インクジェットヘッド、インクジェット記録装置、およびインクジェットヘッドの製造方法
【課題】 アクチュエータを大型化することなく、インクの温度を正確に検出することができるインクジェットヘッド、インクジェット記録装置、およびインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 複数のノズル開口部を配列したノズルプレートと、インクが充填される複数の長溝４５が複数のノズルのそれぞれに対応するように並設されているアクチュエータ４４と、アクチュエータ４４の複数の長溝４５上に設けられ、複数の長溝４５をそれぞれ連通させる開口部を有するカバープレート５５とを備えたインクジェットヘッド３において、カバープレート５５の複数の長溝４５に対応する部位に、少なくとも１箇所にニッケルクロム合金とニッケル合金とを成膜して熱電対７２を形成した。
【解決手段】 複数のノズル開口部を配列したノズルプレートと、インクが充填される複数の長溝４５が複数のノズルのそれぞれに対応するように並設されているアクチュエータ４４と、アクチュエータ４４の複数の長溝４５上に設けられ、複数の長溝４５をそれぞれ連通させる開口部を有するカバープレート５５とを備えたインクジェットヘッド３において、カバープレート５５の複数の長溝４５に対応する部位に、少なくとも１箇所にニッケルクロム合金とニッケル合金とを成膜して熱電対７２を形成した。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ノズルよりインク滴を吐出して被記録媒体に画像や文字を記録するインクジェットヘッド、インクジェット記録装置、およびインクジェットヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、インクを吐出して、被記録媒体にインク滴を着弾させるインクジェット記録装置が利用されている。
これらインクジェット記録装置の中には、インクを吐出させるためのインクジェットヘッドと、インクジェットヘッドを記録媒体の搬送方向と略直交する方向に沿って走査させるキャリッジとを備えているものがある。インクジェットヘッドとしては、複数のノズルを配列したノズルプレートと、インクが充填される複数の溝部が複数のノズルのそれぞれに対応するように並設されているアクチュエータと、アクチュエータの複数の溝部上に設けられるカバープレートとを備えたものが知られている。
アクチュエータには、溝部の両側壁に電極部が設けられている。この電極部に駆動電圧を印加すると溝部の容積が変化し、これにより、溝部に充填されたインクがノズルを介して吐出される。
【０００３】
ここで、溝部に充填されているインクの粘度は、環境温度によって変化する。すなわち、インクの粘度は環境温度が高ければ高いほど低下する特性を有している。このため、アクチュエータの電極部に印加する駆動電圧を温度に関わらず一定にしてしまうと、各温度によって、インクの吐出速度や吐出滴量（ドロップボリューム）が異なることになる。
そこで、アクチュエータの底面やカバープレートの上面などに溝部に充填されているインクの温度を検出するためのサーミスタを設けると共に、インクジェットヘッドにインクを供給するための流路（供給管）の途中にヒータと冷却管とを設け、サーミスタの検出結果に基づいて流路を流れるインクの温度調節を行う技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００５−３０５９７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述の従来技術にあっては、サーミスタがアクチュエータの底面やカバープレートの上面など、つまり、インクジェットヘッドの外部に設けられているので、アクチュエータの溝部に充填されているインクの温度をアクチュエータやカバープレートを介して測定することになる。このため、アクチュエータの溝部に充填されたインクとサーミスタとの間にアクチュエータの底壁やカバープレートを介在させる分、インクの温度を正確に検出することが困難になるという課題がある。
また、インクの温度を正確に検出し難いことから、インクジェットヘッドの過負荷時にアクチュエータ内のインクの温度がサーミスタによる検出温度よりも高くなるおそれがある。このため、インク中に気泡が発生して射出不良が発生し、この結果印刷不良を起こしてしまうという課題がある。
さらに、アクチュエータの溝部内に直接サーミスタを設け、溝部に充填されているインクの温度を正確に測定することも考えられるが、この分インクを充填するための溝部の容積を大きく設定する必要があり、インクジェットヘッドが大型化してしまうという課題がある。
【０００５】
そこで、この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、アクチュエータを大型化することなく、インクの温度を正確に検出することができ、安定した印刷を実現できるインクジェットヘッド、インクジェット記録装置、およびインクジェットヘッドの製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載した発明は、複数のノズルを配列したノズルプレートと、インクが充填される複数の溝部が前記複数のノズルのそれぞれに対応するように並設されているアクチュエータと、前記アクチュエータの前記複数の溝部上に設けられ、前記複数の溝部をそれぞれ連通させる開口部を有するカバープレートとを備えたインクジェットヘッドにおいて、前記複数の溝部の内壁、または前記カバープレートの前記複数の溝部に対応する部位の何れかであって少なくとも１箇所に、金属膜を成膜して成る熱電対を設けたことを特徴とする。
このように構成することで、アクチュエータの溝部内に熱電対を設けることができるので、溝部内に充填されたインクの温度を熱電対によって直接測定し、インクの温度を正確に知ることが可能になる。
また、インクの温度を正確に知ることができるので、例えば、インクジェットヘッドの過負荷時の際、インク中に気泡が発生するような高温時にあっては、速やかに印刷を停止したり、インクジェットヘッドを冷却したりすることができる。
さらに、熱電対が金属膜を成膜して成ることから、熱電対の設置スペースを無視できる程度に小さく設定することができる。
そして、従来のようにアクチュエータに温度センサとしてのサーミスタなどを１つ設けるだけでなく、アクチュエータに設けられている複数の溝部のそれぞれに熱電対を設けることが可能になる。このため、各溝部に設けられる電極部への印加電圧を各々制御することができる。
【０００７】
請求項２に記載した発明は、前記複数の溝部の底面に前記熱電対を設けたことを特徴とする。
このように構成することで、アクチュエータの各溝部の製作精度のばらつきに関わらず、確実に溝部に熱電対を設けることができる。
【０００８】
請求項３に記載した発明は、前記カバープレートの前記複数の溝部に対応する部位に前記熱電対を設けたことを特徴とする。
このように構成することで、熱電対に補償導線を容易に接続することが可能になる。
【０００９】
請求項４に記載した発明は、前記熱電対を前記カバープレートの前記複数の溝部に対応する部位から前記カバープレートの上面に臨ませるように設けたことを特徴とする。
このように構成することで、熱電対に接続される補償導線をカバープレートの下面側、つまり、アクチュエータの溝部側に引き回す必要がなくなる。
【００１０】
請求項５に記載した発明は、前記熱電対の前記カバープレートの開口部近傍に補償導線を接続したことを特徴とする。
このように構成することで、カバープレートのノズルプレート側端に熱電対を設ける必要がなくなる。
【００１１】
請求項６に記載した発明は、前記熱電対の測温接点が前記ノズルプレート側近傍に配置されていることを特徴とする。
このように構成することで、吐出直前のインクの温度を測定することができるので、アクチュエータの溝部に設けられる電極部に対して最適な制御を行うことが可能になる。
【００１２】
請求項７に記載した発明は、前記熱電対は、ニッケルおよびクロムを主成分とするニッケルクロム合金と、ニッケルを主成分とするニッケル合金とを接続したクロメルアルメルであることを特徴とする。
このように構成することで、熱電対を形成可能な他の貴金属など用いるよりも安価に製造することが可能になる。
【００１３】
請求項８に記載した発明は、請求項１〜請求項７の何れかに記載のインクジェットヘッドと、被記録媒体を予め決められた方向に搬送する搬送手段と、前記被記録媒体の搬送方向に交差する方向に沿って前記インクジェットヘッドを往復移動させる移動手段とを備えたことを特徴とするインクジェット記録装置とした。
このように構成することで、環境温度に関わらず被記録媒体への記録を高画質に行うことができるインクジェット記録装置を提供できる。
【００１４】
請求項９に記載した発明は、複数のノズルを配列したノズルプレートと、前記インクが充填される複数の溝部が前記複数のノズルのそれぞれに対応するように並設されているアクチュエータと、前記アクチュエータの前記複数の溝部上に設けられ、前記複数の溝部をそれぞれ連通させる開口部を有するカバープレートとを備えたインクジェットヘッドの製造方法において、前記カバープレートの前記複数の溝部に対応する部位の少なくとも１箇所に、熱電対を構成する金属膜を成膜する熱電対成膜工程と、前記熱電対の前記開口部側端、または前記熱電対の前記ノズルプレート側端の何れかに補償導線を接続する補償導線接続工程と、前記アクチュエータの前記複数の溝部上に前記カバープレートを前記熱電対を下側に向けて取り付けるカバープレート取り付け工程と、前記アクチュエータ、および前記カバープレートの前記インクを吐出する側の端部に前記ノズルプレートを取り付けるノズルプレート取り付け工程とを備えたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法とした。
このような製造方法とすることで、環境温度に関わらずインクの吐出速度や吐出滴量が安定したインクジェットヘッドを提供できる。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に記載した発明によれば、アクチュエータの溝部内に熱電対を設けることができるので、溝部内に充填されたインクの温度を熱電対によって直接測定し、インクの温度を正確に知ることが可能になる。このため、環境温度に関わらずインクの吐出速度や吐出滴量を安定させることができ、被記録媒体に記録される画質を向上させることができる。
