【課題】 直流プラズマ発生体の陽極筒の底部内壁に粉末等の処理物質の蒸発物が付着することが防止する。
【解決手段】絶縁フランジ２の中央部に設けられた陰極棒３と、陰極棒３を囲う様に絶縁フランジ２に取り付けられた陽極筒５を有し、陰極棒３と陽極筒５との間のプラズマ発生空間４に直流プラズマが発生される様に成した直流プラズマ発生体１、及び、陽極筒５の後部に連接され、誘導コイル１３が巻かれた円筒部材１２内のプラズマ発生空間１７に高周波誘導プラズマが発生される様に成した高周波誘導プラズマ体１１を備え、陽極筒５と絶縁フランジ２との間に、直流プラズマ発生空間４に繋がり、直流プラズマ発生空間４の中心軸Ｏに向かう方向のプラズマガスと直流プラズマ発生空間４の周方向に向かうプラズマガスがミックスされ、直流プラズマ発生空間４には一定方向のプラズマガスが流れる様に成した隙間２１を設けた。 （もっと読む）

プラズマ・ガン３０用のプラズマ流遮蔽囲い部材１０は、軸線方向長さ、プラズマ流の入口端部１１及びプラズマ流の出口端部１３を有する略管状の部材１４を含む。囲い部材１０は、プラズマ・ガン３０に取り付けられるように適合される。プラズマ・ガン３０のプラズマガス流を保護する、閉じ込める又は遮蔽する方法は、囲い部材１０がプラズマガス流の少なくとも一部を実質的に囲むようにサイズ決め及び構成されるように、プラズマガス流の囲い部材１０をプラズマ・ガン３０に取り付けること２０を含む。
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ａ）前記供給物が前記プラズマ中に導入され、酸素ガスの供給が前記少なくとも一種のプラズマ形成ガス、および／または前記プラズマもしくは前記プラズマの近傍にて達成され、それにより原子への分解が誘発されたガスが得られる工程；ｂ）反応囲壁室中において、原子への分解が誘発された前記ガスを熱破壊する第一運転が行われる工程；ｃ）前記第一熱破壊運転を経た前記ガスを空気および／または酸素と混合することにより、前記ガスを熱破壊する第二運転が行われる工程；ｄ）前記混合からの前記ガスの少なくとも一部を冷却することにより、再結合が達成される工程；ｅ）前記ガスが排出される工程。
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【課題】基材の表面近傍をごく短時間だけ均一に高温熱処理するに際して、基材の所望の被処理領域全体を短時間で処理することのできる熱プラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】内部に不活性ガス５を流す熱プラズマノズル１と基材２との間に配置されたノズルカバー７に線状スリット９が設けられ、熱プラズマノズルに電力を供給して、噴出口Ｆから熱プラズマジェット１０を発生させ、線状スリット９を通過したエネルギー束が基材２の表面に作用し、基材２の表面近傍１１を熱処理する。 （もっと読む）

