シート貼付装置およびシート貼付方法
【課題】資源を有効利用するために開発された所定の情報を記憶可能な情報シートを使用し、接着シートを適切に貼付するための初期設定の操作を容易にすることができるシート貼付装置を提供すること。
【解決手段】貼付装置１は、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤが設けられた接着シートＡＳが当該接着剤層ＡＤによって帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段３と、接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離板３４と、接着シートＡＳをウェハＷＦに押圧して貼付する押圧手段５とを備え、原反ＲＳには、所定の情報の記憶および送信の少なくとも一方が可能に設けられた固定用接着シートＦＳが再接着可能に設けられ、固定用接着シートＦＳから所定の情報を読み取ることおよび固定用接着シートＦＳに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方が可能な繰出側アンテナ２２１を有する。
【解決手段】貼付装置１は、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤが設けられた接着シートＡＳが当該接着剤層ＡＤによって帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段３と、接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離板３４と、接着シートＡＳをウェハＷＦに押圧して貼付する押圧手段５とを備え、原反ＲＳには、所定の情報の記憶および送信の少なくとも一方が可能に設けられた固定用接着シートＦＳが再接着可能に設けられ、固定用接着シートＦＳから所定の情報を読み取ることおよび固定用接着シートＦＳに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方が可能な繰出側アンテナ２２１を有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、巻芯に巻回したラベル連続体の印字に関する情報を読み取って、当該ラベル連続体の印字条件を適切に制御する構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１に記載の構成では、巻芯に内包されたＩＣユニットから情報を読み取るために、当該巻芯を支持する支持軸にリーダを設けている。
また、ボビンに線材を巻回し、線材の終端末部を接着シール材で固定する構成も知られている（例えば、特許文献２参照）。この接着シール材は、線材の固定のみに使用されるだけであり、固定が不要となった後には廃棄されてしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−２８１２６８号公報
【特許文献２】特開平７−２５５４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の構成では、巻芯を支持する支持軸にリーダを設けているため、例えば、資源の有効利用を図るために、特許文献２で使用される接着シール材に所定の情報を記憶させて情報シートとし、当該情報シートから所定の情報を読み取って、装置を制御するといったことに対応できないという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、資源を有効利用するために開発された所定の情報を記憶可能な情報シートを使用し、接着シートを適切に貼付するための初期設定の操作を容易にすることができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた接着シートが当該接着剤層によって帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記原反には、所定の情報の記憶および送信の少なくとも一方が可能に設けられた情報シートが再接着可能に設けられ、前記情報シートから所定の情報を読み取ること、および、前記情報シートに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方の処理が可能な通信手段を有することを特徴とする。
また、本発明の他のシート貼付装置は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた原接着シートが当該接着剤層によって帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記原接着シートに切り込みを形成することで、当該切り込みの内側に接着シートを形成するとともに、当該切り込みの外側に不要シートを形成する切断手段と、前記接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記原反には、所定の情報の記憶および送信の少なくとも一方が可能に設けられた情報シートが再接着可能に設けられ、前記情報シートから所定の情報を読み取ること、および、前記情報シートに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方の処理が可能な通信手段を有することを特徴とする。
【０００７】
この際、本発明のシート貼付装置では、前記繰出手段は、前記接着シートが剥離された剥離シートを巻き取る巻取軸を含み、前記通信手段は、前記巻取軸または前記巻取軸に対向する位置に設けられていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置では、前記繰出手段は、前記原反を支持する支持軸を含み、前記通信手段は、前記支持軸または前記支持軸に対向する位置に設けられていることが好ましい。
さらに、本発明のシート貼付装置では、前記情報シートを発行可能な情報シート発行手段を有することが好ましい。
【０００８】
一方、本発明のシート貼付方法は、基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた接着シートが当該接着剤層によって帯状の剥離シートに仮着された原反に再接着可能であるとともに、所定の情報の記憶および送信の少なくとも一方が可能な情報シートと、前記情報シートから所定の情報を読み取ること、および、前記情報シートに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方の処理が可能な通信手段とを用い、前記情報シートが設けられた原反を準備する準備ステップと、前記通信手段が前記少なくとも一方の処理が可能な状態に前記情報シートを配置する配置ステップと、前記原反を繰り出す繰出ステップと、前記接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離ステップと、前記接着シートを被着体に押圧して押圧ステップと、前記繰出ステップ、前記剥離ステップ、前記押圧ステップの少なくとも１つのステップを行う前に前記情報シートから所定の情報を読み取って、当該読み取った情報に基づいて以後のステップを行うこと、および、前記少なくとも１つのステップを行った後に前記情報シートに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方を含む通信ステップとを有することを特徴とする。
また、本発明の他のシート貼付方法は、基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた接着シートが当該接着剤層によって帯状の剥離シートに仮着された原反に再接着可能であるとともに、所定の情報の記憶および送信の少なくとも一方が可能な情報シートと、前記情報シートから所定の情報を読み取ること、および、前記情報シートに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方の処理が可能な通信手段とを用い、前記情報シートが設けられた原反を準備する準備ステップと、前記通信手段が前記少なくとも一方の処理が可能な状態に前記情報シートを配置する配置ステップと、前記原反を繰り出す繰出ステップと、前記原接着シートに切り込みを形成することで、当該切り込みの内側に接着シートを形成するとともに、当該切り込みの外側に不要シートを形成する切断ステップと、前記接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離ステップと、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧ステップと、前記繰出ステップ、前記切断ステップ、前記剥離ステップ、前記押圧ステップの少なくとも１つのステップを行う前に前記情報シートから所定の情報を読み取って、当該読み取った情報に基づいて以後のステップを行うこと、および、前記少なくとも１つのステップを行った後に前記情報シートに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方を含む通信ステップとを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、従来では外したら捨てられるだけであった端部止めの接着シール材を情報シートとして再利用するにあたり、当該情報シートを再接着し、当該情報シートから所定の情報を読み取ったり、情報シートに所定の情報を書き込んだりすることが可能な通信手段を設けているため、例えば、接着シートの貼付時の押圧力に関する情報や、原接着シートから接着シートを形成するときの切り込み深さに関する情報を情報シートに書き込んでおけば、接着シートを適切に貼付する諸条件をオペレータが貼付装置に入力する必要がなくなり、貼付装置の操作を容易にすることができる。さらには、例えば、接着シートの貼付枚数などに関する情報を情報シートに書き込めば、次回の貼付処理開始時の設定操作や原反の在庫管理が容易になる。
