シミュレータ、シミュレーションシステムおよびプログラム
【課題】基板処理装置のソフトウェアの品質を向上させる。
【解決手段】基板処理装置のソフトウェアをデバッグする環境として、シミュレーションシステム１を用いる。シミュレーションシステム１には、シミュレータ１０とコンピュータ４０とを設ける。コンピュータ４０には、基板処理装置のソフトウェア（試験対象のソフトウェア）をインストールし、これを動作させることにより基板処理装置の制御ユニットを模擬させる。シミュレータ１０においても専用のソフトウェアを動作させることによりコンピュータ４０からの制御に従って、基板処理装置の実装処理ユニットの動作を模擬させる。
【解決手段】基板処理装置のソフトウェアをデバッグする環境として、シミュレーションシステム１を用いる。シミュレーションシステム１には、シミュレータ１０とコンピュータ４０とを設ける。コンピュータ４０には、基板処理装置のソフトウェア（試験対象のソフトウェア）をインストールし、これを動作させることにより基板処理装置の制御ユニットを模擬させる。シミュレータ１０においても専用のソフトウェアを動作させることによりコンピュータ４０からの制御に従って、基板処理装置の実装処理ユニットの動作を模擬させる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置のソフトウェアを試験する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板の製造工程においては、制御ユニットと複数の実装処理ユニットとを備えた基板処理装置が用いられる。
【０００３】
図１０は、基板処理装置１００の構成を示す図である。基板処理装置１００は、制御ユニット１０１、インタフェースユニット１０２、操作ユニット１０３および複数の実装処理ユニット１０４を備える。
【０００４】
制御ユニット１０１は、ネットワーク９を介してインタフェースユニット１０２と接続され、詳細は説明しないが一般的なパーソナルコンピュータを構成するハードウェアを備えている。制御ユニット１０１は、専用のソフトウェア（プログラムや設定ファイル等）に従って動作し、ネットワーク９およびインタフェースユニット１０２を介して、複数の実装処理ユニット１０４を制御する。
【０００５】
インタフェースユニット１０２は、実装処理ユニット１０４をネットワーク９に接続する機能を有する。これにより、実装処理ユニット１０４におけるデータ通信が個々に異なるプロトコルであったり、あるいは直接ネットワーク９に接続できないプロトコルであっても、制御ユニット１０１との間でデータの送受信を行うことができる。
【０００６】
操作ユニット１０３は、インタフェースユニット１０２に接続され、オペレータが基板処理装置１００を操作するのに必要な指示を入力するために使用される。操作ユニット１０３をインタフェースユニット１０２に接続するための端子（コネクタ）は、一般には実装処理ユニット１０４の位置に設けられている。
【０００７】
個々の実装処理ユニット１０４は基板に対してぞれぞれが所定の処理（例えば、搬送処理、洗浄処理、塗布処理、検査処理、露光処理および現像処理等）を実行する。実装処理ユニット１０４は、複数の処理ユニットからユーザの要望等に基づいて選択されて、基板処理装置１００に搭載される。
【０００８】
このように、基板処理装置１００は、複数の実装処理ユニット１０４を備え、制御ユニット１０１の制御によって、これら複数の実装処理ユニット１０４が基板に対してそれぞれ決められた処理を行うことにより、基板に対する一連の処理が実行される。
【０００９】
基板に対して実行すべき処理は、基板の製造段階や製造する基板の種類等に応じて異なる。したがって、基板処理装置１００に要求される実装処理ユニット１０４の数および種類は状況に応じて様々に変化する。すなわち、実装処理ユニット１０４の数および種類に応じてハードウェア構成の異なる様々なバリエーションの基板処理装置１００が存在することとなる。そして、基板処理装置１００のハードウェア構成が異なれば、制御ユニット１０１の制御対象が異なるので、それに応じて制御ユニット１０１のソフトウェアを開発する必要がある。
【００１０】
基板処理装置１００に限らずソフトウェアを開発する場合のデバッグは、当該ソフトウェアが動作するハードウェアをデバッグ機として準備して行うことが好ましい。しかし、基板処理装置１００の個々の実装処理ユニット１０４は、比較的大型かつ高価な装置であるため、様々なバリエーションの基板処理装置１００を随時デバッグ機として準備することは事実上不可能である。
【００１１】
そこで従来より、基本構成の基板処理装置１００をデバッグ機として組み立て、これを用いて個々に開発したソフトウェアのデバッグを行っていた。
【００１２】
【特許文献１】特開２００３−３４５６２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところが、従来のデバッグにおいて使用される基本構成の基板処理装置１００といえども大型かつ高価であるため、充分な台数を確保することがスペースおよびコストの両面において困難であり、試験が充分に行えないという問題があった。また、ソフトウェアが動作するハードウェア構成と、デバッグ機のハードウェア構成とが必ずしも一致しないために、ソフトウェアの試験内容が限定されるという問題があった。
【００１４】
すなわち、従来の技術では、基板処理装置の開発環境が充分でないために、基板処理装置（ソフトウェア）の試験が不充分となり、品質が低下するという問題があった。
【００１５】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、コストを抑制しつつ、基板処理装置のソフトウェアの品質を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記の課題を解決するため、請求項１の発明は、基板処理装置の制御ユニットとしての機能を有する外部装置に接続されるシミュレータであって、前記外部装置から得られる情報に基づいて、前記基板処理装置を構成する実装処理ユニットの模擬動作を定義する定義情報を参照しつつ、前記実装処理ユニットの動作を模擬するユニット模擬部と、前記外部装置と前記ユニット模擬部との間で、前記基板処理装置における前記制御ユニットと前記実装処理ユニットとの間のデータ通信を模擬するインタフェース模擬部とを備えることを特徴とする。
【００１７】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係るシミュレータであって、前記ユニット模擬部の動作状況を表示する表示部をさらに備えることを特徴とする。
【００１８】
また、請求項３の発明は、請求項１または２の発明に係るシミュレータであって、前記ユニット模擬部が動作を模擬する実装処理ユニットに、基板を搬送する搬送ユニットが含まれることを特徴とする。
【００１９】
また、請求項４の発明は、基板処理装置のソフトウェアを動作させるシミュレーションシステムであって、前記ソフトウェアが動作することにより前記基板処理装置の制御ユニットの機能を有するコンピュータと、前記コンピュータに接続されるシミュレータとを備え、前記シミュレータは、前記コンピュータから得られる情報に基づいて、前記基板処理装置の実装処理ユニットの模擬動作を定義する定義情報を参照しつつ、前記実装処理ユニットの動作を模擬するユニット模擬部と、前記コンピュータと前記ユニット模擬部との間で、前記基板処理装置における前記制御ユニットと前記実装処理ユニットとの間のデータ通信を模擬するインタフェース模擬部とを備えることを特徴とする。
【００２０】
また、請求項５の発明は、基板処理装置のソフトウェアを動作させるシミュレーションシステムであって、前記基板処理装置の制御ユニットと、前記制御ユニットに接続されるシミュレータとを備え、前記シミュレータは、前記制御ユニットから得られる情報に基づいて、前記基板処理装置の実装処理ユニットの模擬動作を定義する定義情報を参照しつつ、前記実装処理ユニットの動作を模擬するユニット模擬部と、前記制御ユニットと前記ユニット模擬部との間で、前記基板処理装置における前記制御ユニットと前記実装処理ユニットとの間のデータ通信を模擬するインタフェース模擬部とを備えることを特徴とする。
【００２１】
また、請求項６の発明は、コンピュータ読み取り可能なプログラムであって、前記プログラムの前記コンピュータによる実行は、前記コンピュータを、基板処理装置の制御ユニットとしての機能を有する外部装置に接続されるシミュレータであって、前記外部装置から得られる情報に基づいて、前記基板処理装置を構成する実装処理ユニットの模擬動作を定義する定義情報を参照しつつ、前記実装処理ユニットの動作を模擬するユニット模擬部と、前記外部装置と前記ユニット模擬部との間で、前記基板処理装置における前記制御ユニットと前記実装処理ユニットとの間のデータ通信を模擬するインタフェース模擬部とを備えるシミュレータとして機能させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
請求項１ないし３に記載の発明では、外部装置から得られる情報に基づいて、基板処理装置を構成する実装処理ユニットの模擬動作を定義する定義情報を参照しつつ、実装処理ユニットの動作を模擬するユニット模擬部と、外部装置とユニット模擬部との間で、基板処理装置における制御ユニットと実装処理ユニットとの間のデータ通信を模擬するインタフェース模擬部とを備えることにより、基板処理装置の実装処理ユニットがなくても、基板処理装置のシミュレーションを行うことができる。
【００２３】
請求項２に記載の発明では、ユニット模擬部の動作状況を表示する表示部をさらに備えることにより、ユニット模擬部によって模擬される動作の状況を容易にモニタリングできるとともに、動作状況の変更も可能となる。
【００２４】
請求項４に記載の発明では、基板処理装置のソフトウェアが動作することにより基板処理装置の制御ユニットの機能を有するコンピュータと、コンピュータに接続されるシミュレータとを備え、シミュレータは、コンピュータから得られる情報に基づいて、基板処理装置の実装処理ユニットの模擬動作を定義する定義情報を参照しつつ、実装処理ユニットの動作を模擬するユニット模擬部と、コンピュータとユニット模擬部との間で、基板処理装置における制御ユニットと実装処理ユニットとの間のデータ通信を模擬するインタフェース模擬部とを備えることにより、実際の基板処理装置がなくても、基板処理装置のシミュレーションを行うことができる。
【００２５】
請求項５に記載の発明では、基板処理装置の制御ユニットと、制御ユニットに接続されるシミュレータとを備え、シミュレータは、制御ユニットから得られる情報に基づいて、基板処理装置の実装処理ユニットの模擬動作を定義する定義情報を参照しつつ、実装処理ユニットの動作を模擬するユニット模擬部と、制御ユニットとユニット模擬部との間で、基板処理装置における制御ユニットと実装処理ユニットとの間のデータ通信を模擬するインタフェース模擬部とを備えることにより、処理ユニットがなくても基板処理装置のシミュレーションを行うことができる。また、制御ユニットについては実機でシミュレーションできるため、精度が向上する。
【００２６】
請求項６に記載の発明では、コンピュータを、基板処理装置の制御ユニットとしての機能を有する外部装置に接続されるシミュレータであって、外部装置から得られる情報に基づいて、基板処理装置を構成する実装処理ユニットの模擬動作を定義する定義情報を参照しつつ、実装処理ユニットの動作を模擬するユニット模擬部と、外部装置とユニット模擬部との間で、基板処理装置における制御ユニットと実装処理ユニットとの間のデータ通信を模擬するインタフェース模擬部とを備えるシミュレータとして機能させることにより、基板処理装置の実装処理ユニットがなくても、基板処理装置のシミュレーションを行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の好適な実施の形態について、添付の図面を参照しつつ、詳細に説明する。
【００２８】
＜１． 第１の実施の形態＞
図１は、本発明に係るシミュレーションシステム１を示す図である。
【００２９】
基板処理装置には、実装可能な複数の処理ユニットが製品のラインナップとして準備されており、これらのうちからユーザの要望等に応じて必要な処理ユニットが選択されて、組み合わされる。すなわち、基板処理装置は、複数の処理ユニットの組合せで構成され、カスタマイズによって様々なバリエーションが存在する。
【００３０】
以下の説明では、便宜上、シミュレーションシステム１のシミュレートの対象となる基板処理装置として図１０に示す基板処理装置１００を例に説明する。すなわち、シミュレーションシステム１は、基板処理装置１００のために開発されたソフトウェアを試験（デバッグ）するシステムとして説明する。