本発明は、プラズマの発生部分において、接地された電極として機能する金属ハウジングを備え、その金属ハウジンング内には、ＨＦジェネレータと、高周波数用の閉じられたフェライト磁心を備えるＨＦ共振コイルと、ガスノズルとして機能する絶縁体と、この絶縁体に取り付けられている高圧電極とが、プロセスガスによって取り巻かれるか、または通過されるように配置されている、大気圧条件下におけるＨＦ励起コールドプラズマの発生装置を提供する。好ましい実施形態では、取り外し可能な導電性のキャップを備え、そのキャップは前方部分にスリットまたは穴を有する。本発明は、美容及び医療用材料のプラズマ処理に有効に使用することができる。本発明により、小型化された携帯型装置内にプラズマノズル及び制御エレクトロニクスを組み込むことによって、または短い高電圧ケーブルを使用することによって、電磁適合性（ＥＭＣ）ガイドラインの遵守が保証され、出力損失を最小化することにより携帯利用を実現することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】冷却ガスにより噴出装置本体を冷却する冷却効率を向上させ、噴出装置本体に接続される配管の数を減らすこと。
【解決手段】プラズマガン４は、供給される使用ガスをマイクロ波でプラズマ化させてプラズマを噴出するガン本体３２と、ガン本体３２を使用ガスとは異なるガス種の冷却ガスで冷却する冷却構造５０とを有する。使用ガスをガン本体３２に供給するガス供給経路４０の一部を、ガス管３３で構成し、ガス管３３をガン本体３２の外周に沿って設ける。ガス管３３には、使用ガスと冷却ガスとを混合させた混合ガスが導かれる。ガス管３３の一部は、冷却ガスがガス管３３の外部に透過する気体分離膜３８で形成されており、冷却ガスは、ガン本体３２と熱交換して気体分離膜３８を透過する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも高い圧力下あるいは従来よりも小さなコイル電圧の印加で熱プラズマを発生させることができる誘導熱プラズマ発生方法及び装置を提供する。
【解決手段】整合用トランス２６の二次側コイルの一端２６ａと誘導コイル２２の一端２２ａとの間にのみ共振コンデンサ３６を接続することにより、少なくとも熱プラズマの着火時に、誘導コイル２２の一端２２ａ側と他端２２ｂ側とで互いに所定値以上の比率となるように偏った容量を有するインピーダンス整合回路３４を介して高周波電力を誘導コイルに供給することにより熱プラズマを発生させる。 （もっと読む）

ナノ粉末の生成および材料処理のためのプロセスおよび装置が、本明細書で説明されている。プラズマを発生させるためにプラズマトーチを備えるトーチ本体と、プラズマ放電を受け取るためにトーチ本体と流体連結し、さらに急冷部と流体連結している反応炉部と、反応炉部と熱的に連結している少なくとも1つの加熱要素とを備え、その少なくとも1つの加熱要素が反応炉部内の温度を選択的に調節すること可能にするプラズマ反応炉が、本明細書で説明されている。
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【課題】プラズマによる放射器および絶縁管の変質やエッチングを防止する。
【解決手段】上端部が閉塞板１１ｂで閉塞され、下端部が開放端に形成された筒状の筐体３１と、閉塞板１１ｂの内面に立設された筒状の放射器１４と、不活性ガスＧ１を筐体３１内を経由して開放端まで搬送して筐体３１の外部に放出させる絶縁管１１ｃとを備え、筐体３１は内部に供給された反応性ガスＧ２を開放端から外部に放出して開放端の前方に反応性ガス雰囲気を形成する反応性ガス供給路として構成され、放射器１４が供給された高周波信号Ｓ１を放射して、絶縁管１１ｃ内にプラズマ化した不活性ガスＧ１による一次プラズマＰ１を発生させる。一次プラズマＰ１は、絶縁管１１ｃの先端部から反応性ガス雰囲気中に放出されて反応性ガスＧ２をプラズマ化させ、処理対象体６をプラズマ処理するための二次プラズマ等Ｐ２を発生させる。 （もっと読む）

【課題】 安定したプラズマ火炎が得られ、再現性よく特性の安定した製品を造ることができ、かつ稼動中の振動によってトーチに損傷の生ずることのない固体合成用高周波熱プラズマトーチを提供する。
【解決手段】 原料ガス導入部材１の外方に、冷却水流路７を形成する内側管２と外側管３が配設され、さらに外側管３の外方に高周波コイル４が巻回され、前記原料ガス導入部材１の中心に原料ガス流路５が形成され、前記内側管２と原料ガス導入部材１との間にプラズマガス流路６が形成されてなる高周波誘導熱プラズマトーチにおいて、前記高周波コイル４とその内側の外側管３との間に絶縁体13を介在させて、高周波コイル４の位置を固定し、プラズマガス流路６と高周波コイル４との位置関係が一定に保持されている。 （もっと読む）