【００１０】
また、剥離シートを巻き取る巻取軸または巻取軸に対向する位置に通信手段を設ければ、貼付開始前に、情報シートによって剥離シートを巻取軸に仮固定するだけで、情報シートから押圧力や切り込み深さに関する情報を貼付装置が読み取ることができ、操作が容易になる。
さらに、原反を支持する支持軸または支持軸に対向する位置に通信手段を設ければ、貼付開始前に情報シートを設けた原反を支持軸にセットするだけで、情報シートから押圧力や切り込み深さに関する情報を貼付装置が読み取ることができ、操作が容易になる。
また、情報シート発行手段を設けることで、接着シートを全て使用してしまう前に原反を交換するような場合にでも、次回使用するときのために即座に情報シートを発行し、使用途中の原反に貼付して保管しておくことができる。
なお、仮固定とは、一旦固定したものであっても、後に取り外すことができるように固定することを意味し、例えば、固定用接着シートを用い、剥離シートを巻取軸などの所定の部位に一時的に固定して、必要に応じて剥離シートを当該所定の部位から取り外すことができるように固定することである。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】（Ａ）は、本発明の第１実施形態に係る固定用接着シートが取り付けられた原反の斜視図、（Ｂ）は、前記第１実施形態および第２実施形態の固定用接着シートの断面図、（Ｃ）および（Ｄ）は、変形例に係る固定用接着シートの断面図。
【図２】前記第１実施形態の貼付装置の側面図。
【図３】前記第２実施形態の貼付装置の側面図。
【図４】変形例に係る固定用接着シートが取り付けられた原反の斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第２実施形態において、次の第１実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材、および同様な機能を有する構成部材には、第１実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。また、各図においては、本発明の内容を理解しやすくするために各構成の形状や配置状態を誇張して示している。
【００１３】
［第１実施形態］
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
まず、情報シートとしての固定用接着シートＦＳについて説明する。図１（Ａ），（Ｂ）において、固定用接着シートＦＳは、中空円筒状の芯部材２５の外周に巻回された巻回物としての原反ＲＳの先端を当該原反ＲＳに仮固定したり、原反ＲＳの後端を芯部材２５に仮固定したり、原反ＲＳの先端を所定の部位に剥離シートＲＬを仮固定したりするものである。ここで、原反ＲＳは、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤが積層された接着シートＡＳが、当該接着剤層ＡＤを介して剥離シートＲＬに仮着された構成を有している。
固定用接着シートＦＳは、長方形状の基材シートＦＢと、当該基材シートＦＢの一方の面に積層され再接着可能な材料により形成された接着剤層ＦＤと、基材シートＦＢの他方の面に支持されるとともに、所定のデータの記憶および送信の少なくとも一方が可能なデータキャリア本体ＤＢとを備えている。
なお、図１（Ｃ）に示すように、データキャリア本体ＤＢは、接着剤層ＦＤに支持されるように設けてもよいし、図１（Ｄ）に示すように、データキャリア本体ＤＢを基材シートＦＢと接着剤層ＦＤとの間に設けてもよい。
【００１４】
データキャリア本体ＤＢは、チップＣＰおよび当該チップＣＰに接続されたチップ用アンテナＡＴから構成されており、電磁波を通信媒体として、データを送信したり、データを記憶したりすることができるものである。このようなデータキャリア本体ＤＢとしては、例えば、ＩＣチップ（チップＣＰ）と、このＩＣチップに接続された送受信用の導電性コイル（チップ用アンテナＡＴ）とから構成される、いわゆるＲＦメモリやＲＦＩＤタグ等を例示することができる。
【００１５】
次に、接着シートＡＳの貼付装置１について説明する。図２において、貼付装置１は、被着体としての半導体ウェハ（以下「ウェハ」と称す場合がある）ＷＦに接着シートＡＳを貼付するものである。そして、貼付装置１は、接着シートＡＳを繰出可能に支持する支持装置２と、接着シートＡＳを繰り出す繰出手段３と、繰り出された接着シートＡＳをウェハＷＦに押圧して貼付する押圧手段５と、ウェハＷＦと押圧手段５とを相対移動させる移動手段６とを備え、パーソナルコンピュータやシーケンサ等の制御手段７によってその全体的な動作が制御されるように構成されている。
【００１６】
支持装置２は、フレーム２１と、このフレーム２１の一面に設けられた支持軸としての支持部２２とを備え、芯部材２５における中空部の一端側から挿入されることで芯部材２５を支持する。
【００１７】
繰出手段３は、その全体がフレーム２１に支持され、原反ＲＳを案内するガイドローラ３２，３３と、原反ＲＳの剥離シートＲＬを折り返すことで当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板３４と、駆動機器としての回動モータ３５によって駆動する駆動ローラ３６と、駆動ローラ３６との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ３７と、駆動機器としての回動モータ３９によって剥離シートＲＬを回収する巻取軸としての回収ローラ３８とを備えている。
押圧手段５は、ゴムや樹脂等の弾性変形可能な部材で構成され、図示しない支持部材により回転自在に支持され、駆動機器としての図示しない直動モータにより昇降可能に設けられている。
移動手段６は、ウェハＷＦが載置され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない吸着保持手段によって当該ウェハＷＦを吸着保持可能なテーブル６１と、テーブル６１の下面にスライダ６２が固定された駆動機器としての単軸ロボット６３とを備え、スライダ６２をスライド駆動することで、テーブル６１を左右方向に移動可能に構成されている。
【００１８】
また、支持装置２には、図２の符号ＡＡにも示すように、フレーム２１に対して回動可能に設けられ、図示しないばね等の付勢手段によって支持部２２方向に付勢されるとともに、内部に通信手段としての繰出側アンテナ２２１を備えた原反押えアーム２２２が設けられている。また、回収ローラ３８には、図２の符号ＡＢにも示すように、その周面の一部に平面部３８Ａが形成され、当該回収ローラ３８の内部であって、平面部３８Ａの下方に通信手段としての回収側アンテナ３８１が設けられている。繰出側アンテナ２２１および回収側アンテナ３８１は、導電体をループ状に巻回することにより構成されている。
繰出側アンテナ２２１および回収側アンテナ３８１には、制御手段７による制御に基づき、固定用接着シートＦＳのデータキャリア本体ＤＢに対してデータの読み書きをすることのできる読み書き手段としてのリーダライタ８がそれぞれ接続されている。制御手段７は、リーダライタ８を制御し、各アンテナ２２１，３８１に電流を流すことで、磁束、静電気、マイクロ波等の伝送手段を発生させ、チップ用アンテナＡＴを介して起電力を発生させてデータキャリア本体ＤＢのチップＣＰに書き込まれたデータを読み取り、当該読み取ったデータに基づいて、貼付装置１全体を制御したり、データキャリア本体ＤＢのチップＣＰに所定のデータを記憶させたりすることができる。
また、リーダライタ８には、繰出側アンテナ２２１および回収側アンテナ３８１と同様の機能を有する図示しないアンテナすなわち通信手段が内蔵された固定用接着シート発行手段９が接続されている。この固定用接着シート発行手段９は、チップ用アンテナＡＴを介してチップＣＰに所定のデータを書き込んだ固定用接着シートＦＳを発行可能となっている。
なお、繰出側アンテナ２２１および回収側アンテナ３８１と、データキャリア本体ＤＢとで通信するデータとしては、接着シートＡＳの種類、材質、品名、コード、厚さ、長さ、幅、直径などの規格寸法、さらには、原反ＲＳのロットナンバー、原反ＲＳを使用した長さ、原反ＲＳの残りの長さ、接着シートＡＳの品質保証期限、繰出開始前後の接着シートＡＳの残数、繰り出された接着シートＡＳの枚数、接着シートＡＳを最適に繰り出すことのできる推奨繰出速度、接着シートＡＳを最適に貼付することができる推奨貼付張力や推奨押圧力などの接着シートＡＳの貼付条件、接着シートＡＳや原反ＲＳについての相談窓口の連絡先などが例示できる。
そして、貼付装置１に設けられた図示しないモニタにデータキャリア本体ＤＢから読み取ったデータを表示させたり、読み取ったデータを基に当該貼付装置１の貼付条件を設定したりすることができる。
【００１９】
以上の貼付装置１において、ウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付する際には、まず、原反ＲＳの長手方向の後端を固定用接着シートＦＳ（以下、後端側固定用接着シートＦＳｂと称す）（図２参照）によって芯部材２５に仮固定して当該芯部材２５に巻回した後、先端を固定用接着シートＦＳ（以下、先端側固定用接着シートＦＳｆと称す）（図１（Ａ）参照）によって原反ＲＳの周面に仮固定したものを準備する。そして、原反ＲＳが巻回された芯部材２５を支持部２２で支持させる。
