ウェハチャックプレートの加工方法及び装置
【課題】 工具の切削力によるウェハチャックプレートの撓みや共振（ビビリ振動）を抑え、ウェハチャックプレートの平面度が高精度にし、ウェハチャックプレートの加工精度を向上させる。
【解決手段】 ウェハチャックプレートの裏面側のチャック面を加工する工具の切り込み方向に対向するチャックの裏面に流体を吹き付け、チャック面を工具により加工するウェハチャックプレートの加工方法及びそのための装置において、ウェハチャックプレートは回転しながら、そのチャック表面の周縁部が工具により加工される。工具の切り込み方向に対向するチャックの裏面に流体圧縮空気が吹き付けられる。そのことで、工具の切削力によるウェハチャックプレートの撓みや共振（ビビリ振動）を抑え、ウェハチャックプレートの平面度を高精度にし、ウェハチャックプレートの加工精度も向上する。
【解決手段】 ウェハチャックプレートの裏面側のチャック面を加工する工具の切り込み方向に対向するチャックの裏面に流体を吹き付け、チャック面を工具により加工するウェハチャックプレートの加工方法及びそのための装置において、ウェハチャックプレートは回転しながら、そのチャック表面の周縁部が工具により加工される。工具の切り込み方向に対向するチャックの裏面に流体圧縮空気が吹き付けられる。そのことで、工具の切削力によるウェハチャックプレートの撓みや共振（ビビリ振動）を抑え、ウェハチャックプレートの平面度を高精度にし、ウェハチャックプレートの加工精度も向上する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハチャックプレートの加工方法及び装置、例えば、ウェハを真空式または静電式にチャックするためのウェハチャックプレートのチャック面を研削加工または切削加工する、ウェハチャックプレートの加工方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ウェハを真空式または静電式にチャックするためにウェハチャックプレートが用いられている。チェックの表面には、凹凸の溝が形成され、そこに空気圧または静電力等でウェハが保持される（例えば、特許文献１の図１、図８、図１１参照）。
【０００３】
また、チャックの表面に凹凸の溝を形成するため、例えば特許文献２の第３−Ｂ図に記載されているように、支持板上に形成された絶縁膜の表面に凹凸をつける。このために回転砥石または切削工具を用いていた。
【０００４】
さらに、本願の図２に示すように、ウェハチャックプレート２０の中心部をスピンドルの回転軸２１に取り付け、ウェハチャックプレート２０の裏面２０ａにゴムシート２２を円盤状またはドーナツ状に貼り付けたり、ウェハチャックプレート２０の外周部２０ｂに錘２３を取り付けたり、ウェハチャックプレート２０の裏面にローラ（図示せず）で押圧したりする。そして、このような状態にして、工具２４によって、チャック表面２０ｃを加工していた。
【特許文献１】特開２００３−３２４１４３号公報
【特許文献２】特開昭６３−９５６４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ウェハチャックプレートは薄くて大口径であるため、そのウェハチャックプレートの周縁部を加工する場合、工具の切込みによる切削反力に伴い、ウェハチャックプレートは押し戻される方向に撓みを起こしてしまう虞があった。
【０００６】
さらに、工具の送りに伴ってウェハチャックプレートの共振（ビビリ振動）が発生することがある。その場合、精度の高い加工が困難であった。
【０００７】
従来のように、ウェハチャックプレートの裏面２０ａに円盤状またはドーナツ状にゴムシート２２を貼り付けたり、外周部２０ｂに錘２３を取り付けたりしても、見かけ上の剛性は高められてはいても、共振（ビビリ振動）を防ぐことはできなかった。
【０００８】
本発明は、工具の切削力によるウェハチャックプレートの撓みや共振（ビビリ振動）を抑え、ウェハチャックプレートの平面度の精度を高め、ウェハチャックプレートの加工精度を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、ウェハチャックプレートのチャック面を加工する工具の切り込み方向に対向するチャックの裏面に流体を吹き付け、チャック面を工具により加工するウェハチャックプレートの加工方法及びそのための装置を提供するものである。