また、インクの温度を正確に知ることができるので、例えば、インクジェットヘッドの過負荷時の際、インク中に気泡が発生するような高温時にあっては、速やかに印刷を停止したり、インクジェットヘッドを冷却したりすることができる。このため、インクの射出不良を未然に防止することができ、安定した印刷を実現することが可能になる。
さらに、熱電対が金属膜を成膜して成ることから、熱電対の設置スペースを無視できる程度に小さく設定することができる。このため、アクチュエータ内に熱電対を設けても溝部の容積を大きく設定する必要がなく、インクジェットヘッドの大型化を防止することが可能になる。
そして、従来のようにアクチュエータに温度センサとしてのサーミスタなどを１つ設けるだけでなく、アクチュエータに設けられている複数の溝部のそれぞれに熱電対を設けることが可能になる。このため、各溝部に設けられる電極部への印加電圧を各々制御することができる。よって、各溝部のインクの吐出速度や吐出滴量のばらつきを各々抑制することが可能になり、被記録媒体に記録される画質をより向上させることができる。
【００１６】
請求項２に記載した発明によれば、アクチュエータの各溝部の製作精度のばらつきに関わらず、確実に溝部に熱電対を設けることができる。このため、熱電対を溝部に設けるために必要以上にアクチュエータやカバープレートの製作精度を高める必要がなく、インクジェットヘッドの製造コストを低減することが可能になる。
【００１７】
請求項３に記載した発明によれば、熱電対に補償導線を容易に接続することが可能になるため、インクジェットの製造コストを低減することが可能になる。
【００１８】
請求項４に記載した発明によれば、熱電対に接続される補償導線をカバープレートの下面側、つまり、アクチュエータの溝部側に引き回す必要がなくなる。このため、補償導線の熱電対への接続を容易に行うことが可能になり、さらに製造コストを低減することが可能になる。
【００１９】
請求項５に記載した発明によれば、カバープレートのノズルプレート側端に熱電対を設ける必要がなくなるので、カバープレートとノズルプレートとの密着性を高めることができる。このため、インクの吐出速度や吐出滴量をより安定させることが可能になる。
【００２０】
請求項６に記載した発明によれば、吐出直前のインクの温度を測定することができるので、アクチュエータの溝部に設けられる電極部に対して最適な制御を行うことが可能になる。このため、被記録媒体に記録される画質をさらに向上させることができる。
【００２１】
請求項７に記載した発明によれば、熱電対を形成可能な他の貴金属など用いるよりも安価に製造することが可能になる。このため、さらに製造コストを低減させることができる。
【００２２】
請求項８に記載した発明によれば、環境温度に関わらず被記録媒体への記録を高画質に行うことができるインクジェット記録装置を提供できる。
【００２３】
請求項９に記載した発明によれば、環境温度に関わらずインクの吐出速度や吐出滴量が安定したインクジェットヘッドを製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
次に、この発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１、図２に示すように、インクジェット記録装置１は、本体としての装置本体部２と、色ごとに設けられた複数のインクジェットヘッド３とを備えている。
装置本体部２は、略直方体形状の筐体６を備えている。筐体６内には、この幅方向（長手方向）Ｗに延びる一対のガイドレール８が設けられている。これらガイドレール８には、複数のインクジェットヘッド３が固定されたキャリッジ７が設けられている。すなわち、キャリッジ７は、ガイドレール８によって、幅方向Ｗに往復動可能に支持されている。
【００２５】
キャリッジ７は、平板状の基台７ａを備えている。基台７ａには、インクジェットヘッド３が固定されている。また、基台７ａには、この基台７ａから立ち上げられた立ち上がり壁部７ｂが設けられている。立ち上がり壁部７ｂには、配線基板５が設けられている。
配線基板５には、インクジェット記録装置１の各部品を作動させるための様々な電子部品が設けられている。
【００２６】
また、筐体６内の幅方向Ｗの一端部には、モータ１１が設けられている。モータ１１の出力軸は、筐体６の奥行方向（短手方向）Ｄに向けられている。モータ１１の出力軸には、プーリ１２が設けられている。一方、筐体６内の幅方向の他端部にもプーリ１３が対向配置されている。そして、プーリ１２，１３にわたって、タイミングベルト１４が設けられている。タイミングベルト１４には、キャリッジ７が固定されている。
このような構成のもと、モータ１１を駆動すると、プーリ１２，１３およびタイミングベルト１４を介して、キャリッジ７が幅方向Ｗに往復動するようになっている。
【００２７】
また、筐体６内の他端部には、インクを供給するインクカートリッジ１７が設けられている。インクカートリッジ１７は、キャリッジ７に取り付けられたインクジェットヘッド３に、フレキシブルチューブからなるインク供給管１８を介して接続されている。そして、インクカートリッジ１７から、インク供給管１８を介して、インクジェットヘッド３に各種インクを供給するようになっている。
【００２８】
さらに、筐体６の一端部の前面および後背面には、互いに対向して配置された不図示の開口部が設けられている。筐体６内の一端部のうち、前面の開口部に対向する位置には、長手方向Ｗに延びる一対の搬出ローラ２２が設けられている。一方、後背面の開口部に対向する位置には、長手方向Ｗに延びる一対の搬入ローラ２１が設けられている。
このような構成のもと、後背面の開口部から用紙（被記録媒体）Ｓが挿入され、搬入ローラ２１および搬出ローラ２２を駆動することにより、用紙Ｓが前面の開口部から排出されるようになっている。
【００２９】
インクジェットヘッド３は、長方形状の取付基盤２５を備えている。取付基盤２５は、キャリッジ７の基台７ａに不図示のネジを介して取り付けられている。取付基盤２５の上面には、後述するインクジェットヘッドチップ２６が取り付けられている。インクジェットヘッドチップ２６の上面には、その長手方向の全長にわたって延びる長方形状の流路基板２７が設けられている。流路基板２７の上面のうち、その長手方向の中央部には、連結部３０が設けられている。
【００３０】
また、取付基盤２５には、この取付基盤２５から立ち上げられた長方形状のベースプレート３１が設けられている。ベースプレート３１は、アルミニウムなどで形成されている。
ベースプレート３１の一方の主面（インクジェットヘッドチップ２６側に配された主面）には、配線基板３５が設けられている。配線基板３５には、インクジェットヘッドチップ２６の種々の制御を行う制御回路３２が搭載されている。
【００３１】
また、ベースプレート３１の上端には、一方の主面側に延びる支持部３７が設けられている。支持部３７には、インクを貯留する貯留室を有する圧力調整部３８が設けられている。圧力調整部３８の下部には、貯留室と連通するインク連通管３９が設けられている。
インク連通管３９は、Ｏリングを介して、流路基板２７の連結部３０に連結されている。
一方、圧力調整部３８の上部には、貯留室と連通するインク取込口４２が設けられている。インク取込口４２には、インク供給管１８が取り付けられている。
このような構成のもと、インクカートリッジ１７からインク供給管１８を介して、インクが供給されると、このインクは、インク取込口４２を介して圧力調整部３８内の貯留室に取り込まれ、さらに、所定量のインクが、インク連通管３９および流路基板２７を介して、インクジェットヘッドチップ２６に供給されるようになっている。
【００３２】
図３、図４に示すように、インクジェットヘッドチップ２６は、略長方形状のアクチュエータ４４を備えている。アクチュエータ４４は、圧電性を有する、例えば、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）から成るものである。アクチュエータ４４の上面には、その短手方向に延びる長溝４５が形成されている。長溝４５は、横断面が矩形状に形成されており、アクチュエータ４４の長手方向の全長にわたって複数並設されている。すなわち、長溝４５は、側壁４６によってそれぞれ区分けされている。長溝４５の底面は、図４に示すように、アクチュエータ４４の前方側から短手方向の略中央部まで延びる前方平坦面４４ａと、この前方平坦面４４ａの後部から後方側に向かって深さが漸次浅くなるような傾斜面４４ｂと、この傾斜面４４ｂの後部から後方側に向かって延びる後方平坦面４４ｃとで構成されている。なお、長溝４５の後端部は、封止部７０により封止されている（図７参照）。
【００３３】
長溝４５内には、板状に延びる駆動電極部５０が設けられている。すなわち、側壁４６の両主面の上端部寄りにそれぞれ駆動電極部５０が蒸着により設けられている。駆動電極部５０は、ワイヤ７１により制御回路３２に電気的に接続されている（図７参照）。
また、アクチュエータ４４の前端面４４ｄには、ポリイミドからなるノズルプレート５１が設けられている。ノズルプレート５１の一方の主面は、アクチュエータ４４への接合面とされ、他方の主面には、インクの付着等を防止するための撥水性を有する撥水膜が塗布されている。
【００３４】
また、ノズルプレート５１には、その長手方向に所定の間隔（長溝４５のピッチと同等の間隔）を空けて複数のノズル開口部５２が形成されている。ノズル開口部５２は、ポリイミドフィルムなどのノズルプレート５１に、例えば、エキシマレーザ装置を用いて形成される。これらノズル開口部５２は、それぞれ長溝４５に一致して配置されている。
【００３５】
さらに、アクチュエータ４４の上面には、長方形状のカバープレート５５が設けられている。カバープレート５５の短手方向の長さ寸法は、アクチュエータ４４の短手方向の長さ寸法よりも短く設定されている。そして、カバープレート５５の前端面５５ａと、アクチュエータ４４の前端面４４ｄとは面一になっている。