【００２０】
次に、作業者は、先端側固定用接着シートＦＳｆを原反ＲＳの周面から剥し、原反ＲＳの先端に先端側固定用接着シートＦＳｆを貼付した状態で当該原反ＲＳを引き出し、図２のＡＢに示すように、先端側固定用接着シートＦＳｆを回収ローラ３８の平面部３８Ａに仮固定して繰出手段３にセットする。このとき、先端側固定用接着シートＦＳｆの接着剤層ＦＤが再接着可能な材料によって形成されているので、原反ＲＳを容易に回収ローラ３８に仮固定することができる。これにより、先端側固定用接着シートＦＳｆの面が回収側アンテナ３８１の面と対向するので、回収側アンテナ３８１で発生する伝送手段の通過位置にチップ用アンテナＡＴを常時存在させることができるため、リーダライタ８は、回収側アンテナ３８１を介してチップ用アンテナＡＴに効率よく起電力を発生させ、先端側固定用接着シートＦＳｆのチップＣＰのデータを確実に読み取ったり、先端側固定用接着シートＦＳｆにデータを確実に書き込んだりすることができる。
【００２１】
そして、電源投入により貼付装置１の自動運転が開始されると、制御手段７は、リーダライタ８を制御して、回収側アンテナ３８１に電流を流すことで伝送手段を発生させ、先端側固定用接着シートＦＳｆに書き込まれたデータを読み取り、当該読み取ったデータに基づいて、貼付装置１全体を制御する。この制御は、例えば、先端側固定用接着シートＦＳｆに書き込まれたデータのうち、接着シートＡＳの推奨繰出速度を基にして、回動モータ３５，３９の回転速度や、単軸ロボット６３でテーブル６１を移動させる移動速度を決定したり、推奨押圧力を基にして、押圧手段５を昇降させる図示しない直動モータの昇降量やその出力軸に加えるトルクなどを決定し、押圧力を設定したりすることができる。なお、データキャリア本体ＤＢから受信したすべての情報または、一部の情報を図示しないモニタや表示パネル等に表示させておくことができる。
【００２２】
その後、図示しない搬送手段によってウェハＷＦがテーブル６１上に載置されると、移動手段６がウェハＷＦの吸着を開始し、単軸ロボット６３を駆動してテーブル６１を図２中左方向に搬送させる。次いで、ウェハＷＦが所定の位置に達したことを図示しない光センサ等の検知手段が検知した時点で、繰出手段３が回動モータ３５，３９を駆動して接着シートＡＳを繰り出し、押圧手段４が当該接着シートＡＳを搬送されるウェハＷＦに押圧して貼付する。接着シートＡＳが貼付されたウェハＷＦは、図示しない搬送装置で外部に搬送され、テーブル６１が元の位置に戻り、以降同様の動作が繰り返される。
【００２３】
ここで、制御手段７は、貼付装置１の自動運転中に種々の制御を行う。例えば、回収側アンテナ３８１を介して初めに読み取った接着シートＡＳの残数から、ウェハＷＦに貼付した接着シートＡＳの数を差し引き、あと何枚のウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付することができるかを計算して図示しないモニタや表示パネル等に表示させたり、残りの接着シートＡＳの枚数が少なくなると、図示しないブザーや回転灯等の警告手段を作動させて作業者に注意を促したりすることができる。また、初めに読み取った原反ＲＳの残りの長さから、使用した原反ＲＳの長さを差し引き、残りの長さを図示しないモニタや表示パネル等に表示させたり、残りの原反ＲＳの長さが短くなくなると、警告手段を作動させて作業者に注意を促したりすることもできる。なお、ウェハＷＦに貼付した接着シートＡＳの数は、回動モータ３５の起動回数や、ウェハＷＦが所定の位置に達したことを検知する図示しない検知手段が検知した回数等によって算出することができ、原反ＲＳを使用した長さは、回動モータ３５の回転数やパルス等によって算出することができる。
また、芯部材２５に巻回された原反ＲＳの量が少なくなると、繰出側アンテナ２２１が後端側固定用接着シートＦＳｂと交信するようになるので、この交信を切っ掛けとして原反ＲＳの残りの長さが少なくなったと判断させ、上記のように警告手段を作動させることもできる。
【００２４】
なお、一の原反ＲＳにおける接着シートＡＳを全て使用してしまう前に、他の原反ＲＳに型換えをする場合、作業者は、剥離板３４で折り返された剥離シートＲＬにおける原反繰出方向下流側で当該剥離シートＲＬを切断し、回収ローラ３８で巻き取られた剥離シートＲＬを当該回収ローラ３８から抜き取って破棄する。この時、制御手段７は、リーダライタ８および情報シート発行手段９を駆動して、例えば、上述のようにして算出した接着シートＡＳの残数や原反ＲＳの残りの長さ等のデータを、上述のその他のデータと共に記憶させた別の先端側固定用接着シートＦＳｆ１を発行する。その後、作業者は、切断された原反ＲＳの先端（剥離シートＲＬの先端）を当該別の先端側固定用接着シートＦＳｆ１によって原反ＲＳの周面に仮固定して保存することができる。これにより、接着シートＡＳを全て使用してしまう前に貼付装置１から取り外された原反ＲＳでも、次回の使用時に、上述と同様にして別の先端側固定用接着シートＦＳｆ１に書き込まれたデータを読み取ることで、即対応することができる。また、後端側固定用接着シートＦＳｂや先端側固定用接着シートＦＳｆ（ＦＳｆ１）に記憶させた接着シートＡＳの残数を、図示しない外部コンピュータに送信することで、原反ＲＳの在庫を管理することもできる。
【００２５】
以上のような第１実施形態によれば、再接着可能な固定用接着シートＦＳを原反ＲＳに設けるとともに、当該固定用接着シートＦＳに対する情報の読み書きが可能な繰出側アンテナ２２１や回収側アンテナ３８１を設けているため、接着シートＡＳの貼付時の押圧力に関する情報を固定用接着シートＦＳに書き込んでおくことで、貼付装置１の操作を容易にすることができる。
【００２６】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。
第２実施形態の貼付装置１Ａは、図３に示すように、帯状の基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤが設けられた原接着シートＡＳ０が当該接着剤層ＡＤを介して帯状の剥離シートＲＬの一方の面に仮着された原反ＲＳ１を支持する支持装置２と、当該原反ＲＳ１を繰り出す繰出手段３と、原接着シートＡＳ０を所定形状に切断して接着シートＡＳを形成する切断手段４Ａと、接着シートＡＳをウェハＷＦに押圧して貼付する押圧手段５と、移動手段６とを備え、パーソナルコンピュータやシーケンサ等の制御手段７Ａによってその全体的な動作が制御されるように構成されている。
【００２７】
切断手段４Ａは、原接着シートＡＳ０に円形の切り込みＣＵを形成する切込刃４１Ａを備えたダイカットローラ４２Ａと、原接着シートＡＳ０および剥離シートＲＬを挟んでダイカットローラ４２Ａと対向配置されたプラテンローラ４３Ａとを備えている。切込刃４１Ａは、基材シートＢＳ側から剥離シートＲＬを貫通しない深さの切り込みＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に円形の接着シートＡＳを形成する。なお、ダイカットローラ４２Ａおよびプラテンローラ４３Ａは、駆動機器としての回動モータ４４Ａ，４５Ａにより同期して回転可能に設けられている。また、ダイカットローラ４２Ａを図３中左右方向に移動させ、切り込みＣＵの深さを変更する駆動機器であって切込深さ変更手段としての直動モータ４６Ａが設けられている。なお、切込深さ変更手段としては、プラテンローラ４３Ａ側に直動モータを設けてもよいし、それら両方に直動モータを設けてもよい。また、切込刃４１Ａが形成する切り込みＣＵの形状は、円形状に限らず、方形、楕円形、多角形、それらの形状を組み合せた形状等、何ら限定されるものではない。
【００２８】
以上の貼付装置１Ａにおいて、ウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付する際には、原反ＲＳ１の長手方向の後端を後端側固定用接着シートＦＳｂによって芯部材２５に仮固定して巻回した後、先端を先端側固定用接着シートＦＳｆによって原反ＲＳ１に仮固定したものを準備して、支持部２２で支持させる。
次に、第１実施形態と同様に、先端側固定用接着シートＦＳｆを回収ローラ３８の平面部３８Ａに仮固定して繰出手段３にセットする。
そして、電源投入により貼付装置１Ａの自動運転が開始され、制御手段７Ａは、リーダライタ８を制御して、先端側固定用接着シートＦＳｆに書き込まれたデータを読み取り、当該読み取ったデータに基づいて、貼付装置１全体を制御する。この制御は、第１実施形態と同様の制御に加え、例えば、原接着シートＡＳ０の種類、材質、厚さに基づいて、直動モータ４６Ａを駆動して切断手段４Ａによる切り込み深さを設定することができる。
次いで、制御手段７Ａは、原反ＲＳ１を繰り出し、切断手段４Ａにより原接着シートＡＳ０に切り込みＣＵを形成して、円形の接着シートＡＳと不要シートＵＳとを形成する。
そして、第１実施形態と同様に、接着シートＡＳをウェハＷＦに貼付するとともに、剥離シートＲＬを不要シートＵＳとともに回収ローラ３８で回収する。
なお、制御手段７Ａは、貼付処理中にも第１実施形態と同様の制御を行うことができる。
【００２９】
以上のような第２実施形態によれば、切断手段４Ａで接着シートＡＳを形成するときの切り込み深さに関する情報を固定用接着シートＦＳに書き込んでおくことで、貼付装置１Ａの操作を容易にすることができる。
【００３０】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３１】
