スクリーン印刷体の製造方法
【課題】大面積の被印刷面を有する大型の被印刷体に対しても精度に優れたスクリーン印刷を行うことができ、印刷精度に優れたスクリーン印刷体を製造可能なスクリーン印刷体の製造方法を提供する。
【解決手段】被印刷体１０の上方に所定のクリアランスＣを保持した状態で配設されたスクリーン３と、製版枠４とを備えたスクリーン製版５のスクリーン３上をスキージで摺動して、被印刷体１０上に所定の印刷パターンが形成されたスクリーン印刷体を製造する方法である。製版枠４のスキージの摺動方向軸と直行する辺の内寸（ＬＦ）に対する、印刷パターンのスキージの摺動方向軸と直行する辺の長さ（ＬＰ）の比（ＬＰ／ＬＦ）が０．４５以上であり、クリアランスＣＬ（０．１〜２ｍｍ）と、印刷パターンの印刷位置ズレ量との相関関係に基づき、被印刷体１０とスクリーン製版５との最適クリアランスを選択及び設定する。
【解決手段】被印刷体１０の上方に所定のクリアランスＣを保持した状態で配設されたスクリーン３と、製版枠４とを備えたスクリーン製版５のスクリーン３上をスキージで摺動して、被印刷体１０上に所定の印刷パターンが形成されたスクリーン印刷体を製造する方法である。製版枠４のスキージの摺動方向軸と直行する辺の内寸（ＬＦ）に対する、印刷パターンのスキージの摺動方向軸と直行する辺の長さ（ＬＰ）の比（ＬＰ／ＬＦ）が０．４５以上であり、クリアランスＣＬ（０．１〜２ｍｍ）と、印刷パターンの印刷位置ズレ量との相関関係に基づき、被印刷体１０とスクリーン製版５との最適クリアランスを選択及び設定する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷精度に優れたスクリーン印刷体を製造可能なスクリーン印刷体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷用製版（以下、単に「スクリーン製版」又は「製版」ともいう）を使用して、被印刷体の表面上にインクやペースト等からなる印刷膜を形成するスクリーン印刷は、微細パターンの形成が可能であり、また、優れた量産性を有することから幅広い産業分野で利用されている。一般に、スクリーン印刷は、樹脂（例えば感光性乳剤膜）等によってその開口が塞がれたメッシュが版枠に張設されることにより構成されたスクリーンマスクを使用し、このスクリーンマスクの上面にインク材料を載置するとともにスキージを摺動させることによって、スクリーンマスクに形成されている所定の開口部を通じてスクリーンマスクの下面側（基材側）にインク材料を押し出して印刷する方法である。
【０００３】
このスクリーン印刷は、スクリーンマスクが柔軟であるとともに印圧が小さいため、紙類、布、プラスチック、ガラス、金属、セラミックス等の幅広い被印刷材への印刷が可能である。また、インク材料により形成されるパターンを厚くすることが可能であるため、厚膜ＩＣ（ハイブリッドＩＣ）、プリント配線基板、抵抗体やコンデンサ等の電子部品の製造にも応用されている。ところで、スクリーンマスクは、通常、メッシュ上に塗布された感光性乳剤膜をフォトリソグラフィ技術によりパターン形成することによって製造される。或いは、金属膜をフォトリソグラフィ技術によって選択的にエッチングしてメッシュパターン形成することによっても製造される。
【０００４】
スクリーン印刷に用いられる一般的なスクリーン製版は、紗等により構成された支持部材、及びこの支持部材に配設された所定の開口形状の開口部が形成されたマスク材を有する膜状のスクリーンと、このスクリーンがその内側に張設された製版枠とを備えたものである。印刷に際しては、先ずこのスクリーン製版のスクリーンを適当な被印刷体の表面（被印刷面）に配設するとともに、スクリーン上にインクやペースト等を載せる。次いで、スクリーン上でスキージ等を摺動させて開口部からペースト等を押し出せば、被印刷体の被印刷面に、開口部の開口形状、及び開口部が複数形成されている場合には、その配列パターンに対応した印刷パターンを形成することができる。
【０００５】