【００３１】
なお、実装処理ユニット１０４は基板に何らかの処理を行うユニットであって、具体的には、洗浄ユニット、搬送ユニット、乾燥ユニット、加熱ユニット、冷却ユニット、塗布ユニット、現像ユニット、検査ユニット、除去（剥離）ユニット等が相当する。ただし、実装処理ユニット１０４はこれらに限定されるものではなく、直接的に基板に対する処理を行わない液供給ユニットのようなユニットも含む。
【００３２】
また、実装処理ユニット１０４は、複数のハードウェアを有するものに限定されるものではなく、制御可能で、かつ所定の動作を行うハードウェアであれば、個々のランプやセンサ、ブザー、モータ等の単体のハードウェアであってもよい。ただし、説明の都合上、「実装処理ユニット」には、「制御ユニット」、「インタフェースユニット」および「操作ユニット」は含まないものとする。
【００３３】
シミュレーションシステム１は、シミュレータ１０と、コンピュータ４０と、操作ユニット５０とを備える。シミュレーションシステム１において、シミュレータ１０とコンピュータ４０とは、ネットワーク９を介して接続される。
【００３４】
ネットワーク９は、一般的なコンピュータを相互に接続するネットワークである。本実施の形態では、ネットワーク９として、図１０に示す基板処理装置１００において、制御ユニット１０１とインタフェースユニット１０２との間で採用されるネットワークを採用する。
【００３５】
シミュレータ１０は、ユニット模擬装置２０およびインタフェース模擬装置３０を備え、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３０とはネットワーク９を介して接続される。
【００３６】
図２は、ユニット模擬装置２０の構成を示す図である。図２に示すように、ユニット模擬装置２０は、ＣＰＵ２１、記憶装置２２、操作部２３、表示部２４、ディスク装置２５および通信部２６を備え、一般的なパーソナルコンピュータとしての機能を有している。
【００３７】
図２に示す定義リスト２２１は、様々なパラメータや定義式、設定等の情報を含む情報の集合体である。定義リスト２２１には、基板処理装置１００に搭載される実装処理ユニット１０４の模擬動作を定義する情報（振る舞い定義情報）や、入力情報のデフォルト値を定義する情報（デフォルト定義情報）等が含まれる。
【００３８】
定義リスト２２１は、基板処理装置１００を設計する際に生成される設計情報等に基づいて、例えば、オペレータが予め作成し、記憶装置２２に記憶させておく。すなわち、ユーザの要望に応じて、基板処理装置１００が設計されると（ハードウェア構成が決定されると）、それに基づいて定義リスト２２１が作成される。
【００３９】
ＣＰＵ２１は、記憶装置２２に記憶されているプログラム２２０に従って動作するとともに、必要に応じて定義リスト２２１を参照することにより、ユニット模擬装置２０の各構成を制御する。
【００４０】
図３は、ユニット模擬装置２０の機能ブロックを示す図である。図３に示すデータ転送部２１０、ユニット模擬部２１１および表示制御部２１３は、主にＣＰＵ２１がプログラム２２０に従って動作することにより実現される機能ブロックである。
【００４１】
データ転送部２１０は、通信部２６がインタフェース模擬装置３０から受信した情報を入力情報２２２として記憶装置２２に転送する。また、データ転送部２１０は、出力情報２２３のうち、コンピュータ４０（あるいは操作ユニット５０）に送信すべき情報を通信部２６に伝達してインタフェース模擬装置３０に向けて送信させる。
【００４２】
ユニット模擬部２１１は、複数のデバイス模擬部２１２（第１模擬部２１２ａ、第２模擬部２１２ｂ、・・・、第ｎ模擬部２１２ｎ（ｎは自然数））を備えている。ユニット模擬部２１１は、基板処理装置１００に搭載されている複数のデバイスを、１つずつ第１模擬部２１２ａ、第２模擬部２１２ｂ、・・・、第ｎ模擬部２１２ｎのいずれかに割り当てる。
【００４３】
詳細は後述するが、デバイスを割り当てられたデバイス模擬部２１２は、それぞれが割り当てられたデバイスの動作を個々に模擬する。
【００４４】
ここで、実装処理ユニット１０４を構成しないデバイス（基板処理装置１００に搭載されないデバイス）は、定義リスト２２１に模擬動作が定義されることはない。逆に言えば、定義リスト２２１において、模擬動作が定義されているデバイスは、有効なハードウェア（基板処理装置１００に搭載されるデバイス）を示しており、ユニット模擬装置２０はこれを模擬する必要がある。
【００４５】
したがって、ユニット模擬部２１１は、定義リスト２２１を参照することにより、デバイス模擬部２１２に割り当てることが必要なデバイスを判断する。
【００４６】
図４は、定義リスト２２１において模擬動作を定義する例を示す図である。本実施の形態におけるシミュレータ１０（図１参照）では、デバイス（ハードウェア）ごとにＣＳＶ形式で模擬動作を定義することにより予め定義リスト２２１を作成し記憶しておく。図４に示す例は、「バルブ開出力」がＯＮにされると、１ｓｅｃ後に「バルブ開確認入力」をＯＮにするという「純水回収バルブ」の模擬動作を定義している。
【００４７】
これを参照することにより、ユニット模擬部２１１は、「純水回収バルブ」を、例えば第１模擬部２１２ａに割り当てる。また、同じデバイスであっても、模擬動作は複数定義される（例えばバルブ開動作とバルブ閉動作）。したがって、ユニット模擬部２１１は、同一のデバイスが重複した場合は、新たに割り当ては行わない。
【００４８】
より詳しくは、ユニット模擬部２１１は、予め第１模擬部２１２ａ、第２模擬部２１２ｂ、・・・、第ｎ模擬部２１２ｎを備えているのではなく、定義リスト２２１を参照することにより、新たに割り当てが必要なデバイスを発見したときに、新たなデバイス模擬部２１２を生成して、これに当該デバイスを割り当てる。
【００４９】
このように、記憶装置２２に定義リスト２２１が予め記憶されているので、ユニット模擬部２１１は、シミュレーションの対象となる基板処理装置１００に搭載されるすべてのデバイス（模擬する必要があるデバイス）を、デバイス模擬部２１２に割り当てることができる。
【００５０】
処理ユニットは、通常、１つ以上のデバイスから構成される。そして、この処理ユニットが、実装処理ユニット１０４として基板処理装置１００に搭載されると、処理ユニットを構成するすべてのデバイスは基板処理装置１００に搭載されることとなる。したがって、基板処理装置１００に搭載されるすべてのデバイスをデバイス模擬部２１２に割り当てて、各デバイス模擬部２１２がそれらの動作を模擬することによって、ユニット模擬部２１１は、すべての実装処理ユニット１０４の動作を模擬する。
【００５１】
なお、図４に例示するように、定義リスト２２１における入出力情報（Ｉ／Ｏ）は、それぞれに割り当てられたアドレスではなく、アドレスに対応したシンボル（上記例では、「InDIWDrainOpen」や「OutPublicDrain1」）を使用して定義する。
【００５２】
これにより、オペレータは容易に模擬動作を定義（定義リスト２２１を作成）することができる。ただし、シンボルと当該シンボルのデフォルト値との対応は別途定義する必要があり、先述のように、定義リスト２２１にはこれらを定義するデフォルト定義情報も含まれている。
【００５３】
表示制御部２１３（図３参照）は、ユニット模擬部２１１および操作部２３からの入力に基づいて、表示部２４を制御する。表示制御部２１３は、シミュレーションの状況を表示させる機能およびシミュレーションシステム１におけるＧＵＩを提供する機能を有する機能ブロックである。
【００５４】
シミュレーションの状況を表示させる機能として、例えば、表示制御部２１３は、デバイスが割り当てられたデバイス模擬部２１２に対して、所定の表示領域を割り当てる。そして、ユニット模擬部２１１からこれらデバイス模擬部２１２の状況に関する情報を取得して、表示部２４に表示させる。このとき、デバイス模擬部２１２の状況を文字情報として表示するだけでなく、デバイス模擬部２１２に対応するデバイスの特性に応じて、その表示形式を変えることも可能である。
【００５５】
例えば、デバイス模擬部２１２によって模擬するデバイスが「ランプ」である場合、このランプを模擬的に表した画像を表示領域に表示させ、これを擬似的に点滅させることによってデバイス模擬部２１２の状況を表示させる。すなわち、デバイスが何らかの表示デバイスである場合、表示部２４にその表示を模擬させる。
【００５６】
これにより、オペレータは、より実機に近い状態で、シミュレーションの状況をモニタリングできる。なお、表示部２４によって模擬されるハードウェア（デバイス）としては、「ランプ」だけに限られるものではなく、例えば、「ゲージ」や「メータ」「パネル」等であってもよい。
【００５７】
また、表示制御部２１３は、操作部２３からオペレータの指示を受け取り、表示部２４の表示（表示領域）を切り替える。これにより、オペレータは注目しているデバイス（実装処理ユニット１０４）についての状況を容易に確認できる。なお、表示部２４に表示される情報（表示領域）は同時に表示されてもよい。
【００５８】
表示制御部２１３のＧＵＩ提供機能としては、表示部２４にＧＵＩ画面を表示させるとともに、ＧＵＩに従ってオペレータによって入力された情報を操作部２３から受け取り、主にユニット模擬部２１１に伝達する。このようにして入力される情報として、例えば定義リスト２２１に定義されている内容を変更する情報がある。オペレータからの入力があった場合は、入力された情報を定義リスト２２１に定義されている情報に優先するように伝達することにより、シミュレータ１０は、例えば、試験内容（シミュレート条件）を変更できる。
【００５９】
図２に戻って、記憶装置２２は、図示しないＲＯＭ、ＲＡＭおよびハードディスク等から構成され、各種データを適宜記憶する。特に、本実施の形態における記憶装置２２は、プログラム２２０および定義リスト２２１を記憶する。
【００６０】
操作部２３は、各種ボタン類やキーボードおよびマウス等から構成され、オペレータがユニット模擬装置２０を操作する際に、必要なデータを入力するために使用される。特に、操作部２３は、表示部２４に表示される画面（ＧＵＩ）に従って、データを入力する際に使用される。
【００６１】
表示部２４は、表示制御部２１３に従って、各種データを画面に表示する。先述のように、表示部２４は、デバイス模擬部２１２の動作状況や、定義リスト２２１の内容等を表示する。このように、オペレータは、表示部２４に表示される動作状況を確認することによって、実装処理ユニット１０４がシミュレーションされる状況を容易にモニタリングでき、また、動作の状況を変更させることも可能となる。
【００６２】
ディスク装置２５は、可搬性の記憶媒体９０を読み取る装置である。本実施の形態では、記憶媒体９０に記憶された定義リスト２２１がディスク装置２５によって読み取られ、記憶装置２２に転送され記憶される。ディスク装置２５としては、例えば、ＦＤドライブ装置、ＣＤ−ＲＯＭドライブ装置およびＤＶＤドライブ装置等が該当する。なお、ディスク装置２５は、各種データを記憶媒体９０に記憶させる（書き込む）機能を有していてもよい。
【００６３】
通信部２６は、ユニット模擬装置２０をネットワーク９に接続する機能を有し、インタフェース模擬装置３０との間でデータ通信を行う。
【００６４】
シミュレーションシステム１では、コンピュータ４０とインタフェース模擬装置３０とを接続するネットワーク９を、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３０とを接続するネットワークとしても使用する。このようにネットワーク９を兼用することにより、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３０とを接続するためのネットワークを別途構築する必要がない。
【００６５】
また、本実施の形態における通信部２６は、基板処理装置１００におけるインタフェースユニット１０２と実装処理ユニット１０４との間で採用されるプロトコルにかかわらず、インタフェース模擬装置３０との間で、ネットワーク９を用いるプロトコルでデータ通信を行う。
【００６６】
このように、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３０との間で、一般的なプロトコルを採用することにより、シミュレータ１０は、ユニット模擬装置２０のハードウェアとして市販のパーソナルコンピュータを用いることができ、装置コストを抑制できる。
【００６７】
また、図１０から明らかなように、基板処理装置１００において、各実装処理ユニット１０４の直接的な通信相手はインタフェースユニット１０２に固定されている。すなわち、実装処理ユニット１０４は、直接的にはインタフェースユニット１０２とのみデータ通信を行い、制御ユニット１０１との間で直接的なデータ通信は行わない。