カバープレート５５には、その長手方向に延びる矩形状の開口部５６が形成されている。この開口部５６は、アクチュエータ４４の長手方向の全体の長溝４５にわたって延ばされている。すなわち、全ての長溝４５が開口部５６を介して外方に開放され、開口部５６によって各長溝４５がそれぞれ連通した状態になっている。また、アクチュエータ４４の後背面には、長方形状のノズル支持プレート５７が嵌合接着されている。
【００３６】
ここで、図５〜図７に示すように、カバープレート５５の下面５５ｂには、アクチュエータ４４の長溝４５に対応する部位にそれぞれ温度センサである熱電対７２が設けられている。この熱電対７２は、ニッケルおよびクロムを主成分とするニッケルクロム合金とニッケルを主成分とするニッケル合金とを接続したクロメルアルメルであって、スパッタリング法などにより成膜して成るものである。すなわち、熱電能の異なる２種類の金属を互いに接合して、２つの接合点を異なる温度にすると、一定の方向に電流が流れ、熱起電力が生じる現象（ゼーベック効果）を利用した温度センサである。
なお、熱電対７２はニッケルクロム合金とニッケル合金とを成膜してなることから、厚さ（膜厚）が１μｍ程度となる。しかしながら、図５、図７にあっては、熱電対７２を認識可能な大きさとするため、熱電対７２の縮尺を適宜変更している。
【００３７】
熱電対７２は、カバープレート５５の前端面５５ａから開口部５６に至るまでの間に形成されていると共に、カバープレート５５の開口部５６縁に下面５５ｂから上面５５ｃに跨るように形成されている。つまり、熱電対７２の開口部５６側端は、カバープレート５５の下面５５ｂから上面５５ｃに臨まされた状態になっている（図７参照）。
また、熱電対７２の先端の測温接点７２ａは、カバープレート５５の前端面５５ａ近傍に設けられている。
【００３８】
熱電対７２の上面には、開口部５６側近傍に補償導線７３の一端がワイヤボンディングなどによって接続されている。補償導線７３は、熱電対７２と制御回路３２とを電気的に接続するための熱電能を有する合金線であって、他端が制御回路３２に接続されている。なお、図３に示す２点鎖線は、補償導線７３の束を示している。
このような構成のもと、圧力調整部３８内の貯留室から、インク連通管３９および連結部３０を介して所定量のインクが流路基板２７に供給されると、それらインクは、開口部５６を介して、長溝４５内に送り込まれるようになっている。すなわち、長溝４５は、インクが充填されるインク室として機能する。
そして、駆動電極部５０に駆動電圧を印加すると圧電厚み滑り効果により長溝４５の側壁４６が変形する。これにより、長溝４５の容積が減少して長溝４５内の圧力が増加するので、ノズルプレート５１のノズル開口部５２からインク滴が吐出される。
【００３９】
ここで、駆動電極部５０に印加される駆動電圧は、制御回路３２によって制御されている。制御回路３２は、カバープレート５５に設けられている熱電対７２によるインク温度の検出結果に基づいて駆動電極部５０への印加電圧を決定するようになっている。
本実施形態の制御回路３２について、図８に基づいてより詳しく説明する。ただし図８においては、複数の熱電対７２のうち、１つの熱電対７２だけ記載し、他の熱電対７２の記載を省略する。
同図に示すように、インクジェットヘッド３の熱電対７２は補償導線７３を介してインク温度検出部６４と接続されている。ここでインク温度検出部６４は、各熱電対７２から出力される熱起電力（電位差）からそれぞれアクチュエータ４４の長溝４５に充填されているインクの温度を検出し、温度情報信号を出力する。インク温度検出部６４から出力された温度情報信号は、インク温度検出部６４と接続されている制御部６３に入力される。
【００４０】
また制御部６３は、各種情報を記憶する記憶部６５と接続されている。ここで記憶部６５は、インク温度検出部６４により検出された各温度と、これら各温度に対する駆動電極部５０への印加電圧値とを対応付けた温度−電圧テーブル６５ａを有している。制御部６３は、記憶部６５の温度−電圧テーブル６５ａを参照し、入力された温度情報信号をもとにアクチュエータ４４の駆動電極部５０に与える適正な電圧を得る。
さらに、制御部６３は、アクチュエータ４４を駆動するための駆動電圧を発生させる駆動電圧発生部６６に接続されている。制御部６３は、駆動電圧発生部６６に制御信号を出力し、駆動電圧発生部６６を介して、各長溝４５に設けられた熱電対７２の検出結果に応じて、各熱電対７２の設置箇所に対応する駆動電極部５０に適正なタイミングで適正な駆動電圧を入力する。
本実施形態では、これらのインク温度検出部６４、制御部６３、記憶部６５及び駆動電圧発生部６６をまとめて、制御回路３２としている。
【００４１】
次に、インクジェットヘッド３におけるインクジェットヘッドチップ２６の製造方法について説明する。
まず、カバープレート５５におけるアクチュエータ４４の長溝４５に対応する部位に、スパッタリング法などによりニッケルクロム合金とニッケル合金とを成膜し、熱電対７２を形成する（熱電対成膜工程）。
このとき、カバープレート５５のノズルプレート５１側端からカバープレート５５の開口部５６に至る間に熱電対７２を形成すると共に熱電対７２の測温接点７２ａがカバープレート５５のノズルプレート５１側に位置するように形成する。また、熱電対７２の開口部５６側端をカバープレート５５の下面５５ｂから上面５５ｃに臨まされた状態となるように形成する。
【００４２】
次に、熱電対７２のアクチュエータ４４とは反対側の面であって開口部５６側端に、補償導線７３の一端をワイヤボンディングなどによって接続する（補償導線接続工程）。
そして、カバープレート５５に形成された熱電対７２をアクチュエータ４４の長溝４５側に向け、カバープレート５５をアクチュエータ４４上に取り付ける（カバープレート取り付け工程）。
このとき、カバープレート５５の前端面５５ａと、アクチュエータ４４の前端面４４ｄとが面一となるようにする。
【００４３】
続いて、カバープレート５５の前端面５５ａ、およびアクチュエータ４４の前端面４４ｄにノズルプレート５１を取り付ける（ノズルプレート取り付け工程）。
そして、アクチュエータ４４の長溝４５の後端部を封止部７０により封止し、アクチュエータ４４の後背面にノズル支持プレート５７を嵌合接着した後、駆動電極部５０にワイヤ７１を接続してインクジェットヘッドチップ２６が完成する。
【００４４】
したがって、上述の実施形態によれば、カバープレート５５におけるアクチュエータ４４の長溝４５に対応する部位に、それぞれ熱電対７２をスパッタリング法などにより成膜し、この結果、アクチュエータ４４の長溝４５内に熱電対７２を設けることができる。このため、長溝４５に充填されているインクを直接測定することができ、インクの温度を正確に知ることが可能になる。よって、環境温度に関わらず制御回路３２の制御部６３が駆動電圧発生部６６を介して、各駆動電極部５０に適正なタイミングで適正な駆動電圧を入力することができるので、用紙Ｓに記録される画質を向上させることができる。
また、インクの温度を正確に知ることができるので、例えば、インクジェットヘッド３の過負荷時の際、インク中に気泡が発生するような高温時にあっては、速やかに印刷を停止したり、インクジェットヘッド３を冷却したりすることができる。このため、インクの射出不良を未然に防止することができ、安定した印刷を実現することが可能になる。
【００４５】
さらに、熱電対がスパッタリング法などによりニッケルクロム合金とニッケル合金とを成膜して成ることから、熱電対７２の設置スペースを無視できる程度に小さく設定することができる。具体的には、熱電対７２の厚さ（膜厚）を１μｍ程度に設定することができる。このため、アクチュエータ４４内に熱電対７２を設けてもこれに伴って長溝４５の容積を大きく設定する必要がなく、インクジェットヘッド３の大型化を防止することが可能になる。
そして、熱電対７２をニッケルクロム合金とニッケル合金とを接続したクロメルアルメルとすることで、熱電対を形成可能な他の貴金属など用いるよりも安価に製造することが可能になる。このため、さらに製造コストを低減させることができる。
【００４６】
また、従来のようにインクジェットヘッド３に温度センサとしてのサーミスタなどを１つ設けるだけでなく、アクチュエータ４４に設けられている複数の長溝４５のそれぞれに熱電対７２を複数設けることが可能になる。このため、各長溝４５に設けられる駆動電極部５０への印加電圧を制御回路３２によって各々制御することが可能になる。よって、各長溝４５のインクの吐出速度や吐出滴量のばらつきを各々抑制することが可能になり、用紙Ｓに記録される画質をより向上させることができる。
【００４７】
さらに、カバープレート５５に熱電対７２を設けているので、アクチュエータ４４に熱電対７２を設ける場合と比較して、補償導線７３を容易に熱電対７２に接続させることが可能になる。このため、インクジェットヘッド３（インクジェットヘッドチップ２６）の製造コストを低減することが可能になる。
【００４８】
そして、熱電対７２をカバープレート５５の前端面５５ａから開口部５６に至るまでの間に形成されていると共に、カバープレート５５の開口部５６縁に下面５５ｂから上面５５ｃに跨るように形成している。つまり、熱電対７２の開口部５６側端は、カバープレート５５の下面５５ｂから上面５５ｃに臨まされた状態になっている（図７参照）。このため、カバープレート５５の上面５５ｃ側で熱電対７２と補償導線７３を接続させることができ、カバープレート５５の下面５５ｂ側に補償導線７３を引き回す必要がなくなる。よって、補償導線７３の熱電対７２への接続を容易に行うことが可能になり、さらに製造コストを低減することが可能になる。
【００４９】
また、熱電対７２と補償導線７３との接続位置をカバープレート５５の前端面５５ａ側ではなく、開口部５６側としている。このため、カバープレート５５の前端面５５ａに熱電対７２を設ける必要がなくなるので、カバープレート５５とノズルプレート５１との密着性を高めることができる。よって、インクの吐出速度や吐出滴量をより安定させることが可能になる。
【００５０】
