ガラス基板の移積装置及び移載方法
【課題】 スペーサをガラス基板から分離させる際に、ガラス基板の表面と摺接させることなく確実に分離し、分離・搬送動作中のスペーサの皺やたるみの発生や、摺接によるガラス基板への傷の発生を防止することができるガラス基板の移載装置を、簡易な構成でコンパクト・安価に提供する。
【解決手段】 基板搬送手段１０と、スペーサ分離搬送手段２０，３０，４０とを備え、スペーサ分離搬送手段２０，３０，４０は、基板搬送手段１０がガラス基板Ｇを吸着する際には、スペーサＳの一辺を固定すると共に、スペーサＳを分離搬送する際には、該固定辺を中心とした円軌道を描くようにスペーサＳを回転させて、該スペーサＳを次のガラス基板Ｇの表面と摺接させずに該ガラス基板Ｇと分離して搬送することを特徴とする。
【解決手段】 基板搬送手段１０と、スペーサ分離搬送手段２０，３０，４０とを備え、スペーサ分離搬送手段２０，３０，４０は、基板搬送手段１０がガラス基板Ｇを吸着する際には、スペーサＳの一辺を固定すると共に、スペーサＳを分離搬送する際には、該固定辺を中心とした円軌道を描くようにスペーサＳを回転させて、該スペーサＳを次のガラス基板Ｇの表面と摺接させずに該ガラス基板Ｇと分離して搬送することを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板とスペーサとが交互に積層された状態から、ガラス基板を所定の場所に移載するガラス基板の移載装置に関し、特に、ガラス基板とスペーサとが斜めに立てかけられた状態からガラス基板及びスペーサをそれぞれ所定の場所に移載するガラス基板の移載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
【特許文献１】特開平６−２５５７７２号公報
【特許文献２】実開平６−１４１５５号公報
【特許文献３】特開平７−６１５９７号公報
【０００３】
近年は、ガラス基板の用途の拡大（例えば、大型液晶パネル用や、大サイズのＰＤＰパネル用等）に伴い、その基板サイズが大型化（例えば、第５世代サイズ：１１００ｍｍ×１３００ｍｍ、第７世代サイズ：１８７０ｍｍ×２２００ｍｍ）してきている。
【０００４】
そして、このようなガラス基板を搬入・搬出する際には、積層されたガラス基板の間に合紙等のスペーサを挿入して、該ガラス基板を保護している。また、大型化したガラス基板を搬入・搬出する際には、スペースの有効活用等の観点から、積層されたガラス基板及びスペーサを、台車に立て掛けた状態、すなわち、ガラス基板及びスペーサを所定の角度で立設させた状態で流通する方式がとられている。
【０００５】
このように傾斜積層された大型のガラス基板を、加工ラインに移載する際には、互いに密着したガラス基板とスペーサとを分離させて移載する必要があるが、ガラス基板をスペーサから分離させる際、あるいは、スペーサをガラス基板から分離させる際に、スペーサがガラス基板に付着し易く、分離作業に時間がかかり人手での作業性に問題を生じていた。
【０００６】
また、かかるガラス基板は、その厚さが薄く（例えば、０．５ｍｍ〜０．７ｍｍ程度）、傷や割れ等が生じやすいため、基板サイズの大型化と相俟って、人手での作業が困難となってきており、また、ガラス基板を加工ラインに供給する時間間隔（処理タクト）も年々、短縮化が求められてきており、こうした観点からも人手での作業が困難となってきている。
【０００７】
そこで、こうしたガラス基板及びスペーサを分離して搬送し、所定の加工ラインに供給するための移載装置が種々提案されている（例えば、特許文献１〜３参照）。
【０００８】
ここで、特許文献１には、ガラス基板を吸着して移送するための吸着機構を有するガラス基板移送用ハンドと、合紙等のスペーサを吸着するためのスペーサ吸着ノズルと、スペーサをエアーブローによりガラス基板から剥離させるための吹き付けノズルと開閉式チャックとを有するスペーサ取得機構とを備え、吸着機構とスペーサ取得機構とを交互に動作させることにより、ガラス基板をスペーサから分離して移送するガラス基板の移送装置が開示されている。
【０００９】
また、特許文献２には、アームの先端に取り付けられたフレームの一辺から遠近動可能で前方へ突出する圧接部材と、該圧接部材に着脱自在でその前方へ突出する押圧部材と、前後動自在でスペーサと当接して吸着する吸着部材を設け、ガラス基板の下端あるいは側端から突出するスペーサの端部を固定して、ガラス基板とスペーサとを分離して搬送するガラス基板の移載装置が開示されている。
【００１０】
さらに、特許文献３には、パレット上のガラス基板を吸着する吸着盤及びスペーサを吸着する吸着パッドを個別に上下動、突出入するようにし、さらに吸着盤のストロークを二段直進状にすることにより吸着支持したガラス基板とスペーサとの隙間を規制し、スペーサの下縁を吸着した吸着パッドの首振り回動によりスペーサを所定の場所に落下させて移載するガラス基板の移載装置が開示されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上記特許文献に開示された先行技術においては、いずれも次のような問題点を有していた。
【００１２】
例えば、特許文献１に開示された先行技術においては、傾斜積層されたガラス基板へのアプローチが困難であると共に、移載用ハンドにガラス基板の吸着機構及びスペーサ取得機構が一体化されているため、ガラス基板の分離搬送とスペーサの分離搬送とを併行して行うことができず、高速化が困難であるという問題を生じていた。
【００１３】
また、特許文献２に開示された先行技術においては，ガラス基板の一辺からはみ出したスペーサの端部を、押圧部材により押圧して一旦固定し、該固定部を吸着部材により吸着してスペーサの分離を行うものであり、スペーサの分離動作中に該スペーサが後面のガラス基板表面に静電力等により付着し易いという問題を生じていた。
【００１４】
さらに、特許文献３に開示された先行技術においては、ガラス基板の周縁から、はみ出さないように配置されたスペーサに対しても吸着可能な構成を採用しているが、特許文献２に開示された先行技術と同様に、スペーサの端部を押圧部材により押圧して一旦固定し、該固定部を吸着部材により吸着してスペーサの分離を行うものであり、分離動作中にスペーサが後面のガラス基板表面に付着し易いという同様な問題を有していた。
【００１５】
こうしたスペーサの分離動作中に、該スペーサが後面のガラス基板の表面に付着し易いという傾向は、特に、近年の大型化され、かつ、傾斜積層されたガラス基板からスペーサを分離させる際に顕著に現われる。すなわち、このように傾斜積層されたガラス基板から合紙等のスペーサを分離させる際に、スペーサの一端部等を吸着してガラス基板から分離させる場合には、大型化されたスペーサの自由端がその自重により撓んだり落下したりし、あるいは、静電力等により、その分離・搬送動作の途中で基板表面に付着し易くなってきている。
【００１６】
また、このような付着状態から、先行技術に開示されたような吸着手段により、スペーサをさらに引っ張って、ガラス基板の表面から分離させようとすると、吸着手段がスペーサから脱落してスペーサの安定した分離が行われないといった問題や、スペーサに皺やたるみが発生し、これにより、一層スペーサがガラス基板に接触して付着し易くなり、該スペーサが分離し難くなるといった問題や、スペーサ自体を破損するといった問題を生じていた。
【００１７】
さらには、スペーサが次のガラス基板の表面に付着した状態から、より強力な吸引力等により、引き剥がそうとすると、スペーサがガラス基板と摺接して、スペーサに付着した塵埃等によりガラス基板の表面を擦りつけ、その表面を傷つけてしまうといった問題が生じていた。
【００１８】
そして、このようなガラス基板表面の傷は、高精度・高密度な加工が施されるその後の加工工程に重大な影響を及ぼし、品質欠陥等が発生する要因となるので、スペーサの分離の際に傷ついたガラス基板の表面を研磨するための研磨工程が別途必要になるといった虞も生じていた。
【００１９】
また、ある程度の表面加工が施されたガラス基板を、一旦、台車に搬入して、別の加工ラインに供給する場合もあり、このような表面処理が施されたガラス基板を加工ラインに移載する際に、その表面を傷つけてしまうことは、加工処理のやり直しや、ひいては、ガラス基板の廃棄に至るといった虞が生じ、生産性や歩留まりが低下するといった問題を生じていた。
【００２０】
そこで、本発明は、上述のような従来技術の問題点に鑑みて、傾斜積層されたガラス基板及びスペーサの分離搬送を併行して行い、作業の高速化を実現すると共に、スペーサをガラス基板から分離させる際に、ガラス基板の表面と摺接させることなく確実に分離し、分離・搬送動作中のスペーサの皺やたるみの発生や、摺接によるガラス基板への傷の発生を防止することができるガラス基板の移載装置を、簡易な構成でコンパクト・安価に提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上記目的を達成するために、本発明のガラス基板の移載装置は、ガラス基板とスペーサとが交互に積層され、所定の傾斜角度で傾斜配置された状態から、ガラス基板及びスペーサのそれぞれを所定の場所へ移載するガラス基板の移載装置において、所定の位置に配された最前部のガラス基板を吸着して、該ガラス基板を所定の場所に移載する基板搬送手段と、前記最前部のガラス基板の後面に配されたスペーサを吸着して、次のガラス基板表面から分離し所定の場所に移載するスペーサ分離搬送手段とを備え、前記スペーサ分離搬送手段は、前記基板搬送手段が前記ガラス基板を吸着する際には、前記スペーサの一辺を固定すると共に、前記スペーサを分離搬送する際には、該固定辺を中心とした円軌道を描くようにスペーサを回転させて、該スペーサを次のガラス基板の表面と摺接させずに該ガラス基板と分離して搬送することを特徴とするものである。
【００２２】
ここで、スペーサとは、いわゆる合紙等の紙材に限定されるものではなく、例えば、ポリプロピレン等で形成された樹脂製のシート材をも含むものとする。
【００２３】
このように構成した本発明のガラス基板の移載装置は、ガラス基板とスペーサとが交互に積層され、所定の傾斜角度で傾斜配置された状態から、ガラス基板及びスペーサのそれぞれを所定の場所へ移載するガラス基板の移載装置において、基板搬送手段と、スペーサ分離搬送手段とを備え、スペーサ分離搬送手段は、基板搬送手段がガラス基板を吸着する際には、スペーサの一辺を固定すると共に、スペーサを分離搬送する際には、該固定辺を中心とした円軌道を描くようにスペーサを回転させて、該スペーサを次のガラス基板の表面と摺接させずに該ガラス基板と分離して搬送するので、ガラス基板の分離搬送とスペーサの分離搬送との並行作業を可能とし、作業の高速化を実現することができる。また、スペーサをガラス基板から分離する際に、スペーサが次のガラス基板へ付着することを防止すると共に、スペーサの分離・搬送動作中にスペーサがガラス基板の表面に擦り付けられることによる基板表面の傷の発生を防止し、かつ、スペーサの分離・搬送動作中のスペーサの皺等の発生を防止して、その再利用を容易にするガラス基板の移載装置を簡易な構成で、コンパクト・安価に提供することができる。
【００２４】
また、前記スペーサ分離搬送手段は、前記スペーサの上辺部を前記次のガラス基板の上端部に押さえ付けて固定するスペーサ押さえローラと、前記ガラス基板の所定の傾斜角度よりも緩やかな傾斜角度で配設された傾斜ガイドレールに沿って移動可能に形成され、前記スペーサの両側辺を把持するサイドチャックと、前記スペーサの下辺部を吸着保持して搬送するスペーサ保持手段とを備え、前記スペーサは、前記スペーサ押さえローラにより固定されたスペーサの上辺部を中心に、前記スペーサ保持手段により前記傾斜ガイドレールと略平行となるまで回転されて、前記サイドチャックにより前記上辺部近傍を把持されてもよい。
【００２５】
ここで、本明細書中における傾斜角度とは、水平面からの傾斜角度をいうものとする。すなわち、鉛直面に近づくほど傾斜角度は急となり、水平面に近づくほど傾斜角度は緩やかになるものとする。
【００２６】
このように構成した場合には、スペーサ分離搬送手段が、スペーサの上辺部を次のガラス基板の上端部に押さえ付けて固定するスペーサ押さえローラと、ガラス基板の所定の傾斜角度よりも緩やかな傾斜角度で配設された傾斜ガイドレールに沿って移動可能に形成され、スペーサの両側辺を把持するサイドチャックと、スペーサの下辺部を吸着保持して搬送するスペーサ保持手段とを備え、サイドチャックでスペーサを把持する際には、スペーサが、スペーサ押さえローラにより固定されたスペーサの上辺部を中心に、スペーサ保持手段により傾斜ガイドレールと略平行となるまで回転されて、サイドチャックにより上辺部近傍を把持されるので、サイドチャックの把持姿勢を調整することなく、スペーサの側辺に直線的にアプローチすることができ、サイドチャックの自由度削減による機構の簡素化及び制御の簡素化を図ることが可能となり、これにより、小型化・コストダウンに寄与することができる。また、スペーサに所定の円軌道を描かせることにより、スペーサの下辺部の吸着が脱落することを防止し、併せて、スペーサの上辺部と下辺部とを保持することにより、分離・搬送動作中におけるスペーサのたるみや皺の発生を防止して、ガラス基板への付着・摺接を防止することができる。
【００２７】
さらに、前記スペーサ保持手段は、前記スペーサの表面を吸着して前記傾斜ガイドレールと略平行となるまで円軌道を描かせるように回転させて次の基板表面から分離する、スペーサの幅方向に亘って配設された複数の吸着パッドを備え、前記スペーサを該複数の吸着パッドにより吸着分離する際には、前記スペーサの幅方向両端部に対応する吸着パッドから中央部に対応する吸着パッドに向かって、順次、吸着して分離してもよい。