例えば、図４に示すように、芯部材２５の端面形状と略等しい円形状に形成されるとともに、中央にデータキャリア本体ＤＢの平面形状よりも大きい形状の穴部ＡＰ２を有する基材シートＦＢ２と、当該基材シートＦＢ２の一方の面に積層された接着剤層ＦＤ２と、穴部ＡＰ２の底面ＡＰＢ上に支持されたデータキャリア本体ＤＢとを備え、穴部ＡＰ２の周縁部分によって保護部ＰＲ２が構成されている。この固定用接着シートＦＳ２は、芯部材２５の端面に再接着可能に仮固定される。
【００３２】
また、接着剤層ＦＤ，ＦＤ２は、基材シートＦＢ，ＦＢ２の一方の面全面に設けてもよいし、筋状に設けたり、外縁領域だけに設けたりして基材シートＦＢ，ＦＢ２の一方の面の一部に設けてもよい。
また、固定用接着シートＦＳ，ＦＳ２の平面形状は、方形、円形、楕円形、多角形、それらの形状を組み合せた形状等、何ら限定されるものではない。
さらに、接着シートＡＳの平面形状は、方形、円形、楕円形、多角形、それらの形状を組み合せた形状等、何ら限定されるものではない。
また、繰出側アンテナ２２１や回収側アンテナ３８１と同等の機能を有する通信手段を支持部２２内に設けてもよいし、回収側アンテナ３８１を回収ローラ３８に対向する位置に設けてもよいし、繰出側アンテナ２２１および回収側アンテナ３８１のうち一方を設けなくてもよい。すなわち、繰出側アンテナ２２１や回収側アンテナ３８１は、固定用接着シートＦＳに対して所定のデータの記憶および送信の少なくとも一方が可能に設けられていればよい。
さらに、原反ＲＳから剥がした先端側固定用接着シートＦＳｆの取り付け位置は、回収ローラ３８以外の部位でもよく、例えば、回収側アンテナ３８１と同様の機能を果たすアンテナを支持する特設のステージを設け、当該ステージに先端側固定用接着シートＦＳｆを接着したり、載置したりするようにしてもよい。この場合、接着剤層ＦＤは、再接着不可能な材料により構成されていてもよい。
また、本発明における情報シートに設けられるデータキャリア本体としては、ＩＣタグ、ＩＣカード、電子タグ、バーコード、いわゆるＱＲコード（登録商標）、磁気シートを適用してもよい。データキャリア本体がバーコードやＱＲコードの場合、繰出側アンテナ２２１および回収側アンテナ３８１の代わりにバーコードやＱＲコードを読み取り可能なリーダを使用し、磁気シートの場合、磁界を発生させて磁性体を磁化してデータを書き込んだり、磁界の変化を検知してデータを読み出したりするいわゆる磁気ヘッドを使用すればよい。なお、バーコードやＱＲコードのように記憶する情報量が少ないものの場合は、これらコードに上位のコンピュータ等の上位の制御手段にアクセスできるコードを記憶させておき、当該上位の制御手段から上記同様のデータを受信するようにしてもよい。
さらに、芯部材２５は、中空円筒状以外に中空角筒状や、中実円柱状、中実角柱状であってもよい。
また、固定用接着シートＦＳは、芯部材２５に巻回されることのない原反ＲＳを対象とした巻回物の固定用接着シートとしてもよい。
【００３３】
また、本発明における接着シートＡＳ、固定用接着シートＦＳ，ＦＳ２の種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートＢＳ，基材シートＦＢ，ＦＢ２と接着剤層ＦＤ，ＦＤ２との間に中間層を有するものや、他の層を有する等３層以上のものでもよい。また、接着シートＡＳは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、板状部材が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、板状部材としては、ガラス板、鋼板、樹脂板、基板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
さらに、巻回物は、帯状の接着シート、紙、布、鋼板、ベルト、樹脂、木板や、長尺の糸、紐、針金、コード、チューブ、ホース、チェーン等が例示でき、何らかの部材で巻き取ることのできる長さを有するものであればよい。
【００３４】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３５】
１，１Ａ…貼付装置
３…繰出手段
４Ａ…切断手段
５…押圧手段
９…情報シート発行手段
２２…支持部（支持軸）
３４…剥離板（剥離手段）
３８…回収ローラ（巻取軸）
２２１…繰出側アンテナ（通信手段）
３８１…回収側アンテナ（通信手段）
ＡＤ…接着剤層
ＡＳ…接着シート
ＡＳ０…原接着シート
ＢＳ…基材シート
ＦＳ，ＦＳ２…固定用接着シート（情報シート）
ＲＬ…剥離シート
ＲＳ，ＲＳ１…原反
ＵＳ…不要シート
ＷＦ…ウェハ（被着体）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、巻芯に巻回したラベル連続体の印字に関する情報を読み取って、当該ラベル連続体の印字条件を適切に制御する構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１に記載の構成では、巻芯に内包されたＩＣユニットから情報を読み取るために、当該巻芯を支持する支持軸にリーダを設けている。
また、ボビンに線材を巻回し、線材の終端末部を接着シール材で固定する構成も知られている（例えば、特許文献２参照）。この接着シール材は、線材の固定のみに使用されるだけであり、固定が不要となった後には廃棄されてしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−２８１２６８号公報
【特許文献２】特開平７−２５５４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の構成では、巻芯を支持する支持軸にリーダを設けているため、例えば、資源の有効利用を図るために、特許文献２で使用される接着シール材に所定の情報を記憶させて情報シートとし、当該情報シートから所定の情報を読み取って、装置を制御するといったことに対応できないという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、資源を有効利用するために開発された所定の情報を記憶可能な情報シートを使用し、接着シートを適切に貼付するための初期設定の操作を容易にすることができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた接着シートが当該接着剤層によって帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記原反には、所定の情報の記憶および送信の少なくとも一方が可能に設けられた情報シートが再接着可能に設けられ、前記情報シートから所定の情報を読み取ること、および、前記情報シートに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方の処理が可能な通信手段を有することを特徴とする。
また、本発明の他のシート貼付装置は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた原接着シートが当該接着剤層によって帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記原接着シートに切り込みを形成することで、当該切り込みの内側に接着シートを形成するとともに、当該切り込みの外側に不要シートを形成する切断手段と、前記接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記原反には、所定の情報の記憶および送信の少なくとも一方が可能に設けられた情報シートが再接着可能に設けられ、前記情報シートから所定の情報を読み取ること、および、前記情報シートに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方の処理が可能な通信手段を有することを特徴とする。
【０００７】
この際、本発明のシート貼付装置では、前記繰出手段は、前記接着シートが剥離された剥離シートを巻き取る巻取軸を含み、前記通信手段は、前記巻取軸または前記巻取軸に対向する位置に設けられていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置では、前記繰出手段は、前記原反を支持する支持軸を含み、前記通信手段は、前記支持軸または前記支持軸に対向する位置に設けられていることが好ましい。
さらに、本発明のシート貼付装置では、前記情報シートを発行可能な情報シート発行手段を有することが好ましい。
【０００８】
一方、本発明のシート貼付方法は、基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた接着シートが当該接着剤層によって帯状の剥離シートに仮着された原反に再接着可能であるとともに、所定の情報の記憶および送信の少なくとも一方が可能な情報シートと、前記情報シートから所定の情報を読み取ること、および、前記情報シートに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方の処理が可能な通信手段とを用い、前記情報シートが設けられた原反を準備する準備ステップと、前記通信手段が前記少なくとも一方の処理が可能な状態に前記情報シートを配置する配置ステップと、前記原反を繰り出す繰出ステップと、前記接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離ステップと、前記接着シートを被着体に押圧して押圧ステップと、前記繰出ステップ、前記剥離ステップ、前記押圧ステップの少なくとも１つのステップを行う前に前記情報シートから所定の情報を読み取って、当該読み取った情報に基づいて以後のステップを行うこと、および、前記少なくとも１つのステップを行った後に前記情報シートに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方を含む通信ステップとを有することを特徴とする。