さらに、熱電対７２の先端の測温接点７２ａをカバープレート５５の前端面５５ａ近傍に設けている。このため、吐出直前のインクの温度を熱電対７２によって測定することができるので、駆動電極部５０に対して最適な制御を行うことが可能になる。よって、用紙Ｓに記録される画質をさらに向上させることができる。
【００５１】
なお、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述の実施形態に種々の変更を加えたものを含む。
また、上述の実施形態では、カバープレート５５におけるアクチュエータ４４の長溝４５に対応する部位に、それぞれ熱電対７２を成膜して形成した場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、アクチュエータ４４の長溝４５の底面（前方平坦面４４ａ、傾斜面４４ｂ、および後方平坦面４４ｃ）に熱電対７２を設けてもよい。この場合、アクチュエータ４４の製作精度のばらつきに関わらず、確実に長溝４５内に熱電対７２を設けることができる。このため、カバープレート５５に熱電対７２を設ける場合と比較して、長溝４５内に熱電対７２を設置すべく必要以上にアクチュエータ４４やカバープレート５５の製作精度を高める必要がない。よって、インクジェットヘッド３（インクジェットヘッドチップ２６）の製造コストを低減することが可能になる。
【００５２】
さらに、上述の実施形態では、熱電対７２をカバープレート５５の前端面５５ａから開口部５６に至るまでの間に形成されていると共に、カバープレート５５の開口部５６縁に下面５５ｂから上面５５ｃに跨るように形成した場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、熱電対７２の基端側（測温接点７２ａとは反対側端）をカバープレート５５の前端面５５ａ側から上面に形成してもよい。このように熱電対７２を形成した場合であっても、熱電対７２の厚さ（膜厚）が極めて薄いので、ノズルプレート５１の接着代を考慮すると熱電対７２の厚さを無視できる。このため、ノズルプレート５１とカバープレート５５との間隙の形成を防止することができる。
また、熱電対７２の基端側をカバープレート５５の下面５５ｂから上面５５ｃに跨るように形成することなく、カバープレート５５の下面５５ｂのみに熱電対７２を形成してもよい。
【００５３】
さらに、上述の実施形態では、カバープレート５５におけるアクチュエータ４４の長溝４５に対応する部位にそれぞれ温度センサである熱電対７２を設けた場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、カバープレート５５の長溝４５に対応する部位の少なくとも１箇所に熱電対７２が設けられていればよい。
そして、上述の実施形態では、熱電対７２がニッケルクロム合金とニッケル合金とを接続したクロメルアルメルである場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、低温脆性が少なく、耐熱性や耐酸性／耐アルカリ性などを持つ、化学的にも物理的にも安定した金属である白金（Ｐｔ）、レニウム（Ｒｅ）、タングステン（Ｗ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）といった貴金属や、これらを含む合金類を用いてもよい。
より具体的に、熱電対を形成可能な金属の組合わせの例として以下のようなものが挙げられる。
（１）銅と銅・ニッケル合金
（２）ニッケルクロム合金とニッケルを主とした合金
（３）鉄と銅・ニッケル合金
（４）ニッケルクロム合金と銅・ニッケル合金
（５）ニッケルと鉄
（６）白金と白金・ロジウム合金
（７）タングステンとタングステン・モリブデン合金
（８）金と銀
（９）白金と銅・ニッケル・亜鉛合金
（１０）白金と白金・ロジウム合金
（１１）ビスマスとアンチモン
（１２）イリジウムと白金
（１３）金とニッケル
（１４）イリジウムと白金・ロジウム合金
（１５）イリジウムと白金・イットリウム合金
熱電対を形成するにあたって、これら（１）〜（１５）の金属の組合わせであってもよいが、とりわけ、ニッケルクロム合金とニッケル合金とを接続したクロメルアルメルとすることで、熱電対７２の製造コストを低減することが可能になる。
【００５４】
また、上述の実施形態では、カバープレート５５に補償導線７３を接続し（補償導線接続工程）、この後、カバープレート５５の前端面５５ａ、およびアクチュエータ４４の前端面４４ｄにノズルプレート５１を取り付けた（ノズルプレート取り付け工程）場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなくカバープレート５５の前端面５５ａ、およびアクチュエータ４４の前端面４４ｄにノズルプレート５１を取り付けた後、カバープレート５５に補償導線７３を接続してもよい。
【００５５】
さらに、上述の実施形態では、アクチュエータ４４の長溝４５の後端部を封止部７０により封止し、アクチュエータ４４の後背面にノズル支持プレート５７を嵌合接着した後、駆動電極部５０にワイヤ７１を接続した場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、駆動電極部５０にワイヤ７１を接続した後、アクチュエータ４４の後背面にノズル支持プレート５７を嵌合接着してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の実施形態におけるインクジェット記録装置の斜視図である。
【図２】本発明の実施形態におけるインクジェットヘッドの斜視図である。
【図３】本発明の実施形態におけるインクジェットヘッドチップの分解斜視図である。
【図４】本発明の実施形態におけるインクジェットヘッドチップの一部を拡大した分解斜視図である。
【図５】図３のＡ矢視図である。
【図６】本発明の実施形態におけるカバープレートの一部拡大斜視図である。
【図７】本発明の実施形態におけるインクジェットヘッドチップの短手方向に沿う縦断面図である。
【図８】本発明の実施形態におけるインクジェット記録装置を機能ごとに示すブロック図である。
【符号の説明】
【００５７】
１ インクジェット記録装置
２ 装置本体部
３ インクジェットヘッド
７ キャリッジ（移動手段）
８ ガイドレール（移動手段）
１１ モータ（移動手段）
１２，１３ プーリ（移動手段）
１４ タイミングベルト（移動手段）
２１ 搬入ローラ（搬送手段）
２２ 搬出ローラ（搬送手段）
２６ インクジェットヘッドチップ
４４ アクチュエータ
４４ａ 前方平坦面（底面）
４４ｂ 傾斜面（底面）
４４ｃ 後方平坦面（底面）
４４ｄ 前端面
４５ 長溝（溝部）
５０ 駆動電極部
５１ ノズルプレート
５２ ノズル開口部（ノズル）
５５ カバープレート
５５ａ 前端面
５５ｂ 下面
５５ｃ 上面
５６ 開口部
６４ インク温度検出部
７２ 熱電対
７２ａ 測温接点
７３ 補償導線
Ｓ 用紙（被記録媒体）
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ノズルよりインク滴を吐出して被記録媒体に画像や文字を記録するインクジェットヘッド、インクジェット記録装置、およびインクジェットヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、インクを吐出して、被記録媒体にインク滴を着弾させるインクジェット記録装置が利用されている。
これらインクジェット記録装置の中には、インクを吐出させるためのインクジェットヘッドと、インクジェットヘッドを記録媒体の搬送方向と略直交する方向に沿って走査させるキャリッジとを備えているものがある。インクジェットヘッドとしては、複数のノズルを配列したノズルプレートと、インクが充填される複数の溝部が複数のノズルのそれぞれに対応するように並設されているアクチュエータと、アクチュエータの複数の溝部上に設けられるカバープレートとを備えたものが知られている。
アクチュエータには、溝部の両側壁に電極部が設けられている。この電極部に駆動電圧を印加すると溝部の容積が変化し、これにより、溝部に充填されたインクがノズルを介して吐出される。
【０００３】
ここで、溝部に充填されているインクの粘度は、環境温度によって変化する。すなわち、インクの粘度は環境温度が高ければ高いほど低下する特性を有している。このため、アクチュエータの電極部に印加する駆動電圧を温度に関わらず一定にしてしまうと、各温度によって、インクの吐出速度や吐出滴量（ドロップボリューム）が異なることになる。
そこで、アクチュエータの底面やカバープレートの上面などに溝部に充填されているインクの温度を検出するためのサーミスタを設けると共に、インクジェットヘッドにインクを供給するための流路（供給管）の途中にヒータと冷却管とを設け、サーミスタの検出結果に基づいて流路を流れるインクの温度調節を行う技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００５−３０５９７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述の従来技術にあっては、サーミスタがアクチュエータの底面やカバープレートの上面など、つまり、インクジェットヘッドの外部に設けられているので、アクチュエータの溝部に充填されているインクの温度をアクチュエータやカバープレートを介して測定することになる。このため、アクチュエータの溝部に充填されたインクとサーミスタとの間にアクチュエータの底壁やカバープレートを介在させる分、インクの温度を正確に検出することが困難になるという課題がある。
また、インクの温度を正確に検出し難いことから、インクジェットヘッドの過負荷時にアクチュエータ内のインクの温度がサーミスタによる検出温度よりも高くなるおそれがある。このため、インク中に気泡が発生して射出不良が発生し、この結果印刷不良を起こしてしまうという課題がある。
さらに、アクチュエータの溝部内に直接サーミスタを設け、溝部に充填されているインクの温度を正確に測定することも考えられるが、この分インクを充填するための溝部の容積を大きく設定する必要があり、インクジェットヘッドが大型化してしまうという課題がある。
【０００５】