【００２８】
このように構成した場合には、スペーサ保持手段が、スペーサの表面を吸着して傾斜ガイドレールと略平行となるまで円軌道を描かせるように回転させて次の基板表面から分離する、スペーサの幅方向に亘って配設された複数の吸着パッドを備え、スペーサを該複数の吸着パッドにより吸着分離する際には、スペーサの幅方向両端部に対応する吸着パッドから中央部に対応する吸着パッドに向かって、順次、吸着して分離するので、幅方向全域に亘って一斉に吸着して分離する場合に比し、より少ない吸引力でスムーズにスペーサとガラス基板との分離を行うことができる。
【００２９】
さらにまた、前記スペーサ保持手段は、前記スペーサが、前記傾斜ガイドレールと略平行となった時点で、前記スペーサの下辺部両端近傍を把持するロウアーチャックをさらに備えてもよい。
【００３０】
このように構成した場合には、スペーサ保持手段は、前記スペーサが、前記傾斜ガイドレールと略平行となった時点で、前記スペーサの下辺部両端近傍を把持するロウアーチャックをさらに備えるので、サイドチャック及びロウアーチャックによりスペーサの四隅端部を確実に把持して、該スペーサに対して常に一定の張力を加えることができ、スペーサ搬送中の皺やたるみの発生を防止し、スペーサ搬送中におけるガラス基板への付着及び付着摺接によるガラス基板の傷の発生をより確実に防止することができる。併せて、スペーサの状態をより良好に維持して、その再利用をより一層容易とすることができる。
【００３１】
さらにまた、前記基板搬送手段と、前記スペーサ保持手段とは、前記ガラス基板の所定の搬送場所を介して上下に配設されていると共に、各々水平移動可能に形成されており、前記基板搬送手段が吸着分離したガラス基板を所定の移載場所に向かって水平方向に移動しつつ前記ガラス基板の姿勢を略水平にした際に、前記スペーサ保持手段は、スペーサに向かって水平方向に移動して前記スペーサの分離を行ってもよい。
【００３２】
このように構成した場合には、基板搬送手段と、スペーサ保持手段とは、ガラス基板の所定の搬送場所を介して上下に配設されていると共に、各々水平移動可能に形成されており、基板搬送手段が吸着分離したガラス基板を所定の移載場所に向かって水平方向に移動しつつガラス基板の姿勢を略水平にした際に、スペーサ保持手段は、スペーサに向かって水平方向に移動してスペーサの分離を行うので、基板搬送手段とスペーサ保持手段との移動空間を上下に分離でき、それぞれの分離搬送手段を互いに干渉させることなく、より簡易な駆動制御にて並行作業を容易に実現することができ、これにより、一層の装置のコンパクト化、作業の高速化に寄与することが可能となる。
【００３３】
以上において、前記スペーサ分離搬送手段が、前記スペーサを回転させて、次のガラス基板から分離させた際に、該分離によって形成されるスペーサと次のガラス基板との間の空間に、スペーサの帯電極性と逆極性に帯電させたイオン化空気流を吹き付ける除電手段をさらに備えてもよい。
【００３４】
このように構成した場合には、スペーサ分離搬送手段が、スペーサを回転させて、次のガラス基板から分離させた際に、該分離によって形成されるスペーサと次のガラス基板との間の空間に、スペーサの帯電極性と逆極性に帯電させたイオン化空気流を吹き付ける除電手段をさらに備えるので、ガラス基板間で帯電されたスペーサを除電し、静電気力によるスペーサと次のガラス基板との付着を防止することができ、これにより、スペーサとガラス基板との分離をより効果的に確実に行うことができる。
【００３５】
また、前記ガラス基板及びスペーサは、その最前部のガラス基板が、常に、所定の位置となるように所定のタイミングで移動してもよい。
【００３６】
このように構成した場合には、ガラス基板及びスペーサは、その最前部のガラス基板が、常に、所定の位置となるように所定のタイミングで移動するので、常に、一定の位置でガラス基板及びスペーサの取り出し分離が行われるので、簡易な搬送制御で、安定性・確実性の高いガラス基板及びスペーサの分離搬送が可能となる。
【００３７】
本発明に係るガラス基板の移載方法は、ガラス基板とスペーサとが交互に積層され、所定の傾斜角度で傾斜配置された状態から、ガラス基板及びスペーサのそれぞれを所定の場所へ移載するガラス基板の移載方法において、前記積層されたガラス基板のうち、最前部のガラス基板を吸着する際には、後面に配されたスペーサの一辺を固定し、該ガラス基板をスペーサから分離して所定の場所に移載し、前記ガラス基板が傾斜配置された状態から所定の場所に移載される間に、前記スペーサの固定辺を中心として該スペーサを一定の回転半径を維持するように回転させて、スペーサの四隅近傍を保持した後、該スペーサの一辺の固定を解除して、スペーサを次のガラス基板の表面と摺接させずに該ガラス基板と分離して搬送することを特徴とするものである。
【００３８】
このような本発明に係るガラス基板の移載方法によれば、ガラス基板の分離搬送作業と、スペーサの分離搬送作業とを併行して行い、作業の高速化を実現すると共に、スペーサをガラス基板から分離させる際に、スペーサの固定辺を中心として該スペーサを一定の回転半径を維持するように回転させて分離し、その後、スペーサの四隅近傍を保持した後、該スペーサの一辺の固定を解除して、スペーサを次のガラス基板の表面と摺接させずに該ガラス基板と分離して搬送するので、スペーサの分離及び搬送動作中における該スペーサのガラス基板への付着や摺接を防止してガラス基板への傷の発生を確実に防止し、かつ、スペーサの皺やたるみの発生を防止して、その再利用を容易にするガラス基板の移載方法を提供することができる。
【発明の効果】
【００３９】
本発明によれば、簡易な構成で、傾斜積層されたガラス基板及びスペーサの分離搬送の併行作業が可能となり、作業の高速化に寄与すると共に、スペーサをガラス基板から分離させる際に、ガラス基板の表面と摺接させることなく確実に分離し、分離・搬送動作中のスペーサの皺やたるみの発生や、摺接によるガラス基板への傷の発生を防止することができるガラス基板の移載装置を、コンパクト・安価に実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
［全体構成］
【００４１】
まず、本発明に係るガラス基板の移載装置の概要について、図１を参照して説明する。図１は、本発明に係るガラス基板の移載装置の一実施の形態を示す概略構成図である。
【００４２】
本発明に係るガラス基板の移載装置は、図１に示されるように、台車Ｄに収容され所定の傾斜角度で立設されたガラス基板Ｇ及びスペーサＳが交互に積層された状態から、所定の取り出し位置より、ガラス基板Ｇ及びスペーサＳのそれぞれを取り出し、各ガラス基板Ｇ及びスペーサＳのそれぞれを所定の位置に搬送するものである。また、ガラス基板Ｇを分離搬送する際には、後面のスペーサＳの付着を防止すると共に、スペーサＳを分離搬送する際には、後面のガラス基板Ｇの表面を摺接することなく（ガラス基板Ｇの表面を擦り付けることなく）、スペーサＳをガラス基板Ｇから分離して搬送集積することを可能とするものである。
【００４３】
なお、本実施の形態において、スペーサＳは、傾斜立設されたガラス基板Ｇ間の上端部からさらに上方にはみ出すように配設されている。
【００４４】
図１に示されるように、本発明に係るガラス基板の移載装置１は、方形の枠体であるフレーム３を備え、このフレーム３の長手方向一端部には、不図示の搬送用コンベアと連接可能に、その表面に搬送ローラが配設された、ガラス基板Ｇの所定の移載場所である水平な基板ステージＧＳが形成されている。一方、フレーム３の他端部（基板ステージＧＳと反対側の端部）には、所定の傾斜角度（例えば、８０°〜８５°）で配置されたガラス基板Ｇ及びスペーサＳが収容された台車Ｄが台車移動ユニットＤＤ上に配設されている。この台車移動ユニットＤＤは、所定のピッチで傾斜積層されたガラス基板Ｇ及びスペーサＳを収容した台車Ｄを、その最前部に積載されたガラス基板Ｇが、常に一定の位置となるように、ガラス基板Ｇ及びスペーサＳの移載が完了した時点で、台車Ｄごと所定のピッチだけ移動させるものであり、オペレータによりセットされた台車Ｄを傾斜面ＤＳに沿って、台車Ｄごと移動させる不図示の移動機構を備えている。
【００４５】
このような台車移動ユニットＤＤを用いることにより、ガラス基板Ｇ及びスペーサＳの取り出しが、常に、所定の位置で行われるので、後述するガラス基板搬送手段及びスペーサ分離搬送手段の構成及び制御を簡素化することができ、かつ、安定した分離搬送作業の実現が可能となる。
【００４６】
さらに、積層されたガラス基板Ｇ及びスペーサＳと基板ステージＧＳとの間には、フレーム３の下面の長手方向中央部にスペーサ収納ストッカＳＳが設けられている。
【００４７】
また、フレーム３の長手方向に延在する上部長手フレーム３ａ，３ａには、その上面部に不図示のガイドレールがそれぞれ形成されており、この上部長手フレーム３ａ，３ａの上部には、ガイドレールに沿って長手方向に水平移動可能に形成された可動フレーム５が上部長手フレーム３ａ，３ａに亘って幅方向（長手方向と直交する方向）に配設されている。そして、この可動フレーム５の幅方向略中央部には、所定の位置に配置されたガラス基板Ｇを吸着して基板ステージＧＳに搬送するガラス基板搬送ユニット１０が懸装されている。
【００４８】
一方、基板ステージＧＳの下方空間には、積層されたガラス基板Ｇ間に介在するスペーサＳを吸着分離して搬送するスペーサ搬送ユニット３０が収容されており、このスペーサ搬送ユニット３０は、ガラス基板搬送ユニット１０と同様に、他端部に配置されたスペーサＳに近接可能なように、不図示のガイドレールに沿って水平移動可能に形成されている。
【００４９】
また、所定の位置に配設された最前部のガラス基板Ｇの上方には、該ガラス基板Ｇの後面に配置されたスペーサＳの上辺部を固定するスペーサ押さえユニット２０が幅方向に延在するように配設されている。
【００５０】
さらに、このスペーサ押さえユニット２０の幅方向両端部近傍には、傾斜立設された傾斜フレームに沿って摺動自在に形成され、スペーサＳの側辺を把持して搬送するサイドチャックを有するサイドチャックユニット４０が配設されている。
【００５１】
なお、符号５０は、各構成ユニットの制御を行うコントローラユニットである。
【００５２】
このように構成した本実施の形態に係る移載装置１においては、ガラス基板搬送ユニット１０が基板搬送手段に対応し、スペーサ押さえユニット２０、スペーサ搬送ユニット３０、サイドチャックユニット４０にてスペーサ分離搬送手段が構成されている。
【００５３】
次に、上述した本発明に係るガラス基板の移載装置の主要部の構成について、図面を参照してさらに説明する。
［ガラス基板搬送ユニット１０］
【００５４】
まず、ガラス基板の吸着分離を行うガラス基板搬送ユニット１０の構成について、図２を参照して説明する。
【００５５】
本発明に係るガラス基板搬送ユニット１０は、図２に示されるように、フレーム３の長手方向に移動可能に形成された可動フレーム５と、この可動フレーム５の幅方向略中央部に懸装された、例えば、シリンダから構成される上下方向に伸縮する伸縮部１０１と、この伸縮部１０１の先端にガラス基板Ｇと対向する方向に回転自在に形成された回転軸１０３と、この回転軸１０３を介してガラス基板Ｇと対向可能に配設された板状の基板吸着面１０５とを備えている。そして、この基板吸着面１０５には、複数の基板吸着パッド１０７，１０７・・が設けられており、この基板吸着パッド１０７，１０７・・をガラス基板Ｇに圧接させて不図示の負圧源により吸引することにより、ガラス基板Ｇの吸着分離を行うようになっている。
【００５６】
このように構成した本発明に係るガラス基板搬送ユニット１０においては、傾斜積層されたガラス基板Ｇを吸着して、所定の基板ステージＧＳ上に水平姿勢で搬送すると共に、加工処理が完了したガラス基板Ｇを搬送コンベア上から搬出し、台車Ｄ上に順次傾斜積層することも可能となっている。
［スペーサ押さえユニット２０］
【００５７】
次に、本発明に係るスペーサ押さえユニット２０の構成について、図３を参照して説明する。
【００５８】
図３に示されるように、本発明に係るスペーサ押さえユニット２０は、所定の位置に配設された最前部のガラス基板Ｇの上方に、幅方向に延在するように配設されており、回転軸２０１と、この回転軸２０１の両端部に連結された逆Ｚ字状の回転支持部材２０３，２０３と、回転支持部材２０３，２０３のガラス基板Ｇ側先端部２０３ｄ，２０３ｄ間に取り付けられたローラ軸２０４と、このローラ軸２０４に取り付けられた複数の押さえローラ２０５，２０５・・とを備えている。そして、回転支持部材２０３，２０３の他端部２０３ｕ，２０３ｕは、それぞれ駆動シリンダ２０７に接続されており、この駆動シリンダ２０７を伸縮駆動することにより、回転支持部材２０３，２０３が回転軸２０１回りに回転され、先端の複数の押さえローラ２０５，２０５・・が、ガラス基板Ｇの上方からはみでたスペーサＳの上辺部に対して接離可能に移動するようになっている。具体的には、回転支持部材２０３を、例えば、図中、時計回り方向に回転させることにより、スペーサＳの上辺部が複数の押さえローラ２０５，２０５・・により、後面のガラス基板Ｇの上端部に押さえつけられて固定され、回転支持部材２０３を、図中、反時計回り方向に回転させることにより、当該固定が解除されるようになっており、簡易な構成でスペーサＳの上辺部の固定・解除が行えるようになっている。
［スペーサ搬送ユニット３０］
【００５９】
次に、本発明に係るスペーサ保持手段であるスペーサ搬送ユニット３０の構成について、図４を参照して説明する。図４は、スペーサ搬送ユニット３０のケーシング内部の構成を示す模式的断面図である。