また、本発明の他のシート貼付方法は、基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた接着シートが当該接着剤層によって帯状の剥離シートに仮着された原反に再接着可能であるとともに、所定の情報の記憶および送信の少なくとも一方が可能な情報シートと、前記情報シートから所定の情報を読み取ること、および、前記情報シートに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方の処理が可能な通信手段とを用い、前記情報シートが設けられた原反を準備する準備ステップと、前記通信手段が前記少なくとも一方の処理が可能な状態に前記情報シートを配置する配置ステップと、前記原反を繰り出す繰出ステップと、前記原接着シートに切り込みを形成することで、当該切り込みの内側に接着シートを形成するとともに、当該切り込みの外側に不要シートを形成する切断ステップと、前記接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離ステップと、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧ステップと、前記繰出ステップ、前記切断ステップ、前記剥離ステップ、前記押圧ステップの少なくとも１つのステップを行う前に前記情報シートから所定の情報を読み取って、当該読み取った情報に基づいて以後のステップを行うこと、および、前記少なくとも１つのステップを行った後に前記情報シートに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方を含む通信ステップとを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、従来では外したら捨てられるだけであった端部止めの接着シール材を情報シートとして再利用するにあたり、当該情報シートを再接着し、当該情報シートから所定の情報を読み取ったり、情報シートに所定の情報を書き込んだりすることが可能な通信手段を設けているため、例えば、接着シートの貼付時の押圧力に関する情報や、原接着シートから接着シートを形成するときの切り込み深さに関する情報を情報シートに書き込んでおけば、接着シートを適切に貼付する諸条件をオペレータが貼付装置に入力する必要がなくなり、貼付装置の操作を容易にすることができる。さらには、例えば、接着シートの貼付枚数などに関する情報を情報シートに書き込めば、次回の貼付処理開始時の設定操作や原反の在庫管理が容易になる。
【００１０】
また、剥離シートを巻き取る巻取軸または巻取軸に対向する位置に通信手段を設ければ、貼付開始前に、情報シートによって剥離シートを巻取軸に仮固定するだけで、情報シートから押圧力や切り込み深さに関する情報を貼付装置が読み取ることができ、操作が容易になる。
さらに、原反を支持する支持軸または支持軸に対向する位置に通信手段を設ければ、貼付開始前に情報シートを設けた原反を支持軸にセットするだけで、情報シートから押圧力や切り込み深さに関する情報を貼付装置が読み取ることができ、操作が容易になる。
また、情報シート発行手段を設けることで、接着シートを全て使用してしまう前に原反を交換するような場合にでも、次回使用するときのために即座に情報シートを発行し、使用途中の原反に貼付して保管しておくことができる。
なお、仮固定とは、一旦固定したものであっても、後に取り外すことができるように固定することを意味し、例えば、固定用接着シートを用い、剥離シートを巻取軸などの所定の部位に一時的に固定して、必要に応じて剥離シートを当該所定の部位から取り外すことができるように固定することである。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】（Ａ）は、本発明の第１実施形態に係る固定用接着シートが取り付けられた原反の斜視図、（Ｂ）は、前記第１実施形態および第２実施形態の固定用接着シートの断面図、（Ｃ）および（Ｄ）は、変形例に係る固定用接着シートの断面図。
【図２】前記第１実施形態の貼付装置の側面図。
【図３】前記第２実施形態の貼付装置の側面図。
【図４】変形例に係る固定用接着シートが取り付けられた原反の斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第２実施形態において、次の第１実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材、および同様な機能を有する構成部材には、第１実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。また、各図においては、本発明の内容を理解しやすくするために各構成の形状や配置状態を誇張して示している。
【００１３】
［第１実施形態］
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
まず、情報シートとしての固定用接着シートＦＳについて説明する。図１（Ａ），（Ｂ）において、固定用接着シートＦＳは、中空円筒状の芯部材２５の外周に巻回された巻回物としての原反ＲＳの先端を当該原反ＲＳに仮固定したり、原反ＲＳの後端を芯部材２５に仮固定したり、原反ＲＳの先端を所定の部位に剥離シートＲＬを仮固定したりするものである。ここで、原反ＲＳは、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤが積層された接着シートＡＳが、当該接着剤層ＡＤを介して剥離シートＲＬに仮着された構成を有している。
固定用接着シートＦＳは、長方形状の基材シートＦＢと、当該基材シートＦＢの一方の面に積層され再接着可能な材料により形成された接着剤層ＦＤと、基材シートＦＢの他方の面に支持されるとともに、所定のデータの記憶および送信の少なくとも一方が可能なデータキャリア本体ＤＢとを備えている。
なお、図１（Ｃ）に示すように、データキャリア本体ＤＢは、接着剤層ＦＤに支持されるように設けてもよいし、図１（Ｄ）に示すように、データキャリア本体ＤＢを基材シートＦＢと接着剤層ＦＤとの間に設けてもよい。
【００１４】
データキャリア本体ＤＢは、チップＣＰおよび当該チップＣＰに接続されたチップ用アンテナＡＴから構成されており、電磁波を通信媒体として、データを送信したり、データを記憶したりすることができるものである。このようなデータキャリア本体ＤＢとしては、例えば、ＩＣチップ（チップＣＰ）と、このＩＣチップに接続された送受信用の導電性コイル（チップ用アンテナＡＴ）とから構成される、いわゆるＲＦメモリやＲＦＩＤタグ等を例示することができる。
【００１５】
次に、接着シートＡＳの貼付装置１について説明する。図２において、貼付装置１は、被着体としての半導体ウェハ（以下「ウェハ」と称す場合がある）ＷＦに接着シートＡＳを貼付するものである。そして、貼付装置１は、接着シートＡＳを繰出可能に支持する支持装置２と、接着シートＡＳを繰り出す繰出手段３と、繰り出された接着シートＡＳをウェハＷＦに押圧して貼付する押圧手段５と、ウェハＷＦと押圧手段５とを相対移動させる移動手段６とを備え、パーソナルコンピュータやシーケンサ等の制御手段７によってその全体的な動作が制御されるように構成されている。
【００１６】
支持装置２は、フレーム２１と、このフレーム２１の一面に設けられた支持軸としての支持部２２とを備え、芯部材２５における中空部の一端側から挿入されることで芯部材２５を支持する。
【００１７】
繰出手段３は、その全体がフレーム２１に支持され、原反ＲＳを案内するガイドローラ３２，３３と、原反ＲＳの剥離シートＲＬを折り返すことで当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板３４と、駆動機器としての回動モータ３５によって駆動する駆動ローラ３６と、駆動ローラ３６との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ３７と、駆動機器としての回動モータ３９によって剥離シートＲＬを回収する巻取軸としての回収ローラ３８とを備えている。
押圧手段５は、ゴムや樹脂等の弾性変形可能な部材で構成され、図示しない支持部材により回転自在に支持され、駆動機器としての図示しない直動モータにより昇降可能に設けられている。
移動手段６は、ウェハＷＦが載置され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない吸着保持手段によって当該ウェハＷＦを吸着保持可能なテーブル６１と、テーブル６１の下面にスライダ６２が固定された駆動機器としての単軸ロボット６３とを備え、スライダ６２をスライド駆動することで、テーブル６１を左右方向に移動可能に構成されている。
【００１８】
また、支持装置２には、図２の符号ＡＡにも示すように、フレーム２１に対して回動可能に設けられ、図示しないばね等の付勢手段によって支持部２２方向に付勢されるとともに、内部に通信手段としての繰出側アンテナ２２１を備えた原反押えアーム２２２が設けられている。また、回収ローラ３８には、図２の符号ＡＢにも示すように、その周面の一部に平面部３８Ａが形成され、当該回収ローラ３８の内部であって、平面部３８Ａの下方に通信手段としての回収側アンテナ３８１が設けられている。繰出側アンテナ２２１および回収側アンテナ３８１は、導電体をループ状に巻回することにより構成されている。