そこで、この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、アクチュエータを大型化することなく、インクの温度を正確に検出することができ、安定した印刷を実現できるインクジェットヘッド、インクジェット記録装置、およびインクジェットヘッドの製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載した発明は、複数のノズルを配列したノズルプレートと、インクが充填される複数の溝部が前記複数のノズルのそれぞれに対応するように並設されているアクチュエータと、前記アクチュエータの前記複数の溝部上に設けられ、前記複数の溝部をそれぞれ連通させる開口部を有するカバープレートとを備えたインクジェットヘッドにおいて、前記複数の溝部の内壁、または前記カバープレートの前記複数の溝部に対応する部位の何れかであって少なくとも１箇所に、金属膜を成膜して成る熱電対を設けたことを特徴とする。
このように構成することで、アクチュエータの溝部内に熱電対を設けることができるので、溝部内に充填されたインクの温度を熱電対によって直接測定し、インクの温度を正確に知ることが可能になる。
また、インクの温度を正確に知ることができるので、例えば、インクジェットヘッドの過負荷時の際、インク中に気泡が発生するような高温時にあっては、速やかに印刷を停止したり、インクジェットヘッドを冷却したりすることができる。
さらに、熱電対が金属膜を成膜して成ることから、熱電対の設置スペースを無視できる程度に小さく設定することができる。
そして、従来のようにアクチュエータに温度センサとしてのサーミスタなどを１つ設けるだけでなく、アクチュエータに設けられている複数の溝部のそれぞれに熱電対を設けることが可能になる。このため、各溝部に設けられる電極部への印加電圧を各々制御することができる。
【０００７】
請求項２に記載した発明は、前記複数の溝部の底面に前記熱電対を設けたことを特徴とする。
このように構成することで、アクチュエータの各溝部の製作精度のばらつきに関わらず、確実に溝部に熱電対を設けることができる。
【０００８】
請求項３に記載した発明は、前記カバープレートの前記複数の溝部に対応する部位に前記熱電対を設けたことを特徴とする。
このように構成することで、熱電対に補償導線を容易に接続することが可能になる。
【０００９】
請求項４に記載した発明は、前記熱電対を前記カバープレートの前記複数の溝部に対応する部位から前記カバープレートの上面に臨ませるように設けたことを特徴とする。
このように構成することで、熱電対に接続される補償導線をカバープレートの下面側、つまり、アクチュエータの溝部側に引き回す必要がなくなる。
【００１０】
請求項５に記載した発明は、前記熱電対の前記カバープレートの開口部近傍に補償導線を接続したことを特徴とする。
このように構成することで、カバープレートのノズルプレート側端に熱電対を設ける必要がなくなる。
【００１１】
請求項６に記載した発明は、前記熱電対の測温接点が前記ノズルプレート側近傍に配置されていることを特徴とする。
このように構成することで、吐出直前のインクの温度を測定することができるので、アクチュエータの溝部に設けられる電極部に対して最適な制御を行うことが可能になる。
【００１２】
請求項７に記載した発明は、前記熱電対は、ニッケルおよびクロムを主成分とするニッケルクロム合金と、ニッケルを主成分とするニッケル合金とを接続したクロメルアルメルであることを特徴とする。
このように構成することで、熱電対を形成可能な他の貴金属など用いるよりも安価に製造することが可能になる。
【００１３】
請求項８に記載した発明は、請求項１〜請求項７の何れかに記載のインクジェットヘッドと、被記録媒体を予め決められた方向に搬送する搬送手段と、前記被記録媒体の搬送方向に交差する方向に沿って前記インクジェットヘッドを往復移動させる移動手段とを備えたことを特徴とするインクジェット記録装置とした。
このように構成することで、環境温度に関わらず被記録媒体への記録を高画質に行うことができるインクジェット記録装置を提供できる。
【００１４】
請求項９に記載した発明は、複数のノズルを配列したノズルプレートと、前記インクが充填される複数の溝部が前記複数のノズルのそれぞれに対応するように並設されているアクチュエータと、前記アクチュエータの前記複数の溝部上に設けられ、前記複数の溝部をそれぞれ連通させる開口部を有するカバープレートとを備えたインクジェットヘッドの製造方法において、前記カバープレートの前記複数の溝部に対応する部位の少なくとも１箇所に、熱電対を構成する金属膜を成膜する熱電対成膜工程と、前記熱電対の前記開口部側端、または前記熱電対の前記ノズルプレート側端の何れかに補償導線を接続する補償導線接続工程と、前記アクチュエータの前記複数の溝部上に前記カバープレートを前記熱電対を下側に向けて取り付けるカバープレート取り付け工程と、前記アクチュエータ、および前記カバープレートの前記インクを吐出する側の端部に前記ノズルプレートを取り付けるノズルプレート取り付け工程とを備えたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法とした。
このような製造方法とすることで、環境温度に関わらずインクの吐出速度や吐出滴量が安定したインクジェットヘッドを提供できる。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に記載した発明によれば、アクチュエータの溝部内に熱電対を設けることができるので、溝部内に充填されたインクの温度を熱電対によって直接測定し、インクの温度を正確に知ることが可能になる。このため、環境温度に関わらずインクの吐出速度や吐出滴量を安定させることができ、被記録媒体に記録される画質を向上させることができる。
また、インクの温度を正確に知ることができるので、例えば、インクジェットヘッドの過負荷時の際、インク中に気泡が発生するような高温時にあっては、速やかに印刷を停止したり、インクジェットヘッドを冷却したりすることができる。このため、インクの射出不良を未然に防止することができ、安定した印刷を実現することが可能になる。
さらに、熱電対が金属膜を成膜して成ることから、熱電対の設置スペースを無視できる程度に小さく設定することができる。このため、アクチュエータ内に熱電対を設けても溝部の容積を大きく設定する必要がなく、インクジェットヘッドの大型化を防止することが可能になる。
そして、従来のようにアクチュエータに温度センサとしてのサーミスタなどを１つ設けるだけでなく、アクチュエータに設けられている複数の溝部のそれぞれに熱電対を設けることが可能になる。このため、各溝部に設けられる電極部への印加電圧を各々制御することができる。よって、各溝部のインクの吐出速度や吐出滴量のばらつきを各々抑制することが可能になり、被記録媒体に記録される画質をより向上させることができる。
【００１６】
請求項２に記載した発明によれば、アクチュエータの各溝部の製作精度のばらつきに関わらず、確実に溝部に熱電対を設けることができる。このため、熱電対を溝部に設けるために必要以上にアクチュエータやカバープレートの製作精度を高める必要がなく、インクジェットヘッドの製造コストを低減することが可能になる。
【００１７】
請求項３に記載した発明によれば、熱電対に補償導線を容易に接続することが可能になるため、インクジェットの製造コストを低減することが可能になる。
【００１８】
請求項４に記載した発明によれば、熱電対に接続される補償導線をカバープレートの下面側、つまり、アクチュエータの溝部側に引き回す必要がなくなる。このため、補償導線の熱電対への接続を容易に行うことが可能になり、さらに製造コストを低減することが可能になる。
【００１９】
請求項５に記載した発明によれば、カバープレートのノズルプレート側端に熱電対を設ける必要がなくなるので、カバープレートとノズルプレートとの密着性を高めることができる。このため、インクの吐出速度や吐出滴量をより安定させることが可能になる。
【００２０】
請求項６に記載した発明によれば、吐出直前のインクの温度を測定することができるので、アクチュエータの溝部に設けられる電極部に対して最適な制御を行うことが可能になる。このため、被記録媒体に記録される画質をさらに向上させることができる。
【００２１】
請求項７に記載した発明によれば、熱電対を形成可能な他の貴金属など用いるよりも安価に製造することが可能になる。このため、さらに製造コストを低減させることができる。
【００２２】
請求項８に記載した発明によれば、環境温度に関わらず被記録媒体への記録を高画質に行うことができるインクジェット記録装置を提供できる。
【００２３】
請求項９に記載した発明によれば、環境温度に関わらずインクの吐出速度や吐出滴量が安定したインクジェットヘッドを製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
次に、この発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１、図２に示すように、インクジェット記録装置１は、本体としての装置本体部２と、色ごとに設けられた複数のインクジェットヘッド３とを備えている。
装置本体部２は、略直方体形状の筐体６を備えている。筐体６内には、この幅方向（長手方向）Ｗに延びる一対のガイドレール８が設けられている。これらガイドレール８には、複数のインクジェットヘッド３が固定されたキャリッジ７が設けられている。すなわち、キャリッジ７は、ガイドレール８によって、幅方向Ｗに往復動可能に支持されている。
【００２５】
キャリッジ７は、平板状の基台７ａを備えている。基台７ａには、インクジェットヘッド３が固定されている。また、基台７ａには、この基台７ａから立ち上げられた立ち上がり壁部７ｂが設けられている。立ち上がり壁部７ｂには、配線基板５が設けられている。
配線基板５には、インクジェット記録装置１の各部品を作動させるための様々な電子部品が設けられている。
【００２６】
また、筐体６内の幅方向Ｗの一端部には、モータ１１が設けられている。モータ１１の出力軸は、筐体６の奥行方向（短手方向）Ｄに向けられている。モータ１１の出力軸には、プーリ１２が設けられている。一方、筐体６内の幅方向の他端部にもプーリ１３が対向配置されている。そして、プーリ１２，１３にわたって、タイミングベルト１４が設けられている。タイミングベルト１４には、キャリッジ７が固定されている。
