アクチュエータ装置

【課題】コンパクトで薄型であり、かつ、変位部材に作用する加圧力の変動の小さいアクチュエータ装置を得る。
【解決手段】ベース板１０と、加圧板１５と、平板状の圧電素子２０Ａ，２０Ｂと、該圧電素子２０Ａ，２０Ｂの間に挿入された補強板２５と、圧電素子２０Ａ，２０Ｂの一端部の表面に貼着された摩擦板３０Ａ，３０Ｂと、圧電素子２０Ａ，２０Ｂの他端部に取り付けた重り３５とで構成されている。加圧板１５は圧電素子２０Ａ，２０Ｂが変位する方向Ｙ，−Ｙに延在する、剛性力が加圧板１５の他の領域よりも小さい低剛性領域１５ａを有し、主として該低剛性領域１５ａによって圧電素子２０Ａ，２０Ｂに弾性力が付与されている。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータ装置、特に、圧電素子を駆動源とするアクチュエータ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧電素子を駆動源とするアクチュエータ装置として、特許文献１には、電気的作用により伸縮し、該伸縮方向に平行な平面を有する圧電素子と、前記圧電素子の伸縮方向に平行な平面上に載置され、かつ、前記圧電素子の伸縮方向の前端に固定された第１摩擦部材と、前記第１摩擦部材の上面に当接するように載置され、被駆動体を駆動する駆動部材と、前記第１摩擦部材に対して前記駆動部材を押圧する押圧機構部と、前記圧電素子の伸縮方向の後端を固定する固定部材とを有する圧電素子を用いた駆動装置が記載されている。
【０００３】
しかし、前記駆動装置においては、駆動部材を押圧する押圧機構部はコイルばねによって押圧力を得ているため、コイルばねを保持する筺体などを必要とすることから低背化が困難である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−６５７７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明の目的は、コンパクトで薄型であり、かつ、変位部材に作用する加圧力の変動が小さいアクチュエータ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明の一形態であるアクチュエータ装置は、
電圧の印加に伴って位置が変位する変位部材と、
前記変位部材を加圧することにより、前記変位部材に対して相対的に変位する平板状の加圧板と、
を備え、
前記加圧板は、前記変位部材が変位する第１の方向に延在する、剛性が加圧板の他の領域よりも小さい低剛性領域を有し、
前記加圧板による前記変位部材に対する加圧力は主として前記低剛性領域の弾性力によって付与されていること、
を特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、変位部材と該変位部材に対して相対的に変位する平板状の加圧板とからなるため、コンパクトで薄型化が達成される。また、加圧板は、変位部材が変位する第１の方向に延在する、剛性が加圧板の他の領域よりも小さい低剛性領域を有し、主として該低剛性領域の弾性力によって変位部材に対する加圧力を付与しているため、変位部材に作用する加圧力の変動が小さくなる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１実施例であるアクチュエータ装置を示す分解斜視図である。
【図２】第１実施例であるアクチュエータ装置を示す側面図である。
【図３】第１実施例であるアクチュエータ装置の移動部を示す側面図である。
【図４】第１実施例であるアクチュエータ装置の動作説明図である。
【図５】圧電素子に印加する駆動電圧を示すグラフである。
【図６】第２実施例であるアクチュエータ装置を示す側面図である。
【図７】第２実施例であるアクチュエータ装置の動作説明図である。
【図８】第３実施例であるアクチュエータ装置の要部を示す側面図である。
【図９】第４実施例であるアクチュエータ装置を示す分解斜視図である。
【図１０】加圧板の第１例を示す平面図である。
【図１１】加圧板の第１例のばね定数特性を示すグラフである。
【図１２】比較例である加圧板を示す平面図である。
【図１３】比較例である加圧板のばね定数特性を示すグラフである。
【図１４】加圧板の第２例を示す平面図である。