【００６８】
一方、シミュレーションシステム１において、通信部２６はネットワーク９に接続される。したがって、ネットワーク９を介してユニット模擬装置２０とコンピュータ４０とが接続され、ハードウェア的にはユニット模擬装置２０とコンピュータ４０との間で直接的なデータ通信が可能である。
【００６９】
しかし、ユニット模擬装置２０の通信部２６は、ネットワーク９を使用しつつも、直接的にはインタフェース模擬装置３０とのみ通信を行う。
【００７０】
図５は、インタフェース模擬装置３０の構成を示す図である。インタフェース模擬装置３０は、ＣＰＵ３１、記憶装置３２、第１通信部３３および第２通信部３４を備えている。インタフェース模擬装置３０は、制御ユニット１０１の機能を有する外部装置（コンピュータ４０）にネットワーク９を介して接続され、コンピュータ４０とユニット模擬装置２０との間のデータ通信を行う機能を有している。
【００７１】
ＣＰＵ３１は、記憶装置３２に記憶されているプログラム３２０に従って動作することにより、インタフェース模擬装置３０の各構成を制御する。
【００７２】
記憶装置３２は、図示しないＲＯＭやＲＡＭから構成され、各種データを適宜記憶する。特に、記憶装置３２は、プログラム３２０を記憶する。
【００７３】
第１通信部３３および第２通信部３４は、ネットワーク階層モデルにおける下位層（いわゆる物理層）に相当し、具体的には端子やケーブル等のハードウェアである。
【００７４】
第１通信部３３は、インタフェース模擬装置３０をネットワーク９に接続する。これにより、コンピュータ４０とインタフェース模擬装置３０とデータ通信、およびユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３０とのデータ通信が実現される。
【００７５】
シミュレーションシステム１では、コンピュータ４０とインタフェース模擬装置３０との間のデータ通信には、基板処理装置１００における制御ユニット１０１とインタフェースユニット１０２との間のデータ通信に用いられるプロトコルを採用する。本実施の形態における基板処理装置１００は、制御ユニット１０１とインタフェースユニット１０２との間で、ＴＣＰ／ＩＰプロトコルにてデータ通信を行う。したがって、本実施の形態における第１通信部３３は、ＴＣＰ／ＩＰプロトコルに準拠したハードウェアインタフェースとなっている。
【００７６】
第１通信部３３は、先述のように、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３０とを接続する機能も有する。しかし、基板処理装置１００におけるインタフェースユニット１０２と各実装処理ユニット１０４とを接続するプロトコル（以下、「ローカルプロトコル」と称する）は、ＴＣＰ／ＩＰプロトコルに限られない。むしろ、ＴＣＰ／ＩＰプロトコルはローカルプロトコルとして採用されていない。
【００７７】
ローカルプロトコルは、個々の実装処理ユニット１０４を構成するハードウェアの特性に応じて適切なプロトコルが採用されるため、実装処理ユニット１０４ごとに異なる場合もある。このようなローカルプロトコルとして、基板処理装置１００は、例えば、Ｉ／Ｏポートによるプロトコル、シリアル通信ポートによるプロトコル、およびモータドライバによるプロトコル等を採用する。
【００７８】
すなわち、インタフェース模擬装置３０における第１通信部３３は、コンピュータ４０との間では制御ユニット１０１とインタフェースユニット１０２との間のプロトコルをそのまま再現する一方で、ユニット模擬装置２０との間では個々のローカルプロトコルをすべてＴＣＰ／ＩＰプロトコルによって模擬する。
【００７９】
第２通信部３４は、インタフェース模擬装置３０と操作ユニット５０とを接続する。第２通信部３４は、基板処理装置１００におけるインタフェースユニット１０２と操作ユニット１０３との間のデータ通信に用いられるプロトコルを採用する。これにより、基板処理装置１００の操作ユニット１０３（図１０参照）と同等の操作ユニット５０をインタフェース模擬装置３０にそのまま接続できる。本実施の形態では、第２通信部３４として、ＲＳ２３２Ｃを採用するが、もちろんこれに限定されるものではない。
【００８０】
図６は、インタフェース模擬装置３０の機能ブロックを示す図である。図６に示すデータ転送部３１０，３１１，３１２は、主にＣＰＵ３１（図５参照）がプログラム３２０（図５参照）に従って動作することにより実現される機能ブロックである。すなわち、データ転送部３１０，３１１，３１２はいずれも主にソフトウェアによって実現される機能ブロックである。
【００８１】
データ転送部３１０，３１１はネットワーク階層モデルにおける中位層に相当し、例えばミドルウェアやドライバである。また、データ転送部３１２はネットワーク階層モデルにおける上位層に相当し、例えばアプリケーションソフトウェアである。
【００８２】
データ転送部３１０は、データ転送部３１２から受け取った情報（基板処理装置１００におけるデータフォーマットの情報）を、第１通信部３３に適したデータフォーマット（本実施の形態ではＴＣＰ／ＩＰプロトコルに準拠したデータフォーマット）に変換して第１通信部３３に受け渡す。また、第１通信部３３から受け取った情報を、基板処理装置１００におけるデータフォーマットに変換して、データ転送部３１２に受け渡す。データ転送部３１０は、第１通信部３３とデータ転送部３１２との間で、基板処理装置１００におけるデータ通信を模擬する機能（模擬機能）と、再現する機能（再現機能）とを有している。
【００８３】
データ転送部３１０の模擬機能と再現機能とについて詳細に説明する。
【００８４】
基板処理装置１００においてインタフェースユニット１０２と実装処理ユニット１０４との間で送受信される情報（図１０参照）は、先述のように、当該実装処理ユニット１０４との間で採用されているローカルプロトコルに準拠したデータフォーマットで送受信される。したがって、基板処理装置１００のインタフェースユニット１０２は、実装処理ユニット１０４との間で送受信する情報を、個々のローカルプロトコルに適したデータフォーマットに作り替える機能を有している。
【００８５】
ところで、基板処理装置１００においてローカルプロトコルで送受信される情報に相当する情報は、シミュレーションシステム１においてはインタフェース模擬装置３０とユニット模擬装置２０との間で送受信される。そして、シミュレーションシステム１は、インタフェース模擬装置３０とユニット模擬装置２０との間のデータ通信をネットワーク９を介して行う。
【００８６】
すなちわ、シミュレーションシステム１は、インタフェースユニット１０２と実装処理ユニット１０４との間のローカルプロトコルを、インタフェース模擬装置３０の第１通信部３３、ネットワーク９およびユニット模擬装置２０の通信部２６によってハードウェア的に模擬する。
【００８７】
一方、シミュレーションシステム１は、インタフェースユニット１０２と制御ユニット１０１との間のデータ通信を、インタフェース模擬装置３０の第１通信部３３、ネットワーク９およびコンピュータ４０の通信部４６（図７）によってハードウェア的に再現する。
【００８８】
すなわち、データ転送部３１２から受け取った情報のうち、ユニット模擬装置２０に送信される情報はデータ転送部３１０の模擬機能によって第１通信部３３に受け渡され、コンピュータ４０に送信される情報はデータ転送部３１０の再現機能によって第１通信部３３に受け渡される。
【００８９】
また、第１通信部３３から受け取った情報のうち、ユニット模擬装置２０から送信された情報はデータ転送部３１０の模擬機能によってデータ転送部３１２に受け渡され、コンピュータ４０から送信された情報はデータ転送部３１０の再現機能によってデータ転送部３１２に受け渡される。
【００９０】
このように、インタフェース模擬装置３０は、基板処理装置１００におけるインタフェースユニット１０２と各実装処理ユニット１０４との間のローカルプロトコルを、第１通信部３３によってハードウェア的に模擬するとともに、データ転送部３１０によってソフトウェア的に模擬する。また、インタフェース模擬装置３０は、基板処理装置１００におけるインタフェースユニット１０２と制御ユニット１０１との間のデータ通信を再現する。このようにして、インタフェース模擬装置３０は、制御ユニット１０１と実装処理ユニット１０４との間のデータ通信を模擬する。
【００９１】
基板処理装置１００の実装処理ユニット１０４をユニット模擬装置２０によって模擬することにより、シミュレーションシステム１のハードウェアには、実装処理ユニット１０４を構成するハードウェアが含まれない。したがって、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３０との間のデータ通信は、実装処理ユニット１０４を構成するハードウェアの制約をうけることなく、比較的任意のプロトコルを採用できる。
【００９２】
本実施の形態におけるシミュレーションシステム１では、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３０との間のデータ通信として、制御ユニット１０１とインタフェースユニット１０２との間のプロトコルを採用する。これにより、コンピュータ４０とインタフェース模擬装置３０との間のネットワーク９を、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３０との間でも兼用できるため、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３０との間に別途ネットワークを構築する必要がない。
【００９３】
データ転送部３１１は、第２通信部３４とデータ転送部３１２との間で情報の受け渡しを行う。すなわち、操作ユニット５０から第２通信部３４が受信した情報は、データ転送部３１１によってデータ転送部３１２に転送される。一方、操作ユニット５０に向けて送信される情報は、データ転送部３１１によって第２通信部３４に転送される。
【００９４】
データ転送部３１２は、データ転送部３１０，３１１の間の情報の転送を行う。すなわち、データ転送部３１０，３１１のいずれかからデータ転送部３１２が受け取った情報は、データ転送部３１２によって宛先に応じてデータ転送部３１０，３１１のいずれかに転送される。具体的には、ユニット模擬装置２０またはコンピュータ４０が宛先となっている情報はデータ転送部３１０に転送され、操作ユニット５０が宛先となっている情報はデータ転送部３１１に転送される。
【００９５】
図７は、コンピュータ４０の構成を示す図である。コンピュータ４０は、ＣＰＵ４１、記憶装置４２、操作部４３、表示部４４、ディスク装置４５および通信部４６を備え、基板処理装置１００の制御ユニット１０１が備えるハードウェアと同等のハードウェアを備えている。また、コンピュータ４０は、一般的なパーソナルコンピュータとしての機能を有している。
【００９６】
ＣＰＵ４１は、設定ファイル４２１を参照しつつプログラム４２０に従って動作することにより、各種データの演算や制御信号の生成を行い、コンピュータ４０の各構成を制御する。
【００９７】
ここで、プログラム４２０および設定ファイル４２１は、基板処理装置１００にそのまま搭載される「製品」であり、主にシミュレーションシステム１の試験（デバッグ）の対象となるソフトウェアである。プログラム４２０および設定ファイル４２１は、基板処理装置１００を設計・開発する際に、オペレータ（プログラマ）によって作成される。
【００９８】
このように、制御ユニット１０１にインストールされるプログラム４２０および設定ファイル４２１を記憶装置４２に記憶し、当該プログラム４２０および設定ファイル４２１に基づいて、制御ユニット１０１と同等のハードウェアを制御することにより、コンピュータ４０は制御ユニット１０１としての機能を発揮する。
【００９９】
例えば、ＣＰＵ４１は、実装処理ユニット１０４に対する制御情報を生成し、生成した制御情報を、インタフェースユニット１０２を介して実装処理ユニット１０４に向けて送信するように通信部４６を制御する。ただし、シミュレーションシステム１では、通信部４６から送信される情報は、インタフェース模擬装置３０を介してユニット模擬装置２０に向けて送信される。また、ＣＰＵ４１は、シミュレータ１０から通信部４６が受信した情報に基づいて、新たな制御情報を生成したり、あるいは必要な情報を表示部４４に表示させる。
【０１００】
記憶装置４２は、図示しないＲＯＭ、ＲＡＭおよびハードディスク等から構成され、必要に応じて各種データを記憶する。特に、記憶装置４２は、プログラム４２０および設定ファイル４２１を記憶する。
【０１０１】