【００１０】
本発明の解決手段を例示すると次のとおりである。
【００１１】
（１）ウェハチャックプレートのチャック面を加工する方法において、
ウェハチャックプレートの表面側のチャック面を加工する工具の切り込み方向に対向するウェハチャックプレートの裏面に流体を吹き付けながら、チャック面を工具により加工することを特徴とする、ウェハチャックプレートの加工方法。
【００１２】
（２）前述のウェハチャックプレートの加工方法において、
ウェハチャックプレートは回転しながら工具により加工されることを特徴とするウェハチャックプレートの加工方法。
【００１３】
（３）前述のウェハチャックプレートの加工方法において、
前記流体は圧縮空気であることを特徴とするウェハチャックプレートの加工方法。
【００１４】
（４）ウェハチャックプレートのチャック面を加工する装置において、
ウェハチャックプレートの表面側のチャック面を加工する工具と、
工具の切り込み方向に対向するウェハチャックプレートの裏面に流体を吹き付けるための流体供給部と
を有することを特徴とするウェハチャックプレートの加工装置。
【００１５】
（５）前述のウェハチャックプレートの加工装置において、
ウェハチャックプレートの裏面の中央部がスピンドルの回転軸に取り付けられ、その回転軸の回転によりウェハチャックプレートが回転することを特徴とするウェハチャックプレートの加工装置。
【００１６】
（６）前述のウェハチャックプレートの加工装置において、
前記流体は圧縮空気であることを特徴とするウェハチャックプレートの加工装置。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、工具の切削力によるウェハチャックプレートの撓みやビビリ振動が抑えられ、ワークであるウェハチャックプレートの平面度の精度が高められ、その結果、ウェハチャックプレートの加工精度を高めることができる。
【００１８】
また、圧縮空気の圧力や面積を調整するだけで、加工条件の違いによる加工反力の変化に柔軟に対応することができる。
【００１９】
さらに、ウェハチャックプレートに非接触でウェハチャックプレートの撓みやビビリ振動を抑えることができる。
【００２０】
また、非接触であるので、チャック裏面が汚れたり傷つけられず、ゴムシートや錘を取り付けたりする手間や作業が不要となり、作業効率が上がり、ウェハチャックプレートの加工の段取りが容易である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１は、本発明の好適な１つの実施例を示す。
【００２２】
図１に示すように、ウェハチャックプレート１０の裏面側の中央部１０ａをスピンドルの回転軸１１に取り付ける。この場合、ネジ止めで保持してもいいし、真空チャックで保持してもよい。
【００２３】
加工工具１２によりウェハチャックプレート１０の周縁部１０ｂの表面側のチャック面１０ｃを加工する。このとき、加工工具２４の切り込み方向に対向するウェハチャックプレート１０の裏面１０ｄに対して、エアーノズル１３から圧縮空気１４を吹き付ける。
【００２４】
エアーノズル１３には、図示しない供給装置により圧縮空気が供給されるようになっている。
【００２５】
ウェハチャックプレート１０は回転しながら、そのウェハチャックプレート１０の周縁部１０ｂの表面側のチャック面１０ｃが工具１２により加工される。そのとき、工具１２の切り込み方向に対向するウェハチャックプレート１０の裏面１０ｄに圧縮空気１４が吹き付けられることで、工具１２の切削力によるウェハチャックプレート１０の撓みや共振（ビビリ振動）を抑えることができる。その結果、ウェハチャックプレート１０の平面度が高精度になり、さらに、ウェハチャックプレート１０の加工精度も向上する。
【００２６】
また、圧縮空気１４の圧力や吹き付け面積を調整するだけで、加工条件の違いによる加工反力の変化に柔軟に対応することができる。
【００２７】
さらに、加工時に、エアノズル１３は、ウェハチャックプレート１０に非接触であるが、ウェハチャックプレート１０の撓みやビビリ振動が抑えられる。そのため、ゴムシートや錘を取り付けたりする手間や作業が不要となり、作業効率が上がる。しかも、ウェハチャックプレート１０の加工の段取りが容易である。
【００２８】