例えば、電子部品製造の分野では、精度及び量産性の面から、上述のスクリーン印刷が取り入れられている。この分野においては、部品サイズの微小化という近年の技術の流れに伴い、より微細な印刷パターンを、更に高精度に形成したいとする要請が高まりつつある。
【０００６】
しかしながら、製版枠は若干の歪みを有するものであるため、製版枠に張設したスクリーンを完全にフラットな状態とすることは困難である。更に、製版枠の歪みは製版枠によってそれぞれ異なるため、製版枠に張設されたスクリーン上の開口部の配列パターンもそれぞれのスクリーン製版毎に微妙に異なっている。従って、開口部の配列パターンが異なる複数のスクリーン製版を使用してスクリーン印刷を行うと、得られるスクリーン印刷体毎の印刷パターンが微妙に異なってしまうといった不具合が生ずる場合があった。
【０００７】
近年、被印刷体となる基板が大型化される傾向にあるため、大型化した基板への印刷に使用するスクリーン（スクリーン製版）も同様に大型化される傾向にある。従って、基板やスクリーン製版の大型化によって、得られるスクリーン印刷体毎の印刷パターンの相違が更に顕著になっていた。
【０００８】
スクリーン製版毎の開口パターンの相違の度合いは、印刷により得られる印刷体に応じて許容される一定の公差範囲内であれば、特段の問題を生ずることはない。しかしながら、近年の技術進歩に対応して、印刷精度を更に向上させる必要がある。特に、スクリーン印刷体を積層して積層電子部品を製造する場合には、スクリーン印刷体毎の微細な印刷位置のズレが、これらが積層されることによってより顕著なズレを生じさせることとなる。このため、より高性能な積層電子部品を製造するためには、スクリーン印刷体の印刷位置のズレ量を、許容される一定の公差範囲内とすることが重要である。
【０００９】
関連する従来技術として、スクリーンの支持部材を構成するワイヤ（紗）の交差する部分を係止したスクリーン印刷用製版（特許文献１参照）、製版枠の線熱膨張係数を規定したスクリーン印刷用製版（特許文献２参照）、製版枠の所定の辺を凸形状に湾曲させた状態でスクリーン印刷をする方法（特許文献３参照）、並びに内外両方向に変形可能な製版枠を備えたスクリーン印刷用製版、及びこれを用いた印刷体の製造方法（特許文献４参照）が開示されている。しかしながら、これらのスクリーン印刷用製版や、これらを用いた印刷方法であっても、高い印刷精度を確保する、或いは印刷位置のズレ量を許容される範囲内に抑える等の要請には十分に応えられるものではなく、更なる改良を図る必要性がある。
【００１０】
【特許文献１】特開平９−１３６３９４号公報
【特許文献２】特開平１１−３４２８８号公報
【特許文献３】特開２０００−３１８１２０号公報
【特許文献４】特開２００６−６２２４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、このような従来技術の有する問題点に鑑みてなされたものであり、その課題とするところは、大面積の被印刷面を有する大型の被印刷体に対しても精度に優れたスクリーン印刷を行うことができ、印刷精度に優れたスクリーン印刷体を製造可能なスクリーン印刷体の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者らは上記課題を達成すべく鋭意検討した結果、被印刷体とスクリーンとのクリアランスと、形成される印刷パターンの印刷位置ズレ量との相関関係に基づいて、被印刷体とスクリーンとの最適クリアランスを選択及び設定することによって、上記課題を達成することが可能であることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１３】
即ち、本発明によれば、以下に示すスクリーン印刷体の製造方法が提供される。
【００１４】