操作部４３は、各種ボタン類やキーボードおよびマウス等から構成され、オペレータがコンピュータ４０を操作するためのデータを入力するために使用される。なお、シミュレーションシステム１が基板処理装置１００のシミュレートを行っているとき、コンピュータ４０を操作するために入力されるデータとは、主に基板処理装置１００を操作するために入力されるデータに相当する。
【０１０２】
また、表示部４４は、各種データを画面に表示する。表示部４４は、基板処理装置１００の制御ユニット１０１において表示されるデータを表示する機能を有している。
【０１０３】
コンピュータ４０は、特に操作部４３および表示部４４について、実際の基板処理装置１００に搭載される制御ユニット１０１と同等のハードウェアを採用する。これにより、コンピュータ４０は、基板処理装置１００の制御ユニット１０１と同じマンマシンインタフェース（特に表示部４４に表示されるＧＵＩ）を提供できる。したがって、オペレータは、実際の制御ユニット１０１（基板処理装置１００）を操作している感覚でコンピュータ４０を操作できる。
【０１０４】
ディスク装置４５は、可搬性の記憶媒体９１を読み取る装置である。本実施の形態では、記憶媒体９１に記憶されたプログラム４２０および設定ファイル４２１がディスク装置４５によって読み取られ、記憶装置４２に転送され記憶される。ディスク装置４５としては、例えば、ＦＤドライブ装置、ＣＤ−ＲＯＭドライブ装置およびＤＶＤドライブ装置等が該当する。なお、ディスク装置４５は、各種データを記憶媒体９１に記憶させる（書き込む）機能を有していてもよい。
【０１０５】
通信部４６は、コンピュータ４０をネットワーク９に接続する。これにより、コンピュータ４０とシミュレータ１０との間でデータ通信が可能となる。ただし、通信部４６の直接の通信相手先は、シミュレータ１０のインタフェース模擬装置３０に固定されており、通信部４６はインタフェース模擬装置３０を介さずにユニット模擬装置２０との間でデータ通信することはできないようにされている。すなわち、コンピュータ４０とユニット模擬装置２０との間のデータ通信は、必ずインタフェース模擬装置３０を介して行われる。
【０１０６】
図８は、操作ユニット５０の構成を示す図である。操作ユニット５０は、ＣＰＵ５１、記憶装置５２、操作部５３、表示部５４および通信部５６を備え、比較的小型で可搬性あるユニットである。
【０１０７】
一般に基板処理装置１００は大型の装置であるため、基板処理装置１００の制御ユニット１０１を操作するオペレータにとって、制御ユニット１０１の位置から各実装処理ユニット１０４の様子や表示状況（ランプやメータ等）を完全に把握することは難しい。
【０１０８】
そこで、基板処理装置１００には、予め様々な位置にコネクタが設けられており、これに操作ユニット１０３を接続するように設計されている。すなわち、基板処理装置１００は、オペレータが任意の位置にあるコネクタまで操作ユニット１０３を持参することにより、基板処理装置１００を任意の位置で操作できるように構成されている。
【０１０９】
シミュレーションシステム１は、操作ユニット１０３（図１０）と同じ操作ユニット５０を用いることにより、操作ユニット１０３を用いた場合の基板処理装置１００のシミュレーションも行えるよう構成されている。
【０１１０】
本来、操作ユニット１０３は、基板処理装置１００のバリエーションにかかわらず、共通に用いられるユニットである。すなわち、基板処理装置１００のバリエーションに応じて、シミュレーションシステム１の操作ユニット５０をいくつも準備しておいて取り替える必要はない。したがって、シミュレーションシステム１において、操作ユニット１０３をそのまま操作ユニット５０として採用したとしても、実装処理ユニット１０４のような問題は発生しない。
【０１１１】
なお、操作ユニット１０３をユニット模擬装置２０によって模擬することも可能であり、その場合、シミュレーションシステム１において操作ユニット１０３のハードウェアは不要になる。しかし、その場合は、基板処理装置１００のマンマシンインタフェース（特にハードウェアに依存する部分）を忠実に再現することはできない。
【０１１２】
ＣＰＵ５１は、プログラム５２０に従って動作することにより、各種データの演算や制御信号を生成する。なお、プログラム５２０は、基板処理装置１００の操作ユニット１０３に搭載されるものと同じプログラムである。
【０１１３】
記憶装置５２は、図示しないＲＯＭやＲＡＭ等から構成され、プログラム５２０の他、各種データを記憶する。
【０１１４】
操作部５３は、オペレータが指示を入力するために使用される。また、表示部５４は、適宜、情報（例えばＧＵＩ）を画面に表示する。
【０１１５】
以上のような本実施の形態におけるシミュレーションシステム１上で、試験対象のプログラム（プログラム４２０および設定ファイル４２１）を動作させると、基板処理装置１００の制御ユニット１０１に表示される内容は、コンピュータ４０の表示部４４に表示される。また、このときの基板処理装置１００における実装処理ユニット１０４の動作は、シミュレータ１０によって模擬され、その動作状況は、ユニット模擬装置２０の表示部２４に表示される。
【０１１６】
したがって、シミュレーションシステム１を用いることにより、基板処理装置１００の実装処理ユニット１０４を用いることなく、当該実装処理ユニット１０４を用いるのと同等の条件で、基板処理装置１００のソフトウェア（プログラム４２０および設定ファイル４２１）のデバッグを行うことができる。したがって、基板処理装置１００のソフトウェアの品質を向上させることが可能となる。
【０１１７】
＜２． 第２の実施の形態＞
第１の実施の形態では、基板処理装置１００の制御ユニット１０１を、一般的なパーソナルコンピュータであるコンピュータ４０によって模擬していた。しかし、制御ユニット１０１は、必ずしも模擬されなくてもよい。
【０１１８】
図９は、第２の実施の形態におけるシミュレーションシステム１ａを示す図である。第２の実施の形態におけるシミュレーションシステム１ａは、コンピュータ４０の代わりに制御ユニット４０ａを備える点がシミュレーションシステム１と異なる。
【０１１９】
本来、制御ユニット１０１はネットワーク９に接続する機能を有している。したがって、コンピュータ４０の代わりに、制御ユニット１０１と同じ制御ユニット４０ａをネットワーク９に接続することも可能である。
【０１２０】
制御ユニット１０１は、操作ユニット１０３と同様に、基板処理装置１００のバリエーションにかかわらず、共通に用いられるユニットである。すなわち、シミュレーションシステム１ａにおいて制御ユニット４０ａを用いるように構成したとしても、基板処理装置１００のバリエーションに応じて、制御ユニット４０ａをいくつも準備しておいて取り替える必要はない。したがって、シミュレーションシステム１ａのように、制御ユニット１０１をそのまま制御ユニット４０ａとして採用したとしても、実装処理ユニット１０４のような問題は発生しない。
【０１２１】
以上のように、第２の実施の形態におけるシミュレーションシステム１ａは、シミュレータ１０に接続する外部装置として、基板処理装置１００の制御ユニット４０ａを用いることにより、第１の実施の形態におけるシミュレーションシステム１と同様の効果を得ることができる。
【０１２２】
また、コンピュータ４０の代わりに制御ユニット４０ａを用いることにより、第２の実施の形態におけるシミュレーションシステム１ａは、第１の実施の形態におけるシミュレーションシステム１に比べて、より実機に近い環境でデバッグを行うことができる。
【０１２３】
＜３． 変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
【０１２４】
例えば、上記実施の形態では、制御ユニット１０１の機能を有するコンピュータ４０（または制御ユニット４０ａ）と、ユニット模擬装置２０とを別々のコンピュータで実現していたが、これを１台のコンピュータで実現することも可能である。
【０１２５】
例えば、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３０との間のネットワークは、ネットワーク９を兼用しなくてもよい。すなわち、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３０とを別途ケーブルで接続してもよい。あるいは、インタフェース模擬装置３０をユニット模擬装置２０に収納可能なインタフェースボードとして構成し、シミュレータ１０を一体化された装置として構成することも可能である。その場合は、シミュレータ１０を小型化でき、しいてはシミュレーションシステム１を小型化できる。
【図面の簡単な説明】
【０１２６】
【図１】本発明に係るシミュレーションシステムを示す図である。
【図２】ユニット模擬装置の構成を示す図である。
【図３】ユニット模擬装置の機能ブロックを示す図である。
【図４】定義リストにおいて模擬動作を定義する例を示す図である。
【図５】インタフェース模擬装置の構成を示す図である。
【図６】インタフェース模擬装置の機能ブロックを示す図である。
【図７】コンピュータの構成を示す図である。
【図８】操作ユニットの構成を示す図である。
【図９】第２の実施の形態におけるシミュレーションシステムを示す図である。
【図１０】基板処理装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
【０１２７】
１，１ａ シミュレーションシステム
１０ シミュレータ
２０ ユニット模擬装置
２１１ ユニット模擬部
２２０ プログラム
２２１ 定義リスト
２２２ 入力情報
２２３ 出力情報
２６ 通信部
３０ インタフェース模擬装置
３１０，３１１，３１２ データ転送部
３２０ プログラム
３３ 第１通信部
４０ コンピュータ
４０ａ 制御ユニット
４２０ プログラム
４２１ 設定ファイル
９ ネットワーク
１００ 基板処理装置
１０１ 制御ユニット
１０２ インタフェースユニット
１０４ 実装処理ユニット
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置のソフトウェアを試験する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板の製造工程においては、制御ユニットと複数の実装処理ユニットとを備えた基板処理装置が用いられる。
【０００３】
図１０は、基板処理装置１００の構成を示す図である。基板処理装置１００は、制御ユニット１０１、インタフェースユニット１０２、操作ユニット１０３および複数の実装処理ユニット１０４を備える。
【０００４】
制御ユニット１０１は、ネットワーク９を介してインタフェースユニット１０２と接続され、詳細は説明しないが一般的なパーソナルコンピュータを構成するハードウェアを備えている。制御ユニット１０１は、専用のソフトウェア（プログラムや設定ファイル等）に従って動作し、ネットワーク９およびインタフェースユニット１０２を介して、複数の実装処理ユニット１０４を制御する。
【０００５】
インタフェースユニット１０２は、実装処理ユニット１０４をネットワーク９に接続する機能を有する。これにより、実装処理ユニット１０４におけるデータ通信が個々に異なるプロトコルであったり、あるいは直接ネットワーク９に接続できないプロトコルであっても、制御ユニット１０１との間でデータの送受信を行うことができる。
【０００６】
操作ユニット１０３は、インタフェースユニット１０２に接続され、オペレータが基板処理装置１００を操作するのに必要な指示を入力するために使用される。操作ユニット１０３をインタフェースユニット１０２に接続するための端子（コネクタ）は、一般には実装処理ユニット１０４の位置に設けられている。
【０００７】
個々の実装処理ユニット１０４は基板に対してぞれぞれが所定の処理（例えば、搬送処理、洗浄処理、塗布処理、検査処理、露光処理および現像処理等）を実行する。実装処理ユニット１０４は、複数の処理ユニットからユーザの要望等に基づいて選択されて、基板処理装置１００に搭載される。
【０００８】
このように、基板処理装置１００は、複数の実装処理ユニット１０４を備え、制御ユニット１０１の制御によって、これら複数の実装処理ユニット１０４が基板に対してそれぞれ決められた処理を行うことにより、基板に対する一連の処理が実行される。
【０００９】
基板に対して実行すべき処理は、基板の製造段階や製造する基板の種類等に応じて異なる。したがって、基板処理装置１００に要求される実装処理ユニット１０４の数および種類は状況に応じて様々に変化する。すなわち、実装処理ユニット１０４の数および種類に応じてハードウェア構成の異なる様々なバリエーションの基板処理装置１００が存在することとなる。そして、基板処理装置１００のハードウェア構成が異なれば、制御ユニット１０１の制御対象が異なるので、それに応じて制御ユニット１０１のソフトウェアを開発する必要がある。
【００１０】