【図１５】加圧板の第２例のばね定数特性を示すグラフである。
【図１６】加圧板の第３例を示す平面図である。
【図１７】加圧板の第４例を示す平面図である。
【図１８】加圧板の第５例を示す平面図である。
【図１９】加圧板の第６例を示す平面図である。
【図２０】第５実施例であるアクチュエータ装置を示す斜視図である。
【図２１】第５実施例であるアクチュエータ装置を示す分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明に係るアクチュエータ装置の実施例について添付図面を参照して説明する。なお、各図において共通する部材、部分には同じ符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１０】
（第１実施例、図１〜図５参照）
本発明の第１実施例であるアクチュエータ装置１は、図１に示すように、ベース板１０と、加圧板１５と、平板状の圧電素子２０Ａ，２０Ｂと、該圧電素子２０Ａ，２０Ｂの間に挿入された補強板２５と、圧電素子２０Ａ，２０Ｂの一端部の表面に接合固定（貼着）された摩擦板３０Ａ，３０Ｂと、圧電素子２０Ａ，２０Ｂの他端部に取り付けた重り３５と、ベース板１０と加圧板１５との間に介在されたスペーサ３６と、で構成されている。
【００１１】
圧電素子２０Ａ，２０Ｂは、帯状をなす単板の表裏面に電極を形成したもので、真鍮製の薄板材からなる補強板２５の表裏面に接着されている。補強板２５の端部は圧電素子２０Ａ，２０Ｂの他端部から突出しており、この突出部分に重り３５が取り付けられている。
【００１２】
加圧板１５はベース板１０に対して圧電素子２０Ａ，２０Ｂを間に挟んでビスやカシメなどで固定されている。即ち、圧電素子２０Ａ，２０Ｂはベース板１０と加圧板１５との間に摩擦板３０Ａ，３０Ｂを介して所定の弾性力で挟持されている。加圧板１５は所定のばね定数を保持しており、そのばね性で圧電素子２０Ａ，２０Ｂを摩擦板３０Ａ，３０Ｂを介してベース板１０との間で弾性的に挟持している。即ち、加圧板１５は板ばねを構成している。圧電素子２０Ａ，２０Ｂに対する弾性的な圧接力はスペーサ３６の厚さによって調整される。
【００１３】
なお、加圧板１５の構成、作用やばね定数特性などについては、図１０〜図１９を参照して以下に詳述する。
【００１４】
圧電素子２０Ａ，２０Ｂは、その分極方向が図３に矢印で示すように補強板２５を挟んで互いに逆向きであり、駆動用の配線４１は補強板２５を通じて一方面の電極に接続され、配線４２は他方面の電極に接続されている。この圧電素子２０Ａ，２０Ｂは電圧印加方向と垂直方向に変位するｄ３１モードを利用してアクチュエータとして利用される。即ち、圧電素子２０Ａ，２０Ｂは分極方向に電界が作用すると、厚み方向に伸縮するとともに面方向にも伸縮する。厚み方向に伸びるときは面方向に縮み、厚み方向に縮むときは面方向に伸びる。
【００１５】
以上の構成からなる本第１実施例の動作を概説すると、図４（Ａ）に示す通常状態から、低速充電すると圧電素子２０Ａ，２０Ｂは緩やかに収縮し、重り３５が摩擦板３０Ａ，３０Ｂに近づく（図４（Ｂ）参照）。次に、逆方向に急速充電すると圧電素子２０Ａ，２０Ｂは急速に伸長し、重り３５は自身の慣性で動くことはなく、摩擦板３０Ａ，３０Ｂがベース板１０と加圧板１５との間で滑りを生じる（図４（Ｃ）参照）。次に、低速充電すると圧電素子２０Ａ，２０Ｂは緩やかに収縮し、重り３５が摩擦板３０Ａ，３０Ｂに近づく（図４（Ｄ）参照）。以上の動作を繰り返すことにより、重り３５が図４中左方に移動することになる。
【００１６】
圧電素子２０Ａ，２０Ｂを駆動するために印加する電圧は概略図５に示すとおりである。図５は圧電素子２０Ａ，２０Ｂの緩やかな収縮、急速な伸長のプロファイルを示してもいる。
【００１７】
即ち、第１実施例において、圧電素子２０Ａ，２０Ｂ、補強板２５、重り３５、摩擦板３０Ａ，３０Ｂが移動部であり、ベース板１０、加圧板１５、スペーサ３６が固定部である。
【００１８】