このような構成のもと、モータ１１を駆動すると、プーリ１２，１３およびタイミングベルト１４を介して、キャリッジ７が幅方向Ｗに往復動するようになっている。
【００２７】
また、筐体６内の他端部には、インクを供給するインクカートリッジ１７が設けられている。インクカートリッジ１７は、キャリッジ７に取り付けられたインクジェットヘッド３に、フレキシブルチューブからなるインク供給管１８を介して接続されている。そして、インクカートリッジ１７から、インク供給管１８を介して、インクジェットヘッド３に各種インクを供給するようになっている。
【００２８】
さらに、筐体６の一端部の前面および後背面には、互いに対向して配置された不図示の開口部が設けられている。筐体６内の一端部のうち、前面の開口部に対向する位置には、長手方向Ｗに延びる一対の搬出ローラ２２が設けられている。一方、後背面の開口部に対向する位置には、長手方向Ｗに延びる一対の搬入ローラ２１が設けられている。
このような構成のもと、後背面の開口部から用紙（被記録媒体）Ｓが挿入され、搬入ローラ２１および搬出ローラ２２を駆動することにより、用紙Ｓが前面の開口部から排出されるようになっている。
【００２９】
インクジェットヘッド３は、長方形状の取付基盤２５を備えている。取付基盤２５は、キャリッジ７の基台７ａに不図示のネジを介して取り付けられている。取付基盤２５の上面には、後述するインクジェットヘッドチップ２６が取り付けられている。インクジェットヘッドチップ２６の上面には、その長手方向の全長にわたって延びる長方形状の流路基板２７が設けられている。流路基板２７の上面のうち、その長手方向の中央部には、連結部３０が設けられている。
【００３０】
また、取付基盤２５には、この取付基盤２５から立ち上げられた長方形状のベースプレート３１が設けられている。ベースプレート３１は、アルミニウムなどで形成されている。
ベースプレート３１の一方の主面（インクジェットヘッドチップ２６側に配された主面）には、配線基板３５が設けられている。配線基板３５には、インクジェットヘッドチップ２６の種々の制御を行う制御回路３２が搭載されている。
【００３１】
また、ベースプレート３１の上端には、一方の主面側に延びる支持部３７が設けられている。支持部３７には、インクを貯留する貯留室を有する圧力調整部３８が設けられている。圧力調整部３８の下部には、貯留室と連通するインク連通管３９が設けられている。
インク連通管３９は、Ｏリングを介して、流路基板２７の連結部３０に連結されている。
一方、圧力調整部３８の上部には、貯留室と連通するインク取込口４２が設けられている。インク取込口４２には、インク供給管１８が取り付けられている。
このような構成のもと、インクカートリッジ１７からインク供給管１８を介して、インクが供給されると、このインクは、インク取込口４２を介して圧力調整部３８内の貯留室に取り込まれ、さらに、所定量のインクが、インク連通管３９および流路基板２７を介して、インクジェットヘッドチップ２６に供給されるようになっている。
【００３２】
図３、図４に示すように、インクジェットヘッドチップ２６は、略長方形状のアクチュエータ４４を備えている。アクチュエータ４４は、圧電性を有する、例えば、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）から成るものである。アクチュエータ４４の上面には、その短手方向に延びる長溝４５が形成されている。長溝４５は、横断面が矩形状に形成されており、アクチュエータ４４の長手方向の全長にわたって複数並設されている。すなわち、長溝４５は、側壁４６によってそれぞれ区分けされている。長溝４５の底面は、図４に示すように、アクチュエータ４４の前方側から短手方向の略中央部まで延びる前方平坦面４４ａと、この前方平坦面４４ａの後部から後方側に向かって深さが漸次浅くなるような傾斜面４４ｂと、この傾斜面４４ｂの後部から後方側に向かって延びる後方平坦面４４ｃとで構成されている。なお、長溝４５の後端部は、封止部７０により封止されている（図７参照）。
【００３３】
長溝４５内には、板状に延びる駆動電極部５０が設けられている。すなわち、側壁４６の両主面の上端部寄りにそれぞれ駆動電極部５０が蒸着により設けられている。駆動電極部５０は、ワイヤ７１により制御回路３２に電気的に接続されている（図７参照）。
また、アクチュエータ４４の前端面４４ｄには、ポリイミドからなるノズルプレート５１が設けられている。ノズルプレート５１の一方の主面は、アクチュエータ４４への接合面とされ、他方の主面には、インクの付着等を防止するための撥水性を有する撥水膜が塗布されている。
【００３４】
また、ノズルプレート５１には、その長手方向に所定の間隔（長溝４５のピッチと同等の間隔）を空けて複数のノズル開口部５２が形成されている。ノズル開口部５２は、ポリイミドフィルムなどのノズルプレート５１に、例えば、エキシマレーザ装置を用いて形成される。これらノズル開口部５２は、それぞれ長溝４５に一致して配置されている。
【００３５】
さらに、アクチュエータ４４の上面には、長方形状のカバープレート５５が設けられている。カバープレート５５の短手方向の長さ寸法は、アクチュエータ４４の短手方向の長さ寸法よりも短く設定されている。そして、カバープレート５５の前端面５５ａと、アクチュエータ４４の前端面４４ｄとは面一になっている。
カバープレート５５には、その長手方向に延びる矩形状の開口部５６が形成されている。この開口部５６は、アクチュエータ４４の長手方向の全体の長溝４５にわたって延ばされている。すなわち、全ての長溝４５が開口部５６を介して外方に開放され、開口部５６によって各長溝４５がそれぞれ連通した状態になっている。また、アクチュエータ４４の後背面には、長方形状のノズル支持プレート５７が嵌合接着されている。
【００３６】
ここで、図５〜図７に示すように、カバープレート５５の下面５５ｂには、アクチュエータ４４の長溝４５に対応する部位にそれぞれ温度センサである熱電対７２が設けられている。この熱電対７２は、ニッケルおよびクロムを主成分とするニッケルクロム合金とニッケルを主成分とするニッケル合金とを接続したクロメルアルメルであって、スパッタリング法などにより成膜して成るものである。すなわち、熱電能の異なる２種類の金属を互いに接合して、２つの接合点を異なる温度にすると、一定の方向に電流が流れ、熱起電力が生じる現象（ゼーベック効果）を利用した温度センサである。
なお、熱電対７２はニッケルクロム合金とニッケル合金とを成膜してなることから、厚さ（膜厚）が１μｍ程度となる。しかしながら、図５、図７にあっては、熱電対７２を認識可能な大きさとするため、熱電対７２の縮尺を適宜変更している。
【００３７】
熱電対７２は、カバープレート５５の前端面５５ａから開口部５６に至るまでの間に形成されていると共に、カバープレート５５の開口部５６縁に下面５５ｂから上面５５ｃに跨るように形成されている。つまり、熱電対７２の開口部５６側端は、カバープレート５５の下面５５ｂから上面５５ｃに臨まされた状態になっている（図７参照）。
また、熱電対７２の先端の測温接点７２ａは、カバープレート５５の前端面５５ａ近傍に設けられている。
【００３８】
熱電対７２の上面には、開口部５６側近傍に補償導線７３の一端がワイヤボンディングなどによって接続されている。補償導線７３は、熱電対７２と制御回路３２とを電気的に接続するための熱電能を有する合金線であって、他端が制御回路３２に接続されている。なお、図３に示す２点鎖線は、補償導線７３の束を示している。
このような構成のもと、圧力調整部３８内の貯留室から、インク連通管３９および連結部３０を介して所定量のインクが流路基板２７に供給されると、それらインクは、開口部５６を介して、長溝４５内に送り込まれるようになっている。すなわち、長溝４５は、インクが充填されるインク室として機能する。
そして、駆動電極部５０に駆動電圧を印加すると圧電厚み滑り効果により長溝４５の側壁４６が変形する。これにより、長溝４５の容積が減少して長溝４５内の圧力が増加するので、ノズルプレート５１のノズル開口部５２からインク滴が吐出される。
【００３９】
ここで、駆動電極部５０に印加される駆動電圧は、制御回路３２によって制御されている。制御回路３２は、カバープレート５５に設けられている熱電対７２によるインク温度の検出結果に基づいて駆動電極部５０への印加電圧を決定するようになっている。
本実施形態の制御回路３２について、図８に基づいてより詳しく説明する。ただし図８においては、複数の熱電対７２のうち、１つの熱電対７２だけ記載し、他の熱電対７２の記載を省略する。
同図に示すように、インクジェットヘッド３の熱電対７２は補償導線７３を介してインク温度検出部６４と接続されている。ここでインク温度検出部６４は、各熱電対７２から出力される熱起電力（電位差）からそれぞれアクチュエータ４４の長溝４５に充填されているインクの温度を検出し、温度情報信号を出力する。インク温度検出部６４から出力された温度情報信号は、インク温度検出部６４と接続されている制御部６３に入力される。
【００４０】
また制御部６３は、各種情報を記憶する記憶部６５と接続されている。ここで記憶部６５は、インク温度検出部６４により検出された各温度と、これら各温度に対する駆動電極部５０への印加電圧値とを対応付けた温度−電圧テーブル６５ａを有している。制御部６３は、記憶部６５の温度−電圧テーブル６５ａを参照し、入力された温度情報信号をもとにアクチュエータ４４の駆動電極部５０に与える適正な電圧を得る。
さらに、制御部６３は、アクチュエータ４４を駆動するための駆動電圧を発生させる駆動電圧発生部６６に接続されている。制御部６３は、駆動電圧発生部６６に制御信号を出力し、駆動電圧発生部６６を介して、各長溝４５に設けられた熱電対７２の検出結果に応じて、各熱電対７２の設置箇所に対応する駆動電極部５０に適正なタイミングで適正な駆動電圧を入力する。
本実施形態では、これらのインク温度検出部６４、制御部６３、記憶部６５及び駆動電圧発生部６６をまとめて、制御回路３２としている。
【００４１】