基板処理装置１００に限らずソフトウェアを開発する場合のデバッグは、当該ソフトウェアが動作するハードウェアをデバッグ機として準備して行うことが好ましい。しかし、基板処理装置１００の個々の実装処理ユニット１０４は、比較的大型かつ高価な装置であるため、様々なバリエーションの基板処理装置１００を随時デバッグ機として準備することは事実上不可能である。
【００１１】
そこで従来より、基本構成の基板処理装置１００をデバッグ機として組み立て、これを用いて個々に開発したソフトウェアのデバッグを行っていた。
【００１２】
【特許文献１】特開２００３−３４５６２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところが、従来のデバッグにおいて使用される基本構成の基板処理装置１００といえども大型かつ高価であるため、充分な台数を確保することがスペースおよびコストの両面において困難であり、試験が充分に行えないという問題があった。また、ソフトウェアが動作するハードウェア構成と、デバッグ機のハードウェア構成とが必ずしも一致しないために、ソフトウェアの試験内容が限定されるという問題があった。
【００１４】
すなわち、従来の技術では、基板処理装置の開発環境が充分でないために、基板処理装置（ソフトウェア）の試験が不充分となり、品質が低下するという問題があった。
【００１５】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、コストを抑制しつつ、基板処理装置のソフトウェアの品質を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記の課題を解決するため、請求項１の発明は、基板処理装置の制御ユニットとしての機能を有する外部装置に接続されるシミュレータであって、前記外部装置から得られる情報に基づいて、前記基板処理装置を構成する実装処理ユニットの模擬動作を定義する定義情報を参照しつつ、前記実装処理ユニットの動作を模擬するユニット模擬部と、前記外部装置と前記ユニット模擬部との間で、前記基板処理装置における前記制御ユニットと前記実装処理ユニットとの間のデータ通信を模擬するインタフェース模擬部とを備えることを特徴とする。
【００１７】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係るシミュレータであって、前記ユニット模擬部の動作状況を表示する表示部をさらに備えることを特徴とする。
【００１８】
また、請求項３の発明は、請求項１または２の発明に係るシミュレータであって、前記ユニット模擬部が動作を模擬する実装処理ユニットに、基板を搬送する搬送ユニットが含まれることを特徴とする。
【００１９】
また、請求項４の発明は、基板処理装置のソフトウェアを動作させるシミュレーションシステムであって、前記ソフトウェアが動作することにより前記基板処理装置の制御ユニットの機能を有するコンピュータと、前記コンピュータに接続されるシミュレータとを備え、前記シミュレータは、前記コンピュータから得られる情報に基づいて、前記基板処理装置の実装処理ユニットの模擬動作を定義する定義情報を参照しつつ、前記実装処理ユニットの動作を模擬するユニット模擬部と、前記コンピュータと前記ユニット模擬部との間で、前記基板処理装置における前記制御ユニットと前記実装処理ユニットとの間のデータ通信を模擬するインタフェース模擬部とを備えることを特徴とする。
【００２０】
また、請求項５の発明は、基板処理装置のソフトウェアを動作させるシミュレーションシステムであって、前記基板処理装置の制御ユニットと、前記制御ユニットに接続されるシミュレータとを備え、前記シミュレータは、前記制御ユニットから得られる情報に基づいて、前記基板処理装置の実装処理ユニットの模擬動作を定義する定義情報を参照しつつ、前記実装処理ユニットの動作を模擬するユニット模擬部と、前記制御ユニットと前記ユニット模擬部との間で、前記基板処理装置における前記制御ユニットと前記実装処理ユニットとの間のデータ通信を模擬するインタフェース模擬部とを備えることを特徴とする。
【００２１】
また、請求項６の発明は、コンピュータ読み取り可能なプログラムであって、前記プログラムの前記コンピュータによる実行は、前記コンピュータを、基板処理装置の制御ユニットとしての機能を有する外部装置に接続されるシミュレータであって、前記外部装置から得られる情報に基づいて、前記基板処理装置を構成する実装処理ユニットの模擬動作を定義する定義情報を参照しつつ、前記実装処理ユニットの動作を模擬するユニット模擬部と、前記外部装置と前記ユニット模擬部との間で、前記基板処理装置における前記制御ユニットと前記実装処理ユニットとの間のデータ通信を模擬するインタフェース模擬部とを備えるシミュレータとして機能させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
請求項１ないし３に記載の発明では、外部装置から得られる情報に基づいて、基板処理装置を構成する実装処理ユニットの模擬動作を定義する定義情報を参照しつつ、実装処理ユニットの動作を模擬するユニット模擬部と、外部装置とユニット模擬部との間で、基板処理装置における制御ユニットと実装処理ユニットとの間のデータ通信を模擬するインタフェース模擬部とを備えることにより、基板処理装置の実装処理ユニットがなくても、基板処理装置のシミュレーションを行うことができる。
【００２３】
請求項２に記載の発明では、ユニット模擬部の動作状況を表示する表示部をさらに備えることにより、ユニット模擬部によって模擬される動作の状況を容易にモニタリングできるとともに、動作状況の変更も可能となる。
【００２４】
請求項４に記載の発明では、基板処理装置のソフトウェアが動作することにより基板処理装置の制御ユニットの機能を有するコンピュータと、コンピュータに接続されるシミュレータとを備え、シミュレータは、コンピュータから得られる情報に基づいて、基板処理装置の実装処理ユニットの模擬動作を定義する定義情報を参照しつつ、実装処理ユニットの動作を模擬するユニット模擬部と、コンピュータとユニット模擬部との間で、基板処理装置における制御ユニットと実装処理ユニットとの間のデータ通信を模擬するインタフェース模擬部とを備えることにより、実際の基板処理装置がなくても、基板処理装置のシミュレーションを行うことができる。
【００２５】
請求項５に記載の発明では、基板処理装置の制御ユニットと、制御ユニットに接続されるシミュレータとを備え、シミュレータは、制御ユニットから得られる情報に基づいて、基板処理装置の実装処理ユニットの模擬動作を定義する定義情報を参照しつつ、実装処理ユニットの動作を模擬するユニット模擬部と、制御ユニットとユニット模擬部との間で、基板処理装置における制御ユニットと実装処理ユニットとの間のデータ通信を模擬するインタフェース模擬部とを備えることにより、処理ユニットがなくても基板処理装置のシミュレーションを行うことができる。また、制御ユニットについては実機でシミュレーションできるため、精度が向上する。
【００２６】
請求項６に記載の発明では、コンピュータを、基板処理装置の制御ユニットとしての機能を有する外部装置に接続されるシミュレータであって、外部装置から得られる情報に基づいて、基板処理装置を構成する実装処理ユニットの模擬動作を定義する定義情報を参照しつつ、実装処理ユニットの動作を模擬するユニット模擬部と、外部装置とユニット模擬部との間で、基板処理装置における制御ユニットと実装処理ユニットとの間のデータ通信を模擬するインタフェース模擬部とを備えるシミュレータとして機能させることにより、基板処理装置の実装処理ユニットがなくても、基板処理装置のシミュレーションを行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の好適な実施の形態について、添付の図面を参照しつつ、詳細に説明する。
【００２８】
＜１． 第１の実施の形態＞
図１は、本発明に係るシミュレーションシステム１を示す図である。
【００２９】
基板処理装置には、実装可能な複数の処理ユニットが製品のラインナップとして準備されており、これらのうちからユーザの要望等に応じて必要な処理ユニットが選択されて、組み合わされる。すなわち、基板処理装置は、複数の処理ユニットの組合せで構成され、カスタマイズによって様々なバリエーションが存在する。
【００３０】
以下の説明では、便宜上、シミュレーションシステム１のシミュレートの対象となる基板処理装置として図１０に示す基板処理装置１００を例に説明する。すなわち、シミュレーションシステム１は、基板処理装置１００のために開発されたソフトウェアを試験（デバッグ）するシステムとして説明する。
【００３１】
なお、実装処理ユニット１０４は基板に何らかの処理を行うユニットであって、具体的には、洗浄ユニット、搬送ユニット、乾燥ユニット、加熱ユニット、冷却ユニット、塗布ユニット、現像ユニット、検査ユニット、除去（剥離）ユニット等が相当する。ただし、実装処理ユニット１０４はこれらに限定されるものではなく、直接的に基板に対する処理を行わない液供給ユニットのようなユニットも含む。
【００３２】
また、実装処理ユニット１０４は、複数のハードウェアを有するものに限定されるものではなく、制御可能で、かつ所定の動作を行うハードウェアであれば、個々のランプやセンサ、ブザー、モータ等の単体のハードウェアであってもよい。ただし、説明の都合上、「実装処理ユニット」には、「制御ユニット」、「インタフェースユニット」および「操作ユニット」は含まないものとする。
【００３３】
シミュレーションシステム１は、シミュレータ１０と、コンピュータ４０と、操作ユニット５０とを備える。シミュレーションシステム１において、シミュレータ１０とコンピュータ４０とは、ネットワーク９を介して接続される。
【００３４】
ネットワーク９は、一般的なコンピュータを相互に接続するネットワークである。本実施の形態では、ネットワーク９として、図１０に示す基板処理装置１００において、制御ユニット１０１とインタフェースユニット１０２との間で採用されるネットワークを採用する。
【００３５】
シミュレータ１０は、ユニット模擬装置２０およびインタフェース模擬装置３０を備え、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３０とはネットワーク９を介して接続される。
【００３６】
図２は、ユニット模擬装置２０の構成を示す図である。図２に示すように、ユニット模擬装置２０は、ＣＰＵ２１、記憶装置２２、操作部２３、表示部２４、ディスク装置２５および通信部２６を備え、一般的なパーソナルコンピュータとしての機能を有している。
【００３７】
図２に示す定義リスト２２１は、様々なパラメータや定義式、設定等の情報を含む情報の集合体である。定義リスト２２１には、基板処理装置１００に搭載される実装処理ユニット１０４の模擬動作を定義する情報（振る舞い定義情報）や、入力情報のデフォルト値を定義する情報（デフォルト定義情報）等が含まれる。
【００３８】
定義リスト２２１は、基板処理装置１００を設計する際に生成される設計情報等に基づいて、例えば、オペレータが予め作成し、記憶装置２２に記憶させておく。すなわち、ユーザの要望に応じて、基板処理装置１００が設計されると（ハードウェア構成が決定されると）、それに基づいて定義リスト２２１が作成される。
【００３９】
ＣＰＵ２１は、記憶装置２２に記憶されているプログラム２２０に従って動作するとともに、必要に応じて定義リスト２２１を参照することにより、ユニット模擬装置２０の各構成を制御する。
【００４０】
図３は、ユニット模擬装置２０の機能ブロックを示す図である。図３に示すデータ転送部２１０、ユニット模擬部２１１および表示制御部２１３は、主にＣＰＵ２１がプログラム２２０に従って動作することにより実現される機能ブロックである。
【００４１】
データ転送部２１０は、通信部２６がインタフェース模擬装置３０から受信した情報を入力情報２２２として記憶装置２２に転送する。また、データ転送部２１０は、出力情報２２３のうち、コンピュータ４０（あるいは操作ユニット５０）に送信すべき情報を通信部２６に伝達してインタフェース模擬装置３０に向けて送信させる。
【００４２】
ユニット模擬部２１１は、複数のデバイス模擬部２１２（第１模擬部２１２ａ、第２模擬部２１２ｂ、・・・、第ｎ模擬部２１２ｎ（ｎは自然数））を備えている。ユニット模擬部２１１は、基板処理装置１００に搭載されている複数のデバイスを、１つずつ第１模擬部２１２ａ、第２模擬部２１２ｂ、・・・、第ｎ模擬部２１２ｎのいずれかに割り当てる。
【００４３】
詳細は後述するが、デバイスを割り当てられたデバイス模擬部２１２は、それぞれが割り当てられたデバイスの動作を個々に模擬する。
【００４４】