ところで、圧電素子２０Ａ，２０Ｂは、チタン酸ジルコン酸鉛などの圧電セラミック材料からなり、セラミック単板の表裏面に電極を形成したものである。補強板２５と重り３５は真鍮製であり、適宜絶縁処理が必要である。ベース板１０と加圧板１５は、ステンレス製であり、摩擦板３０Ａ，３０Ｂとの対向面には硬化処理及び／又は潤滑処理が施されている。例えば、無電解ニッケルめっきを施した後に熱処理が施されている。硬質クロムめっきが施されていてもよい。摩擦板３０Ａ，３０Ｂはステンレス製であり、表面にはコーティング処理が施されている。コーティング処理はダイヤモンドライクカーボン又はフッ素樹脂とニッケルの複合皮膜を好適に用いることができる。
【００１９】
厚さに関してその一例を示すと、ベース板１０は０．４ｍｍ、摩擦板３０Ａ，３０Ｂはそれぞれ０．０５ｍｍ、圧電素子２０Ａ，２０Ｂはそれぞれ０．１５ｍｍ、補強板２５は０．１ｍｍ、加圧板１５は０．３ｍｍであり、アクチュエータ装置１としては１．２ｍｍの厚みである。また、保持力は３００ｇｆ、駆動力は７０ｇｆ、移動速度は９ｍｍ／ｓが達成されている。
【００２０】
以上のごとく、本第１実施例においては、圧電素子２０Ａ，２０Ｂのｄ３１モードでの動作によって、圧電素子２０Ａ，２０Ｂ及び重り３５が移動部となるコンパクトで薄型のアクチュエータ装置１を得ることができる。特に、圧電素子２０Ａ，２０Ｂは摩擦板３０Ａ，３０Ｂを介してベース板１０及び加圧板１５と圧接しているため、摩擦板３０Ａ，３０Ｂによって圧電素子２０Ａ，２０Ｂが機械的に保護される。摩擦板３０Ａ，３０Ｂを薄くすることで、移動体を構成する質量が重り３５に集中することになり、重り３５の慣性効果を高め、駆動力を大きくしたり、駆動電圧を小さくすることができる。
【００２１】
また、加圧板１５及びベース板１０の主面の面積を摩擦板３０Ａ，３０Ｂの主面の面積よりも大きくすることにより、重り３５の移動量を大きくすることができる。また、ベース板１０に圧接する摩擦板３０Ｂと加圧板１５に圧接する摩擦板３０Ａは互いに面積が異なっており、小さいほうの摩擦板３０Ａは大きいほうの摩擦板３０Ｂに平面視で重なるように設けられていてもよい。これにて、摩擦板３０Ｂの端部での接触摺動を防止し、ベース板１０及び加圧板１５との確実な面接触を確保することができる。特に、加圧板１５と圧接する摩擦板３０Ａの面積をベース板１０と圧接する摩擦板３０Ｂよりも小さくすることで、動作が安定化する。さらに、加圧板１５は自身のばね性で摩擦板３０Ａ，３０Ｂを加圧しているため、別途弾性部材を必要とすることがなく、アクチュエータ装置１がさらに小型化、低背化される。補強板２５の端部に重り３５を固定する構造も装置の低背化に寄与する。
【００２２】
また、圧電素子２０Ａ，２０Ｂは補強板２５に固着されているため、圧電素子２０Ａ，２０Ｂを薄くしても機械的強度を補強することができ、圧電素子２０Ａ，２０Ｂの割れを未然に防止できる。２枚の圧電素子２０Ａ，２０Ｂを補強板２５の表裏面に固着し、それぞれの分極方向が補強板２５を挟んで互いに逆向きであるため、２枚の圧電素子２０Ａ，２０Ｂに並行して電圧を印加することにより、駆動電圧を低減できる。
【００２３】
さらに、ベース板１０及び／又は加圧板１５の表面であって摩擦板３０Ａ，３０Ｂが圧接する面には硬化処理及び／又は潤滑処理を施すことにより、滑らかな移動を実現でき、耐久性が向上する。さらに、摩擦板３０Ａ，３０Ｂが圧電素子２０Ａ，２０Ｂに接合固定されているので、圧電素子２０Ａ，２０Ｂの振動が摩擦板３０Ａ，３０Ｂに直接的に伝達され、ベース板１０との間で高速な駆動が可能になる。
【００２４】
また、第１実施例では、重り３５を設けたが、重り３５は必ずしも必要ではない。重り３５を設けることは、重り３５が支点となって慣性体として機能するので、より大きな移動量が得られ、好ましい。
【００２５】
（第２実施例、図６及び図７参照）
第２実施例であるアクチュエータ装置２は、図６に示すように、基本的には前記第１実施例と同じ構成からなり、異なるのは、圧電素子２０Ａ，２０Ｂの他端部に取り付けた重り３５に代えて支持部３７としたものである。この支持部３７及び圧電素子２０Ａ，２０Ｂが固定部となり、ベース板１０、加圧板１５、スペーサ３６が移動部となる。
【００２６】
即ち、その移動形態は、図７（Ａ）に示す通常状態から、低速充電すると圧電素子２０Ａ，２０Ｂは緩やかに収縮し、ベース板１０及び加圧板１５が支持部３７に近づく（図７（Ｂ）参照）。次に、逆方向に急速充電すると圧電素子２０Ａ，２０Ｂは急速に伸長し、ベース板１０及び加圧板１５は自身の慣性で動くことはなく、摩擦板３０Ａ，３０Ｂがベース板１０と加圧板１５との間で滑りを生じる（図７（Ｃ）参照）。次に、低速充電すると圧電素子２０Ａ，２０Ｂは緩やかに収縮し、ベース板１０及び加圧板１５が支持部３７に近づく（図７（Ｄ）参照）。以上の動作を繰り返すことにより、ベース板１０及び加圧板１５が図７中右方に移動することになる。