【００６０】
本発明に係るスペーサ搬送ユニット３０は、基板ステージＧＳの下方空間内に収容可能であり、図４に示されるように、この基板ステージＧＳ下方から、ガラス基板Ｇの所定の取り出し位置に水平移動可能なケーシング３０１を備えている。そして、このケーシング３０１は、その内側面３０１Ｓに形成されたガイド部３０３，３０３に沿って移動可能に形成された、幅方向に亘って延在するロール部材３０５と、このロール部材３０５の両端部に接続された屈曲アーム３０７，３０７と、屈曲アーム３０７，３０７の先端部に、幅方向に延在するように配設された吸着支持部材３０９と、この吸着支持部材３０９に沿って、幅方向に配設された複数のスペーサ吸着パッド３１０とを備えている。
【００６１】
ここで、屈曲アーム３０７，３０７の先端に設けられた複数の吸着パッド３１０，３１０・・は、スペーサＳの幅方向略全域に対応するように配置されており、その配置数は任意に設定することができる。また、ガイド部３０３，３０３は、ロール部材３０５が、このガイド部３０３，３０３に沿って移動した際、屈曲アーム３０７，３０７の先端に設けられた複数の吸着パッド３１０，３１０・・が、複数の押さえローラ２０５，２０５・・によって固定されたスペーサＳの固定辺を中心とした円軌道を描くように形成されている。さらに、屈曲アーム３０７の屈曲角度は、当該屈曲アーム３０７が、スペーサＳにアプローチした際、その先端部がスペーサＳの表面と対向する（スペーサＳの表面と吸着パッド３１０，３１０・・の吸着面とが密着する）ように設定されている。
【００６２】
さらに、ケーシング３０１の下方先端縁の幅方向両端部近傍には、後述する傾斜フレーム４０１の傾斜方向と同方向に伸縮する伸縮軸３１３を備え、スペーサＳの下辺部を把持するハンド状の開閉可能なロウアーチャック３１５，３１５が配設されている。
【００６３】
このように構成された本発明のスペーサ搬送ユニット３０においては、複数の吸着パッド３１０，３１０・・によりスペーサＳの下辺部を吸着し、押さえローラ２０５，２０５・・により固定されたスペーサＳの上部固定辺を中心とした円軌道を描くように、スペーサＳを回転させた後、ロウアーチャック３１５，３１５により、スペーサＳの下辺部を把持し、後述するサイドチャックユニット４０と共に、スペーサＳを所定のスペーサ収納ストッカＳＳ内に収容するようになっている。
【００６４】
また、スペーサＳに円軌道を描かせる際には、ケーシング３０１内に形成された所定のガイド部３０３によってその軌道を描かせるので、スペーサＳの先端の空間上の軌跡を演算等により求めて制御する場合に比し、簡易な構成及び制御で所定の軌跡を実現することができる。
［サイドチャックユニット４０］
【００６５】
次に、本発明に係るサイドチャックユニット４０の構成について、図５を参照して説明する。図５は、サイドチャックユニット４０は、スペーサアプローチ方向から見た模式的構成図である。
【００６６】
本発明に係るサイドチャックユニット４０は、図５に示されるように、所定の位置に配置された最前部のガラス基板Ｇの幅方向両端部近傍に配設された傾斜フレーム４０１，４０１と、この傾斜フレーム４０１，４０１に沿って摺動自在に形成され、スペーサＳの側辺を把持するサイドチャック４０５，４０５とを備えている。
【００６７】
傾斜フレーム４０１，４０１は、最前部のガラス基板Ｇの上部後方側（台車Ｄ側）から下部前方側（基板ステージＧＳ側）に向かって傾斜配置（図１参照）されており、この傾斜フレーム４０１，４０１の上面側には、傾斜フレーム４０１，４０１の傾斜に沿った傾斜ガイドレール４０３，４０３がそれぞれ形成されている。ここで、傾斜フレーム４０１，４０１は、ガラス基板Ｇの所定の傾斜角度（例えば、８０°〜８５°）よりも緩やかな傾斜角度（例えば、６０°〜７５°）で傾斜配置されている。さらに、この傾斜フレーム４０１，４０１の内側のそれぞれには、傾斜ガイドレール４０３，４０３に沿って摺動自在であると共に、幅方向に伸縮可能な伸縮軸４０４，４０４を有し、スペーサＳの側辺を把持するハンド状の開閉可能なサイドチャック４０５，４０５が配設されている。
【００６８】
このように構成された本発明のサイドチャックユニット４０においては、傾斜フレーム４０１，４０１に摺動自在に取り付けられたサイドチャック４０５，４０５の把持姿勢を変更することなく、前述したスペーサ搬送ユニット３０の吸着パッド３１０，３１０・・によるスペーサＳの所定の回転動作と相俟って、スペーサＳの側辺に対して直線的にアプローチするだけでスペーサＳを把持固定できるので、サイドチャック４０５，４０５の姿勢を変更するための回転軸等の自由度を付加することなく、必要最小限の自由度構成でコンパクトに安価にスペーサＳの側辺を把持するサイドチャックユニット４０を実現することができる。
【００６９】
次に、上述のように構成された本発明に係るガラス基板の移載装置１の動作について、図６〜図８を参照して説明する。ここで、図６は、ガラス基板Ｇの分離搬送動作を中心に示す模式図であり、図７は、スペーサＳの分離搬送動作を中心に示す模式図であり、図８は、スペーサＳの分離動作を示す拡大図である。
【００７０】
まず、ガラス基板Ｇの分離動作について、図６Ａ，図６Ｂを参照して説明する。
【００７１】
オペレータが、所定のピッチで交互に傾斜積層されたガラス基板Ｇ及びスペーサＳを収容した台車Ｄを、台車移動ユニットＤＤの所定の位置にセットすると、コントローラユニット５０からの指示により、ガラス基板Ｇ及びスペーサＳが積層された台車Ｄは、図６Ａに示されるように、傾斜面ＤＳに沿って矢印ａ方向に移動し、その最前部に搭載されたガラス基板Ｇが所定の位置となった時点で停止する。なお、この所定の位置を検出するためのセンサとしては、例えば、光センサや、リミットスイッチ等の既存の位置検出スイッチを用いることができる。また、本実施の形態においては、台車Ｄに交互に傾斜積層されたガラス基板Ｇ及びスペーサＳの最前部側（基板ステージＧＳ側）がガラス基板Ｇとなり、最後部側（台車Ｄ側）がスペーサＳとなるようにセットされている。
【００７２】
次に、オペレータからの作業開始指示に基づき、コントローラユニット５０を介して、作業開始指令が、移載装置１に出力され、この指令に基づき、ガラス基板搬送ユニット１０が、基板ステージＧＳ上の待機位置（図中、破線で示された位置）から台車Ｄ側に、可動フレーム５により矢印ｂ方向に水平移動しつつ、伸縮部１０１及び回転軸１０３により、基板吸着面１０５が、最前部のガラス基板Ｇの表面と平行に対向するように、その姿勢を制御する。そして、基板吸着面１０５の複数の吸着パッド１０７，１０７・・が、所定の位置に配置された最前部のガラス基板Ｇの表面と圧接するような所定の位置で停止する。
【００７３】
この時、スペーサ押さえユニット２０は、回転支持部材２０３，２０３が、最前部のガラス基板Ｇの後面のスペーサＳを次のガラス基板Ｇの上端部に押さえつけるように回転し、先端の押さえローラ２０５，２０５・・により、スペーサＳの上辺部を固定し、最前部のガラス基板Ｇの吸着分離に備えている。なお、傾斜積層されたガラス基板Ｇ及びスペーサＳの最後部のスペーサＳをスペーサ押さえユニット２０により固定する際は、次のガラス基板Ｇが存在しないので、台車Ｄの上端部に押さえつける。
【００７４】
次に、ガラス基板搬送ユニット１０は、不図示の負圧源に接続された複数の吸着パッド１０７，１０７・・により、ガラス基板Ｇを吸引し、ガラス基板Ｇの吸着分離を開始する。この際、ガラス基板搬送ユニット１０は、図６Ｂに示されるように、吸着されたガラス基板Ｇの上辺部が、下辺部に比し、先にスペーサＳから分離するように、基板吸着面１０５の姿勢を変化させる（回転軸１０３により、ガラス基板Ｇの傾斜方向と反対方向に基板吸着面１０５を回転させる）。そして、ガラス基板Ｇの上辺部がスペーサＳと分離した時点で、該分離空間に対して、押さえローラ２０５近傍に配設された不図示の噴射ノズルにより、ガラス基板Ｇの上方から下方に向かってエアーＦを吹き付ける。
【００７５】
これにより、ガラス基板搬送ユニット１０に吸着されたガラス基板Ｇの裏面に、スペーサＳが引き摺られることなく、確実に、ガラス基板ＧをスペーサＳから分離することができる。
【００７６】
次に、図７Ａ〜図７Ｃ，図８を参照して、スペーサＳの分離搬送動作について説明する。
【００７７】
図７Ａに示されるように、ガラス基板搬送ユニット１０は、スペーサＳから吸着分離したガラス基板Ｇの姿勢を水平に変更しつつ、可動フレーム５により台車Ｄ側から基板ステージＧＳ側へ矢印ｃ方向に沿って水平移動し、基板ステージＧＳ上にて吸着パッド１０７，１０７・・による吸引を解除してガラス基板Ｇの移載を完了する。
【００７８】
一方、ガラス基板搬送ユニット１０がガラス基板Ｇの姿勢を略水平にした時点で、基板ステージＧＳの下方に配置されたスペーサ搬送ユニット３０は、台車Ｄ側に向かって水平移動し、所定の位置で停止した後、ロール部材３０５が、ガイド部３０３，３０３に沿ってスペーサＳ側に移動し、屈曲アーム３０７の先端に設けられた吸着パッド３１０，３１０・・がスペーサＳの表面を圧接する所定の位置で停止する（図４参照）。
【００７９】
このように、ガラス基板搬送ユニット１０とスペーサ搬送ユニット３０とを、基板ステージＧＳを介して上下に分離配置し、ガラス基板搬送ユニット１０により吸着搬送されるガラス基板Ｇの姿勢が略水平となった時点で、スペーサ搬送ユニット３０が矢印ｄ方向に沿って水平移動し、スペーサＳにアプローチすることにより、ガラス基板搬送ユニット１０の移動空間と、スペーサ搬送ユニット３０の移動空間とが上下に分離され、それぞれのユニット１０，３０の移動範囲を互いに干渉させることなく、ガラス基板Ｇの分離搬送とスペーサＳの分離搬送との併行作業を各ユニット１０，３０の簡易な駆動制御で行うことができ、これにより、一層の作業の高速化（処理タクトの短縮化）及び装置のコンパクト化が可能となる。
【００８０】
その後、スペーサ搬送ユニット３０は、図７Ｂに示されるように、吸着パッド３１０，３１０・・により、スペーサＳの吸引を開始すると共に、吸着保持したスペーサＳを、スペーサ押さえユニット２０の押さえローラ２０５，２０５・・により固定されたスペーサＳの固定辺を中心として、矢印ｅ方向に沿った円軌道を描くように回転させる。
【００８１】
このスペーサＳの分離動作について図８を参照してさらに説明する。
【００８２】
図８に拡大して示されるように、スペーサ搬送ユニット３０は、吸着パッド３１０，３１０・・により、スペーサＳの吸着を開始した後、屈曲アーム３０７が取り付けられたロール部材３０５を、ガイド部３０３，３０３に沿って基板ステージＧＳ側に移動させて（図４参照）、スペーサＳの下辺部の吸着パッド３１０，３１０・・による吸着位置と押さえローラ２０５，２０５・・による固定位置とのスペーサ長手方向に沿った距離を回転半径とし、スペーサＳをこの一定の回転半径を維持したまま矢印ｅ方向に沿って回転させる。すなわち、スペーサＳの押さえローラ２０５により固定された上部固定辺と対向する下部対向辺を吸着パッド３１０，３１０・・により吸着し、この下部対向辺が該上部固定辺を中心とした円軌道を描くように回転させる。
【００８３】
なお、吸着パッド３１０，３１０・・により、スペーサＳの吸着を行う際には、スペーサＳの幅方向両端部に対応する吸着パッドから、中央部に対応する吸着パッドに沿った順序で、順次吸引を行うと共に、スペーサＳの下辺部が次のガラス基板Ｇと分離し始めた時点で、スペーサＳの所定の取り出し位置下方近傍に配置された除電器３２０により、イオン化空気流ＩＦをスペーサＳの下方から上方に向かって吹き付ける。ここで、除電器３２０は、イオン化された空気流ＩＦを吹き付ける噴射ノズルであり、例えば、ガラス基板Ｇ間に介在するスペーサＳが静電気によりマイナスに帯電されている場合には、これと逆極性のプラスにイオン化された空気流ＩＦを吹き付けるものである。
【００８４】
このようにスペーサＳの幅方向両端部に対応する吸着パッド３１０から順次吸引を開始することにより、幅方向全域に亘って全吸着パッド３１０，３１０・・により同時に吸引を行う場合に比し、より小さな吸引力でスムーズにスペーサＳの分離を行うことができる。
【００８５】
また、このような分離動作により形成された下方空間に、イオン化空気流ＩＦを噴射することにより、除去する際に後面のガラス基板Ｇの表面に付着し易い、ガラス基板Ｇ間で帯電されたスペーサＳの除電を行い、静電気力による次のガラス基板Ｇの表面へのスペーサＳの付着をより確実に防止し、スペーサＳのスムーズな分離を促進することができる。
【００８６】
さらに、所定の円軌道を描くようにスペーサＳを回転させることにより、分離動作中のスペーサＳの表面と、吸着パッド３１０，３１０・・が取り付けられた屈曲アーム３０７，３０７・・の先端部との角度を、略垂直に維持することができ、これにより、常に、吸着パッド３１０，３１０・・の吸着面とスペーサＳの表面とを密着状態に維持し、分離動作中の吸着パッド３１０，３１０・・がスペーサＳから脱落することを防止すると共に、スペーサＳにたるみや皺が発生することがなく、分離動作中のスペーサＳのガラス基板Ｇへの付着を防止し、安定した分離動作を行うことが可能となる。
【００８７】
次に、スペーサ搬送ユニット３０により、スペーサＳがサイドチャックユニット４０の傾斜フレーム４０１，４０１の傾斜角度と略平行となる位置まで回転した時点で、サイドチャックユニット４０のサイドチャック４０５，４０５及びスペーサ搬送ユニット３０のロウアーチャック３１５，３１５が、スペーサＳの上端部両側辺及び下辺部両端をそれぞれ把持すると共に、スペーサ押さえユニット２０が、スペーサＳの上辺の固定を解除するように抑えローラ２０５，２０５・・を回転させる。
【００８８】