ここで、実装処理ユニット１０４を構成しないデバイス（基板処理装置１００に搭載されないデバイス）は、定義リスト２２１に模擬動作が定義されることはない。逆に言えば、定義リスト２２１において、模擬動作が定義されているデバイスは、有効なハードウェア（基板処理装置１００に搭載されるデバイス）を示しており、ユニット模擬装置２０はこれを模擬する必要がある。
【００４５】
したがって、ユニット模擬部２１１は、定義リスト２２１を参照することにより、デバイス模擬部２１２に割り当てることが必要なデバイスを判断する。
【００４６】
図４は、定義リスト２２１において模擬動作を定義する例を示す図である。本実施の形態におけるシミュレータ１０（図１参照）では、デバイス（ハードウェア）ごとにＣＳＶ形式で模擬動作を定義することにより予め定義リスト２２１を作成し記憶しておく。図４に示す例は、「バルブ開出力」がＯＮにされると、１ｓｅｃ後に「バルブ開確認入力」をＯＮにするという「純水回収バルブ」の模擬動作を定義している。
【００４７】
これを参照することにより、ユニット模擬部２１１は、「純水回収バルブ」を、例えば第１模擬部２１２ａに割り当てる。また、同じデバイスであっても、模擬動作は複数定義される（例えばバルブ開動作とバルブ閉動作）。したがって、ユニット模擬部２１１は、同一のデバイスが重複した場合は、新たに割り当ては行わない。
【００４８】
より詳しくは、ユニット模擬部２１１は、予め第１模擬部２１２ａ、第２模擬部２１２ｂ、・・・、第ｎ模擬部２１２ｎを備えているのではなく、定義リスト２２１を参照することにより、新たに割り当てが必要なデバイスを発見したときに、新たなデバイス模擬部２１２を生成して、これに当該デバイスを割り当てる。
【００４９】
このように、記憶装置２２に定義リスト２２１が予め記憶されているので、ユニット模擬部２１１は、シミュレーションの対象となる基板処理装置１００に搭載されるすべてのデバイス（模擬する必要があるデバイス）を、デバイス模擬部２１２に割り当てることができる。
【００５０】
処理ユニットは、通常、１つ以上のデバイスから構成される。そして、この処理ユニットが、実装処理ユニット１０４として基板処理装置１００に搭載されると、処理ユニットを構成するすべてのデバイスは基板処理装置１００に搭載されることとなる。したがって、基板処理装置１００に搭載されるすべてのデバイスをデバイス模擬部２１２に割り当てて、各デバイス模擬部２１２がそれらの動作を模擬することによって、ユニット模擬部２１１は、すべての実装処理ユニット１０４の動作を模擬する。
【００５１】
なお、図４に例示するように、定義リスト２２１における入出力情報（Ｉ／Ｏ）は、それぞれに割り当てられたアドレスではなく、アドレスに対応したシンボル（上記例では、「InDIWDrainOpen」や「OutPublicDrain1」）を使用して定義する。
【００５２】
これにより、オペレータは容易に模擬動作を定義（定義リスト２２１を作成）することができる。ただし、シンボルと当該シンボルのデフォルト値との対応は別途定義する必要があり、先述のように、定義リスト２２１にはこれらを定義するデフォルト定義情報も含まれている。
【００５３】
表示制御部２１３（図３参照）は、ユニット模擬部２１１および操作部２３からの入力に基づいて、表示部２４を制御する。表示制御部２１３は、シミュレーションの状況を表示させる機能およびシミュレーションシステム１におけるＧＵＩを提供する機能を有する機能ブロックである。
【００５４】
シミュレーションの状況を表示させる機能として、例えば、表示制御部２１３は、デバイスが割り当てられたデバイス模擬部２１２に対して、所定の表示領域を割り当てる。そして、ユニット模擬部２１１からこれらデバイス模擬部２１２の状況に関する情報を取得して、表示部２４に表示させる。このとき、デバイス模擬部２１２の状況を文字情報として表示するだけでなく、デバイス模擬部２１２に対応するデバイスの特性に応じて、その表示形式を変えることも可能である。
【００５５】
例えば、デバイス模擬部２１２によって模擬するデバイスが「ランプ」である場合、このランプを模擬的に表した画像を表示領域に表示させ、これを擬似的に点滅させることによってデバイス模擬部２１２の状況を表示させる。すなわち、デバイスが何らかの表示デバイスである場合、表示部２４にその表示を模擬させる。
【００５６】
これにより、オペレータは、より実機に近い状態で、シミュレーションの状況をモニタリングできる。なお、表示部２４によって模擬されるハードウェア（デバイス）としては、「ランプ」だけに限られるものではなく、例えば、「ゲージ」や「メータ」「パネル」等であってもよい。
【００５７】
また、表示制御部２１３は、操作部２３からオペレータの指示を受け取り、表示部２４の表示（表示領域）を切り替える。これにより、オペレータは注目しているデバイス（実装処理ユニット１０４）についての状況を容易に確認できる。なお、表示部２４に表示される情報（表示領域）は同時に表示されてもよい。
【００５８】
表示制御部２１３のＧＵＩ提供機能としては、表示部２４にＧＵＩ画面を表示させるとともに、ＧＵＩに従ってオペレータによって入力された情報を操作部２３から受け取り、主にユニット模擬部２１１に伝達する。このようにして入力される情報として、例えば定義リスト２２１に定義されている内容を変更する情報がある。オペレータからの入力があった場合は、入力された情報を定義リスト２２１に定義されている情報に優先するように伝達することにより、シミュレータ１０は、例えば、試験内容（シミュレート条件）を変更できる。
【００５９】
図２に戻って、記憶装置２２は、図示しないＲＯＭ、ＲＡＭおよびハードディスク等から構成され、各種データを適宜記憶する。特に、本実施の形態における記憶装置２２は、プログラム２２０および定義リスト２２１を記憶する。
【００６０】
操作部２３は、各種ボタン類やキーボードおよびマウス等から構成され、オペレータがユニット模擬装置２０を操作する際に、必要なデータを入力するために使用される。特に、操作部２３は、表示部２４に表示される画面（ＧＵＩ）に従って、データを入力する際に使用される。
【００６１】
表示部２４は、表示制御部２１３に従って、各種データを画面に表示する。先述のように、表示部２４は、デバイス模擬部２１２の動作状況や、定義リスト２２１の内容等を表示する。このように、オペレータは、表示部２４に表示される動作状況を確認することによって、実装処理ユニット１０４がシミュレーションされる状況を容易にモニタリングでき、また、動作の状況を変更させることも可能となる。
【００６２】
ディスク装置２５は、可搬性の記憶媒体９０を読み取る装置である。本実施の形態では、記憶媒体９０に記憶された定義リスト２２１がディスク装置２５によって読み取られ、記憶装置２２に転送され記憶される。ディスク装置２５としては、例えば、ＦＤドライブ装置、ＣＤ−ＲＯＭドライブ装置およびＤＶＤドライブ装置等が該当する。なお、ディスク装置２５は、各種データを記憶媒体９０に記憶させる（書き込む）機能を有していてもよい。
【００６３】
通信部２６は、ユニット模擬装置２０をネットワーク９に接続する機能を有し、インタフェース模擬装置３０との間でデータ通信を行う。
【００６４】
シミュレーションシステム１では、コンピュータ４０とインタフェース模擬装置３０とを接続するネットワーク９を、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３０とを接続するネットワークとしても使用する。このようにネットワーク９を兼用することにより、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３０とを接続するためのネットワークを別途構築する必要がない。
【００６５】
また、本実施の形態における通信部２６は、基板処理装置１００におけるインタフェースユニット１０２と実装処理ユニット１０４との間で採用されるプロトコルにかかわらず、インタフェース模擬装置３０との間で、ネットワーク９を用いるプロトコルでデータ通信を行う。
【００６６】
このように、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３０との間で、一般的なプロトコルを採用することにより、シミュレータ１０は、ユニット模擬装置２０のハードウェアとして市販のパーソナルコンピュータを用いることができ、装置コストを抑制できる。
【００６７】
また、図１０から明らかなように、基板処理装置１００において、各実装処理ユニット１０４の直接的な通信相手はインタフェースユニット１０２に固定されている。すなわち、実装処理ユニット１０４は、直接的にはインタフェースユニット１０２とのみデータ通信を行い、制御ユニット１０１との間で直接的なデータ通信は行わない。
【００６８】
一方、シミュレーションシステム１において、通信部２６はネットワーク９に接続される。したがって、ネットワーク９を介してユニット模擬装置２０とコンピュータ４０とが接続され、ハードウェア的にはユニット模擬装置２０とコンピュータ４０との間で直接的なデータ通信が可能である。
【００６９】
しかし、ユニット模擬装置２０の通信部２６は、ネットワーク９を使用しつつも、直接的にはインタフェース模擬装置３０とのみ通信を行う。
【００７０】
図５は、インタフェース模擬装置３０の構成を示す図である。インタフェース模擬装置３０は、ＣＰＵ３１、記憶装置３２、第１通信部３３および第２通信部３４を備えている。インタフェース模擬装置３０は、制御ユニット１０１の機能を有する外部装置（コンピュータ４０）にネットワーク９を介して接続され、コンピュータ４０とユニット模擬装置２０との間のデータ通信を行う機能を有している。
【００７１】
ＣＰＵ３１は、記憶装置３２に記憶されているプログラム３２０に従って動作することにより、インタフェース模擬装置３０の各構成を制御する。
【００７２】
記憶装置３２は、図示しないＲＯＭやＲＡＭから構成され、各種データを適宜記憶する。特に、記憶装置３２は、プログラム３２０を記憶する。
【００７３】
第１通信部３３および第２通信部３４は、ネットワーク階層モデルにおける下位層（いわゆる物理層）に相当し、具体的には端子やケーブル等のハードウェアである。
【００７４】
第１通信部３３は、インタフェース模擬装置３０をネットワーク９に接続する。これにより、コンピュータ４０とインタフェース模擬装置３０とデータ通信、およびユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３０とのデータ通信が実現される。
【００７５】
シミュレーションシステム１では、コンピュータ４０とインタフェース模擬装置３０との間のデータ通信には、基板処理装置１００における制御ユニット１０１とインタフェースユニット１０２との間のデータ通信に用いられるプロトコルを採用する。本実施の形態における基板処理装置１００は、制御ユニット１０１とインタフェースユニット１０２との間で、ＴＣＰ／ＩＰプロトコルにてデータ通信を行う。したがって、本実施の形態における第１通信部３３は、ＴＣＰ／ＩＰプロトコルに準拠したハードウェアインタフェースとなっている。
【００７６】
第１通信部３３は、先述のように、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３０とを接続する機能も有する。しかし、基板処理装置１００におけるインタフェースユニット１０２と各実装処理ユニット１０４とを接続するプロトコル（以下、「ローカルプロトコル」と称する）は、ＴＣＰ／ＩＰプロトコルに限られない。むしろ、ＴＣＰ／ＩＰプロトコルはローカルプロトコルとして採用されていない。
【００７７】
ローカルプロトコルは、個々の実装処理ユニット１０４を構成するハードウェアの特性に応じて適切なプロトコルが採用されるため、実装処理ユニット１０４ごとに異なる場合もある。このようなローカルプロトコルとして、基板処理装置１００は、例えば、Ｉ／Ｏポートによるプロトコル、シリアル通信ポートによるプロトコル、およびモータドライバによるプロトコル等を採用する。
【００７８】
すなわち、インタフェース模擬装置３０における第１通信部３３は、コンピュータ４０との間では制御ユニット１０１とインタフェースユニット１０２との間のプロトコルをそのまま再現する一方で、ユニット模擬装置２０との間では個々のローカルプロトコルをすべてＴＣＰ／ＩＰプロトコルによって模擬する。
【００７９】
第２通信部３４は、インタフェース模擬装置３０と操作ユニット５０とを接続する。第２通信部３４は、基板処理装置１００におけるインタフェースユニット１０２と操作ユニット１０３との間のデータ通信に用いられるプロトコルを採用する。これにより、基板処理装置１００の操作ユニット１０３（図１０参照）と同等の操作ユニット５０をインタフェース模擬装置３０にそのまま接続できる。本実施の形態では、第２通信部３４として、ＲＳ２３２Ｃを採用するが、もちろんこれに限定されるものではない。