なお、圧縮空気以外にも、洗浄液をウェハチャックプレート１０の裏面１０ｄに噴射させ、圧力を与えると共に、チャック裏面を洗浄することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明に係るウェハチャックプレートの加工装置の一例を示す。
【図２】従来のウェハチャックプレートの加工装置を示す。
【符号の説明】
【００３０】
１０、２０ ウェハチャックプレート
１０ａ ウェハチャックプレートの中央部
１０ｂ ウェハチャックプレートの周縁部
１０ｃ ウェハチャックプレートの表面側のチェック面
１０ｄ ウェハチャックプレートの裏面
１１、２１ スピンドルの回転軸
１２、２４ 加工工具
１３ エアーノズル
１４ 圧縮空気
２０ａ ウェハチャックプレートの裏面
２０ｂ ウェハチャックプレートの外周部
２０ｃ チェック面
２２ ゴムシート
２３ 錘
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハチャックプレートの加工方法及び装置、例えば、ウェハを真空式または静電式にチャックするためのウェハチャックプレートのチャック面を研削加工または切削加工する、ウェハチャックプレートの加工方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ウェハを真空式または静電式にチャックするためにウェハチャックプレートが用いられている。チェックの表面には、凹凸の溝が形成され、そこに空気圧または静電力等でウェハが保持される（例えば、特許文献１の図１、図８、図１１参照）。
【０００３】
また、チャックの表面に凹凸の溝を形成するため、例えば特許文献２の第３−Ｂ図に記載されているように、支持板上に形成された絶縁膜の表面に凹凸をつける。このために回転砥石または切削工具を用いていた。
【０００４】
さらに、本願の図２に示すように、ウェハチャックプレート２０の中心部をスピンドルの回転軸２１に取り付け、ウェハチャックプレート２０の裏面２０ａにゴムシート２２を円盤状またはドーナツ状に貼り付けたり、ウェハチャックプレート２０の外周部２０ｂに錘２３を取り付けたり、ウェハチャックプレート２０の裏面にローラ（図示せず）で押圧したりする。そして、このような状態にして、工具２４によって、チャック表面２０ｃを加工していた。
【特許文献１】特開２００３−３２４１４３号公報
【特許文献２】特開昭６３−９５６４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ウェハチャックプレートは薄くて大口径であるため、そのウェハチャックプレートの周縁部を加工する場合、工具の切込みによる切削反力に伴い、ウェハチャックプレートは押し戻される方向に撓みを起こしてしまう虞があった。
【０００６】
さらに、工具の送りに伴ってウェハチャックプレートの共振（ビビリ振動）が発生することがある。その場合、精度の高い加工が困難であった。
【０００７】
従来のように、ウェハチャックプレートの裏面２０ａに円盤状またはドーナツ状にゴムシート２２を貼り付けたり、外周部２０ｂに錘２３を取り付けたりしても、見かけ上の剛性は高められてはいても、共振（ビビリ振動）を防ぐことはできなかった。
【０００８】
本発明は、工具の切削力によるウェハチャックプレートの撓みや共振（ビビリ振動）を抑え、ウェハチャックプレートの平面度の精度を高め、ウェハチャックプレートの加工精度を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、ウェハチャックプレートのチャック面を加工する工具の切り込み方向に対向するチャックの裏面に流体を吹き付け、チャック面を工具により加工するウェハチャックプレートの加工方法及びそのための装置を提供するものである。
【００１０】
本発明の解決手段を例示すると次のとおりである。
【００１１】
（１）ウェハチャックプレートのチャック面を加工する方法において、
ウェハチャックプレートの表面側のチャック面を加工する工具の切り込み方向に対向するウェハチャックプレートの裏面に流体を吹き付けながら、チャック面を工具により加工することを特徴とする、ウェハチャックプレートの加工方法。
【００１２】
（２）前述のウェハチャックプレートの加工方法において、
ウェハチャックプレートは回転しながら工具により加工されることを特徴とするウェハチャックプレートの加工方法。
【００１３】
（３）前述のウェハチャックプレートの加工方法において、