【００２７】
なお、前記支持部３７は、例えば、電子機器の筺体（図示せず）そのものであってもよく、あるいは、固定された重り３５であってもよい。
【００２８】
本第２実施例において、その他の構成は前記第１実施例と同様であり、その作用効果も第１実施例と同様である。
【００２９】
（第３実施例、図８参照）
第３実施例であるアクチュエータ装置３は、図８にその要部を示すように、３枚の圧電素子２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃを２枚の補強板２５を介在させて積層したもので、それぞれの分極方向は図８に矢印で示すように補強板２５を挟んで互いに逆向きである。その他の構成は前記第１実施例と同様であり、その作用効果も第１実施例と同様であり、特に、本第３実施例では駆動力が大きくなる。
【００３０】
（第４実施例、図９参照）
第４実施例であるアクチュエータ装置４は、図９に示すように、ｄ３３モードで動作する圧電素子２１を用いたものである。圧電素子２１の先端に摩擦部材３１が固定され、後端には重り３８が固定されている。ベース板１０と加圧板１５との間にはスペーサ３６を介して摩擦部材３１が圧着されている。
【００３１】
本第４実施例においては、圧電素子２１がｄ３３モードで動作する点以外は前記第１実施例と同様に、圧電素子２１の伸縮動作に伴って重り３８が間欠的に移動（図４に示した動作）、あるいは、ベース板１０が移動する（図７に示した動作）。
【００３２】
（加圧板の形状、加圧力の適正化、図１０〜図１９参照）
ところで、前記圧電素子は大きな変位を得ることができるｄ３１モードで動作する。しかし、図５に示した波形の電圧を印加することで、図４又は図７に示した動作をするインパクト型であるため、加圧板による加圧力に起因する摩擦力に対する圧電素子の駆動力が小さくて扱いにくい面を有している。具体的には、加圧板による圧力が大きすぎると、圧電素子の変位が阻害され動作しにくくなる。一方、圧力が小さすぎると、圧電素子のみが変位してしまい、加圧板や重りが追随せず、アクチュエータとして機能しない。特に、変位部材の移動位置によって加圧板による圧力があまり変動しないことが好ましいことは、ｄ３３モードで動作する圧電素子にとっても同様である。そこで、加圧板の好ましい形状、構造について以下に説明する。
【００３３】
（加圧板の第１例、図１０及び図１１参照）
第１例である加圧板１５は、図１０に示すように、圧電素子が変位する変位方向Ｙ，−Ｙに延在する、剛性が加圧板１５の他の領域よりも小さい低剛性領域１５ａ（図１０（Ｂ）に斜線を付して示す）を有している。具体的には、加圧板１５の長辺方向Ｙ，−Ｙ方向に対する直交方向Ｘの両端部分には、それぞれ、４個ずつの固定用穴１６及びコ字形状の開口部１７が形成され、開口部１７と開口部１７との間及び開口部１７から加圧板１５の端部までをリブ１８とされている。加圧板１５は固定用穴１６にてスペーサ３６を介してベース板１０にねじ止めされている。つまり、加圧板１５は開口部１７の外側で固定され、Ｙ，−Ｙ方向にリブ１８が並んでいる領域が低剛性領域１５ａである。
【００３４】
このような低剛性領域１５ａを有する加圧板１５によって圧電素子を押圧することにより、加圧板１５の中央部分とＹ方向及び−Ｙ方向の外縁部分とのばね定数の差を小さくでき、圧電素子に対して適度な加圧力を加えることができる。中央部分を０として変位方向Ｙ，−Ｙの位置とばね定数との関係をシミュレーションすると、図１１に示す特性が得られた。中央部分から外縁部分にわたってばね定数は最大値の１２％しか変動していない。つまり、加圧板１５の第１例では、中央部分と外縁部分とのばね定数の差を小さくでき、圧電素子に対して適度な加圧力を加えることができる。
【００３５】