繰出側アンテナ２２１および回収側アンテナ３８１には、制御手段７による制御に基づき、固定用接着シートＦＳのデータキャリア本体ＤＢに対してデータの読み書きをすることのできる読み書き手段としてのリーダライタ８がそれぞれ接続されている。制御手段７は、リーダライタ８を制御し、各アンテナ２２１，３８１に電流を流すことで、磁束、静電気、マイクロ波等の伝送手段を発生させ、チップ用アンテナＡＴを介して起電力を発生させてデータキャリア本体ＤＢのチップＣＰに書き込まれたデータを読み取り、当該読み取ったデータに基づいて、貼付装置１全体を制御したり、データキャリア本体ＤＢのチップＣＰに所定のデータを記憶させたりすることができる。
また、リーダライタ８には、繰出側アンテナ２２１および回収側アンテナ３８１と同様の機能を有する図示しないアンテナすなわち通信手段が内蔵された固定用接着シート発行手段９が接続されている。この固定用接着シート発行手段９は、チップ用アンテナＡＴを介してチップＣＰに所定のデータを書き込んだ固定用接着シートＦＳを発行可能となっている。
なお、繰出側アンテナ２２１および回収側アンテナ３８１と、データキャリア本体ＤＢとで通信するデータとしては、接着シートＡＳの種類、材質、品名、コード、厚さ、長さ、幅、直径などの規格寸法、さらには、原反ＲＳのロットナンバー、原反ＲＳを使用した長さ、原反ＲＳの残りの長さ、接着シートＡＳの品質保証期限、繰出開始前後の接着シートＡＳの残数、繰り出された接着シートＡＳの枚数、接着シートＡＳを最適に繰り出すことのできる推奨繰出速度、接着シートＡＳを最適に貼付することができる推奨貼付張力や推奨押圧力などの接着シートＡＳの貼付条件、接着シートＡＳや原反ＲＳについての相談窓口の連絡先などが例示できる。
そして、貼付装置１に設けられた図示しないモニタにデータキャリア本体ＤＢから読み取ったデータを表示させたり、読み取ったデータを基に当該貼付装置１の貼付条件を設定したりすることができる。
【００１９】
以上の貼付装置１において、ウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付する際には、まず、原反ＲＳの長手方向の後端を固定用接着シートＦＳ（以下、後端側固定用接着シートＦＳｂと称す）（図２参照）によって芯部材２５に仮固定して当該芯部材２５に巻回した後、先端を固定用接着シートＦＳ（以下、先端側固定用接着シートＦＳｆと称す）（図１（Ａ）参照）によって原反ＲＳの周面に仮固定したものを準備する。そして、原反ＲＳが巻回された芯部材２５を支持部２２で支持させる。
【００２０】
次に、作業者は、先端側固定用接着シートＦＳｆを原反ＲＳの周面から剥し、原反ＲＳの先端に先端側固定用接着シートＦＳｆを貼付した状態で当該原反ＲＳを引き出し、図２のＡＢに示すように、先端側固定用接着シートＦＳｆを回収ローラ３８の平面部３８Ａに仮固定して繰出手段３にセットする。このとき、先端側固定用接着シートＦＳｆの接着剤層ＦＤが再接着可能な材料によって形成されているので、原反ＲＳを容易に回収ローラ３８に仮固定することができる。これにより、先端側固定用接着シートＦＳｆの面が回収側アンテナ３８１の面と対向するので、回収側アンテナ３８１で発生する伝送手段の通過位置にチップ用アンテナＡＴを常時存在させることができるため、リーダライタ８は、回収側アンテナ３８１を介してチップ用アンテナＡＴに効率よく起電力を発生させ、先端側固定用接着シートＦＳｆのチップＣＰのデータを確実に読み取ったり、先端側固定用接着シートＦＳｆにデータを確実に書き込んだりすることができる。
【００２１】
そして、電源投入により貼付装置１の自動運転が開始されると、制御手段７は、リーダライタ８を制御して、回収側アンテナ３８１に電流を流すことで伝送手段を発生させ、先端側固定用接着シートＦＳｆに書き込まれたデータを読み取り、当該読み取ったデータに基づいて、貼付装置１全体を制御する。この制御は、例えば、先端側固定用接着シートＦＳｆに書き込まれたデータのうち、接着シートＡＳの推奨繰出速度を基にして、回動モータ３５，３９の回転速度や、単軸ロボット６３でテーブル６１を移動させる移動速度を決定したり、推奨押圧力を基にして、押圧手段５を昇降させる図示しない直動モータの昇降量やその出力軸に加えるトルクなどを決定し、押圧力を設定したりすることができる。なお、データキャリア本体ＤＢから受信したすべての情報または、一部の情報を図示しないモニタや表示パネル等に表示させておくことができる。
【００２２】
その後、図示しない搬送手段によってウェハＷＦがテーブル６１上に載置されると、移動手段６がウェハＷＦの吸着を開始し、単軸ロボット６３を駆動してテーブル６１を図２中左方向に搬送させる。次いで、ウェハＷＦが所定の位置に達したことを図示しない光センサ等の検知手段が検知した時点で、繰出手段３が回動モータ３５，３９を駆動して接着シートＡＳを繰り出し、押圧手段４が当該接着シートＡＳを搬送されるウェハＷＦに押圧して貼付する。接着シートＡＳが貼付されたウェハＷＦは、図示しない搬送装置で外部に搬送され、テーブル６１が元の位置に戻り、以降同様の動作が繰り返される。
【００２３】
ここで、制御手段７は、貼付装置１の自動運転中に種々の制御を行う。例えば、回収側アンテナ３８１を介して初めに読み取った接着シートＡＳの残数から、ウェハＷＦに貼付した接着シートＡＳの数を差し引き、あと何枚のウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付することができるかを計算して図示しないモニタや表示パネル等に表示させたり、残りの接着シートＡＳの枚数が少なくなると、図示しないブザーや回転灯等の警告手段を作動させて作業者に注意を促したりすることができる。また、初めに読み取った原反ＲＳの残りの長さから、使用した原反ＲＳの長さを差し引き、残りの長さを図示しないモニタや表示パネル等に表示させたり、残りの原反ＲＳの長さが短くなくなると、警告手段を作動させて作業者に注意を促したりすることもできる。なお、ウェハＷＦに貼付した接着シートＡＳの数は、回動モータ３５の起動回数や、ウェハＷＦが所定の位置に達したことを検知する図示しない検知手段が検知した回数等によって算出することができ、原反ＲＳを使用した長さは、回動モータ３５の回転数やパルス等によって算出することができる。
また、芯部材２５に巻回された原反ＲＳの量が少なくなると、繰出側アンテナ２２１が後端側固定用接着シートＦＳｂと交信するようになるので、この交信を切っ掛けとして原反ＲＳの残りの長さが少なくなったと判断させ、上記のように警告手段を作動させることもできる。
【００２４】
なお、一の原反ＲＳにおける接着シートＡＳを全て使用してしまう前に、他の原反ＲＳに型換えをする場合、作業者は、剥離板３４で折り返された剥離シートＲＬにおける原反繰出方向下流側で当該剥離シートＲＬを切断し、回収ローラ３８で巻き取られた剥離シートＲＬを当該回収ローラ３８から抜き取って破棄する。この時、制御手段７は、リーダライタ８および情報シート発行手段９を駆動して、例えば、上述のようにして算出した接着シートＡＳの残数や原反ＲＳの残りの長さ等のデータを、上述のその他のデータと共に記憶させた別の先端側固定用接着シートＦＳｆ１を発行する。その後、作業者は、切断された原反ＲＳの先端（剥離シートＲＬの先端）を当該別の先端側固定用接着シートＦＳｆ１によって原反ＲＳの周面に仮固定して保存することができる。これにより、接着シートＡＳを全て使用してしまう前に貼付装置１から取り外された原反ＲＳでも、次回の使用時に、上述と同様にして別の先端側固定用接着シートＦＳｆ１に書き込まれたデータを読み取ることで、即対応することができる。また、後端側固定用接着シートＦＳｂや先端側固定用接着シートＦＳｆ（ＦＳｆ１）に記憶させた接着シートＡＳの残数を、図示しない外部コンピュータに送信することで、原反ＲＳの在庫を管理することもできる。
【００２５】
以上のような第１実施形態によれば、再接着可能な固定用接着シートＦＳを原反ＲＳに設けるとともに、当該固定用接着シートＦＳに対する情報の読み書きが可能な繰出側アンテナ２２１や回収側アンテナ３８１を設けているため、接着シートＡＳの貼付時の押圧力に関する情報を固定用接着シートＦＳに書き込んでおくことで、貼付装置１の操作を容易にすることができる。
【００２６】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。
第２実施形態の貼付装置１Ａは、図３に示すように、帯状の基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤが設けられた原接着シートＡＳ０が当該接着剤層ＡＤを介して帯状の剥離シートＲＬの一方の面に仮着された原反ＲＳ１を支持する支持装置２と、当該原反ＲＳ１を繰り出す繰出手段３と、原接着シートＡＳ０を所定形状に切断して接着シートＡＳを形成する切断手段４Ａと、接着シートＡＳをウェハＷＦに押圧して貼付する押圧手段５と、移動手段６とを備え、パーソナルコンピュータやシーケンサ等の制御手段７Ａによってその全体的な動作が制御されるように構成されている。
【００２７】
切断手段４Ａは、原接着シートＡＳ０に円形の切り込みＣＵを形成する切込刃４１Ａを備えたダイカットローラ４２Ａと、原接着シートＡＳ０および剥離シートＲＬを挟んでダイカットローラ４２Ａと対向配置されたプラテンローラ４３Ａとを備えている。切込刃４１Ａは、基材シートＢＳ側から剥離シートＲＬを貫通しない深さの切り込みＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に円形の接着シートＡＳを形成する。なお、ダイカットローラ４２Ａおよびプラテンローラ４３Ａは、駆動機器としての回動モータ４４Ａ，４５Ａにより同期して回転可能に設けられている。また、ダイカットローラ４２Ａを図３中左右方向に移動させ、切り込みＣＵの深さを変更する駆動機器であって切込深さ変更手段としての直動モータ４６Ａが設けられている。なお、切込深さ変更手段としては、プラテンローラ４３Ａ側に直動モータを設けてもよいし、それら両方に直動モータを設けてもよい。また、切込刃４１Ａが形成する切り込みＣＵの形状は、円形状に限らず、方形、楕円形、多角形、それらの形状を組み合せた形状等、何ら限定されるものではない。