前記流体は圧縮空気であることを特徴とするウェハチャックプレートの加工方法。
【００１４】
（４）ウェハチャックプレートのチャック面を加工する装置において、
ウェハチャックプレートの表面側のチャック面を加工する工具と、
工具の切り込み方向に対向するウェハチャックプレートの裏面に流体を吹き付けるための流体供給部と
を有することを特徴とするウェハチャックプレートの加工装置。
【００１５】
（５）前述のウェハチャックプレートの加工装置において、
ウェハチャックプレートの裏面の中央部がスピンドルの回転軸に取り付けられ、その回転軸の回転によりウェハチャックプレートが回転することを特徴とするウェハチャックプレートの加工装置。
【００１６】
（６）前述のウェハチャックプレートの加工装置において、
前記流体は圧縮空気であることを特徴とするウェハチャックプレートの加工装置。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、工具の切削力によるウェハチャックプレートの撓みやビビリ振動が抑えられ、ワークであるウェハチャックプレートの平面度の精度が高められ、その結果、ウェハチャックプレートの加工精度を高めることができる。
【００１８】
また、圧縮空気の圧力や面積を調整するだけで、加工条件の違いによる加工反力の変化に柔軟に対応することができる。
【００１９】
さらに、ウェハチャックプレートに非接触でウェハチャックプレートの撓みやビビリ振動を抑えることができる。
【００２０】
また、非接触であるので、チャック裏面が汚れたり傷つけられず、ゴムシートや錘を取り付けたりする手間や作業が不要となり、作業効率が上がり、ウェハチャックプレートの加工の段取りが容易である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１は、本発明の好適な１つの実施例を示す。
【００２２】
図１に示すように、ウェハチャックプレート１０の裏面側の中央部１０ａをスピンドルの回転軸１１に取り付ける。この場合、ネジ止めで保持してもいいし、真空チャックで保持してもよい。
【００２３】
加工工具１２によりウェハチャックプレート１０の周縁部１０ｂの表面側のチャック面１０ｃを加工する。このとき、加工工具２４の切り込み方向に対向するウェハチャックプレート１０の裏面１０ｄに対して、エアーノズル１３から圧縮空気１４を吹き付ける。
【００２４】
エアーノズル１３には、図示しない供給装置により圧縮空気が供給されるようになっている。
【００２５】
ウェハチャックプレート１０は回転しながら、そのウェハチャックプレート１０の周縁部１０ｂの表面側のチャック面１０ｃが工具１２により加工される。そのとき、工具１２の切り込み方向に対向するウェハチャックプレート１０の裏面１０ｄに圧縮空気１４が吹き付けられることで、工具１２の切削力によるウェハチャックプレート１０の撓みや共振（ビビリ振動）を抑えることができる。その結果、ウェハチャックプレート１０の平面度が高精度になり、さらに、ウェハチャックプレート１０の加工精度も向上する。
【００２６】
また、圧縮空気１４の圧力や吹き付け面積を調整するだけで、加工条件の違いによる加工反力の変化に柔軟に対応することができる。
【００２７】
さらに、加工時に、エアノズル１３は、ウェハチャックプレート１０に非接触であるが、ウェハチャックプレート１０の撓みやビビリ振動が抑えられる。そのため、ゴムシートや錘を取り付けたりする手間や作業が不要となり、作業効率が上がる。しかも、ウェハチャックプレート１０の加工の段取りが容易である。
【００２８】
なお、圧縮空気以外にも、洗浄液をウェハチャックプレート１０の裏面１０ｄに噴射させ、圧力を与えると共に、チャック裏面を洗浄することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明に係るウェハチャックプレートの加工装置の一例を示す。
【図２】従来のウェハチャックプレートの加工装置を示す。
【符号の説明】
【００３０】
１０、２０ ウェハチャックプレート
１０ａ ウェハチャックプレートの中央部
１０ｂ ウェハチャックプレートの周縁部
１０ｃ ウェハチャックプレートの表面側のチェック面
１０ｄ ウェハチャックプレートの裏面
１１、２１ スピンドルの回転軸
１２、２４ 加工工具
１３ エアーノズル
１４ 圧縮空気
２０ａ ウェハチャックプレートの裏面