より詳しくは、加圧板１５の第１例においては、長辺方向Ｙ，−Ｙに対して直交方向Ｘにリブ１８を形成しているため、長辺方向Ｙ，−Ｙ方向に開口部１７が複数並んでいることによって生じるＹ−Ｙ断面における凸状の撓みだけではなく、開口部１７間にリブ１８部分が形成されることによって、Ｘ−Ｘ断面における凸状に撓みも生じる。加圧板１５が変位部材に加える加圧力は、この長辺方向とそれとは直交する方向のそれぞれに加わる加圧力の合計になるので、前記の構成によれば、加圧力１５によって押しつけられる変位部材がどの位置に移動したとしても加圧板１５からはほぼ均等な加圧力を与えることができる。それゆえ、加圧板１５の中央部分と外縁部分との間で生じる加圧板１５の変位量の差が小さくなり、摩擦板３０Ａ，３０Ｂの位置による加圧力の変動量が小さくなる。
【００３６】
（比較例、図１２及び図１３参照）
ここで、比較例として、図１２に示すように、直交方向Ｘの両側部分であって中央部分の１箇所に固定用穴１６を形成してねじ止めする加圧板１５’のばね定数特性を図１３に示す。ここでばね定数は、中央部分から外縁部分にわたって最大値の７２％の変動を示している。
【００３７】
（加圧板の第２例、図１４及び図１５参照）
第２例である加圧板１５は、図１４に示すように、中央部分に位置するリブ１８ａの幅よりも長辺方向Ｙ，−Ｙの端部部分に位置するリブ１８ｂ，１８ｃの幅の方を大きくしたものであり、他の構成は前記第１例と同様である。中央部分を０として変位方向Ｙ，−Ｙの位置とばね定数との関係をシミュレーションすると、図１５に示す特性が得られた。中央部分から外縁部分にわたってばね定数は最大値の２．５％しか変動していない。つまり、加圧板１５の第２例では、リブ１８の幅寸法を変位方向Ｙ，−Ｙに比例して大きくすることにより、中央部分と外縁部分とのばね定数の差を極めて小さくでき、圧電素子に対して適度な加圧力を加えることができる。
【００３８】
また、中央部分に位置するリブ１８ａの厚みよりも変位方向Ｙ，−Ｙの端部部分に位置するリブ１８ｂ，１８ｃの厚みを大きくすることにより、第２例と同様の効果を得ることができる。
【００３９】
（加圧板の第３例及び第４例、図１６及び図１７参照）
第３例及び第４例である加圧板１５は、リブ１８ａ，１８ｂ，１８ｃをそれぞれ異なる形状としたものである。図１６に示す第３例では、リブ１８ａ，１８ｂ，１８ｃの直交方向Ｘの幅を変えている。図１７に示す第４例では、リブ１８ａ，１８ｂを屈曲させている。これらの形状によっても、加圧板１５の中央部分と外縁部分とのばね定数の差を小さくできる。
【００４０】
（加圧板の第５例及び第６例、図１８及び図１９参照）
第５例及び第６例である加圧板１５は、図１８及び図１９に示すように、直交方向Ｘの両側部分に、変位方向Ｙ，−Ｙに延在する帯状の薄肉部分１９（斜線を付した部分）を形成し、該薄肉部分１９を低剛性領域としたものである。固定用穴１６は薄肉部分１９の外側に４カ所ずつ設けられている。薄肉部分１９は、図１８に示す第５例では、変位方向Ｙ，−Ｙに同じ幅で形成されており、図１９に示す第６例では、変位方向Ｙ，−Ｙに比例して若干狭く形成されている。このような帯状の薄肉部分１９を形成することによっても、加圧板１５の中央部分と外縁部分とのばね定数の差を小さくできる。
【００４１】
（第５実施例、図２０及び図２１参照）
次に、第５実施例であるアクチュエータ装置５は、図２０及び図２１に示すように、基本的には前記第１実施例と同様の構成を備え、前記重り３５に代えて、重り３９及び筺体４０を設けたものである。筺体４０は樹脂の一体成形品からなり、枠部４１に重り３９を嵌めこみ、連結部４２が裏面側の圧電素子２０Ｂと接合固定（接着）されている。また、スペーサ３６ａは前記２本のスペーサ３６をコ字形状に一体化したものを使用している。
【００４２】
本第５実施例では、ベース板１０に形成した穴１１にて図示しない移動体にねじ止めし、筺体４０に形成した穴４３にて図示しない固定体にねじ止めする。動作形態は前記第１実施例と同様であり、加圧板１５の作用効果も前述のとおりである。本第５実施例では、加圧板１５が圧電素子２０Ａ，２０Ｂの全面ではなく約半分の面積を覆っているだけである。つまり、加圧板１５は圧電素子２０Ａ，２０Ｂの全面を覆う必要はなく、圧電素子２０Ａ，２０Ｂを適度な圧力で押圧することにより、小型化した状態でアクチュエータとしての動作が可能である。
【００４３】
（他の実施例）