［１］平板状の被印刷体の上方に所定のクリアランスを保持した状態で平行に配設された、開口部が形成されたマスク材を有するスクリーンと、前記スクリーンが張設された製版枠とを備えたスクリーン製版の前記スクリーン上をスキージで所定方向に摺動して、前記被印刷体上に所定の印刷パターンが形成されたスクリーン印刷体を得るスクリーン印刷体の製造方法であって、前記製版枠の前記スキージの摺動方向軸と直行する辺の内寸（ＬＦ）に対する、前記印刷パターンの前記スキージの摺動方向軸と直行する辺の長さ（ＬＰ）の比（ＬＰ／ＬＦ）が０．４５以上であり、０．１〜２ｍｍの範囲内における前記クリアランスと、前記印刷パターンの印刷位置ズレ量との相関関係に基づき、前記被印刷体と前記スクリーンとの最適クリアランスを選択及び設定するスクリーン印刷体の製造方法。
【００１５】
［２］前記最適クリアランスを、下記（１）〜（５）の手順に従って選択及び設定する前記［１］に記載のスクリーン印刷体の製造方法。
（１）０．１〜２ｍｍの範囲内における任意の二点以上の値に前記クリアランスを設定して試し刷りを行い、第一の試行印刷体を得る。
（２）前記第一の試行印刷体の印刷位置ズレ量を測定するとともに、設定した前記クリアランスに対して測定した前記印刷位置ズレ量プロットして検量線を得る。
（３）０．１〜２ｍｍの範囲内における任意の一点以上の値に前記クリアランスを設定して試し刷りを行い、第二の試行印刷体を得る。
（４）前記第二の試行印刷体の印刷位置ズレ量を測定するとともに、設定した前記クリアランスに対して測定した前記印刷位置ズレ量をプロットし、次いで、前記検量線をオフセットしてプロットした点を通る仮想検量線を得る。
（５）前記仮想検量線から、前記印刷パターンの印刷位置ズレ量が最も小さくなる前記最適クリアランスを選択及び設定する。
【００１６】
［３］前記最適クリアランスを、下記（６）〜（８）の手順に従って選択及び設定する前記［１］に記載のスクリーン印刷体の製造方法。
（６）０．１〜２ｍｍの範囲内における任意の二点以上の値に前記クリアランスを設定して試し刷りを行い、第三の試行印刷体を得る。
（７）前記第三の試行印刷体の印刷位置ズレ量を測定するとともに、設定した前記クリアランスに対して測定した前記印刷位置ズレ量プロットして検量線を得る。
（８）前記検量線から、前記印刷パターンの印刷位置ズレ量が最も小さくなる前記最適クリアランスを選択及び設定する。
【００１７】
［４］前記クリアランスが、０．３〜１．５ｍｍである前記［１］〜［３］のいずれかに記載のスクリーン印刷体の製造方法。
【００１８】
［５］前記被印刷体が、焼成されたセラミックス基板又はセラミックスグリーンシートである前記［１］〜［４］のいずれかに記載のスクリーン印刷体の製造方法。
【００１９】
［６］前記被印刷体が、前記セラミックスグリーンシートであり、前記スクリーン印刷体が、その複数が積層されて得られる積層基板の構成要素である前記［５］に記載のスクリーン印刷体の製造方法。
【発明の効果】
【００２０】
本発明のスクリーン印刷体の製造方法によれば、大面積の被印刷面を有する大型の被印刷体に対しても精度に優れたスクリーン印刷を行うことができ、印刷精度に優れたスクリーン印刷体を製造することができる。また、本発明のスクリーン印刷体の製造方法によれば、印刷位置のズレ量が一定の範囲内に抑えられたスクリーン印刷体を製造することが可能である。このため、本発明のスクリーン印刷体の製造方法によって得られるスクリーン印刷体を用いれば、特にこれらの複数を積層した場合であっても、印刷位置のズレ量の総計（積層ズレ）を許容される範囲内に小さく抑えることができるため、より高性能な積層電子部品を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の最良の形態について説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、当業者の通常の知識に基づいて、以下の実施の形態に対し適宜変更、改良等が加えられたものも本発明の範囲に入ることが理解されるべきである。
【００２２】