次に、インクジェットヘッド３におけるインクジェットヘッドチップ２６の製造方法について説明する。
まず、カバープレート５５におけるアクチュエータ４４の長溝４５に対応する部位に、スパッタリング法などによりニッケルクロム合金とニッケル合金とを成膜し、熱電対７２を形成する（熱電対成膜工程）。
このとき、カバープレート５５のノズルプレート５１側端からカバープレート５５の開口部５６に至る間に熱電対７２を形成すると共に熱電対７２の測温接点７２ａがカバープレート５５のノズルプレート５１側に位置するように形成する。また、熱電対７２の開口部５６側端をカバープレート５５の下面５５ｂから上面５５ｃに臨まされた状態となるように形成する。
【００４２】
次に、熱電対７２のアクチュエータ４４とは反対側の面であって開口部５６側端に、補償導線７３の一端をワイヤボンディングなどによって接続する（補償導線接続工程）。
そして、カバープレート５５に形成された熱電対７２をアクチュエータ４４の長溝４５側に向け、カバープレート５５をアクチュエータ４４上に取り付ける（カバープレート取り付け工程）。
このとき、カバープレート５５の前端面５５ａと、アクチュエータ４４の前端面４４ｄとが面一となるようにする。
【００４３】
続いて、カバープレート５５の前端面５５ａ、およびアクチュエータ４４の前端面４４ｄにノズルプレート５１を取り付ける（ノズルプレート取り付け工程）。
そして、アクチュエータ４４の長溝４５の後端部を封止部７０により封止し、アクチュエータ４４の後背面にノズル支持プレート５７を嵌合接着した後、駆動電極部５０にワイヤ７１を接続してインクジェットヘッドチップ２６が完成する。
【００４４】
したがって、上述の実施形態によれば、カバープレート５５におけるアクチュエータ４４の長溝４５に対応する部位に、それぞれ熱電対７２をスパッタリング法などにより成膜し、この結果、アクチュエータ４４の長溝４５内に熱電対７２を設けることができる。このため、長溝４５に充填されているインクを直接測定することができ、インクの温度を正確に知ることが可能になる。よって、環境温度に関わらず制御回路３２の制御部６３が駆動電圧発生部６６を介して、各駆動電極部５０に適正なタイミングで適正な駆動電圧を入力することができるので、用紙Ｓに記録される画質を向上させることができる。
また、インクの温度を正確に知ることができるので、例えば、インクジェットヘッド３の過負荷時の際、インク中に気泡が発生するような高温時にあっては、速やかに印刷を停止したり、インクジェットヘッド３を冷却したりすることができる。このため、インクの射出不良を未然に防止することができ、安定した印刷を実現することが可能になる。
【００４５】
さらに、熱電対がスパッタリング法などによりニッケルクロム合金とニッケル合金とを成膜して成ることから、熱電対７２の設置スペースを無視できる程度に小さく設定することができる。具体的には、熱電対７２の厚さ（膜厚）を１μｍ程度に設定することができる。このため、アクチュエータ４４内に熱電対７２を設けてもこれに伴って長溝４５の容積を大きく設定する必要がなく、インクジェットヘッド３の大型化を防止することが可能になる。
そして、熱電対７２をニッケルクロム合金とニッケル合金とを接続したクロメルアルメルとすることで、熱電対を形成可能な他の貴金属など用いるよりも安価に製造することが可能になる。このため、さらに製造コストを低減させることができる。
【００４６】
また、従来のようにインクジェットヘッド３に温度センサとしてのサーミスタなどを１つ設けるだけでなく、アクチュエータ４４に設けられている複数の長溝４５のそれぞれに熱電対７２を複数設けることが可能になる。このため、各長溝４５に設けられる駆動電極部５０への印加電圧を制御回路３２によって各々制御することが可能になる。よって、各長溝４５のインクの吐出速度や吐出滴量のばらつきを各々抑制することが可能になり、用紙Ｓに記録される画質をより向上させることができる。
【００４７】
さらに、カバープレート５５に熱電対７２を設けているので、アクチュエータ４４に熱電対７２を設ける場合と比較して、補償導線７３を容易に熱電対７２に接続させることが可能になる。このため、インクジェットヘッド３（インクジェットヘッドチップ２６）の製造コストを低減することが可能になる。
【００４８】
そして、熱電対７２をカバープレート５５の前端面５５ａから開口部５６に至るまでの間に形成されていると共に、カバープレート５５の開口部５６縁に下面５５ｂから上面５５ｃに跨るように形成している。つまり、熱電対７２の開口部５６側端は、カバープレート５５の下面５５ｂから上面５５ｃに臨まされた状態になっている（図７参照）。このため、カバープレート５５の上面５５ｃ側で熱電対７２と補償導線７３を接続させることができ、カバープレート５５の下面５５ｂ側に補償導線７３を引き回す必要がなくなる。よって、補償導線７３の熱電対７２への接続を容易に行うことが可能になり、さらに製造コストを低減することが可能になる。
【００４９】
また、熱電対７２と補償導線７３との接続位置をカバープレート５５の前端面５５ａ側ではなく、開口部５６側としている。このため、カバープレート５５の前端面５５ａに熱電対７２を設ける必要がなくなるので、カバープレート５５とノズルプレート５１との密着性を高めることができる。よって、インクの吐出速度や吐出滴量をより安定させることが可能になる。
【００５０】
さらに、熱電対７２の先端の測温接点７２ａをカバープレート５５の前端面５５ａ近傍に設けている。このため、吐出直前のインクの温度を熱電対７２によって測定することができるので、駆動電極部５０に対して最適な制御を行うことが可能になる。よって、用紙Ｓに記録される画質をさらに向上させることができる。
【００５１】
なお、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述の実施形態に種々の変更を加えたものを含む。
また、上述の実施形態では、カバープレート５５におけるアクチュエータ４４の長溝４５に対応する部位に、それぞれ熱電対７２を成膜して形成した場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、アクチュエータ４４の長溝４５の底面（前方平坦面４４ａ、傾斜面４４ｂ、および後方平坦面４４ｃ）に熱電対７２を設けてもよい。この場合、アクチュエータ４４の製作精度のばらつきに関わらず、確実に長溝４５内に熱電対７２を設けることができる。このため、カバープレート５５に熱電対７２を設ける場合と比較して、長溝４５内に熱電対７２を設置すべく必要以上にアクチュエータ４４やカバープレート５５の製作精度を高める必要がない。よって、インクジェットヘッド３（インクジェットヘッドチップ２６）の製造コストを低減することが可能になる。
【００５２】
さらに、上述の実施形態では、熱電対７２をカバープレート５５の前端面５５ａから開口部５６に至るまでの間に形成されていると共に、カバープレート５５の開口部５６縁に下面５５ｂから上面５５ｃに跨るように形成した場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、熱電対７２の基端側（測温接点７２ａとは反対側端）をカバープレート５５の前端面５５ａ側から上面に形成してもよい。このように熱電対７２を形成した場合であっても、熱電対７２の厚さ（膜厚）が極めて薄いので、ノズルプレート５１の接着代を考慮すると熱電対７２の厚さを無視できる。このため、ノズルプレート５１とカバープレート５５との間隙の形成を防止することができる。
また、熱電対７２の基端側をカバープレート５５の下面５５ｂから上面５５ｃに跨るように形成することなく、カバープレート５５の下面５５ｂのみに熱電対７２を形成してもよい。
【００５３】
さらに、上述の実施形態では、カバープレート５５におけるアクチュエータ４４の長溝４５に対応する部位にそれぞれ温度センサである熱電対７２を設けた場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、カバープレート５５の長溝４５に対応する部位の少なくとも１箇所に熱電対７２が設けられていればよい。
そして、上述の実施形態では、熱電対７２がニッケルクロム合金とニッケル合金とを接続したクロメルアルメルである場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、低温脆性が少なく、耐熱性や耐酸性／耐アルカリ性などを持つ、化学的にも物理的にも安定した金属である白金（Ｐｔ）、レニウム（Ｒｅ）、タングステン（Ｗ）、銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）といった貴金属や、これらを含む合金類を用いてもよい。
より具体的に、熱電対を形成可能な金属の組合わせの例として以下のようなものが挙げられる。
（１）銅と銅・ニッケル合金
（２）ニッケルクロム合金とニッケルを主とした合金
（３）鉄と銅・ニッケル合金
（４）ニッケルクロム合金と銅・ニッケル合金
（５）ニッケルと鉄
（６）白金と白金・ロジウム合金
（７）タングステンとタングステン・モリブデン合金
（８）金と銀
（９）白金と銅・ニッケル・亜鉛合金
（１０）白金と白金・ロジウム合金
（１１）ビスマスとアンチモン
（１２）イリジウムと白金
（１３）金とニッケル
（１４）イリジウムと白金・ロジウム合金
（１５）イリジウムと白金・イットリウム合金
熱電対を形成するにあたって、これら（１）〜（１５）の金属の組合わせであってもよいが、とりわけ、ニッケルクロム合金とニッケル合金とを接続したクロメルアルメルとすることで、熱電対７２の製造コストを低減することが可能になる。
【００５４】
また、上述の実施形態では、カバープレート５５に補償導線７３を接続し（補償導線接続工程）、この後、カバープレート５５の前端面５５ａ、およびアクチュエータ４４の前端面４４ｄにノズルプレート５１を取り付けた（ノズルプレート取り付け工程）場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなくカバープレート５５の前端面５５ａ、およびアクチュエータ４４の前端面４４ｄにノズルプレート５１を取り付けた後、カバープレート５５に補償導線７３を接続してもよい。
【００５５】