【００８０】
図６は、インタフェース模擬装置３０の機能ブロックを示す図である。図６に示すデータ転送部３１０，３１１，３１２は、主にＣＰＵ３１（図５参照）がプログラム３２０（図５参照）に従って動作することにより実現される機能ブロックである。すなわち、データ転送部３１０，３１１，３１２はいずれも主にソフトウェアによって実現される機能ブロックである。
【００８１】
データ転送部３１０，３１１はネットワーク階層モデルにおける中位層に相当し、例えばミドルウェアやドライバである。また、データ転送部３１２はネットワーク階層モデルにおける上位層に相当し、例えばアプリケーションソフトウェアである。
【００８２】
データ転送部３１０は、データ転送部３１２から受け取った情報（基板処理装置１００におけるデータフォーマットの情報）を、第１通信部３３に適したデータフォーマット（本実施の形態ではＴＣＰ／ＩＰプロトコルに準拠したデータフォーマット）に変換して第１通信部３３に受け渡す。また、第１通信部３３から受け取った情報を、基板処理装置１００におけるデータフォーマットに変換して、データ転送部３１２に受け渡す。データ転送部３１０は、第１通信部３３とデータ転送部３１２との間で、基板処理装置１００におけるデータ通信を模擬する機能（模擬機能）と、再現する機能（再現機能）とを有している。
【００８３】
データ転送部３１０の模擬機能と再現機能とについて詳細に説明する。
【００８４】
基板処理装置１００においてインタフェースユニット１０２と実装処理ユニット１０４との間で送受信される情報（図１０参照）は、先述のように、当該実装処理ユニット１０４との間で採用されているローカルプロトコルに準拠したデータフォーマットで送受信される。したがって、基板処理装置１００のインタフェースユニット１０２は、実装処理ユニット１０４との間で送受信する情報を、個々のローカルプロトコルに適したデータフォーマットに作り替える機能を有している。
【００８５】
ところで、基板処理装置１００においてローカルプロトコルで送受信される情報に相当する情報は、シミュレーションシステム１においてはインタフェース模擬装置３０とユニット模擬装置２０との間で送受信される。そして、シミュレーションシステム１は、インタフェース模擬装置３０とユニット模擬装置２０との間のデータ通信をネットワーク９を介して行う。
【００８６】
すなちわ、シミュレーションシステム１は、インタフェースユニット１０２と実装処理ユニット１０４との間のローカルプロトコルを、インタフェース模擬装置３０の第１通信部３３、ネットワーク９およびユニット模擬装置２０の通信部２６によってハードウェア的に模擬する。
【００８７】
一方、シミュレーションシステム１は、インタフェースユニット１０２と制御ユニット１０１との間のデータ通信を、インタフェース模擬装置３０の第１通信部３３、ネットワーク９およびコンピュータ４０の通信部４６（図７）によってハードウェア的に再現する。
【００８８】
すなわち、データ転送部３１２から受け取った情報のうち、ユニット模擬装置２０に送信される情報はデータ転送部３１０の模擬機能によって第１通信部３３に受け渡され、コンピュータ４０に送信される情報はデータ転送部３１０の再現機能によって第１通信部３３に受け渡される。
【００８９】
また、第１通信部３３から受け取った情報のうち、ユニット模擬装置２０から送信された情報はデータ転送部３１０の模擬機能によってデータ転送部３１２に受け渡され、コンピュータ４０から送信された情報はデータ転送部３１０の再現機能によってデータ転送部３１２に受け渡される。
【００９０】
このように、インタフェース模擬装置３０は、基板処理装置１００におけるインタフェースユニット１０２と各実装処理ユニット１０４との間のローカルプロトコルを、第１通信部３３によってハードウェア的に模擬するとともに、データ転送部３１０によってソフトウェア的に模擬する。また、インタフェース模擬装置３０は、基板処理装置１００におけるインタフェースユニット１０２と制御ユニット１０１との間のデータ通信を再現する。このようにして、インタフェース模擬装置３０は、制御ユニット１０１と実装処理ユニット１０４との間のデータ通信を模擬する。
【００９１】
基板処理装置１００の実装処理ユニット１０４をユニット模擬装置２０によって模擬することにより、シミュレーションシステム１のハードウェアには、実装処理ユニット１０４を構成するハードウェアが含まれない。したがって、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３０との間のデータ通信は、実装処理ユニット１０４を構成するハードウェアの制約をうけることなく、比較的任意のプロトコルを採用できる。
【００９２】
本実施の形態におけるシミュレーションシステム１では、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３０との間のデータ通信として、制御ユニット１０１とインタフェースユニット１０２との間のプロトコルを採用する。これにより、コンピュータ４０とインタフェース模擬装置３０との間のネットワーク９を、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３０との間でも兼用できるため、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３０との間に別途ネットワークを構築する必要がない。
【００９３】
データ転送部３１１は、第２通信部３４とデータ転送部３１２との間で情報の受け渡しを行う。すなわち、操作ユニット５０から第２通信部３４が受信した情報は、データ転送部３１１によってデータ転送部３１２に転送される。一方、操作ユニット５０に向けて送信される情報は、データ転送部３１１によって第２通信部３４に転送される。
【００９４】
データ転送部３１２は、データ転送部３１０，３１１の間の情報の転送を行う。すなわち、データ転送部３１０，３１１のいずれかからデータ転送部３１２が受け取った情報は、データ転送部３１２によって宛先に応じてデータ転送部３１０，３１１のいずれかに転送される。具体的には、ユニット模擬装置２０またはコンピュータ４０が宛先となっている情報はデータ転送部３１０に転送され、操作ユニット５０が宛先となっている情報はデータ転送部３１１に転送される。
【００９５】
図７は、コンピュータ４０の構成を示す図である。コンピュータ４０は、ＣＰＵ４１、記憶装置４２、操作部４３、表示部４４、ディスク装置４５および通信部４６を備え、基板処理装置１００の制御ユニット１０１が備えるハードウェアと同等のハードウェアを備えている。また、コンピュータ４０は、一般的なパーソナルコンピュータとしての機能を有している。
【００９６】
ＣＰＵ４１は、設定ファイル４２１を参照しつつプログラム４２０に従って動作することにより、各種データの演算や制御信号の生成を行い、コンピュータ４０の各構成を制御する。
【００９７】
ここで、プログラム４２０および設定ファイル４２１は、基板処理装置１００にそのまま搭載される「製品」であり、主にシミュレーションシステム１の試験（デバッグ）の対象となるソフトウェアである。プログラム４２０および設定ファイル４２１は、基板処理装置１００を設計・開発する際に、オペレータ（プログラマ）によって作成される。
【００９８】
このように、制御ユニット１０１にインストールされるプログラム４２０および設定ファイル４２１を記憶装置４２に記憶し、当該プログラム４２０および設定ファイル４２１に基づいて、制御ユニット１０１と同等のハードウェアを制御することにより、コンピュータ４０は制御ユニット１０１としての機能を発揮する。
【００９９】
例えば、ＣＰＵ４１は、実装処理ユニット１０４に対する制御情報を生成し、生成した制御情報を、インタフェースユニット１０２を介して実装処理ユニット１０４に向けて送信するように通信部４６を制御する。ただし、シミュレーションシステム１では、通信部４６から送信される情報は、インタフェース模擬装置３０を介してユニット模擬装置２０に向けて送信される。また、ＣＰＵ４１は、シミュレータ１０から通信部４６が受信した情報に基づいて、新たな制御情報を生成したり、あるいは必要な情報を表示部４４に表示させる。
【０１００】
記憶装置４２は、図示しないＲＯＭ、ＲＡＭおよびハードディスク等から構成され、必要に応じて各種データを記憶する。特に、記憶装置４２は、プログラム４２０および設定ファイル４２１を記憶する。
【０１０１】
操作部４３は、各種ボタン類やキーボードおよびマウス等から構成され、オペレータがコンピュータ４０を操作するためのデータを入力するために使用される。なお、シミュレーションシステム１が基板処理装置１００のシミュレートを行っているとき、コンピュータ４０を操作するために入力されるデータとは、主に基板処理装置１００を操作するために入力されるデータに相当する。
【０１０２】
また、表示部４４は、各種データを画面に表示する。表示部４４は、基板処理装置１００の制御ユニット１０１において表示されるデータを表示する機能を有している。
【０１０３】
コンピュータ４０は、特に操作部４３および表示部４４について、実際の基板処理装置１００に搭載される制御ユニット１０１と同等のハードウェアを採用する。これにより、コンピュータ４０は、基板処理装置１００の制御ユニット１０１と同じマンマシンインタフェース（特に表示部４４に表示されるＧＵＩ）を提供できる。したがって、オペレータは、実際の制御ユニット１０１（基板処理装置１００）を操作している感覚でコンピュータ４０を操作できる。
【０１０４】
ディスク装置４５は、可搬性の記憶媒体９１を読み取る装置である。本実施の形態では、記憶媒体９１に記憶されたプログラム４２０および設定ファイル４２１がディスク装置４５によって読み取られ、記憶装置４２に転送され記憶される。ディスク装置４５としては、例えば、ＦＤドライブ装置、ＣＤ−ＲＯＭドライブ装置およびＤＶＤドライブ装置等が該当する。なお、ディスク装置４５は、各種データを記憶媒体９１に記憶させる（書き込む）機能を有していてもよい。
【０１０５】
通信部４６は、コンピュータ４０をネットワーク９に接続する。これにより、コンピュータ４０とシミュレータ１０との間でデータ通信が可能となる。ただし、通信部４６の直接の通信相手先は、シミュレータ１０のインタフェース模擬装置３０に固定されており、通信部４６はインタフェース模擬装置３０を介さずにユニット模擬装置２０との間でデータ通信することはできないようにされている。すなわち、コンピュータ４０とユニット模擬装置２０との間のデータ通信は、必ずインタフェース模擬装置３０を介して行われる。
【０１０６】
図８は、操作ユニット５０の構成を示す図である。操作ユニット５０は、ＣＰＵ５１、記憶装置５２、操作部５３、表示部５４および通信部５６を備え、比較的小型で可搬性あるユニットである。
【０１０７】
一般に基板処理装置１００は大型の装置であるため、基板処理装置１００の制御ユニット１０１を操作するオペレータにとって、制御ユニット１０１の位置から各実装処理ユニット１０４の様子や表示状況（ランプやメータ等）を完全に把握することは難しい。
【０１０８】
そこで、基板処理装置１００には、予め様々な位置にコネクタが設けられており、これに操作ユニット１０３を接続するように設計されている。すなわち、基板処理装置１００は、オペレータが任意の位置にあるコネクタまで操作ユニット１０３を持参することにより、基板処理装置１００を任意の位置で操作できるように構成されている。
【０１０９】
シミュレーションシステム１は、操作ユニット１０３（図１０）と同じ操作ユニット５０を用いることにより、操作ユニット１０３を用いた場合の基板処理装置１００のシミュレーションも行えるよう構成されている。
【０１１０】
本来、操作ユニット１０３は、基板処理装置１００のバリエーションにかかわらず、共通に用いられるユニットである。すなわち、基板処理装置１００のバリエーションに応じて、シミュレーションシステム１の操作ユニット５０をいくつも準備しておいて取り替える必要はない。したがって、シミュレーションシステム１において、操作ユニット１０３をそのまま操作ユニット５０として採用したとしても、実装処理ユニット１０４のような問題は発生しない。
【０１１１】
なお、操作ユニット１０３をユニット模擬装置２０によって模擬することも可能であり、その場合、シミュレーションシステム１において操作ユニット１０３のハードウェアは不要になる。しかし、その場合は、基板処理装置１００のマンマシンインタフェース（特にハードウェアに依存する部分）を忠実に再現することはできない。
【０１１２】
ＣＰＵ５１は、プログラム５２０に従って動作することにより、各種データの演算や制御信号を生成する。なお、プログラム５２０は、基板処理装置１００の操作ユニット１０３に搭載されるものと同じプログラムである。
【０１１３】