図１は、本発明のスクリーン印刷体の製造方法で用いるスクリーン製版の一例を示す側面図であり、図３は、スクリーン製版を製版枠ホルダに載置する状態を示す斜視図である。図１及び図３に示すように、本発明のスクリーン印刷体の製造方法の一実施形態においては、先ず、スクリーン製版５を、製版枠ホルダ１１上に載置する。スクリーン製版５は、膜状のスクリーン３と、このスクリーン３が張設された製版枠４とを備えたものである。なお、図１における符号６は、スクリーン製版を製版枠ホルダ１１上に固定するエアシリンダを示す。
【００２３】
図２は、本発明のスクリーン印刷体の製造方法で用いるスクリーン製版の一例を示す上面図である。図２に示すように、スクリーン製版５を構成するスクリーン３は、所定の開口形状の開口部１が一以上形成されたマスク材２を有するものである。なお、スクリーン３は、通常、紗等によって構成された膜状の支持部材（スクリーンメッシュ）を備えており、このスクリーンメッシュの少なくとも一方の膜面上にマスク材が配設されている。スクリーンメッシュを構成する材料については特に限定されないが、高強度、高剛性の材料を用いることが好ましく、具体的には、ムラカミ社製のスクリーンメッシュであるＥＲ線材、ＥＲＨ線材（いずれも商品名）等の材料を好適例として挙げることができる。
【００２４】
マスク材を構成する材料の具体例としては、樹脂や金属等を挙げることができる。このスクリーン３には、所望とする印刷パターンに応じた形状及び数の開口部が形成されている。なお、便宜上、図２においては開口形状が長方形の開口部１が９箇所形成された状態を示している。また、スクリーン製版５は、製版枠４にスクリーン３が張設されることによって構成されており、製版枠４は、一般的には可撓性を有する材質によって形成されている。
【００２５】
図４に示すように、製版枠４のスキージの摺動方向軸と直行する辺の内寸（製版枠４の内寸）を「ＬＦ」、印刷パターン３０のスキージの摺動方向軸と直行する辺の長さ（印刷パターン３０の一辺の長さ）を「ＬＰ」とした場合に、ＬＰ／ＬＦの値は０．４５以上であることが必要であり、好ましくは０．５以上、更に好ましくは０．５２以上、特に好ましくは０．５５以上である。ＬＰ／ＬＦの値を０．４５以上とすることにより、印刷精度に優れたスクリーン印刷体を製造することができる。一般のスクリーン印刷法では、ＬＰ／ＬＦの値が０．３前後で実施されることが多い。しかしながら、被印刷体とスクリーンとのクリアランスを、印刷精度を高めるためのパラメータとして利用する場合には、ＬＰ／ＬＦの値が０．４５未満であると、顕著な効果が現れない。そこで、本発明のスクリーン印刷体の製造方法では、ＬＰ／ＬＦの値を０．４５以上とすることで、クリアランスを印刷精度向上のためのパラメータとして有効に利用している。
【００２６】
図１に示すように、枠状の製版枠ホルダ１１の内側（又は下方）には、平板状の被印刷体１０が、製版枠ホルダ１１の枠面と平行となるように印刷ステージ１２上に載置されている。被印刷体１０の具体例としては、従来のスクリーン印刷で用いられているものを挙げることができる。好適な被印刷体としては、焼成されたセラミックス基板、セラミックスグリーンシート、樹脂基板、ガラス基板、及び金属基板等を挙げることができる。
【００２７】
本実施形態のスクリーン印刷体の製造方法では、製版枠ホルダ１１上に、被印刷体１０（の被印刷面）とスクリーン３とが平行となるように、スクリーン製版５を載置する。このとき、被印刷体１０とスクリーン３との間に所定のクリアランスＣＬを保持した状態となるように、スクリーン製版５を載置する。保持するクリアランスＣＬは、０．１〜２ｍｍの範囲内とすることが必要であり、好ましくは０．３〜１．５ｍｍの範囲内、更に好ましくは０．４〜１．５ｍｍの範囲内、特に好ましくは０．５〜１．３ｍｍの範囲内とする。クリアランスＣＬを０．１〜２ｍｍの範囲内とすることにより、繰り返し印刷を行った場合であっても印刷精度が低下し難くなるといった利点がある。なお、クリアランスＣＬが０．１ｍｍ未満であると、形成される印刷パターンににじみ等の不具合が生ずる場合がある。一方、クリアランスＣＬが２ｍｍ超であると、スキージの摺動によって生ずるスクリーン３の伸び量が大きくなり過ぎてしまうために、高精度な印刷を繰り返し行うことが困難となる。