なお、サイドチャック４０５，４０５及びロウアーチャック３１５，３１５によるスペーサＳの把持位置は、スペーサＳの自由端の自重等による撓みや垂れ下がりを防止するという観点から、その四隅近傍であることが好ましい。
【００８９】
このようにスペーサＳが、傾斜フレーム４０１，４０１と略平行となった時点で、サイドチャック４０５，４０５及びロウアーチャック３１５，３１５で、スペーサＳを把持することにより、サイドチャック４０５，４０５及びロウアーチャック３１５，３１５のそれぞれが、スペーサＳに直線的にアプローチすることができ、これにより、各々の把持機構に関して、その把持姿勢を変更するための自由度（例えば、回転軸等）を付加的に設けることなく、より簡易な構成及び制御によりスペーサＳの分離搬送が可能となり、装置のコンパクト化・コストダウンに寄与することができる。併せて、搬送中のスペーサＳ全体には、四隅を把持したサイドチャック４０５，４０５及びロウアーチャック３１５，３１５により、常に、一定のテンションが付与されるので、搬送動作中におけるスペーサＳのたるみや皺の発生等を防止し、スペーサＳの搬送動作中における基板表面への付着や、付着摺接に伴う基板表面への傷の発生の防止、さらには、スペーサＳの再利用をより一層容易に実現することが可能となる。
【００９０】
なお、スペーサＳを保持搬送するという観点からは、サイドチャック４０５，４０５と、吸着パッド３１０，３１０・・とによりスペーサＳの保持搬送が可能となるが、より確実にスペーサＳのたるみや皺の発生を防止し、スペーサＳの付着摺接に伴う次のガラス基板Ｇ表面への傷の発生を防止するという観点から、上述のように、スペーサＳを回転させて、次のガラス基板Ｇの表面から分離させた時点で、該スペーサＳの四隅近傍をサイドチャック４０５，４０５及びロウアーチャック３１５，３１５により、把持することが好ましい。
【００９１】
次に、サイドチャック４０５，４０５及びロウアーチャック３１５，３１５により把持されたスペーサＳは、サイドチャック４０５，４０５が傾斜ガイドレール４０３，４０３に沿って、上方から下方に移動すると共に、吸着パッド３１０，３１０・・及びロウアーチャック３１５，３１５が、ケーシング３０１と共に、矢印ｆ方向に沿ってスペーサ収納ストッカＳＳ上の所定の位置に水平移動（図７Ｃ参照）することにより、スペーサＳを、次のガラス基板Ｇの表面と摺接させることなく、所定のストッカＳＳ上に搬送し、サイドチャック４０５，４０５及びロウアーチャック３１５，３１５による把持及び吸着パッド３１０，３１０・・による吸着を解放することにより、スペーサＳが所定のストッカＳＳ内に収容される。
【００９２】
以上の手順を繰り返すことにより、ガラス基板Ｇの分離搬送とスペーサＳの分離搬送との併行作業を、簡易な構成及び制御にて実現することができ、これにより、作業の高速化（処理タクトの短縮化）、コンパクト化及びコストダウンに寄与するガラス基板の移載装置を実現することができる。
【００９３】
また、台車Ｄ上に交互に傾斜積層されたガラス基板Ｇ及びスペーサＳのそれぞれを、確実に分離搬送することができると共に、スペーサＳを分離する際に、次のガラス基板Ｇの表面と摺接することがないので、微細な加工処理のための表面精度が要求されるガラス基板Ｇの表面への傷の発生を確実に防止することができる。
【００９４】
さらに、分離搬送中のスペーサＳに皺やたるみを発生させることがなく、スペーサＳをスペーサ収納ストッカＳＳ内にきれいに積載収納することができるので、スペーサＳの再利用が容易となる。
【００９５】
なお、本発明に係るガラス基板の移載装置１は、台車Ｄ上に傾斜積層されたガラス基板Ｇ及びスペーサＳをそれぞれ所定の場所に分離搬送するのみならず、加工ライン上で所定の加工処理が施され水平配置されたガラス基板Ｇを、同様な装置構成を用いて台車Ｄ上に傾斜積層する（以下、アンローディング作業ともいう）ことも可能となる。
【００９６】
次に、このようなアンローディング作業を行う場合の作業手順について、以下に説明する。
【００９７】
この場合は、上述した台車Ｄ上からガラス基板Ｇ及びスペーサＳを移載する作業（以下、ローディング作業ともいう）と、基本的に逆の作業を行うものであり、加工処理を終えたガラス基板の最終ステージが、ローディング作業の際の基板ステージＧＳに該当し、ローディング作業の場合と同様な移載装置を用いることができる。また、この際のスペーサ収納ストッカＳＳは、先に分離回収したスペーサ収納ストッカＳＳに、従来公知の、例えば、ローラ対を用いた切り出し装置を付設することにより、そのまま用いることができる。なお、ローディング作業と同様な手順については、簡単のためその説明を省略する。
【００９８】
本移載装置１を用いたアンローディング作業の場合には、まず、スペーサ収納ストッカＳＳに付設された従来公知の切り出し装置により、ストッカＳＳ上に積層されたスペーサＳを一枚ずつ切り出して、その排出側に配置された傾斜ガイドレール４０３，４０３と同様な傾斜を有するガイド部材上にその先端を突出させる。
【００９９】
これにより、切り出されたスペーサＳの先端は、傾斜フレーム４０１，４０１と同様な傾斜角度となり、傾斜ガイドレール４０３，４０３の下端部で待機していたサイドチャック４０５，４０５により、スペーサＳの先端部側辺を把持する。
【０１００】
そして、このサイドチャック４０５，４０５により、スペーサＳを傾斜ガイドレール４０３，４０３に沿って、所定の位置（スペーサＳが、台車Ｄの上端部を越えて、押さえローラ２０５，２０５・・により押し付け固定が可能となるような位置）まで引き上げて、押さえローラ２０５，２０５・・により、台車Ｄの上端部に押さえつけて固定する。
【０１０１】
その後、吸着パッド３１０，３１０・・を、台車Ｄの表面（スペーサＳと対向する傾斜面）に向かって回転させて、スペーサＳを台車Ｄに押し付けてセットする。
【０１０２】
次に、最終ステージ上のガラス基板Ｇをガラス基板搬送ユニット１０で、吸着搬送し、所定の搬出位置にセットされた台車Ｄ上に先に配置したスペーサＳを介して傾斜配置する。
【０１０３】
なお、簡易的には、吸着パッド３１０，３１０・・による回転押し付け動作を省略して、ガラス基板Ｇの移載動作により、スペーサＳの押し付けを行うようにしてもよい。
【０１０４】
このような動作を繰り返すことにより、加工処理を終えたガラス基板Ｇ及びスペーサＳが台車Ｄ上に交互に傾斜積層される。
【０１０５】
また、加工処理の程度によってガラス基板Ｇの表面を吸着することが好ましくない場合には、ガラス基板搬送ユニット１０の構成を変更して、ガラス基板Ｇの裏側から吸着するように構成すれば、同様の手順でアンローディング作業を行うことができる。
【０１０６】
なお、本実施の形態においては、スペーサＳをガラス基板Ｇから分離する際に、スペーサＳの上辺部を固定辺として下辺部を保持して回転させたが、本発明は、このような上辺部の固定辺に限定されるものではなく、例えば、装置構成及び駆動制御は複雑となるものの、下辺部を固定辺として、上辺部を回転させてもよいし、一側辺を固定辺として、他側辺を回転させてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０７】
【図１】本発明に係るガラス基板の移載装置を示す模式的構成図である。
【図２】本発明に係るガラス基板搬送ユニットを示す概略構成図である。
【図３】本発明に係るスペーサ押さえユニットを示す概略構成図である。
【図４】本発明に係るスペーサ搬送ユニットの内部構造を模式的に示す断面図である。
【図５】本発明に係るサイドチャックユニットを示す概略構成図である。
【図６Ａ】本発明に係る移載装置によるガラス基板の分離搬送動作を示す模式図である。
【図６Ｂ】本発明に係る移載装置によるガラス基板の分離搬送動作を示す模式図である。
【図７Ａ】本発明に係る移載装置によるスペーサの分離搬送動作を示す模式図である。
【図７Ｂ】本発明に係る移載装置によるスペーサの分離搬送動作を示す模式図である。
【図７Ｃ】本発明に係る移載装置によるスペーサの分離搬送動作を示す模式図である。
【図８】本発明に係る移載装置によるスペーサの分離動作を示す拡大図である
【符号の説明】
【０１０８】
１：移載装置、３：フレーム、５：可動フレーム、１０：ガラス基板搬送ユニット、１０１：伸縮部、１０３：回転軸、１０５：基板吸着面、１０７：基板吸着パッド、２０：スペーサ押さえユニット、２０１：回転軸、２０３：回転支持部材、２０４：ローラ軸、２０５：ローラ、２０７：駆動シリンダ、３０：スペーサ搬送ユニット、３０１：ケーシング、３０１Ｓ：内側面、３０３：ガイド部、３０５：ロール部材、３０７：屈曲アーム、３０９：吸着支持部材、３１０：スペーサ吸着パッド、３１３：伸縮軸、３１５：ロウアーチャック、３２０：除電器、４０：サイドチャックユニット、４０１：傾斜フレーム、４０３：傾斜ガイドレール、４０４：伸縮軸、４０５：サイドチャック、５０：コントローラユニット、Ｄ：台車、ＤＤ：台車移動ユニット、ＤＳ：傾斜面、Ｇ：ガラス基板、ＧＳ：基板ステージ、ＩＦ：イオン化空気流、Ｓ：スペーサ、ＳＳ：スペーサ収納ストッカ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板とスペーサとが交互に積層された状態から、ガラス基板を所定の場所に移載するガラス基板の移載装置に関し、特に、ガラス基板とスペーサとが斜めに立てかけられた状態からガラス基板及びスペーサをそれぞれ所定の場所に移載するガラス基板の移載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
【特許文献１】特開平６−２５５７７２号公報
【特許文献２】実開平６−１４１５５号公報
【特許文献３】特開平７−６１５９７号公報
【０００３】
近年は、ガラス基板の用途の拡大（例えば、大型液晶パネル用や、大サイズのＰＤＰパネル用等）に伴い、その基板サイズが大型化（例えば、第５世代サイズ：１１００ｍｍ×１３００ｍｍ、第７世代サイズ：１８７０ｍｍ×２２００ｍｍ）してきている。
【０００４】
そして、このようなガラス基板を搬入・搬出する際には、積層されたガラス基板の間に合紙等のスペーサを挿入して、該ガラス基板を保護している。また、大型化したガラス基板を搬入・搬出する際には、スペースの有効活用等の観点から、積層されたガラス基板及びスペーサを、台車に立て掛けた状態、すなわち、ガラス基板及びスペーサを所定の角度で立設させた状態で流通する方式がとられている。
【０００５】
このように傾斜積層された大型のガラス基板を、加工ラインに移載する際には、互いに密着したガラス基板とスペーサとを分離させて移載する必要があるが、ガラス基板をスペーサから分離させる際、あるいは、スペーサをガラス基板から分離させる際に、スペーサがガラス基板に付着し易く、分離作業に時間がかかり人手での作業性に問題を生じていた。
【０００６】
また、かかるガラス基板は、その厚さが薄く（例えば、０．５ｍｍ〜０．７ｍｍ程度）、傷や割れ等が生じやすいため、基板サイズの大型化と相俟って、人手での作業が困難となってきており、また、ガラス基板を加工ラインに供給する時間間隔（処理タクト）も年々、短縮化が求められてきており、こうした観点からも人手での作業が困難となってきている。
【０００７】
そこで、こうしたガラス基板及びスペーサを分離して搬送し、所定の加工ラインに供給するための移載装置が種々提案されている（例えば、特許文献１〜３参照）。
【０００８】
ここで、特許文献１には、ガラス基板を吸着して移送するための吸着機構を有するガラス基板移送用ハンドと、合紙等のスペーサを吸着するためのスペーサ吸着ノズルと、スペーサをエアーブローによりガラス基板から剥離させるための吹き付けノズルと開閉式チャックとを有するスペーサ取得機構とを備え、吸着機構とスペーサ取得機構とを交互に動作させることにより、ガラス基板をスペーサから分離して移送するガラス基板の移送装置が開示されている。
【０００９】
また、特許文献２には、アームの先端に取り付けられたフレームの一辺から遠近動可能で前方へ突出する圧接部材と、該圧接部材に着脱自在でその前方へ突出する押圧部材と、前後動自在でスペーサと当接して吸着する吸着部材を設け、ガラス基板の下端あるいは側端から突出するスペーサの端部を固定して、ガラス基板とスペーサとを分離して搬送するガラス基板の移載装置が開示されている。
【００１０】
さらに、特許文献３には、パレット上のガラス基板を吸着する吸着盤及びスペーサを吸着する吸着パッドを個別に上下動、突出入するようにし、さらに吸着盤のストロークを二段直進状にすることにより吸着支持したガラス基板とスペーサとの隙間を規制し、スペーサの下縁を吸着した吸着パッドの首振り回動によりスペーサを所定の場所に落下させて移載するガラス基板の移載装置が開示されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上記特許文献に開示された先行技術においては、いずれも次のような問題点を有していた。
【００１２】
例えば、特許文献１に開示された先行技術においては、傾斜積層されたガラス基板へのアプローチが困難であると共に、移載用ハンドにガラス基板の吸着機構及びスペーサ取得機構が一体化されているため、ガラス基板の分離搬送とスペーサの分離搬送とを併行して行うことができず、高速化が困難であるという問題を生じていた。
【００１３】
また、特許文献２に開示された先行技術においては，ガラス基板の一辺からはみ出したスペーサの端部を、押圧部材により押圧して一旦固定し、該固定部を吸着部材により吸着してスペーサの分離を行うものであり、スペーサの分離動作中に該スペーサが後面のガラス基板表面に静電力等により付着し易いという問題を生じていた。
【００１４】