【００２８】
以上の貼付装置１Ａにおいて、ウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付する際には、原反ＲＳ１の長手方向の後端を後端側固定用接着シートＦＳｂによって芯部材２５に仮固定して巻回した後、先端を先端側固定用接着シートＦＳｆによって原反ＲＳ１に仮固定したものを準備して、支持部２２で支持させる。
次に、第１実施形態と同様に、先端側固定用接着シートＦＳｆを回収ローラ３８の平面部３８Ａに仮固定して繰出手段３にセットする。
そして、電源投入により貼付装置１Ａの自動運転が開始され、制御手段７Ａは、リーダライタ８を制御して、先端側固定用接着シートＦＳｆに書き込まれたデータを読み取り、当該読み取ったデータに基づいて、貼付装置１全体を制御する。この制御は、第１実施形態と同様の制御に加え、例えば、原接着シートＡＳ０の種類、材質、厚さに基づいて、直動モータ４６Ａを駆動して切断手段４Ａによる切り込み深さを設定することができる。
次いで、制御手段７Ａは、原反ＲＳ１を繰り出し、切断手段４Ａにより原接着シートＡＳ０に切り込みＣＵを形成して、円形の接着シートＡＳと不要シートＵＳとを形成する。
そして、第１実施形態と同様に、接着シートＡＳをウェハＷＦに貼付するとともに、剥離シートＲＬを不要シートＵＳとともに回収ローラ３８で回収する。
なお、制御手段７Ａは、貼付処理中にも第１実施形態と同様の制御を行うことができる。
【００２９】
以上のような第２実施形態によれば、切断手段４Ａで接着シートＡＳを形成するときの切り込み深さに関する情報を固定用接着シートＦＳに書き込んでおくことで、貼付装置１Ａの操作を容易にすることができる。
【００３０】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３１】
例えば、図４に示すように、芯部材２５の端面形状と略等しい円形状に形成されるとともに、中央にデータキャリア本体ＤＢの平面形状よりも大きい形状の穴部ＡＰ２を有する基材シートＦＢ２と、当該基材シートＦＢ２の一方の面に積層された接着剤層ＦＤ２と、穴部ＡＰ２の底面ＡＰＢ上に支持されたデータキャリア本体ＤＢとを備え、穴部ＡＰ２の周縁部分によって保護部ＰＲ２が構成されている。この固定用接着シートＦＳ２は、芯部材２５の端面に再接着可能に仮固定される。
【００３２】
また、接着剤層ＦＤ，ＦＤ２は、基材シートＦＢ，ＦＢ２の一方の面全面に設けてもよいし、筋状に設けたり、外縁領域だけに設けたりして基材シートＦＢ，ＦＢ２の一方の面の一部に設けてもよい。
また、固定用接着シートＦＳ，ＦＳ２の平面形状は、方形、円形、楕円形、多角形、それらの形状を組み合せた形状等、何ら限定されるものではない。
さらに、接着シートＡＳの平面形状は、方形、円形、楕円形、多角形、それらの形状を組み合せた形状等、何ら限定されるものではない。
また、繰出側アンテナ２２１や回収側アンテナ３８１と同等の機能を有する通信手段を支持部２２内に設けてもよいし、回収側アンテナ３８１を回収ローラ３８に対向する位置に設けてもよいし、繰出側アンテナ２２１および回収側アンテナ３８１のうち一方を設けなくてもよい。すなわち、繰出側アンテナ２２１や回収側アンテナ３８１は、固定用接着シートＦＳに対して所定のデータの記憶および送信の少なくとも一方が可能に設けられていればよい。
さらに、原反ＲＳから剥がした先端側固定用接着シートＦＳｆの取り付け位置は、回収ローラ３８以外の部位でもよく、例えば、回収側アンテナ３８１と同様の機能を果たすアンテナを支持する特設のステージを設け、当該ステージに先端側固定用接着シートＦＳｆを接着したり、載置したりするようにしてもよい。この場合、接着剤層ＦＤは、再接着不可能な材料により構成されていてもよい。
また、本発明における情報シートに設けられるデータキャリア本体としては、ＩＣタグ、ＩＣカード、電子タグ、バーコード、いわゆるＱＲコード（登録商標）、磁気シートを適用してもよい。データキャリア本体がバーコードやＱＲコードの場合、繰出側アンテナ２２１および回収側アンテナ３８１の代わりにバーコードやＱＲコードを読み取り可能なリーダを使用し、磁気シートの場合、磁界を発生させて磁性体を磁化してデータを書き込んだり、磁界の変化を検知してデータを読み出したりするいわゆる磁気ヘッドを使用すればよい。なお、バーコードやＱＲコードのように記憶する情報量が少ないものの場合は、これらコードに上位のコンピュータ等の上位の制御手段にアクセスできるコードを記憶させておき、当該上位の制御手段から上記同様のデータを受信するようにしてもよい。
さらに、芯部材２５は、中空円筒状以外に中空角筒状や、中実円柱状、中実角柱状であってもよい。
また、固定用接着シートＦＳは、芯部材２５に巻回されることのない原反ＲＳを対象とした巻回物の固定用接着シートとしてもよい。
【００３３】
また、本発明における接着シートＡＳ、固定用接着シートＦＳ，ＦＳ２の種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートＢＳ，基材シートＦＢ，ＦＢ２と接着剤層ＦＤ，ＦＤ２との間に中間層を有するものや、他の層を有する等３層以上のものでもよい。また、接着シートＡＳは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、板状部材が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、板状部材としては、ガラス板、鋼板、樹脂板、基板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
さらに、巻回物は、帯状の接着シート、紙、布、鋼板、ベルト、樹脂、木板や、長尺の糸、紐、針金、コード、チューブ、ホース、チェーン等が例示でき、何らかの部材で巻き取ることのできる長さを有するものであればよい。
【００３４】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３５】
１，１Ａ…貼付装置
３…繰出手段
４Ａ…切断手段
５…押圧手段
９…情報シート発行手段
２２…支持部（支持軸）
３４…剥離板（剥離手段）
３８…回収ローラ（巻取軸）
２２１…繰出側アンテナ（通信手段）
３８１…回収側アンテナ（通信手段）
ＡＤ…接着剤層
ＡＳ…接着シート
ＡＳ０…原接着シート
ＢＳ…基材シート
ＦＳ，ＦＳ２…固定用接着シート（情報シート）
ＲＬ…剥離シート
ＲＳ，ＲＳ１…原反
ＵＳ…不要シート
ＷＦ…ウェハ（被着体）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた接着シートが当該接着剤層によって帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離手段と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記原反には、所定の情報の記憶および送信の少なくとも一方が可能に設けられた情報シートが再接着可能に設けられ、
前記情報シートから所定の情報を読み取ること、および、前記情報シートに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方の処理が可能な通信手段を有することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた原接着シートが当該接着剤層によって帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記原接着シートに切り込みを形成することで、当該切り込みの内側に接着シートを形成するとともに、当該切り込みの外側に不要シートを形成する切断手段と、
前記接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離手段と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記原反には、所定の情報の記憶および送信の少なくとも一方が可能に設けられた情報シートが再接着可能に設けられ、
前記情報シートから所定の情報を読み取ること、および、前記情報シートに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方の処理が可能な通信手段を有することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項３】
前記繰出手段は、前記接着シートが剥離された剥離シートを巻き取る巻取軸を含み、
前記通信手段は、前記巻取軸または前記巻取軸に対向する位置に設けられている請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記繰出手段は、前記原反を支持する支持軸を含み、
前記通信手段は、前記支持軸または前記支持軸に対向する位置に設けられている請求項１から請求項３のいずれかに記載のシート貼付装置。
【請求項５】
前記情報シートを発行可能な情報シート発行手段を有する請求項１から請求項４のいずれかに記載のシート貼付装置。
【請求項６】
基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた接着シートが当該接着剤層によって帯状の剥離シートに仮着された原反に再接着可能であるとともに、所定の情報の記憶および送信の少なくとも一方が可能な情報シートと、