【００２８】
従来、スクリーン印刷によって形成される印刷パターンの位置精度を向上するために、ガラスマスクを用いたリソグラフィの採用やメッシュの高剛性化等、主としてスクリーン製版の工夫や改良等の取り組みがなされてきた。一方、被印刷体とスクリーンとのクリアランスの調整は、形成される印刷パターンの形状を制御する因子と考えられてきた。
【００２９】
これに対して本発明では、所定の数値範囲内におけるクリアランスと、形成される印刷パターンの印刷位置ズレ量（所望とする設計値からみたズレ量）とが相関関係を有することを見出し、この相関関係を利用して印刷位置ズレ量が最も小さくなる最適クリアランスを選択し、選択した最適クリアランスを保持した状態で被印刷体とスクリーンを配置して、スクリーン印刷を実施する。即ち、本発明のスクリーン印刷体の製造方法は、印刷パターンの位置精度を向上するための手段としては従来着目されていなかった、被印刷体とスクリーンとのクリアランス調整により、印刷パターンの印刷位置ズレ量を低減し、印刷精度に優れたスクリーン印刷体を製造可能とする方法である。以下、最適クリアランスを選択及び設定する方法を中心に、本発明のスクリーン印刷体の製造方法の更なる詳細について説明する。
【００３０】
本発明において、最適クリアランスを選択及び設定する方法の具体例としては、以下に示す（１）〜（５）の手順による方法（第一の選択及び設定方法）、並びに（６）〜（８）の手順による方法（第二の選択及び設定方法）を挙げることができる。
【００３１】
（第一の選択及び設定方法）
（１）０．１〜２ｍｍの範囲内における任意の二点以上の値にクリアランスを設定して試し刷りを行い、第一の試行印刷体を得る（手順（１））。次いで、（２）第一の試行印刷体の印刷位置ズレ量を測定するとともに、設定したクリアランスに対して測定した印刷位置ズレ量をプロットして検量線を得る（手順（２））。
【００３２】
図５は、第一の試行印刷体の印刷位置ズレ量の測定結果をプロットしたグラフである。また、図６は、図５のＡ部拡大図であり、図７は、図５のＣ部拡大図である。なお、印刷パターンの位置精度の測定点を説明する模式図を図４に示す。図５〜７においては、０．３〜１．５ｍｍの範囲内においてクリアランスを０．１ｍｍ刻みで設定し、それぞれのクリアランスで試し刷りを実施している。手順（１）において設定するクリアランスの点数は２点以上であればよいが、印刷位置ズレ量とのより高い相関性を得るためには、３点以上のクリアランスを設定することが好ましく、４〜５点のクリアランスを設定することが更に好ましい。但し、８点以上のクリアランスを設定とすると、手順が煩雑となるために好ましくない。
【００３３】
手順（２）においては、図８及び図９に示すように、設定したそれぞれのクリアランス（ｍｍ）に対して、測定した印刷位置ズレ量（ｍｍ）をプロットして検量線を作成する。検量線は、プロットした点に基づいてｎ次最小自乗法によって作成すればよい。図８では、三次関数で近似した場合の検量線（１）を示している。一方、図９においては、一次関数で近似した場合の検量線（２）を示している。
【００３４】
次に、（３）０．１〜２ｍｍの範囲内における任意の一点以上の値にクリアランスを設定して試し刷りを行い、第二の試行印刷体を得る（手順（３））。手順（３）においては、通常、手順（２）で用いたスクリーン製版とは同一の設計仕様であるが異なる（別個体の）スクリーン製版を使用する。同一の設計仕様によるスクリーン製版同士は、一般的に、個体差があるために同一のクリアランスであっても異なる印刷位置ズレ量となる場合が多い。但し、設計仕様が同一であるために、別個体であっても、クリアランスと印刷位置ズレ量との相関関係が相互に近似しているものと想定することができる。
【００３５】
手順（３）において設定するクリアランスの点数は１点以上であればよい。但し、３点以上のクリアランスを設定とすると、手順が煩雑となるために好ましくない。
【００３６】