なお、本発明に係るアクチュエータ装置は前記実施例に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更できる。
【００４４】
特に、圧電素子は１枚であってもよく、この場合には２枚の補強板を圧電素子の表裏面に固着して、補強を行ってもよい。また、積層構造にしてもよい。また、圧電素子の駆動回路の構成、印加電圧の形態、重りの取付け形態などは任意である。前記実施例に示した各部材の材料や寸法などはあくまで一例であることは勿論である。
【００４５】
また、磁石からなる加圧板を圧電素子に固着し、磁性体からなるベース板と加圧板との吸引力を利用して、摩擦部材をベース板に圧接させるような構成でもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
以上のように、本発明は、アクチュエータ装置に有用であり、特に、コンパクトで薄型とすることができ、かつ、変位部材に作用する加圧力の変動が小さい点で優れている。
【符号の説明】
【００４７】
１〜５…アクチュエータ装置
１０…ベース板
１５…加圧板
１５ａ…低剛性領域
１６…固定用穴
１７…開口部
１８（１８ａ，１８ｂ，１８ｃ）…リブ
１９…薄肉部分
２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２１…圧電素子
３０Ａ，３０Ｂ…摩擦板
３１…摩擦部材
３５，３８，３９…重り

【特許請求の範囲】
【請求項１】
電圧の印加に伴って位置が変位する変位部材と、
前記変位部材を加圧することにより、前記変位部材に対して相対的に変位する平板状の加圧板と、
を備え、
前記加圧板は、前記変位部材が変位する第１の方向に延在する、剛性が加圧板の他の領域よりも小さい低剛性領域を有し、
前記加圧板による前記変位部材に対する加圧力は主として前記低剛性領域の弾性力によって付与されていること、
を特徴とするアクチュエータ装置。
【請求項２】
前記加圧板は前記第１の方向と直交する第２の方向の両側部分おいて複数個所で固定されていること、を特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ装置。
【請求項３】
前記加圧板には前記第２の方向の両側部分に、複数の開口部を有するとともに、該開口部の間にリブが設けられており、前記開口部及び前記リブが第１の方向と平行に並んでいる領域が前記低剛性領域であること、を特徴とする請求項１又は請求項２に記載のアクチュエータ装置。
【請求項４】
前記加圧板の固定位置は前記開口部の外側に配置されていること、を特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ装置。
【請求項５】
複数の前記リブは、前記第１の方向の中央部分に位置するリブの幅よりも第１の方向の端部部分に位置するリブの幅の方が大きいこと、を特徴とする請求項３又は請求項４に記載のアクチュエータ装置。
【請求項６】
複数の前記リブは、前記第１の方向の中央部分に位置するリブの厚みよりも第１の方向の端部部分に位置するリブの厚みの方が大きいこと、を特徴とする請求項３又は請求項４に記載のアクチュエータ装置。
【請求項７】
前記加圧板には前記第２の方向の両側部分に、前記第１の方向に延在する帯状の薄肉部分を有し、該薄肉部分が前記低剛性領域であること、を特徴とする請求項１又は請求項２に記載のアクチュエータ装置。
【請求項８】
前記変位部材は電圧が印加されることによって伸縮する圧電素子であり、前記加圧板は前記圧電素子を加圧すること、を特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれかに記載のアクチュエータ装置。
【請求項９】
前記加圧板と前記圧電素子との間には摩擦部材が介在されていること、を特徴とする請求項８に記載のアクチュエータ装置。
【請求項１０】
前記変位部材は電圧が印加されることによって伸縮する圧電素子と、該圧電素子に接合された移動部材とで構成され、前記加圧板は前記移動部材を加圧すること、を特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれかに記載のアクチュエータ装置。
【請求項１１】
前記移動部材は前記加圧板に対して摩擦力を有していること、を特徴とする請求項１０に記載のアクチュエータ装置。

【図１】