【課題】大気圧大面積プラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】本発明による大気圧大面積プラズマ発生装置は、発振周波数が可変なＶＣＯ回路，マイクロ波の発振時間と発振の繰り返し時間可変のパルス回路を含むマイクロ波発振器１と、アイソレータと増幅器を含むマイクロ波変調器２と、前記マイクロ波変調器２の出力に接続されているユニット化した複数のマイクロ波電力増幅器と、前記各マイクロ波電力増幅器にそれぞれ接続され、それぞれにプラズマ発生用ガスが導入されている同軸共振ヘッドよりなるプラズマガスを発生する複数のマイクロ波プラズマ発生源４と、前記複数のマイクロ波プラズマ発生源４を特定の空間に向けて配列する支持構造と、前記プラズマ発生源４に関連して配置されているプラズマセンサと、制御装置５から構成されている。 （もっと読む）

【課題】 アーク放電を発生させずに、大気圧下で効率良くプラズマを生成することができるプラズマ生成装置を提供することである。
【解決手段】 電極棒１と、円筒電極２と、パルス電圧を発生するパルス電源１１とを有し、電極棒１と円筒電極２との間にパルス電源１１による所定のパルス電圧を印加することによって、電極棒１と円筒電極２との間に放電を発生させ、該放電によってプラズマを生成する。 （もっと読む）

本発明は、炭素ナノチューブ及び炭素ナノオニオンから選択された炭素ナノ構造を製造する方法を提供する。この方法は、炭素含有ガスを、プラズマ形成ガスから発生されたプラズマ炎へ注入して、原子状炭素を発生するステップであって、この原子状炭素は、炭素ナノ構造を成長させる核生成ポイントとして働くその場で発生されたナノメーターサイズの金属触媒粒子の存在中で、炭素ナノ構造を発生するものであるステップと、その炭素ナノ構造を収集するステップとを備えている。
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マイクロ波プラズマを発生するためのシステムおよび方法が開示されている。本発明は、ガスフロー管（４０）と、ガスフロー管（４０）内に配置されガスフロー管（４０）の出口付近に先端部（３３）を持つロッド状コンダクタ（３４）とを備えるノズル（２６）を提供する。ロッド状コンダクタ（３４）の部分（３４）はマイクロ波キャビティ（２４）内に延びて、キャビティ（２４）を通過するマイクロ波を受信する。受信されたマイクロ波は先端部（３３）に集中され、ガスを加熱しプラズマにする。マイクロ波プラズマノズル（２６）はまた、ロッド状コンダクタ（３４）とガスフロー管（４０）との間に位置し、管（４０）を流動するガスに螺旋状の流動方向を付与するうず巻状ガイド（３６）もまた備えている。マイクロ波プラズマノズル（２６）はさらに、ガスフロー管（４０）を通る際のマイクロ波のパワー損失を緩和するための遮蔽メカニズム（１０８）も備えている。
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スペクトロメータはプラズマトーチ（１２）と、トーチ内部に正常なプラズマ（Ｐ）を発生するための誘導コイル（４０）とを有している。トーチ（１２）は外管（２０）及び内管（２２）を有している。プラズマ（５０）が正常プラズマ状態からトロイダル状又は不完全なプラズマ形状（５２）にくずれると、フォトダイオード（７０）が形状の変化を検出するので、プラズマトーチは、プラズマ形状（５２）がトーチの外管（２０）を溶融することを防止するべく停止することができる。
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次の工程：
プラズマトロン（１）のチャンバ（２）中で高周波フィールドを製造する工程；
前記チャンバ（２）中へプラズマガスを導入する工程；
プラズマガスを用いて高周波フィールドによりプラズマを製造する工程；
及び
プラズマ中へ出発材料を導入する工程
を有する、変性された材料の製造方法である。
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熱プラズマを生成するプラズマ生成装置（３１６）と、プラズマ生成装置（３１６）から熱プラズマを受け取り且つプラズマ処理チャンバ（３１８）内で熱プラズマを膨張させるためにプラズマ生成中にプラズマ生成装置（３１６）よりも低い圧力をプラズマ処理チャンバ（３１８）に維持するプラズマ生成装置（３１６）の外部のプラズマ処理チャンバ（３１８）と、熱プラズマを誘導結合する誘導子システム（３３０、３３２、３３３）とを含むプラズマ生成システム（３００）が提供される。 （もっと読む）