その後、（４）第二の試行印刷体の印刷位置ズレ量を測定するとともに、設定したクリアランスに対して測定した印刷位置ズレ量をプロットし、次いで、検量線をオフセットしてプロットした点を通る仮想検量線を得る（手順（４））。手順（４）においては、図８に示すように、設定したクリアランス（ｍｍ）に対して、測定した印刷位置ズレ量（ｍｍ）をプロットする。なお、図８においては、クリアランスを０．７ｍｍに設定し、二つのスクリーン製版を用いて二つの第二の試行印刷体を作製した場合を示している。
【００３７】
次に、手順（２）で作成した検量線（１）をＹ軸方向にオフセットし、プロットした点（図８中、「塗り潰した丸（●）」と「塗り潰した三角」）を通る仮想検量線（１）及び（２）を作成する。検量線は、Ｘ軸（クリアランス）方向及び／又はＹ軸（印刷位置ズレ量）方向にオフセットすればよい。なお、図９においては、一次関数で表した検量線（２）をＹ軸方向にオフセットし、プロットした点（図９中、「塗り潰した丸（●）」と「塗り潰した三角」）を通る仮想検量線（３）及び（４）を作成した例を示している。
【００３８】
次いで、（５）仮想検量線から、印刷パターンの印刷位置ズレ量が最も小さくなる最適クリアランスを選択及び設定する（手順（５））。手順（５）においては、図８に示すように、印刷位置ズレ量＝０（ｍｍ）と仮想検量線（１）との交点、及び印刷位置ズレ量＝０（ｍｍ）と仮想検量線（２）との交点から、それぞれのスクリーン製版についての最適クリアランス（約０．５ｍｍ、及び約０．９ｍｍ）を読み取る。その後、被印刷体とスクリーンとのクリアランスを、読み取った最適クリアランスの値に設定し、その状態でスクリーン印刷を実施すればよい。
【００３９】
（第二の選択及び設定方法）
（６）０．１〜２ｍｍの範囲内における任意の二点以上の値にクリアランスを設定して試し刷りを行い、第三の試行印刷体を得る（手順（６））。次いで、（７）第三の試行印刷体の印刷位置ズレ量を測定するとともに、設定したクリアランスに対して測定した前記印刷位置ズレ量をプロットして検量線を得る（手順（７））。手順（６）において設定するクリアランスの点数は２点以上であればよいが、印刷位置ズレ量とのより高い相関性を得るためには、３点以上のクリアランスを設定することが好ましく、４〜５点のクリアランスを設定することが更に好ましい。但し、８点以上のクリアランスを設定とすると、手順が煩雑となるために好ましくない。
【００４０】
手順（７）においては、図１３に示すように、設定したそれぞれのクリアランス（ｍｍ）に対して、測定した印刷位置ズレ量（ｍｍ）をプロットして検量線を作成する。なお、図１３においては、クリアランスを０．５ｍｍ及び１．０ｍｍに設定し、それぞれのクリアランスで三種類のスクリーン製版を用いて試し刷りを実施し、検量線（３）、（４）、及び（５）を作成した結果を示している。検量線は、プロットした点に基づいてｎ次最小自乗法によって作成すればよい。図１３では、一次関数で近似した場合の検量線（３）、（４）、及び（５）を示している。
【００４１】
次に、（８）検量線から、印刷パターンの印刷位置ズレ量が最も小さくなる最適クリアランスを選択及び設定する（手順（８））。手順（８）においては、図１３に示すように、印刷位置ズレ量＝０（ｍｍ）と仮想検量線（３）との交点、印刷位置ズレ量＝０（ｍｍ）と検量線（４）との交点、及び印刷位置ズレ量＝０（ｍｍ）と仮想検量線（５）との交点から、それぞれのスクリーン製版についての最適クリアランス（約０．５８ｍｍ、約０．８１ｍｍ、及び約０．８２ｍｍ）を読み取る。その後、それぞれの検量線を作成したスクリーン製版を使用し、被印刷体とスクリーンとのクリアランスを読み取った最適クリアランスの値に設定し、その状態でスクリーン印刷を実施すればよい。
【００４２】
上述のように、第一の選択及び設定方法によって最適クリアランスを選択及び設定する場合には、検量線を作成するのに使用したスクリーン製版と、実際の印刷を行うスクリーン製版とが、同一の設計仕様（ロット）であるが別個体であるときに特に有効である。一方、第二の選択及び設定方法によって最適クリアランスを選択及び設定する場合には、検量線を作成するのに使用したスクリーン製版と、実際の印刷を行うスクリーン製版とが同一個体であることを前提としている。
