【課題】 高周波誘導熱プラズマトーチで合成した固体物質が、該プラズマトーチの内部に付着するのを抑制することができ、かつ比較的細いターゲット棒上に合成した固体物質を効率よく堆積できる高周波誘導熱プラズマトーチおよび固体物質の合成方法を提供する。
【解決手段】 本発明の高周波誘導熱プラズマトーチは、固体物質を合成するための高周波誘導熱プラズマトーチにおいて、最内側から順に、第１管13を原料ガスおよび不活性キャリアガス流路17とし、第２管14を不活性ガス流路18とし、第３管15を必要に応じて不活性ガスで希釈した副原料ガス流路19とし、第４管16を冷却水流路20とする４重管構造を有し、第１管13および第２管14は第３管15および第４管16より後退して配置され、第４管16の外側で、かつ第１管13および第２管14の先端より前方の部分に、高周波コイル21を配置してなることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】常に安定してプラズマを生じさせることが可能なプラズマ発生装置及びその駆動電流制御方法を提供する。
【解決手段】複数のガスを流すトーチ本体２５の外側に誘導コイル３１を配置してプラズマトーチ２３を構成する。プラズマトーチ２３の誘導コイル３１に高周波交流電流を供給して高周波電磁界を発生させ、トーチ本体２５に供給したガスを誘導的にイオン化し、プラズマ炎となる熱プラズマを発生させる発振器３２を設ける。誘導コイル３１に供給される発振器３２からの電流値Ｉｐを検出し、この電流値が第１の範囲内となるように発振器３２の電源電圧Ｖｐを制御する制御装置５１を設ける。 （もっと読む）

【課題】固体の溶射原料粉末を供給し、それをマイクロ波プラズマにより加熱溶融し、加速し、皮膜を形成する方法を提供する。
【解決手段】空洞共振器内に細いアンテナを設置することにより、その先端部に高電界を生成し、絶縁破壊により、プラズマの生成を容易にする。これによって、通常絶縁破壊が難しい窒素などの2原子分子ガスでも用意にプラズマの生成が可能である。更に高融点の中空電極をアンテナとして用いることにより、1000℃以上の高温プラズマの生成を可能にした上で、プラズマの中心軸上に粉体を供給しその溶射を可能にする。プラズマの温度は、アンテナの周囲に冷却ガスを流すことによる熱ピンチ作用で更に高温なプラズマを安定に生成することが可能である。 （もっと読む）

火炎又はプラズマなどの原子化源に付加的なエネルギーを供給するように構成された増強装置を開示する。特定の例では、増強装置は、脱溶媒、原子化、および／またはイオン化を増進させるように火炎又はプラズマに付加的なエネルギーを供給するために、火炎又はプラズマと共に用いても良い。別の例では、増強装置は、化学種を励起するのに付加的なエネルギーを供給するように構成されていて良い。少なくとも１つの増強装置を含む機器及び装置をも開示している。
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本発明は、水素ガスの製造装置および方法に関するものである。本発明の水素ガス製造装置は、ａ）誘電性中空管；ｂ）前記誘電性中空管を減圧に維持するための手段；ｃ）マイクロ波を発生するマイクロ波源；ｄ）前記マイクロ波を前記誘電性中空管に印加するマイクロ波源に連結される導波管；ｅ）前記誘電性中空管に供給される水素元素含有ガスは前記導波管からのマイクロ波によりプラズマ放電されて、プラズマ放電によって生じる電子の水素元素含有ガスとの衝突によって、熱分解ではなくむしろ分子内結合切断により水素ガスを含む反応生成物を生成する、水素元素含有ガスを前記誘電性中空管に供給するガス供給源；およびｆ）水素ガスを前記反応生成物から分離するセパレータを有する。本水素ガス製造装置は、簡単な構造を有し、簡単にかつ効率的に少量の水素ガスを製造する。
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【課題】試料の分光化学分析のための分光システム用ガス供給源の低廉化。
【解決手段】本分光システムは、分光源としてマイクロ波誘導プラズマ９０を発生させるためのトーチ５０を備える。プラズマ形成ガスには酸素不純物を含有することができる窒素を用いる。このため本システムは、大気から吸着によって除去される酸素のために、好ましくは圧縮機７５から圧縮された大気が供給される窒素発生器７０を備えている。
【効果】現場の窒素ガス発生器を使用できるため、ボンベ入り高純度ガスの供給を得る必要がなくなり、コストが節約できる。 （もっと読む）

【課題】 プラズマ火炎の最高温度を極端に上昇させることなく、プラズマ火炎を広げて、かつ、安定なプラズマ火炎を発生させるプラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】 誘導結合型プラズマトーチ１１に直進流ガス噴出管２９，３０と旋回流ガス噴出管２５とを有する誘導結合型プラズマトーチを用いる。誘導結合型プラズマトーチ１１のプラズマ火炎放出面であって、前記プラズマトーチの中心軸２２から、該中心軸と前記プラズマトーチの外縁２３との最短距離の８５％の位置における前記中心軸を中心とした円の接線方向のガス流速成分を０．０５〜１．４ｍ／ｓまで変化させることによって、プラズマ火炎の広がりを調節することにより、広がりと安定性を有するプラズマ火炎を発生させるプラズマ発生装置が得られる。 （もっと読む）

【課題】皮膚再生処置具に関わり、無線周波発生器とプラズマ発生器によるイオン化可能ガスの処置エネルギーを制御するための改良された手持ち式処置機器を提供する。
【解決手段】皮膚再生の対象となる組織表面に、ガスプラズマを噴射する、熱エネルギーによる皮膚再生処置具であって、ＣＰＵコントローラ２１０の制御に基づき、窒素ガスが窒素ガス供給源２２１から、弁２２０を介して、又無線周波エネルギーがマグネトロン２００から同軸ケーブルを介して、手持ち式処置機器に送られ、内蔵されるコイル内に生じる電界により、窒素ガスがプラズマ化される。プラズマジェットのエネルギーは機器の経年変化、ガス変動等により変化するため、較正デバイス３００を用いて較正し、コントローラ２１０で補正値を生成してマグネトロン２００及び弁２２０を調整して皮膚再生処置を行う。 （もっと読む）

プラズマ装置と、分析測定においてかかるプラズマ装置を使用する方法とを開示する。いくつかの例において、低流量プラズマは、毎分約５リットル未満の総アルゴンガス流を、いくつかの実施形態においては毎分約４リットル未満のプラズマアルゴンガス流を用いて、作動可能である。別の例においては、誘導及び容量結合を用いて生成されるプラズマを開示する。
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【課題】大気圧プラズマの発生装置の小型化を実現すること。更には、その大気圧プラズマ発生装置に対する給電効率の最適化を容易にすること。
【解決手段】セラミックスからなる高耐熱性の絶縁体４の前方開口端４ａからプラズマが出射される。先端が窄んだ略円筒形の金属製の外導体２は、同軸空洞Ｒの外殻部を形成している。外導体２、絶縁体４、及び金属製のプラズマ材料ガス導入管１は、何れも筒状に形成されて互いに同軸となる様に配置されている。外導体２とプラズマ材料ガス導入管１とは、可変機構６付近で電気的に接続されている。プラズマ材料ガス導入管１の導入口１ａはプラズマ発生装置１０の最後部に配置されており、一方、プラズマ材料ガス導入管１のガス吹き出し口１ｂはその反対側に配置されている。このガス吹き出し口１ｂの更に前部には、金属製の突起部材５が配設されて、電界が集中し易くなっている。 （もっと読む）