さらに、上述の実施形態では、アクチュエータ４４の長溝４５の後端部を封止部７０により封止し、アクチュエータ４４の後背面にノズル支持プレート５７を嵌合接着した後、駆動電極部５０にワイヤ７１を接続した場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、駆動電極部５０にワイヤ７１を接続した後、アクチュエータ４４の後背面にノズル支持プレート５７を嵌合接着してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の実施形態におけるインクジェット記録装置の斜視図である。
【図２】本発明の実施形態におけるインクジェットヘッドの斜視図である。
【図３】本発明の実施形態におけるインクジェットヘッドチップの分解斜視図である。
【図４】本発明の実施形態におけるインクジェットヘッドチップの一部を拡大した分解斜視図である。
【図５】図３のＡ矢視図である。
【図６】本発明の実施形態におけるカバープレートの一部拡大斜視図である。
【図７】本発明の実施形態におけるインクジェットヘッドチップの短手方向に沿う縦断面図である。
【図８】本発明の実施形態におけるインクジェット記録装置を機能ごとに示すブロック図である。
【符号の説明】
【００５７】
１ インクジェット記録装置
２ 装置本体部
３ インクジェットヘッド
７ キャリッジ（移動手段）
８ ガイドレール（移動手段）
１１ モータ（移動手段）
１２，１３ プーリ（移動手段）
１４ タイミングベルト（移動手段）
２１ 搬入ローラ（搬送手段）
２２ 搬出ローラ（搬送手段）
２６ インクジェットヘッドチップ
４４ アクチュエータ
４４ａ 前方平坦面（底面）
４４ｂ 傾斜面（底面）
４４ｃ 後方平坦面（底面）
４４ｄ 前端面
４５ 長溝（溝部）
５０ 駆動電極部
５１ ノズルプレート
５２ ノズル開口部（ノズル）
５５ カバープレート
５５ａ 前端面
５５ｂ 下面
５５ｃ 上面
５６ 開口部
６４ インク温度検出部
７２ 熱電対
７２ａ 測温接点
７３ 補償導線
Ｓ 用紙（被記録媒体）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを配列したノズルプレートと、
インクが充填される複数の溝部が前記複数のノズルのそれぞれに対応するように並設されているアクチュエータと、
前記アクチュエータの前記複数の溝部上に設けられ、前記複数の溝部をそれぞれ連通させる開口部を有するカバープレートとを備えたインクジェットヘッドにおいて、
前記複数の溝部の内壁、または前記カバープレートの前記複数の溝部に対応する部位の何れかであって、少なくとも１箇所に金属膜を成膜して成る熱電対を設けたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記複数の溝部の底面に前記熱電対を設けたことを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記カバープレートの前記複数の溝部に対応する部位に前記熱電対を設けたことを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記熱電対を前記カバープレートの前記複数の溝部に対応する部位から前記カバープレートの上面に臨ませるように設けたことを特徴とする請求項３に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記熱電対の前記カバープレートの開口部近傍に補償導線を接続したことを特徴とする請求項３または請求項４に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記熱電対の測温接点が前記ノズルプレート側近傍に配置されていることを特徴とする請求項１〜請求項５の何れかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記熱電対は、ニッケルおよびクロムを主成分とするニッケルクロム合金と、ニッケルを主成分とするニッケル合金とを接続したクロメルアルメルであることを特徴とする請求項１〜請求項６の何れかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
請求項１〜請求項７の何れかに記載のインクジェットヘッドと、
被記録媒体を予め決められた方向に搬送する搬送手段と、
前記被記録媒体の搬送方向に交差する方向に沿って前記インクジェットヘッドを往復移動させる移動手段とを備えたことを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項９】
複数のノズルを配列したノズルプレートと、
前記インクが充填される複数の溝部が前記複数のノズルのそれぞれに対応するように並設されているアクチュエータと、
前記アクチュエータの前記複数の溝部上に設けられ、前記複数の溝部をそれぞれ連通させる開口部を有するカバープレートとを備えたインクジェットヘッドの製造方法において、
前記カバープレートの前記複数の溝部に対応する部位の少なくとも１箇所に、熱電対を構成する金属膜を成膜する熱電対成膜工程と、
前記熱電対の前記開口部側端、または前記熱電対の前記ノズルプレート側端の何れかに補償導線を接続する補償導線接続工程と、
前記アクチュエータの前記複数の溝部上に前記カバープレートを前記熱電対を下側に向けて取り付けるカバープレート取り付け工程と、
前記アクチュエータ、および前記カバープレートの前記インクを吐出する側の端部に前記ノズルプレートを取り付けるノズルプレート取り付け工程とを備えたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１】
複数のノズルを配列したノズルプレートと、
インクが充填される複数の溝部が前記複数のノズルのそれぞれに対応するように並設されているアクチュエータと、
前記アクチュエータの前記複数の溝部上に設けられ、前記複数の溝部をそれぞれ連通させる開口部を有するカバープレートとを備えたインクジェットヘッドにおいて、
前記複数の溝部の内壁、または前記カバープレートの前記複数の溝部に対応する部位の何れかであって、少なくとも１箇所に金属膜を成膜して成る熱電対を設けたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記複数の溝部の底面に前記熱電対を設けたことを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記カバープレートの前記複数の溝部に対応する部位に前記熱電対を設けたことを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記熱電対を前記カバープレートの前記複数の溝部に対応する部位から前記カバープレートの上面に臨ませるように設けたことを特徴とする請求項３に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記熱電対の前記カバープレートの開口部近傍に補償導線を接続したことを特徴とする請求項３または請求項４に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記熱電対の測温接点が前記ノズルプレート側近傍に配置されていることを特徴とする請求項１〜請求項５の何れかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記熱電対は、ニッケルおよびクロムを主成分とするニッケルクロム合金と、ニッケルを主成分とするニッケル合金とを接続したクロメルアルメルであることを特徴とする請求項１〜請求項６の何れかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
請求項１〜請求項７の何れかに記載のインクジェットヘッドと、
被記録媒体を予め決められた方向に搬送する搬送手段と、
前記被記録媒体の搬送方向に交差する方向に沿って前記インクジェットヘッドを往復移動させる移動手段とを備えたことを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項９】
複数のノズルを配列したノズルプレートと、
前記インクが充填される複数の溝部が前記複数のノズルのそれぞれに対応するように並設されているアクチュエータと、
前記アクチュエータの前記複数の溝部上に設けられ、前記複数の溝部をそれぞれ連通させる開口部を有するカバープレートとを備えたインクジェットヘッドの製造方法において、
前記カバープレートの前記複数の溝部に対応する部位の少なくとも１箇所に、熱電対を構成する金属膜を成膜する熱電対成膜工程と、
前記熱電対の前記開口部側端、または前記熱電対の前記ノズルプレート側端の何れかに補償導線を接続する補償導線接続工程と、
前記アクチュエータの前記複数の溝部上に前記カバープレートを前記熱電対を下側に向けて取り付けるカバープレート取り付け工程と、
前記アクチュエータ、および前記カバープレートの前記インクを吐出する側の端部に前記ノズルプレートを取り付けるノズルプレート取り付け工程とを備えたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２００９−１７８８８４（Ｐ２００９−１７８８８４Ａ）
【公開日】平成２１年８月１３日（２００９．８．１３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１８５５３（Ｐ２００８−１８５５３）
【出願日】平成２０年１月３０日（２００８．１．３０）
【出願人】（５０１１６７７２５）エスアイアイ・プリンテック株式会社 (198)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年８月１３日（２００９．８．１３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年１月３０日（２００８．１．３０）
【出願人】（５０１１６７７２５）エスアイアイ・プリンテック株式会社 (198)
【Ｆターム（参考）】
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