さらに、特許文献３に開示された先行技術においては、ガラス基板の周縁から、はみ出さないように配置されたスペーサに対しても吸着可能な構成を採用しているが、特許文献２に開示された先行技術と同様に、スペーサの端部を押圧部材により押圧して一旦固定し、該固定部を吸着部材により吸着してスペーサの分離を行うものであり、分離動作中にスペーサが後面のガラス基板表面に付着し易いという同様な問題を有していた。
【００１５】
こうしたスペーサの分離動作中に、該スペーサが後面のガラス基板の表面に付着し易いという傾向は、特に、近年の大型化され、かつ、傾斜積層されたガラス基板からスペーサを分離させる際に顕著に現われる。すなわち、このように傾斜積層されたガラス基板から合紙等のスペーサを分離させる際に、スペーサの一端部等を吸着してガラス基板から分離させる場合には、大型化されたスペーサの自由端がその自重により撓んだり落下したりし、あるいは、静電力等により、その分離・搬送動作の途中で基板表面に付着し易くなってきている。
【００１６】
また、このような付着状態から、先行技術に開示されたような吸着手段により、スペーサをさらに引っ張って、ガラス基板の表面から分離させようとすると、吸着手段がスペーサから脱落してスペーサの安定した分離が行われないといった問題や、スペーサに皺やたるみが発生し、これにより、一層スペーサがガラス基板に接触して付着し易くなり、該スペーサが分離し難くなるといった問題や、スペーサ自体を破損するといった問題を生じていた。
【００１７】
さらには、スペーサが次のガラス基板の表面に付着した状態から、より強力な吸引力等により、引き剥がそうとすると、スペーサがガラス基板と摺接して、スペーサに付着した塵埃等によりガラス基板の表面を擦りつけ、その表面を傷つけてしまうといった問題が生じていた。
【００１８】
そして、このようなガラス基板表面の傷は、高精度・高密度な加工が施されるその後の加工工程に重大な影響を及ぼし、品質欠陥等が発生する要因となるので、スペーサの分離の際に傷ついたガラス基板の表面を研磨するための研磨工程が別途必要になるといった虞も生じていた。
【００１９】
また、ある程度の表面加工が施されたガラス基板を、一旦、台車に搬入して、別の加工ラインに供給する場合もあり、このような表面処理が施されたガラス基板を加工ラインに移載する際に、その表面を傷つけてしまうことは、加工処理のやり直しや、ひいては、ガラス基板の廃棄に至るといった虞が生じ、生産性や歩留まりが低下するといった問題を生じていた。
【００２０】
そこで、本発明は、上述のような従来技術の問題点に鑑みて、傾斜積層されたガラス基板及びスペーサの分離搬送を併行して行い、作業の高速化を実現すると共に、スペーサをガラス基板から分離させる際に、ガラス基板の表面と摺接させることなく確実に分離し、分離・搬送動作中のスペーサの皺やたるみの発生や、摺接によるガラス基板への傷の発生を防止することができるガラス基板の移載装置を、簡易な構成でコンパクト・安価に提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上記目的を達成するために、本発明のガラス基板の移載装置は、ガラス基板とスペーサとが交互に積層され、所定の傾斜角度で傾斜配置された状態から、ガラス基板及びスペーサのそれぞれを所定の場所へ移載するガラス基板の移載装置において、所定の位置に配された最前部のガラス基板を吸着して、該ガラス基板を所定の場所に移載する基板搬送手段と、前記最前部のガラス基板の後面に配されたスペーサを吸着して、次のガラス基板表面から分離し所定の場所に移載するスペーサ分離搬送手段とを備え、前記スペーサ分離搬送手段は、前記基板搬送手段が前記ガラス基板を吸着する際には、前記スペーサの一辺を固定すると共に、前記スペーサを分離搬送する際には、該固定辺を中心とした円軌道を描くようにスペーサを回転させて、該スペーサを次のガラス基板の表面と摺接させずに該ガラス基板と分離して搬送することを特徴とするものである。
【００２２】
ここで、スペーサとは、いわゆる合紙等の紙材に限定されるものではなく、例えば、ポリプロピレン等で形成された樹脂製のシート材をも含むものとする。
【００２３】
このように構成した本発明のガラス基板の移載装置は、ガラス基板とスペーサとが交互に積層され、所定の傾斜角度で傾斜配置された状態から、ガラス基板及びスペーサのそれぞれを所定の場所へ移載するガラス基板の移載装置において、基板搬送手段と、スペーサ分離搬送手段とを備え、スペーサ分離搬送手段は、基板搬送手段がガラス基板を吸着する際には、スペーサの一辺を固定すると共に、スペーサを分離搬送する際には、該固定辺を中心とした円軌道を描くようにスペーサを回転させて、該スペーサを次のガラス基板の表面と摺接させずに該ガラス基板と分離して搬送するので、ガラス基板の分離搬送とスペーサの分離搬送との並行作業を可能とし、作業の高速化を実現することができる。また、スペーサをガラス基板から分離する際に、スペーサが次のガラス基板へ付着することを防止すると共に、スペーサの分離・搬送動作中にスペーサがガラス基板の表面に擦り付けられることによる基板表面の傷の発生を防止し、かつ、スペーサの分離・搬送動作中のスペーサの皺等の発生を防止して、その再利用を容易にするガラス基板の移載装置を簡易な構成で、コンパクト・安価に提供することができる。
【００２４】
また、前記スペーサ分離搬送手段は、前記スペーサの上辺部を前記次のガラス基板の上端部に押さえ付けて固定するスペーサ押さえローラと、前記ガラス基板の所定の傾斜角度よりも緩やかな傾斜角度で配設された傾斜ガイドレールに沿って移動可能に形成され、前記スペーサの両側辺を把持するサイドチャックと、前記スペーサの下辺部を吸着保持して搬送するスペーサ保持手段とを備え、前記スペーサは、前記スペーサ押さえローラにより固定されたスペーサの上辺部を中心に、前記スペーサ保持手段により前記傾斜ガイドレールと略平行となるまで回転されて、前記サイドチャックにより前記上辺部近傍を把持されてもよい。
【００２５】
ここで、本明細書中における傾斜角度とは、水平面からの傾斜角度をいうものとする。すなわち、鉛直面に近づくほど傾斜角度は急となり、水平面に近づくほど傾斜角度は緩やかになるものとする。
【００２６】
このように構成した場合には、スペーサ分離搬送手段が、スペーサの上辺部を次のガラス基板の上端部に押さえ付けて固定するスペーサ押さえローラと、ガラス基板の所定の傾斜角度よりも緩やかな傾斜角度で配設された傾斜ガイドレールに沿って移動可能に形成され、スペーサの両側辺を把持するサイドチャックと、スペーサの下辺部を吸着保持して搬送するスペーサ保持手段とを備え、サイドチャックでスペーサを把持する際には、スペーサが、スペーサ押さえローラにより固定されたスペーサの上辺部を中心に、スペーサ保持手段により傾斜ガイドレールと略平行となるまで回転されて、サイドチャックにより上辺部近傍を把持されるので、サイドチャックの把持姿勢を調整することなく、スペーサの側辺に直線的にアプローチすることができ、サイドチャックの自由度削減による機構の簡素化及び制御の簡素化を図ることが可能となり、これにより、小型化・コストダウンに寄与することができる。また、スペーサに所定の円軌道を描かせることにより、スペーサの下辺部の吸着が脱落することを防止し、併せて、スペーサの上辺部と下辺部とを保持することにより、分離・搬送動作中におけるスペーサのたるみや皺の発生を防止して、ガラス基板への付着・摺接を防止することができる。
【００２７】
さらに、前記スペーサ保持手段は、前記スペーサの表面を吸着して前記傾斜ガイドレールと略平行となるまで円軌道を描かせるように回転させて次の基板表面から分離する、スペーサの幅方向に亘って配設された複数の吸着パッドを備え、前記スペーサを該複数の吸着パッドにより吸着分離する際には、前記スペーサの幅方向両端部に対応する吸着パッドから中央部に対応する吸着パッドに向かって、順次、吸着して分離してもよい。
【００２８】
このように構成した場合には、スペーサ保持手段が、スペーサの表面を吸着して傾斜ガイドレールと略平行となるまで円軌道を描かせるように回転させて次の基板表面から分離する、スペーサの幅方向に亘って配設された複数の吸着パッドを備え、スペーサを該複数の吸着パッドにより吸着分離する際には、スペーサの幅方向両端部に対応する吸着パッドから中央部に対応する吸着パッドに向かって、順次、吸着して分離するので、幅方向全域に亘って一斉に吸着して分離する場合に比し、より少ない吸引力でスムーズにスペーサとガラス基板との分離を行うことができる。
【００２９】
さらにまた、前記スペーサ保持手段は、前記スペーサが、前記傾斜ガイドレールと略平行となった時点で、前記スペーサの下辺部両端近傍を把持するロウアーチャックをさらに備えてもよい。
【００３０】
このように構成した場合には、スペーサ保持手段は、前記スペーサが、前記傾斜ガイドレールと略平行となった時点で、前記スペーサの下辺部両端近傍を把持するロウアーチャックをさらに備えるので、サイドチャック及びロウアーチャックによりスペーサの四隅端部を確実に把持して、該スペーサに対して常に一定の張力を加えることができ、スペーサ搬送中の皺やたるみの発生を防止し、スペーサ搬送中におけるガラス基板への付着及び付着摺接によるガラス基板の傷の発生をより確実に防止することができる。併せて、スペーサの状態をより良好に維持して、その再利用をより一層容易とすることができる。
【００３１】
さらにまた、前記基板搬送手段と、前記スペーサ保持手段とは、前記ガラス基板の所定の搬送場所を介して上下に配設されていると共に、各々水平移動可能に形成されており、前記基板搬送手段が吸着分離したガラス基板を所定の移載場所に向かって水平方向に移動しつつ前記ガラス基板の姿勢を略水平にした際に、前記スペーサ保持手段は、スペーサに向かって水平方向に移動して前記スペーサの分離を行ってもよい。
【００３２】
このように構成した場合には、基板搬送手段と、スペーサ保持手段とは、ガラス基板の所定の搬送場所を介して上下に配設されていると共に、各々水平移動可能に形成されており、基板搬送手段が吸着分離したガラス基板を所定の移載場所に向かって水平方向に移動しつつガラス基板の姿勢を略水平にした際に、スペーサ保持手段は、スペーサに向かって水平方向に移動してスペーサの分離を行うので、基板搬送手段とスペーサ保持手段との移動空間を上下に分離でき、それぞれの分離搬送手段を互いに干渉させることなく、より簡易な駆動制御にて並行作業を容易に実現することができ、これにより、一層の装置のコンパクト化、作業の高速化に寄与することが可能となる。
【００３３】
以上において、前記スペーサ分離搬送手段が、前記スペーサを回転させて、次のガラス基板から分離させた際に、該分離によって形成されるスペーサと次のガラス基板との間の空間に、スペーサの帯電極性と逆極性に帯電させたイオン化空気流を吹き付ける除電手段をさらに備えてもよい。
【００３４】
このように構成した場合には、スペーサ分離搬送手段が、スペーサを回転させて、次のガラス基板から分離させた際に、該分離によって形成されるスペーサと次のガラス基板との間の空間に、スペーサの帯電極性と逆極性に帯電させたイオン化空気流を吹き付ける除電手段をさらに備えるので、ガラス基板間で帯電されたスペーサを除電し、静電気力によるスペーサと次のガラス基板との付着を防止することができ、これにより、スペーサとガラス基板との分離をより効果的に確実に行うことができる。
【００３５】
また、前記ガラス基板及びスペーサは、その最前部のガラス基板が、常に、所定の位置となるように所定のタイミングで移動してもよい。
【００３６】
このように構成した場合には、ガラス基板及びスペーサは、その最前部のガラス基板が、常に、所定の位置となるように所定のタイミングで移動するので、常に、一定の位置でガラス基板及びスペーサの取り出し分離が行われるので、簡易な搬送制御で、安定性・確実性の高いガラス基板及びスペーサの分離搬送が可能となる。
【００３７】
本発明に係るガラス基板の移載方法は、ガラス基板とスペーサとが交互に積層され、所定の傾斜角度で傾斜配置された状態から、ガラス基板及びスペーサのそれぞれを所定の場所へ移載するガラス基板の移載方法において、前記積層されたガラス基板のうち、最前部のガラス基板を吸着する際には、後面に配されたスペーサの一辺を固定し、該ガラス基板をスペーサから分離して所定の場所に移載し、前記ガラス基板が傾斜配置された状態から所定の場所に移載される間に、前記スペーサの固定辺を中心として該スペーサを一定の回転半径を維持するように回転させて、スペーサの四隅近傍を保持した後、該スペーサの一辺の固定を解除して、スペーサを次のガラス基板の表面と摺接させずに該ガラス基板と分離して搬送することを特徴とするものである。
【００３８】
このような本発明に係るガラス基板の移載方法によれば、ガラス基板の分離搬送作業と、スペーサの分離搬送作業とを併行して行い、作業の高速化を実現すると共に、スペーサをガラス基板から分離させる際に、スペーサの固定辺を中心として該スペーサを一定の回転半径を維持するように回転させて分離し、その後、スペーサの四隅近傍を保持した後、該スペーサの一辺の固定を解除して、スペーサを次のガラス基板の表面と摺接させずに該ガラス基板と分離して搬送するので、スペーサの分離及び搬送動作中における該スペーサのガラス基板への付着や摺接を防止してガラス基板への傷の発生を確実に防止し、かつ、スペーサの皺やたるみの発生を防止して、その再利用を容易にするガラス基板の移載方法を提供することができる。
【発明の効果】
【００３９】