２０ｂ ウェハチャックプレートの外周部
２０ｃ チェック面
２２ ゴムシート
２３ 錘
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハチャックプレートのチャック面を加工する方法において、
ウェハチャックプレートの表面側のチャック面を加工する工具の切り込み方向に対向するウェハチャックプレートの裏面に流体を吹き付けながら、チャック面を工具により加工することを特徴とする、ウェハチャックプレートの加工方法。
【請求項２】
請求項１に記載のウェハチャックプレートの加工方法において、
ウェハチャックプレートは回転しながら工具により加工されることを特徴とするウェハチャックプレートの加工方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載のウェハチャックプレートの加工方法において、
前記流体は圧縮空気であることを特徴とするウェハチャックプレートの加工方法。
【請求項４】
ウェハチャックプレートのチャック面を加工する装置において、
ウェハチャックプレートの表面側のチャック面を加工する工具と、
工具の切り込み方向に対向するウェハチャックプレートの裏面に流体を吹き付けるための流体供給部と
を有することを特徴とするウェハチャックプレートの加工装置。
【請求項５】
請求項４に記載のウェハチャックプレートの加工装置において、
ウェハチャックプレートの裏面の中央部がスピンドルの回転軸に取り付けられ、その回転軸の回転によりウェハチャックプレートが回転することを特徴とするウェハチャックプレートの加工装置。
【請求項６】
請求項４または５に記載のウェハチャックプレートの加工装置において、
前記流体は圧縮空気であることを特徴とするウェハチャックプレートの加工装置。
【請求項１】
ウェハチャックプレートのチャック面を加工する方法において、
ウェハチャックプレートの表面側のチャック面を加工する工具の切り込み方向に対向するウェハチャックプレートの裏面に流体を吹き付けながら、チャック面を工具により加工することを特徴とする、ウェハチャックプレートの加工方法。
【請求項２】
請求項１に記載のウェハチャックプレートの加工方法において、
ウェハチャックプレートは回転しながら工具により加工されることを特徴とするウェハチャックプレートの加工方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載のウェハチャックプレートの加工方法において、
前記流体は圧縮空気であることを特徴とするウェハチャックプレートの加工方法。
【請求項４】
ウェハチャックプレートのチャック面を加工する装置において、
ウェハチャックプレートの表面側のチャック面を加工する工具と、
工具の切り込み方向に対向するウェハチャックプレートの裏面に流体を吹き付けるための流体供給部と
を有することを特徴とするウェハチャックプレートの加工装置。
【請求項５】
請求項４に記載のウェハチャックプレートの加工装置において、
ウェハチャックプレートの裏面の中央部がスピンドルの回転軸に取り付けられ、その回転軸の回転によりウェハチャックプレートが回転することを特徴とするウェハチャックプレートの加工装置。
【請求項６】
請求項４または５に記載のウェハチャックプレートの加工装置において、
前記流体は圧縮空気であることを特徴とするウェハチャックプレートの加工装置。
【図１】
【図２】
【図２】
【公開番号】特開２００８−８０４４０（Ｐ２００８−８０４４０Ａ）
【公開日】平成２０年４月１０日（２００８．４．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−２６２８４４（Ｐ２００６−２６２８４４）
【出願日】平成１８年９月２７日（２００６．９．２７）
【出願人】（０００２２０３４３）株式会社トプコン (904)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年４月１０日（２００８．４．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年９月２７日（２００６．９．２７）
【出願人】（０００２２０３４３）株式会社トプコン (904)
【Ｆターム（参考）】
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