで照射し得るプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】高周波信号Ｓを入力して放射する放射器１４と、放射器１４が内部空間に配設されたトーチ型の筐体１１と、筐体１１内にプラズマ放電用ガスＧを供給するガス供給部３と、放射器１４が挿通されると共に筐体１１の内面に取り外し可能に取り付けられた絶縁管３０ａ〜３０ｃ（管状の絶縁体）とを備え、プラズマ放電用ガスＧを供給した状態において放射器１４から高周波信号Ｓを放射して放射器１４の近傍に発生させたプラズマＰを絶縁管３０ａ〜３０ｃの噴出口３１ａ（一端部）から噴出させて処理対象体Ｚに照射可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】製造コストの高騰を招くことなく、処理対象体にコンタミが生じる事態を回避し得るプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマ放電用ガスＧを供給するガス供給管３０と、高周波信号Ｓを入力して放射する放射器１４と、ガス供給管３０および放射器１４が内部空間に配設されたトーチ型の筐体１１とを備え、ガス供給管３０を介して筐体１１内にプラズマ放電用ガスＧを供給した状態において放射器１４から高周波信号Ｓを放射して放射器１４の近傍にプラズマＰを発生させるプラズマ処理装置１であって、筐体１１の内面とガス供給管３０との間に放射器１４が配設されると共に、高周波信号Ｓの放射によってガス供給管３０内に発生させたプラズマＰをガス供給管３０の一端部から噴出させて処理対象体Ｚに照射可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】これまで外部に棄てられていたプラズマから発せられる光を分析試料の加熱、脱溶媒、分解、分析対象元素の原子化、励起、イオン化に利用することによって、高感度分析を実現するためのプラズマトーチ及びプラズマトーチホルダーを提供する。
【解決手段】プラズマ７から発せられた光を、プラズマトーチの内部に効率よく反射するための光反射材５をプラズマトーチ及びプラズマトーチホルダーに具備させることによって、これまで棄てられていた光をプラズマに導入される以前の分析試料に照射して加熱、脱溶媒等を行わせると共に、プラズマ中心部１０に集光して分析対象元素の励起とイオン化効率を向上させる。 （もっと読む）

【課題】誘導結合プラズマ質量分析法等で用いられる脱溶媒装置において、チューブへの付着による感度減少とメモリー効果、並びに酸化物による妨害が起こらない、小型で分析信号の応答が速い脱溶媒装置を提供する。
【解決手段】キャリヤーガスが接する誘導結合プラズマトーチのインジェクターチューブの一部又は全部を溶媒蒸気透過材で構成することによって、キャリヤーガスがインジェクターチューブを通過する間に試料液滴から蒸発した溶媒蒸気を選択的に透過させて除去する。さらに、透過材を透過した溶媒蒸気を減圧吸引するための、又はパージガスで押し出すための流路をインジェクターチューブに形成することによって、試料液滴がプラズマに導入される直前で効率的に脱溶媒する装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】分散性に優れた微粒子を得ることができ、かつその微粒子を高効率で回収できる製造方法および、その製造方法に用いる製造装置を提供する。
【解決手段】微粒子原料を熱プラズマにより微粒子成分蒸気とし、前記微粒子成分蒸気をプラズマ炎（プラズマフレーム）尾部で凝縮し、プラズマ炎領域外で微粒子を生成させた後、前記微粒子をガス気流を介して微粒子回収装置へ搬送して前記微粒子を回収する微粒子の製造方法において、前記ガス気流は、前記プラズマ炎領域外を旋回しながら、前記微粒子を前記プラズマ炎尾部から前記プラズマ炎領域外へと搬送する旋回流であることを特徴とする微粒子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】粒径の均等性を向上させることが可能な造粒装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明の造粒装置１００によれば、造粒容器６１の中心部、天井部、側部、底部そして中心部へと循環する循環ガス流に乗って粉体が造粒容器６１内を循環する。この過程で粉体がプラズマフレームＦ２によって加熱されて粉体同士が付着し、粒径が徐々に大きくなる。そして、所定の粒径以上に成長した大径粒体は、自重によって循環ガス流から離脱する。ここで、循環ガス流から離脱した大径粒体は、造粒容器６１の底部に貫通形成された環状孔８２を通って直ちに造粒容器６１の外部、即ち、回収容器１０へと排出されるから、所定の粒径以上に成長した大径粒体に、循環中の粉体又は粒体がさらに付着することが防がれる。これにより、大径粒体の過剰な大型化を抑えて、粒径の均等性を向上させることが可能となる。 （もっと読む）