本発明によれば、簡易な構成で、傾斜積層されたガラス基板及びスペーサの分離搬送の併行作業が可能となり、作業の高速化に寄与すると共に、スペーサをガラス基板から分離させる際に、ガラス基板の表面と摺接させることなく確実に分離し、分離・搬送動作中のスペーサの皺やたるみの発生や、摺接によるガラス基板への傷の発生を防止することができるガラス基板の移載装置を、コンパクト・安価に実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
［全体構成］
【００４１】
まず、本発明に係るガラス基板の移載装置の概要について、図１を参照して説明する。図１は、本発明に係るガラス基板の移載装置の一実施の形態を示す概略構成図である。
【００４２】
本発明に係るガラス基板の移載装置は、図１に示されるように、台車Ｄに収容され所定の傾斜角度で立設されたガラス基板Ｇ及びスペーサＳが交互に積層された状態から、所定の取り出し位置より、ガラス基板Ｇ及びスペーサＳのそれぞれを取り出し、各ガラス基板Ｇ及びスペーサＳのそれぞれを所定の位置に搬送するものである。また、ガラス基板Ｇを分離搬送する際には、後面のスペーサＳの付着を防止すると共に、スペーサＳを分離搬送する際には、後面のガラス基板Ｇの表面を摺接することなく（ガラス基板Ｇの表面を擦り付けることなく）、スペーサＳをガラス基板Ｇから分離して搬送集積することを可能とするものである。
【００４３】
なお、本実施の形態において、スペーサＳは、傾斜立設されたガラス基板Ｇ間の上端部からさらに上方にはみ出すように配設されている。
【００４４】
図１に示されるように、本発明に係るガラス基板の移載装置１は、方形の枠体であるフレーム３を備え、このフレーム３の長手方向一端部には、不図示の搬送用コンベアと連接可能に、その表面に搬送ローラが配設された、ガラス基板Ｇの所定の移載場所である水平な基板ステージＧＳが形成されている。一方、フレーム３の他端部（基板ステージＧＳと反対側の端部）には、所定の傾斜角度（例えば、８０°〜８５°）で配置されたガラス基板Ｇ及びスペーサＳが収容された台車Ｄが台車移動ユニットＤＤ上に配設されている。この台車移動ユニットＤＤは、所定のピッチで傾斜積層されたガラス基板Ｇ及びスペーサＳを収容した台車Ｄを、その最前部に積載されたガラス基板Ｇが、常に一定の位置となるように、ガラス基板Ｇ及びスペーサＳの移載が完了した時点で、台車Ｄごと所定のピッチだけ移動させるものであり、オペレータによりセットされた台車Ｄを傾斜面ＤＳに沿って、台車Ｄごと移動させる不図示の移動機構を備えている。
【００４５】
このような台車移動ユニットＤＤを用いることにより、ガラス基板Ｇ及びスペーサＳの取り出しが、常に、所定の位置で行われるので、後述するガラス基板搬送手段及びスペーサ分離搬送手段の構成及び制御を簡素化することができ、かつ、安定した分離搬送作業の実現が可能となる。
【００４６】
さらに、積層されたガラス基板Ｇ及びスペーサＳと基板ステージＧＳとの間には、フレーム３の下面の長手方向中央部にスペーサ収納ストッカＳＳが設けられている。
【００４７】
また、フレーム３の長手方向に延在する上部長手フレーム３ａ，３ａには、その上面部に不図示のガイドレールがそれぞれ形成されており、この上部長手フレーム３ａ，３ａの上部には、ガイドレールに沿って長手方向に水平移動可能に形成された可動フレーム５が上部長手フレーム３ａ，３ａに亘って幅方向（長手方向と直交する方向）に配設されている。そして、この可動フレーム５の幅方向略中央部には、所定の位置に配置されたガラス基板Ｇを吸着して基板ステージＧＳに搬送するガラス基板搬送ユニット１０が懸装されている。
【００４８】
一方、基板ステージＧＳの下方空間には、積層されたガラス基板Ｇ間に介在するスペーサＳを吸着分離して搬送するスペーサ搬送ユニット３０が収容されており、このスペーサ搬送ユニット３０は、ガラス基板搬送ユニット１０と同様に、他端部に配置されたスペーサＳに近接可能なように、不図示のガイドレールに沿って水平移動可能に形成されている。
【００４９】
また、所定の位置に配設された最前部のガラス基板Ｇの上方には、該ガラス基板Ｇの後面に配置されたスペーサＳの上辺部を固定するスペーサ押さえユニット２０が幅方向に延在するように配設されている。
【００５０】
さらに、このスペーサ押さえユニット２０の幅方向両端部近傍には、傾斜立設された傾斜フレームに沿って摺動自在に形成され、スペーサＳの側辺を把持して搬送するサイドチャックを有するサイドチャックユニット４０が配設されている。
【００５１】
なお、符号５０は、各構成ユニットの制御を行うコントローラユニットである。
【００５２】
このように構成した本実施の形態に係る移載装置１においては、ガラス基板搬送ユニット１０が基板搬送手段に対応し、スペーサ押さえユニット２０、スペーサ搬送ユニット３０、サイドチャックユニット４０にてスペーサ分離搬送手段が構成されている。
【００５３】
次に、上述した本発明に係るガラス基板の移載装置の主要部の構成について、図面を参照してさらに説明する。
［ガラス基板搬送ユニット１０］
【００５４】
まず、ガラス基板の吸着分離を行うガラス基板搬送ユニット１０の構成について、図２を参照して説明する。
【００５５】
本発明に係るガラス基板搬送ユニット１０は、図２に示されるように、フレーム３の長手方向に移動可能に形成された可動フレーム５と、この可動フレーム５の幅方向略中央部に懸装された、例えば、シリンダから構成される上下方向に伸縮する伸縮部１０１と、この伸縮部１０１の先端にガラス基板Ｇと対向する方向に回転自在に形成された回転軸１０３と、この回転軸１０３を介してガラス基板Ｇと対向可能に配設された板状の基板吸着面１０５とを備えている。そして、この基板吸着面１０５には、複数の基板吸着パッド１０７，１０７・・が設けられており、この基板吸着パッド１０７，１０７・・をガラス基板Ｇに圧接させて不図示の負圧源により吸引することにより、ガラス基板Ｇの吸着分離を行うようになっている。
【００５６】
このように構成した本発明に係るガラス基板搬送ユニット１０においては、傾斜積層されたガラス基板Ｇを吸着して、所定の基板ステージＧＳ上に水平姿勢で搬送すると共に、加工処理が完了したガラス基板Ｇを搬送コンベア上から搬出し、台車Ｄ上に順次傾斜積層することも可能となっている。
［スペーサ押さえユニット２０］
【００５７】
次に、本発明に係るスペーサ押さえユニット２０の構成について、図３を参照して説明する。
【００５８】
図３に示されるように、本発明に係るスペーサ押さえユニット２０は、所定の位置に配設された最前部のガラス基板Ｇの上方に、幅方向に延在するように配設されており、回転軸２０１と、この回転軸２０１の両端部に連結された逆Ｚ字状の回転支持部材２０３，２０３と、回転支持部材２０３，２０３のガラス基板Ｇ側先端部２０３ｄ，２０３ｄ間に取り付けられたローラ軸２０４と、このローラ軸２０４に取り付けられた複数の押さえローラ２０５，２０５・・とを備えている。そして、回転支持部材２０３，２０３の他端部２０３ｕ，２０３ｕは、それぞれ駆動シリンダ２０７に接続されており、この駆動シリンダ２０７を伸縮駆動することにより、回転支持部材２０３，２０３が回転軸２０１回りに回転され、先端の複数の押さえローラ２０５，２０５・・が、ガラス基板Ｇの上方からはみでたスペーサＳの上辺部に対して接離可能に移動するようになっている。具体的には、回転支持部材２０３を、例えば、図中、時計回り方向に回転させることにより、スペーサＳの上辺部が複数の押さえローラ２０５，２０５・・により、後面のガラス基板Ｇの上端部に押さえつけられて固定され、回転支持部材２０３を、図中、反時計回り方向に回転させることにより、当該固定が解除されるようになっており、簡易な構成でスペーサＳの上辺部の固定・解除が行えるようになっている。
［スペーサ搬送ユニット３０］
【００５９】
次に、本発明に係るスペーサ保持手段であるスペーサ搬送ユニット３０の構成について、図４を参照して説明する。図４は、スペーサ搬送ユニット３０のケーシング内部の構成を示す模式的断面図である。
【００６０】
本発明に係るスペーサ搬送ユニット３０は、基板ステージＧＳの下方空間内に収容可能であり、図４に示されるように、この基板ステージＧＳ下方から、ガラス基板Ｇの所定の取り出し位置に水平移動可能なケーシング３０１を備えている。そして、このケーシング３０１は、その内側面３０１Ｓに形成されたガイド部３０３，３０３に沿って移動可能に形成された、幅方向に亘って延在するロール部材３０５と、このロール部材３０５の両端部に接続された屈曲アーム３０７，３０７と、屈曲アーム３０７，３０７の先端部に、幅方向に延在するように配設された吸着支持部材３０９と、この吸着支持部材３０９に沿って、幅方向に配設された複数のスペーサ吸着パッド３１０とを備えている。
【００６１】
ここで、屈曲アーム３０７，３０７の先端に設けられた複数の吸着パッド３１０，３１０・・は、スペーサＳの幅方向略全域に対応するように配置されており、その配置数は任意に設定することができる。また、ガイド部３０３，３０３は、ロール部材３０５が、このガイド部３０３，３０３に沿って移動した際、屈曲アーム３０７，３０７の先端に設けられた複数の吸着パッド３１０，３１０・・が、複数の押さえローラ２０５，２０５・・によって固定されたスペーサＳの固定辺を中心とした円軌道を描くように形成されている。さらに、屈曲アーム３０７の屈曲角度は、当該屈曲アーム３０７が、スペーサＳにアプローチした際、その先端部がスペーサＳの表面と対向する（スペーサＳの表面と吸着パッド３１０，３１０・・の吸着面とが密着する）ように設定されている。
【００６２】
さらに、ケーシング３０１の下方先端縁の幅方向両端部近傍には、後述する傾斜フレーム４０１の傾斜方向と同方向に伸縮する伸縮軸３１３を備え、スペーサＳの下辺部を把持するハンド状の開閉可能なロウアーチャック３１５，３１５が配設されている。
【００６３】
このように構成された本発明のスペーサ搬送ユニット３０においては、複数の吸着パッド３１０，３１０・・によりスペーサＳの下辺部を吸着し、押さえローラ２０５，２０５・・により固定されたスペーサＳの上部固定辺を中心とした円軌道を描くように、スペーサＳを回転させた後、ロウアーチャック３１５，３１５により、スペーサＳの下辺部を把持し、後述するサイドチャックユニット４０と共に、スペーサＳを所定のスペーサ収納ストッカＳＳ内に収容するようになっている。
【００６４】
また、スペーサＳに円軌道を描かせる際には、ケーシング３０１内に形成された所定のガイド部３０３によってその軌道を描かせるので、スペーサＳの先端の空間上の軌跡を演算等により求めて制御する場合に比し、簡易な構成及び制御で所定の軌跡を実現することができる。
［サイドチャックユニット４０］
【００６５】
次に、本発明に係るサイドチャックユニット４０の構成について、図５を参照して説明する。図５は、サイドチャックユニット４０は、スペーサアプローチ方向から見た模式的構成図である。
【００６６】
本発明に係るサイドチャックユニット４０は、図５に示されるように、所定の位置に配置された最前部のガラス基板Ｇの幅方向両端部近傍に配設された傾斜フレーム４０１，４０１と、この傾斜フレーム４０１，４０１に沿って摺動自在に形成され、スペーサＳの側辺を把持するサイドチャック４０５，４０５とを備えている。
【００６７】
傾斜フレーム４０１，４０１は、最前部のガラス基板Ｇの上部後方側（台車Ｄ側）から下部前方側（基板ステージＧＳ側）に向かって傾斜配置（図１参照）されており、この傾斜フレーム４０１，４０１の上面側には、傾斜フレーム４０１，４０１の傾斜に沿った傾斜ガイドレール４０３，４０３がそれぞれ形成されている。ここで、傾斜フレーム４０１，４０１は、ガラス基板Ｇの所定の傾斜角度（例えば、８０°〜８５°）よりも緩やかな傾斜角度（例えば、６０°〜７５°）で傾斜配置されている。さらに、この傾斜フレーム４０１，４０１の内側のそれぞれには、傾斜ガイドレール４０３，４０３に沿って摺動自在であると共に、幅方向に伸縮可能な伸縮軸４０４，４０４を有し、スペーサＳの側辺を把持するハンド状の開閉可能なサイドチャック４０５，４０５が配設されている。
【００６８】
このように構成された本発明のサイドチャックユニット４０においては、傾斜フレーム４０１，４０１に摺動自在に取り付けられたサイドチャック４０５，４０５の把持姿勢を変更することなく、前述したスペーサ搬送ユニット３０の吸着パッド３１０，３１０・・によるスペーサＳの所定の回転動作と相俟って、スペーサＳの側辺に対して直線的にアプローチするだけでスペーサＳを把持固定できるので、サイドチャック４０５，４０５の姿勢を変更するための回転軸等の自由度を付加することなく、必要最小限の自由度構成でコンパクトに安価にスペーサＳの側辺を把持するサイドチャックユニット４０を実現することができる。
【００６９】
次に、上述のように構成された本発明に係るガラス基板の移載装置１の動作について、図６〜図８を参照して説明する。ここで、図６は、ガラス基板Ｇの分離搬送動作を中心に示す模式図であり、図７は、スペーサＳの分離搬送動作を中心に示す模式図であり、図８は、スペーサＳの分離動作を示す拡大図である。
【００７０】
まず、ガラス基板Ｇの分離動作について、図６Ａ，図６Ｂを参照して説明する。
【００７１】
オペレータが、所定のピッチで交互に傾斜積層されたガラス基板Ｇ及びスペーサＳを収容した台車Ｄを、台車移動ユニットＤＤの所定の位置にセットすると、コントローラユニット５０からの指示により、ガラス基板Ｇ及びスペーサＳが積層された台車Ｄは、図６Ａに示されるように、傾斜面ＤＳに沿って矢印ａ方向に移動し、その最前部に搭載されたガラス基板Ｇが所定の位置となった時点で停止する。なお、この所定の位置を検出するためのセンサとしては、例えば、光センサや、リミットスイッチ等の既存の位置検出スイッチを用いることができる。また、本実施の形態においては、台車Ｄに交互に傾斜積層されたガラス基板Ｇ及びスペーサＳの最前部側（基板ステージＧＳ側）がガラス基板Ｇとなり、最後部側（台車Ｄ側）がスペーサＳとなるようにセットされている。