記憶装置５２は、図示しないＲＯＭやＲＡＭ等から構成され、プログラム５２０の他、各種データを記憶する。
【０１１４】
操作部５３は、オペレータが指示を入力するために使用される。また、表示部５４は、適宜、情報（例えばＧＵＩ）を画面に表示する。
【０１１５】
以上のような本実施の形態におけるシミュレーションシステム１上で、試験対象のプログラム（プログラム４２０および設定ファイル４２１）を動作させると、基板処理装置１００の制御ユニット１０１に表示される内容は、コンピュータ４０の表示部４４に表示される。また、このときの基板処理装置１００における実装処理ユニット１０４の動作は、シミュレータ１０によって模擬され、その動作状況は、ユニット模擬装置２０の表示部２４に表示される。
【０１１６】
したがって、シミュレーションシステム１を用いることにより、基板処理装置１００の実装処理ユニット１０４を用いることなく、当該実装処理ユニット１０４を用いるのと同等の条件で、基板処理装置１００のソフトウェア（プログラム４２０および設定ファイル４２１）のデバッグを行うことができる。したがって、基板処理装置１００のソフトウェアの品質を向上させることが可能となる。
【０１１７】
＜２． 第２の実施の形態＞
第１の実施の形態では、基板処理装置１００の制御ユニット１０１を、一般的なパーソナルコンピュータであるコンピュータ４０によって模擬していた。しかし、制御ユニット１０１は、必ずしも模擬されなくてもよい。
【０１１８】
図９は、第２の実施の形態におけるシミュレーションシステム１ａを示す図である。第２の実施の形態におけるシミュレーションシステム１ａは、コンピュータ４０の代わりに制御ユニット４０ａを備える点がシミュレーションシステム１と異なる。
【０１１９】
本来、制御ユニット１０１はネットワーク９に接続する機能を有している。したがって、コンピュータ４０の代わりに、制御ユニット１０１と同じ制御ユニット４０ａをネットワーク９に接続することも可能である。
【０１２０】
制御ユニット１０１は、操作ユニット１０３と同様に、基板処理装置１００のバリエーションにかかわらず、共通に用いられるユニットである。すなわち、シミュレーションシステム１ａにおいて制御ユニット４０ａを用いるように構成したとしても、基板処理装置１００のバリエーションに応じて、制御ユニット４０ａをいくつも準備しておいて取り替える必要はない。したがって、シミュレーションシステム１ａのように、制御ユニット１０１をそのまま制御ユニット４０ａとして採用したとしても、実装処理ユニット１０４のような問題は発生しない。
【０１２１】
以上のように、第２の実施の形態におけるシミュレーションシステム１ａは、シミュレータ１０に接続する外部装置として、基板処理装置１００の制御ユニット４０ａを用いることにより、第１の実施の形態におけるシミュレーションシステム１と同様の効果を得ることができる。
【０１２２】
また、コンピュータ４０の代わりに制御ユニット４０ａを用いることにより、第２の実施の形態におけるシミュレーションシステム１ａは、第１の実施の形態におけるシミュレーションシステム１に比べて、より実機に近い環境でデバッグを行うことができる。
【０１２３】
＜３． 変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
【０１２４】
例えば、上記実施の形態では、制御ユニット１０１の機能を有するコンピュータ４０（または制御ユニット４０ａ）と、ユニット模擬装置２０とを別々のコンピュータで実現していたが、これを１台のコンピュータで実現することも可能である。
【０１２５】
例えば、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３０との間のネットワークは、ネットワーク９を兼用しなくてもよい。すなわち、ユニット模擬装置２０とインタフェース模擬装置３０とを別途ケーブルで接続してもよい。あるいは、インタフェース模擬装置３０をユニット模擬装置２０に収納可能なインタフェースボードとして構成し、シミュレータ１０を一体化された装置として構成することも可能である。その場合は、シミュレータ１０を小型化でき、しいてはシミュレーションシステム１を小型化できる。
【図面の簡単な説明】
【０１２６】
【図１】本発明に係るシミュレーションシステムを示す図である。
【図２】ユニット模擬装置の構成を示す図である。
【図３】ユニット模擬装置の機能ブロックを示す図である。
【図４】定義リストにおいて模擬動作を定義する例を示す図である。
【図５】インタフェース模擬装置の構成を示す図である。
【図６】インタフェース模擬装置の機能ブロックを示す図である。
【図７】コンピュータの構成を示す図である。
【図８】操作ユニットの構成を示す図である。
【図９】第２の実施の形態におけるシミュレーションシステムを示す図である。
【図１０】基板処理装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
【０１２７】
１，１ａ シミュレーションシステム
１０ シミュレータ
２０ ユニット模擬装置
２１１ ユニット模擬部
２２０ プログラム
２２１ 定義リスト
２２２ 入力情報
２２３ 出力情報
２６ 通信部
３０ インタフェース模擬装置
３１０，３１１，３１２ データ転送部
３２０ プログラム
３３ 第１通信部
４０ コンピュータ
４０ａ 制御ユニット
４２０ プログラム
４２１ 設定ファイル
９ ネットワーク
１００ 基板処理装置
１０１ 制御ユニット
１０２ インタフェースユニット
１０４ 実装処理ユニット
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置の制御ユニットとしての機能を有する外部装置に接続されるシミュレータであって、
前記外部装置から得られる情報に基づいて、前記基板処理装置を構成する実装処理ユニットの模擬動作を定義する定義情報を参照しつつ、前記実装処理ユニットの動作を模擬するユニット模擬部と、
前記外部装置と前記ユニット模擬部との間で、前記基板処理装置における前記制御ユニットと前記実装処理ユニットとの間のデータ通信を模擬するインタフェース模擬部と、
を備えることを特徴とするシミュレータ。
【請求項２】
請求項１に記載のシミュレータであって、
前記ユニット模擬部の動作状況を表示する表示部をさらに備えることを特徴とするシミュレータ。
【請求項３】
請求項１または２に記載のシミュレータであって、
前記ユニット模擬部が動作を模擬する実装処理ユニットに、基板を搬送する搬送ユニットが含まれることを特徴とするシミュレータ。
【請求項４】
基板処理装置のソフトウェアを動作させるシミュレーションシステムであって、
前記ソフトウェアが動作することにより前記基板処理装置の制御ユニットの機能を有するコンピュータと、
前記コンピュータに接続されるシミュレータと、
を備え、
前記シミュレータは、
前記コンピュータから得られる情報に基づいて、前記基板処理装置の実装処理ユニットの模擬動作を定義する定義情報を参照しつつ、前記実装処理ユニットの動作を模擬するユニット模擬部と、
前記コンピュータと前記ユニット模擬部との間で、前記基板処理装置における前記制御ユニットと前記実装処理ユニットとの間のデータ通信を模擬するインタフェース模擬部と、
を備えることを特徴とするシミュレーションシステム。
【請求項５】
基板処理装置のソフトウェアを動作させるシミュレーションシステムであって、
前記基板処理装置の制御ユニットと、
前記制御ユニットに接続されるシミュレータと、
を備え、
前記シミュレータは、
前記制御ユニットから得られる情報に基づいて、前記基板処理装置の実装処理ユニットの模擬動作を定義する定義情報を参照しつつ、前記実装処理ユニットの動作を模擬するユニット模擬部と、
前記制御ユニットと前記ユニット模擬部との間で、前記基板処理装置における前記制御ユニットと前記実装処理ユニットとの間のデータ通信を模擬するインタフェース模擬部と、
を備えることを特徴とするシミュレーションシステム。
【請求項６】
コンピュータ読み取り可能なプログラムであって、前記プログラムの前記コンピュータによる実行は、前記コンピュータを、基板処理装置の制御ユニットとしての機能を有する外部装置に接続されるシミュレータであって、
前記外部装置から得られる情報に基づいて、前記基板処理装置を構成する実装処理ユニットの模擬動作を定義する定義情報を参照しつつ、前記実装処理ユニットの動作を模擬するユニット模擬部と、
前記外部装置と前記ユニット模擬部との間で、前記基板処理装置における前記制御ユニットと前記実装処理ユニットとの間のデータ通信を模擬するインタフェース模擬部と、
を備えるシミュレータとして機能させることを特徴とするプログラム。
【請求項１】
基板処理装置の制御ユニットとしての機能を有する外部装置に接続されるシミュレータであって、
前記外部装置から得られる情報に基づいて、前記基板処理装置を構成する実装処理ユニットの模擬動作を定義する定義情報を参照しつつ、前記実装処理ユニットの動作を模擬するユニット模擬部と、
前記外部装置と前記ユニット模擬部との間で、前記基板処理装置における前記制御ユニットと前記実装処理ユニットとの間のデータ通信を模擬するインタフェース模擬部と、
を備えることを特徴とするシミュレータ。
【請求項２】
請求項１に記載のシミュレータであって、
前記ユニット模擬部の動作状況を表示する表示部をさらに備えることを特徴とするシミュレータ。
【請求項３】
請求項１または２に記載のシミュレータであって、
前記ユニット模擬部が動作を模擬する実装処理ユニットに、基板を搬送する搬送ユニットが含まれることを特徴とするシミュレータ。
【請求項４】
基板処理装置のソフトウェアを動作させるシミュレーションシステムであって、
前記ソフトウェアが動作することにより前記基板処理装置の制御ユニットの機能を有するコンピュータと、
前記コンピュータに接続されるシミュレータと、
を備え、
前記シミュレータは、
前記コンピュータから得られる情報に基づいて、前記基板処理装置の実装処理ユニットの模擬動作を定義する定義情報を参照しつつ、前記実装処理ユニットの動作を模擬するユニット模擬部と、
前記コンピュータと前記ユニット模擬部との間で、前記基板処理装置における前記制御ユニットと前記実装処理ユニットとの間のデータ通信を模擬するインタフェース模擬部と、
を備えることを特徴とするシミュレーションシステム。
【請求項５】
基板処理装置のソフトウェアを動作させるシミュレーションシステムであって、
前記基板処理装置の制御ユニットと、
前記制御ユニットに接続されるシミュレータと、
を備え、
前記シミュレータは、
前記制御ユニットから得られる情報に基づいて、前記基板処理装置の実装処理ユニットの模擬動作を定義する定義情報を参照しつつ、前記実装処理ユニットの動作を模擬するユニット模擬部と、
前記制御ユニットと前記ユニット模擬部との間で、前記基板処理装置における前記制御ユニットと前記実装処理ユニットとの間のデータ通信を模擬するインタフェース模擬部と、
を備えることを特徴とするシミュレーションシステム。
【請求項６】
コンピュータ読み取り可能なプログラムであって、前記プログラムの前記コンピュータによる実行は、前記コンピュータを、基板処理装置の制御ユニットとしての機能を有する外部装置に接続されるシミュレータであって、
前記外部装置から得られる情報に基づいて、前記基板処理装置を構成する実装処理ユニットの模擬動作を定義する定義情報を参照しつつ、前記実装処理ユニットの動作を模擬するユニット模擬部と、
前記外部装置と前記ユニット模擬部との間で、前記基板処理装置における前記制御ユニットと前記実装処理ユニットとの間のデータ通信を模擬するインタフェース模擬部と、
を備えるシミュレータとして機能させることを特徴とするプログラム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２００８−８４０７５（Ｐ２００８−８４０７５Ａ）
【公開日】平成２０年４月１０日（２００８．４．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−２６４３４０（Ｐ２００６−２６４３４０）
【出願日】平成１８年９月２８日（２００６．９．２８）
【出願人】（０００２０７５５１）大日本スクリーン製造株式会社 (2,640)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年４月１０日（２００８．４．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年９月２８日（２００６．９．２８）
【出願人】（０００２０７５５１）大日本スクリーン製造株式会社 (2,640)
【Ｆターム（参考）】
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