【００４３】
スクリーン印刷は、具体的には以下の要領で行うことができる。即ち、スクリーン３上に所定のインクやペースト等を載せる（図１参照）。次いで、スクリーン３上でスキージ等を摺動させて開口部からペースト等を押し出せば、被印刷体１０の被印刷面に、開口部の開口形状、及び開口部が複数形成されている場合には、その配列パターンに対応した印刷パターンが形成されたスクリーン印刷体を得ることができる。なお、同一の被印刷面に繰り返し印刷を行なえば、印刷パターンを積層することも可能である。
【００４４】
本発明のスクリーン印刷体の製造方法においては、印刷パターンの印刷位置ズレ量と極めて相関性の高い、被印刷体とスクリーンとのクリアランスをパラメータとし、最適なクリアランスを選択して印刷を行うため、極めて精度の高い印刷を行なうことができる。従って、高精度の所定の印刷パターンが形成されたスクリーン印刷体を簡易に製造することができる。また、一般的なスクリーン製版とスクリーン印刷機を、特段の改造等をすることなく使用可能であるために汎用性が高く、印刷コストの低減を図ることができる。
【００４５】
被印刷面の面積が２００ｍｍ×２００ｍｍ（□２００ｍｍ、４００００ｍｍ２）のＬＴＣＣ基板（被印刷体）に対してスクリーン印刷を行う場合において、ＬＴＣＣ基板の積層ズレ抑制の観点から、その印刷パターンには、通常、５μｍ程度の位置精度が要求される。本発明のスクリーン印刷体の製造方法は、製版枠（スクリーン）のサイズ（内寸）が３００ｍｍ×３００ｍｍ（□３００ｍｍ、９００００ｍｍ２）〜４００ｍｍ×４００ｍｍ（□４００ｍｍ、１６００００ｍｍ２）の大型である場合に特に有効である。なお、印刷パターンのサイズについては、１５０ｍｍ×１５０ｍｍ（□１５０ｍｍ、２２５００ｃｍ２）以上の大型である場合に特に有効であり、１８０ｍｍ×１８０ｍｍ（□１８０ｍｍ、３２４００ｍｍ２）以上であることが更に好ましい。
【００４６】
本発明のスクリーン印刷体の製造方法によって得られるスクリーン印刷体としては、高精度の印刷パターンが形成された印刷体を簡易に製造することができるといった特性を生かし、少なくとも誘電体若しくは導体により構成される回路を備えたもの、又は受動素子若しくは能動素子を有するパターンを備えたものを挙げることができる。なお、受動素子としては、コンデンサ素子等を挙げることができ、能動素子としては電気機械変換素子等を挙げることができる。
【００４７】
また、被印刷体が、セラミックスグリーンシートである場合には、スクリーン印刷体が、その複数が積層されて得られる積層基板の構成要素であることが好ましい。なお、この積層基板の具体例としては、ＬＴＣＣ基板、セラミックコンデンサ、積層型圧電アクチュエータ、ＮＯｘ・酸素センサー等を挙げることができる。即ち、本発明のスクリーン印刷体の製造方法によれば、高精度の印刷パターンが形成された印刷体を製造可能であるため、この印刷体を複数積層すれば、印刷体相互の積層ズレが極めて少ないＬＴＣＣ基板等を簡便に作製することができる。また、このようにして作製されたＬＴＣＣ基板を焼成等すれば、極めて精密に回路配置された高性能の回路基板を作製することができる。
【実施例】
【００４８】
以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００４９】
（実施例１）
図４に示すような、内寸３３０ｍｍ×３３０ｍｍのスクリーン製版５（ムラカミ社製、形成される印刷パターンのサイズ：２００ｍｍ×２００ｍｍ）を使用し、０．３〜１．５ｍｍの範囲内においてクリアランスを０．１ｍｍ刻みで設定し、それぞれのクリアランスで試し刷りを行って、１３個の第一の試行印刷体を作製した。作製した第一の試行印刷体の印刷位置ズレ量（設計中心からのズレ量）を測定した。測定結果をプロットしたグラフを図５〜７に示す。設定したそれぞれのクリアランス（ｍｍ）に対して、測定した印刷位置ズレ量（ｍｍ）をプロットし、図８に示す検量線を作成した。なお、図８においては、三次関数（ｙ＝−０．０３５２ｘ３＋０．０８６ｘ２−０．０４９ｘ＋０．００４４）で近似した場合の検量線（１）を示している。