【００７２】
次に、オペレータからの作業開始指示に基づき、コントローラユニット５０を介して、作業開始指令が、移載装置１に出力され、この指令に基づき、ガラス基板搬送ユニット１０が、基板ステージＧＳ上の待機位置（図中、破線で示された位置）から台車Ｄ側に、可動フレーム５により矢印ｂ方向に水平移動しつつ、伸縮部１０１及び回転軸１０３により、基板吸着面１０５が、最前部のガラス基板Ｇの表面と平行に対向するように、その姿勢を制御する。そして、基板吸着面１０５の複数の吸着パッド１０７，１０７・・が、所定の位置に配置された最前部のガラス基板Ｇの表面と圧接するような所定の位置で停止する。
【００７３】
この時、スペーサ押さえユニット２０は、回転支持部材２０３，２０３が、最前部のガラス基板Ｇの後面のスペーサＳを次のガラス基板Ｇの上端部に押さえつけるように回転し、先端の押さえローラ２０５，２０５・・により、スペーサＳの上辺部を固定し、最前部のガラス基板Ｇの吸着分離に備えている。なお、傾斜積層されたガラス基板Ｇ及びスペーサＳの最後部のスペーサＳをスペーサ押さえユニット２０により固定する際は、次のガラス基板Ｇが存在しないので、台車Ｄの上端部に押さえつける。
【００７４】
次に、ガラス基板搬送ユニット１０は、不図示の負圧源に接続された複数の吸着パッド１０７，１０７・・により、ガラス基板Ｇを吸引し、ガラス基板Ｇの吸着分離を開始する。この際、ガラス基板搬送ユニット１０は、図６Ｂに示されるように、吸着されたガラス基板Ｇの上辺部が、下辺部に比し、先にスペーサＳから分離するように、基板吸着面１０５の姿勢を変化させる（回転軸１０３により、ガラス基板Ｇの傾斜方向と反対方向に基板吸着面１０５を回転させる）。そして、ガラス基板Ｇの上辺部がスペーサＳと分離した時点で、該分離空間に対して、押さえローラ２０５近傍に配設された不図示の噴射ノズルにより、ガラス基板Ｇの上方から下方に向かってエアーＦを吹き付ける。
【００７５】
これにより、ガラス基板搬送ユニット１０に吸着されたガラス基板Ｇの裏面に、スペーサＳが引き摺られることなく、確実に、ガラス基板ＧをスペーサＳから分離することができる。
【００７６】
次に、図７Ａ〜図７Ｃ，図８を参照して、スペーサＳの分離搬送動作について説明する。
【００７７】
図７Ａに示されるように、ガラス基板搬送ユニット１０は、スペーサＳから吸着分離したガラス基板Ｇの姿勢を水平に変更しつつ、可動フレーム５により台車Ｄ側から基板ステージＧＳ側へ矢印ｃ方向に沿って水平移動し、基板ステージＧＳ上にて吸着パッド１０７，１０７・・による吸引を解除してガラス基板Ｇの移載を完了する。
【００７８】
一方、ガラス基板搬送ユニット１０がガラス基板Ｇの姿勢を略水平にした時点で、基板ステージＧＳの下方に配置されたスペーサ搬送ユニット３０は、台車Ｄ側に向かって水平移動し、所定の位置で停止した後、ロール部材３０５が、ガイド部３０３，３０３に沿ってスペーサＳ側に移動し、屈曲アーム３０７の先端に設けられた吸着パッド３１０，３１０・・がスペーサＳの表面を圧接する所定の位置で停止する（図４参照）。
【００７９】
このように、ガラス基板搬送ユニット１０とスペーサ搬送ユニット３０とを、基板ステージＧＳを介して上下に分離配置し、ガラス基板搬送ユニット１０により吸着搬送されるガラス基板Ｇの姿勢が略水平となった時点で、スペーサ搬送ユニット３０が矢印ｄ方向に沿って水平移動し、スペーサＳにアプローチすることにより、ガラス基板搬送ユニット１０の移動空間と、スペーサ搬送ユニット３０の移動空間とが上下に分離され、それぞれのユニット１０，３０の移動範囲を互いに干渉させることなく、ガラス基板Ｇの分離搬送とスペーサＳの分離搬送との併行作業を各ユニット１０，３０の簡易な駆動制御で行うことができ、これにより、一層の作業の高速化（処理タクトの短縮化）及び装置のコンパクト化が可能となる。
【００８０】
その後、スペーサ搬送ユニット３０は、図７Ｂに示されるように、吸着パッド３１０，３１０・・により、スペーサＳの吸引を開始すると共に、吸着保持したスペーサＳを、スペーサ押さえユニット２０の押さえローラ２０５，２０５・・により固定されたスペーサＳの固定辺を中心として、矢印ｅ方向に沿った円軌道を描くように回転させる。
【００８１】
このスペーサＳの分離動作について図８を参照してさらに説明する。
【００８２】
図８に拡大して示されるように、スペーサ搬送ユニット３０は、吸着パッド３１０，３１０・・により、スペーサＳの吸着を開始した後、屈曲アーム３０７が取り付けられたロール部材３０５を、ガイド部３０３，３０３に沿って基板ステージＧＳ側に移動させて（図４参照）、スペーサＳの下辺部の吸着パッド３１０，３１０・・による吸着位置と押さえローラ２０５，２０５・・による固定位置とのスペーサ長手方向に沿った距離を回転半径とし、スペーサＳをこの一定の回転半径を維持したまま矢印ｅ方向に沿って回転させる。すなわち、スペーサＳの押さえローラ２０５により固定された上部固定辺と対向する下部対向辺を吸着パッド３１０，３１０・・により吸着し、この下部対向辺が該上部固定辺を中心とした円軌道を描くように回転させる。
【００８３】
なお、吸着パッド３１０，３１０・・により、スペーサＳの吸着を行う際には、スペーサＳの幅方向両端部に対応する吸着パッドから、中央部に対応する吸着パッドに沿った順序で、順次吸引を行うと共に、スペーサＳの下辺部が次のガラス基板Ｇと分離し始めた時点で、スペーサＳの所定の取り出し位置下方近傍に配置された除電器３２０により、イオン化空気流ＩＦをスペーサＳの下方から上方に向かって吹き付ける。ここで、除電器３２０は、イオン化された空気流ＩＦを吹き付ける噴射ノズルであり、例えば、ガラス基板Ｇ間に介在するスペーサＳが静電気によりマイナスに帯電されている場合には、これと逆極性のプラスにイオン化された空気流ＩＦを吹き付けるものである。
【００８４】
このようにスペーサＳの幅方向両端部に対応する吸着パッド３１０から順次吸引を開始することにより、幅方向全域に亘って全吸着パッド３１０，３１０・・により同時に吸引を行う場合に比し、より小さな吸引力でスムーズにスペーサＳの分離を行うことができる。
【００８５】
また、このような分離動作により形成された下方空間に、イオン化空気流ＩＦを噴射することにより、除去する際に後面のガラス基板Ｇの表面に付着し易い、ガラス基板Ｇ間で帯電されたスペーサＳの除電を行い、静電気力による次のガラス基板Ｇの表面へのスペーサＳの付着をより確実に防止し、スペーサＳのスムーズな分離を促進することができる。
【００８６】
さらに、所定の円軌道を描くようにスペーサＳを回転させることにより、分離動作中のスペーサＳの表面と、吸着パッド３１０，３１０・・が取り付けられた屈曲アーム３０７，３０７・・の先端部との角度を、略垂直に維持することができ、これにより、常に、吸着パッド３１０，３１０・・の吸着面とスペーサＳの表面とを密着状態に維持し、分離動作中の吸着パッド３１０，３１０・・がスペーサＳから脱落することを防止すると共に、スペーサＳにたるみや皺が発生することがなく、分離動作中のスペーサＳのガラス基板Ｇへの付着を防止し、安定した分離動作を行うことが可能となる。
【００８７】
次に、スペーサ搬送ユニット３０により、スペーサＳがサイドチャックユニット４０の傾斜フレーム４０１，４０１の傾斜角度と略平行となる位置まで回転した時点で、サイドチャックユニット４０のサイドチャック４０５，４０５及びスペーサ搬送ユニット３０のロウアーチャック３１５，３１５が、スペーサＳの上端部両側辺及び下辺部両端をそれぞれ把持すると共に、スペーサ押さえユニット２０が、スペーサＳの上辺の固定を解除するように抑えローラ２０５，２０５・・を回転させる。
【００８８】
なお、サイドチャック４０５，４０５及びロウアーチャック３１５，３１５によるスペーサＳの把持位置は、スペーサＳの自由端の自重等による撓みや垂れ下がりを防止するという観点から、その四隅近傍であることが好ましい。
【００８９】
このようにスペーサＳが、傾斜フレーム４０１，４０１と略平行となった時点で、サイドチャック４０５，４０５及びロウアーチャック３１５，３１５で、スペーサＳを把持することにより、サイドチャック４０５，４０５及びロウアーチャック３１５，３１５のそれぞれが、スペーサＳに直線的にアプローチすることができ、これにより、各々の把持機構に関して、その把持姿勢を変更するための自由度（例えば、回転軸等）を付加的に設けることなく、より簡易な構成及び制御によりスペーサＳの分離搬送が可能となり、装置のコンパクト化・コストダウンに寄与することができる。併せて、搬送中のスペーサＳ全体には、四隅を把持したサイドチャック４０５，４０５及びロウアーチャック３１５，３１５により、常に、一定のテンションが付与されるので、搬送動作中におけるスペーサＳのたるみや皺の発生等を防止し、スペーサＳの搬送動作中における基板表面への付着や、付着摺接に伴う基板表面への傷の発生の防止、さらには、スペーサＳの再利用をより一層容易に実現することが可能となる。
【００９０】
なお、スペーサＳを保持搬送するという観点からは、サイドチャック４０５，４０５と、吸着パッド３１０，３１０・・とによりスペーサＳの保持搬送が可能となるが、より確実にスペーサＳのたるみや皺の発生を防止し、スペーサＳの付着摺接に伴う次のガラス基板Ｇ表面への傷の発生を防止するという観点から、上述のように、スペーサＳを回転させて、次のガラス基板Ｇの表面から分離させた時点で、該スペーサＳの四隅近傍をサイドチャック４０５，４０５及びロウアーチャック３１５，３１５により、把持することが好ましい。
【００９１】
次に、サイドチャック４０５，４０５及びロウアーチャック３１５，３１５により把持されたスペーサＳは、サイドチャック４０５，４０５が傾斜ガイドレール４０３，４０３に沿って、上方から下方に移動すると共に、吸着パッド３１０，３１０・・及びロウアーチャック３１５，３１５が、ケーシング３０１と共に、矢印ｆ方向に沿ってスペーサ収納ストッカＳＳ上の所定の位置に水平移動（図７Ｃ参照）することにより、スペーサＳを、次のガラス基板Ｇの表面と摺接させることなく、所定のストッカＳＳ上に搬送し、サイドチャック４０５，４０５及びロウアーチャック３１５，３１５による把持及び吸着パッド３１０，３１０・・による吸着を解放することにより、スペーサＳが所定のストッカＳＳ内に収容される。
【００９２】
以上の手順を繰り返すことにより、ガラス基板Ｇの分離搬送とスペーサＳの分離搬送との併行作業を、簡易な構成及び制御にて実現することができ、これにより、作業の高速化（処理タクトの短縮化）、コンパクト化及びコストダウンに寄与するガラス基板の移載装置を実現することができる。
【００９３】
また、台車Ｄ上に交互に傾斜積層されたガラス基板Ｇ及びスペーサＳのそれぞれを、確実に分離搬送することができると共に、スペーサＳを分離する際に、次のガラス基板Ｇの表面と摺接することがないので、微細な加工処理のための表面精度が要求されるガラス基板Ｇの表面への傷の発生を確実に防止することができる。
【００９４】
さらに、分離搬送中のスペーサＳに皺やたるみを発生させることがなく、スペーサＳをスペーサ収納ストッカＳＳ内にきれいに積載収納することができるので、スペーサＳの再利用が容易となる。
【００９５】
なお、本発明に係るガラス基板の移載装置１は、台車Ｄ上に傾斜積層されたガラス基板Ｇ及びスペーサＳをそれぞれ所定の場所に分離搬送するのみならず、加工ライン上で所定の加工処理が施され水平配置されたガラス基板Ｇを、同様な装置構成を用いて台車Ｄ上に傾斜積層する（以下、アンローディング作業ともいう）ことも可能となる。
【００９６】
次に、このようなアンローディング作業を行う場合の作業手順について、以下に説明する。
【００９７】
この場合は、上述した台車Ｄ上からガラス基板Ｇ及びスペーサＳを移載する作業（以下、ローディング作業ともいう）と、基本的に逆の作業を行うものであり、加工処理を終えたガラス基板の最終ステージが、ローディング作業の際の基板ステージＧＳに該当し、ローディング作業の場合と同様な移載装置を用いることができる。また、この際のスペーサ収納ストッカＳＳは、先に分離回収したスペーサ収納ストッカＳＳに、従来公知の、例えば、ローラ対を用いた切り出し装置を付設することにより、そのまま用いることができる。なお、ローディング作業と同様な手順については、簡単のためその説明を省略する。
【００９８】
本移載装置１を用いたアンローディング作業の場合には、まず、スペーサ収納ストッカＳＳに付設された従来公知の切り出し装置により、ストッカＳＳ上に積層されたスペーサＳを一枚ずつ切り出して、その排出側に配置された傾斜ガイドレール４０３，４０３と同様な傾斜を有するガイド部材上にその先端を突出させる。
【００９９】
これにより、切り出されたスペーサＳの先端は、傾斜フレーム４０１，４０１と同様な傾斜角度となり、傾斜ガイドレール４０３，４０３の下端部で待機していたサイドチャック４０５，４０５により、スペーサＳの先端部側辺を把持する。
【０１００】
そして、このサイドチャック４０５，４０５により、スペーサＳを傾斜ガイドレール４０３，４０３に沿って、所定の位置（スペーサＳが、台車Ｄの上端部を越えて、押さえローラ２０５，２０５・・により押し付け固定が可能となるような位置）まで引き上げて、押さえローラ２０５，２０５・・により、台車Ｄの上端部に押さえつけて固定する。
【０１０１】
その後、吸着パッド３１０，３１０・・を、台車Ｄの表面（スペーサＳと対向する傾斜面）に向かって回転させて、スペーサＳを台車Ｄに押し付けてセットする。
【０１０２】
次に、最終ステージ上のガラス基板Ｇをガラス基板搬送ユニット１０で、吸着搬送し、所定の搬出位置にセットされた台車Ｄ上に先に配置したスペーサＳを介して傾斜配置する。