前記情報シートから所定の情報を読み取ること、および、前記情報シートに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方の処理が可能な通信手段とを用い、
前記情報シートが設けられた原反を準備する準備ステップと、
前記通信手段が前記少なくとも一方の処理が可能な状態に前記情報シートを配置する配置ステップと、
前記原反を繰り出す繰出ステップと、
前記接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離ステップと、
前記接着シートを被着体に押圧して押圧ステップと、
前記繰出ステップ、前記剥離ステップ、前記押圧ステップの少なくとも１つのステップを行う前に前記情報シートから所定の情報を読み取って、当該読み取った情報に基づいて以後のステップを行うこと、および、前記少なくとも１つのステップを行った後に前記情報シートに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方を含む通信ステップとを有することを特徴とするシート貼付方法。
【請求項７】
基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた接着シートが当該接着剤層によって帯状の剥離シートに仮着された原反に再接着可能であるとともに、所定の情報の記憶および送信の少なくとも一方が可能な情報シートと、
前記情報シートから所定の情報を読み取ること、および、前記情報シートに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方の処理が可能な通信手段とを用い、
前記情報シートが設けられた原反を準備する準備ステップと、
前記通信手段が前記少なくとも一方の処理が可能な状態に前記情報シートを配置する配置ステップと、
前記原反を繰り出す繰出ステップと、
前記原接着シートに切り込みを形成することで、当該切り込みの内側に接着シートを形成するとともに、当該切り込みの外側に不要シートを形成する切断ステップと、
前記接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離ステップと、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧ステップと、
前記繰出ステップ、前記切断ステップ、前記剥離ステップ、前記押圧ステップの少なくとも１つのステップを行う前に前記情報シートから所定の情報を読み取って、当該読み取った情報に基づいて以後のステップを行うこと、および、前記少なくとも１つのステップを行った後に前記情報シートに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方を含む通信ステップとを有することを特徴とするシート貼付方法。
【請求項１】
基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた接着シートが当該接着剤層によって帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離手段と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記原反には、所定の情報の記憶および送信の少なくとも一方が可能に設けられた情報シートが再接着可能に設けられ、
前記情報シートから所定の情報を読み取ること、および、前記情報シートに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方の処理が可能な通信手段を有することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた原接着シートが当該接着剤層によって帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記原接着シートに切り込みを形成することで、当該切り込みの内側に接着シートを形成するとともに、当該切り込みの外側に不要シートを形成する切断手段と、
前記接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離手段と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記原反には、所定の情報の記憶および送信の少なくとも一方が可能に設けられた情報シートが再接着可能に設けられ、
前記情報シートから所定の情報を読み取ること、および、前記情報シートに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方の処理が可能な通信手段を有することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項３】
前記繰出手段は、前記接着シートが剥離された剥離シートを巻き取る巻取軸を含み、
前記通信手段は、前記巻取軸または前記巻取軸に対向する位置に設けられている請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記繰出手段は、前記原反を支持する支持軸を含み、
前記通信手段は、前記支持軸または前記支持軸に対向する位置に設けられている請求項１から請求項３のいずれかに記載のシート貼付装置。
【請求項５】
前記情報シートを発行可能な情報シート発行手段を有する請求項１から請求項４のいずれかに記載のシート貼付装置。
【請求項６】
基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた接着シートが当該接着剤層によって帯状の剥離シートに仮着された原反に再接着可能であるとともに、所定の情報の記憶および送信の少なくとも一方が可能な情報シートと、
前記情報シートから所定の情報を読み取ること、および、前記情報シートに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方の処理が可能な通信手段とを用い、
前記情報シートが設けられた原反を準備する準備ステップと、
前記通信手段が前記少なくとも一方の処理が可能な状態に前記情報シートを配置する配置ステップと、
前記原反を繰り出す繰出ステップと、
前記接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離ステップと、
前記接着シートを被着体に押圧して押圧ステップと、
前記繰出ステップ、前記剥離ステップ、前記押圧ステップの少なくとも１つのステップを行う前に前記情報シートから所定の情報を読み取って、当該読み取った情報に基づいて以後のステップを行うこと、および、前記少なくとも１つのステップを行った後に前記情報シートに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方を含む通信ステップとを有することを特徴とするシート貼付方法。
【請求項７】
基材シートの一方の面に接着剤層が設けられた接着シートが当該接着剤層によって帯状の剥離シートに仮着された原反に再接着可能であるとともに、所定の情報の記憶および送信の少なくとも一方が可能な情報シートと、
前記情報シートから所定の情報を読み取ること、および、前記情報シートに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方の処理が可能な通信手段とを用い、
前記情報シートが設けられた原反を準備する準備ステップと、
前記通信手段が前記少なくとも一方の処理が可能な状態に前記情報シートを配置する配置ステップと、
前記原反を繰り出す繰出ステップと、
前記原接着シートに切り込みを形成することで、当該切り込みの内側に接着シートを形成するとともに、当該切り込みの外側に不要シートを形成する切断ステップと、
前記接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離ステップと、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧ステップと、
前記繰出ステップ、前記切断ステップ、前記剥離ステップ、前記押圧ステップの少なくとも１つのステップを行う前に前記情報シートから所定の情報を読み取って、当該読み取った情報に基づいて以後のステップを行うこと、および、前記少なくとも１つのステップを行った後に前記情報シートに所定の情報を書き込むことの少なくとも一方を含む通信ステップとを有することを特徴とするシート貼付方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２０１３−１１２４０３（Ｐ２０１３−１１２４０３Ａ）
【公開日】平成２５年６月１０日（２０１３．６．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２６２６０３（Ｐ２０１１−２６２６０３）
【出願日】平成２３年１１月３０日（２０１１．１１．３０）
【出願人】（０００１０２９８０）リンテック株式会社 (1,750)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年６月１０日（２０１３．６．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１１月３０日（２０１１．１１．３０）
【出願人】（０００１０２９８０）リンテック株式会社 (1,750)
【Ｆターム（参考）】
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