【０１０３】
なお、簡易的には、吸着パッド３１０，３１０・・による回転押し付け動作を省略して、ガラス基板Ｇの移載動作により、スペーサＳの押し付けを行うようにしてもよい。
【０１０４】
このような動作を繰り返すことにより、加工処理を終えたガラス基板Ｇ及びスペーサＳが台車Ｄ上に交互に傾斜積層される。
【０１０５】
また、加工処理の程度によってガラス基板Ｇの表面を吸着することが好ましくない場合には、ガラス基板搬送ユニット１０の構成を変更して、ガラス基板Ｇの裏側から吸着するように構成すれば、同様の手順でアンローディング作業を行うことができる。
【０１０６】
なお、本実施の形態においては、スペーサＳをガラス基板Ｇから分離する際に、スペーサＳの上辺部を固定辺として下辺部を保持して回転させたが、本発明は、このような上辺部の固定辺に限定されるものではなく、例えば、装置構成及び駆動制御は複雑となるものの、下辺部を固定辺として、上辺部を回転させてもよいし、一側辺を固定辺として、他側辺を回転させてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０７】
【図１】本発明に係るガラス基板の移載装置を示す模式的構成図である。
【図２】本発明に係るガラス基板搬送ユニットを示す概略構成図である。
【図３】本発明に係るスペーサ押さえユニットを示す概略構成図である。
【図４】本発明に係るスペーサ搬送ユニットの内部構造を模式的に示す断面図である。
【図５】本発明に係るサイドチャックユニットを示す概略構成図である。
【図６Ａ】本発明に係る移載装置によるガラス基板の分離搬送動作を示す模式図である。
【図６Ｂ】本発明に係る移載装置によるガラス基板の分離搬送動作を示す模式図である。
【図７Ａ】本発明に係る移載装置によるスペーサの分離搬送動作を示す模式図である。
【図７Ｂ】本発明に係る移載装置によるスペーサの分離搬送動作を示す模式図である。
【図７Ｃ】本発明に係る移載装置によるスペーサの分離搬送動作を示す模式図である。
【図８】本発明に係る移載装置によるスペーサの分離動作を示す拡大図である
【符号の説明】
【０１０８】
１：移載装置、３：フレーム、５：可動フレーム、１０：ガラス基板搬送ユニット、１０１：伸縮部、１０３：回転軸、１０５：基板吸着面、１０７：基板吸着パッド、２０：スペーサ押さえユニット、２０１：回転軸、２０３：回転支持部材、２０４：ローラ軸、２０５：ローラ、２０７：駆動シリンダ、３０：スペーサ搬送ユニット、３０１：ケーシング、３０１Ｓ：内側面、３０３：ガイド部、３０５：ロール部材、３０７：屈曲アーム、３０９：吸着支持部材、３１０：スペーサ吸着パッド、３１３：伸縮軸、３１５：ロウアーチャック、３２０：除電器、４０：サイドチャックユニット、４０１：傾斜フレーム、４０３：傾斜ガイドレール、４０４：伸縮軸、４０５：サイドチャック、５０：コントローラユニット、Ｄ：台車、ＤＤ：台車移動ユニット、ＤＳ：傾斜面、Ｇ：ガラス基板、ＧＳ：基板ステージ、ＩＦ：イオン化空気流、Ｓ：スペーサ、ＳＳ：スペーサ収納ストッカ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板とスペーサとが交互に積層され、所定の傾斜角度で傾斜配置された状態から、ガラス基板及びスペーサのそれぞれを所定の場所へ移載するガラス基板の移載装置において、
所定の位置に配された最前部のガラス基板を吸着して、該ガラス基板を所定の場所に移載する基板搬送手段と、
前記最前部のガラス基板の後面に配されたスペーサを吸着して、次のガラス基板表面から分離し所定の場所に移載するスペーサ分離搬送手段と
を備え、
前記スペーサ分離搬送手段は、前記基板搬送手段が前記ガラス基板を吸着する際には、前記スペーサの一辺を固定すると共に、前記スペーサを分離搬送する際には、該固定辺を中心とした円軌道を描くようにスペーサを回転させて、該スペーサを次のガラス基板の表面と摺接させずに該ガラス基板と分離して搬送することを特徴とするガラス基板の移載装置。
【請求項２】
前記スペーサ分離搬送手段は、前記スペーサの上辺部を前記次のガラス基板の上端部に押さえ付けて固定するスペーサ押さえローラと、前記ガラス基板の所定の傾斜角度よりも緩やかな傾斜角度で配設された傾斜ガイドレールに沿って移動可能に形成され、前記スペーサの両側辺を把持するサイドチャックと、前記スペーサの下辺部を吸着保持して搬送するスペーサ保持手段とを備え、
前記スペーサは、前記スペーサ押さえローラにより固定されたスペーサの上辺部を中心に、前記スペーサ保持手段により前記傾斜ガイドレールと略平行となるまで回転されて、前記サイドチャックにより前記上辺部近傍を把持されることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の移載装置。
【請求項３】
前記スペーサ保持手段は、前記スペーサの表面を吸着して前記傾斜ガイドレールと略平行となるまで円軌道を描かせるように回転させて次の基板表面から分離する、スペーサの幅方向に亘って配設された複数の吸着パッドを備え、
前記スペーサを該複数の吸着パッドにより吸着分離する際には、前記スペーサの幅方向両端部に対応する吸着パッドから中央部に対応する吸着パッドに向かって、順次、吸着して分離することを特徴とする請求項２に記載にガラス基板の移載装置。
【請求項４】
前記スペーサ保持手段は、前記スペーサが、前記傾斜ガイドレールと略平行となった時点で、前記スペーサの下辺部両端近傍を把持するロウアーチャックをさらに備えることを特徴とする請求項２又は３に記載のガラス基板の移載装置。
【請求項５】
前記基板搬送手段と、前記スペーサ保持手段とは、前記ガラス基板の所定の搬送場所を介して上下に配設されていると共に、各々水平移動可能に形成されており、前記基板搬送手段が吸着分離したガラス基板を所定の移載場所に向かって水平方向に移動しつつ前記ガラス基板の姿勢を略水平にした際に、前記スペーサ保持手段は、スペーサに向かって水平方向に移動して前記スペーサの分離を行うことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のガラス基板の移載装置。
【請求項６】
前記スペーサ分離搬送手段が、前記スペーサを回転させて、次のガラス基板から分離させた際に、該分離によって形成されるスペーサと次のガラス基板との間の空間に、スペーサの帯電極性と逆極性に帯電させたイオン化空気流を吹き付ける除電手段をさらに備えることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のガラス基板の移載装置。
【請求項７】
前記ガラス基板及びスペーサは、その最前部のガラス基板が、常に、所定の位置となるように所定のタイミングで移動することを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載のガラス基板の移載装置。
【請求項８】
ガラス基板とスペーサとが交互に積層され、所定の傾斜角度で傾斜配置された状態から、ガラス基板及びスペーサのそれぞれを所定の場所へ移載するガラス基板の移載方法において、
前記積層されたガラス基板のうち、最前部のガラス基板を吸着する際には、後面に配されたスペーサの一辺を固定し、該ガラス基板をスペーサから分離して所定の場所に移載し、
前記ガラス基板が傾斜配置された状態から所定の場所に移載される間に、前記スペーサの固定辺を中心として該スペーサを一定の回転半径を維持するように回転させて、スペーサの四隅近傍を保持した後、該スペーサの一辺の固定を解除して、スペーサを次のガラス基板の表面と摺接させずに該ガラス基板と分離して搬送することを特徴とするガラス基板の移載方法。
【請求項１】
ガラス基板とスペーサとが交互に積層され、所定の傾斜角度で傾斜配置された状態から、ガラス基板及びスペーサのそれぞれを所定の場所へ移載するガラス基板の移載装置において、
所定の位置に配された最前部のガラス基板を吸着して、該ガラス基板を所定の場所に移載する基板搬送手段と、
前記最前部のガラス基板の後面に配されたスペーサを吸着して、次のガラス基板表面から分離し所定の場所に移載するスペーサ分離搬送手段と
を備え、
前記スペーサ分離搬送手段は、前記基板搬送手段が前記ガラス基板を吸着する際には、前記スペーサの一辺を固定すると共に、前記スペーサを分離搬送する際には、該固定辺を中心とした円軌道を描くようにスペーサを回転させて、該スペーサを次のガラス基板の表面と摺接させずに該ガラス基板と分離して搬送することを特徴とするガラス基板の移載装置。
【請求項２】
前記スペーサ分離搬送手段は、前記スペーサの上辺部を前記次のガラス基板の上端部に押さえ付けて固定するスペーサ押さえローラと、前記ガラス基板の所定の傾斜角度よりも緩やかな傾斜角度で配設された傾斜ガイドレールに沿って移動可能に形成され、前記スペーサの両側辺を把持するサイドチャックと、前記スペーサの下辺部を吸着保持して搬送するスペーサ保持手段とを備え、
前記スペーサは、前記スペーサ押さえローラにより固定されたスペーサの上辺部を中心に、前記スペーサ保持手段により前記傾斜ガイドレールと略平行となるまで回転されて、前記サイドチャックにより前記上辺部近傍を把持されることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の移載装置。
【請求項３】
前記スペーサ保持手段は、前記スペーサの表面を吸着して前記傾斜ガイドレールと略平行となるまで円軌道を描かせるように回転させて次の基板表面から分離する、スペーサの幅方向に亘って配設された複数の吸着パッドを備え、
前記スペーサを該複数の吸着パッドにより吸着分離する際には、前記スペーサの幅方向両端部に対応する吸着パッドから中央部に対応する吸着パッドに向かって、順次、吸着して分離することを特徴とする請求項２に記載にガラス基板の移載装置。
【請求項４】
前記スペーサ保持手段は、前記スペーサが、前記傾斜ガイドレールと略平行となった時点で、前記スペーサの下辺部両端近傍を把持するロウアーチャックをさらに備えることを特徴とする請求項２又は３に記載のガラス基板の移載装置。
【請求項５】
前記基板搬送手段と、前記スペーサ保持手段とは、前記ガラス基板の所定の搬送場所を介して上下に配設されていると共に、各々水平移動可能に形成されており、前記基板搬送手段が吸着分離したガラス基板を所定の移載場所に向かって水平方向に移動しつつ前記ガラス基板の姿勢を略水平にした際に、前記スペーサ保持手段は、スペーサに向かって水平方向に移動して前記スペーサの分離を行うことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のガラス基板の移載装置。
【請求項６】
前記スペーサ分離搬送手段が、前記スペーサを回転させて、次のガラス基板から分離させた際に、該分離によって形成されるスペーサと次のガラス基板との間の空間に、スペーサの帯電極性と逆極性に帯電させたイオン化空気流を吹き付ける除電手段をさらに備えることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のガラス基板の移載装置。
【請求項７】
前記ガラス基板及びスペーサは、その最前部のガラス基板が、常に、所定の位置となるように所定のタイミングで移動することを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載のガラス基板の移載装置。
【請求項８】
ガラス基板とスペーサとが交互に積層され、所定の傾斜角度で傾斜配置された状態から、ガラス基板及びスペーサのそれぞれを所定の場所へ移載するガラス基板の移載方法において、
前記積層されたガラス基板のうち、最前部のガラス基板を吸着する際には、後面に配されたスペーサの一辺を固定し、該ガラス基板をスペーサから分離して所定の場所に移載し、
前記ガラス基板が傾斜配置された状態から所定の場所に移載される間に、前記スペーサの固定辺を中心として該スペーサを一定の回転半径を維持するように回転させて、スペーサの四隅近傍を保持した後、該スペーサの一辺の固定を解除して、スペーサを次のガラス基板の表面と摺接させずに該ガラス基板と分離して搬送することを特徴とするガラス基板の移載方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６Ａ】
【図６Ｂ】
【図７Ａ】
【図７Ｂ】
【図７Ｃ】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６Ａ】
【図６Ｂ】
【図７Ａ】
【図７Ｂ】
【図７Ｃ】
【図８】
【公開番号】特開２００６−２９８５０７（Ｐ２００６−２９８５０７Ａ）
【公開日】平成１８年１１月２日（２００６．１１．２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−１１８２９９（Ｐ２００５−１１８２９９）
【出願日】平成１７年４月１５日（２００５．４．１５）
【出願人】（０００２１７５９４）田辺工業株式会社 (2)
【出願人】（３９１０６１５１０）株式会社藤森技術研究所 (20)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年１１月２日（２００６．１１．２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年４月１５日（２００５．４．１５）
【出願人】（０００２１７５９４）田辺工業株式会社 (2)
【出願人】（３９１０６１５１０）株式会社藤森技術研究所 (20)
【Ｆターム（参考）】
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