【００５０】
先に使用したスクリーン製版とは、同一の設計仕様（ロット）ではあるが別個のスクリーン製版を使用し、クリアランスを０．７ｍｍに設定した状態で試し刷りを行って第二の試行印刷体を作製した。作製した第二の試行印刷体の印刷位置ズレ量を測定した。測定結果をプロットしたグラフを図１０〜１２に示す。なお、図１０〜１２中、プロットした点を「塗り潰した丸（●）」で示している。設定したクリアランス（０．７ｍｍ）に対して、測定した印刷位置ズレ量（ｍｍ）をプロットし、先に作成した検量線をＹ軸（印刷位置ズレ量）方向にオフセットしてプロットした点を通る仮想検量線を作成した。作成した仮想検量線（１）を図８に示す。印刷位置ズレ量＝０（ｍｍ）と仮想検量線（１）との交点から、第二の試行印刷体を作製するのに用いたスクリーン製版についての最適クリアランス（約０．５ｍｍ）を読み取り、被印刷体とスクリーンとのクリアランスを０．５ｍｍに設定してスクリーン印刷を行い、スクリーン印刷体を製造した。製造したスクリーン印刷体の印刷位置ズレ量を測定した結果をプロットしたグラフを図１０〜１２に示す。
【００５１】
（実施例２）
異なるロットのスクリーン製版を用いたこと以外は、前述の実施例１の場合と同様の手順により、スクリーン印刷体を製造した。製造したスクリーン印刷体の印刷位置ズレ量を測定した結果をプロットしたグラフを図１０〜１２に示す。なお、図１０〜１２中、第二の試行印刷体の印刷位置ズレ量の測定結果をプロットした点を「塗り潰した三角」で示している。
【００５２】
（実施例３）
図４に示すような、内寸３３０ｍｍ×３３０ｍｍのスクリーン製版５（ムラカミ社製、形成される印刷パターンのサイズ：２００ｍｍ×２００ｍｍ）を使用し、クリアランスを０．５ｍｍと１．０ｍｍに設定し、それぞれのクリアランスで試し刷りを行って、２つの第三の試行印刷体を作製し、印刷位置ズレ量を測定した。設定したそれぞれのクリアランス（ｍｍ）に対して、測定した印刷位置ズレ量（ｍｍ）をプロットし、図１３に示す検量線（３）を作成した。
【００５３】
印刷位置ズレ量＝０（ｍｍ）と検量線（３）との交点から、第三の試行印刷体を作製するのに用いたスクリーン製版についての最適クリアランス（約０．５８ｍｍ）を読み取り、先に使用したスクリーン製版をそのまま使用するとともに、被印刷体とスクリーンとのクリアランスを約０．５８ｍｍに設定してスクリーン印刷を行い、スクリーン印刷体を製造した。製造したスクリーン印刷体の印刷位置ズレ量を測定した結果をプロットしたグラフを図１３に示す。
【００５４】
（実施例４，５）
異なるロットのスクリーン製版を用いたこと以外は、前述の実施例３の場合と同様の手順により、スクリーン印刷体を製造した。なお、それぞれのスクリーン印刷体を製造するに際して作成した検量線（４）及び（５）、並びに製造したスクリーン印刷体の印刷位置ズレ量を測定した結果をプロットしたグラフを図１３に示す。
【００５５】
図１０〜１３に示すように、実施例１〜５のスクリーン印刷体の製造方法によれば、最適なクリアランスを選択及び設定することによって、設計中心からのズレ量が小さく、位置精度の高い印刷パターンが形成されたスクリーン印刷体を製造可能であることが明らかである。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明のスクリーン印刷体の製造方法は、微細パターンの形成が可能であるとともに汎用性が高く、量産にも適していることから、各種電子部品を製造する方法として好適である。また、本発明のスクリーン印刷体の製造方法によれば、スクリーン印刷体の位置ズレ量を、許容される一定の公差範囲内とすることが可能である。従って、本発明のスクリーン印刷体の製造方法は、複数のスクリーン印刷体を積層すること等によって積層電子部品を製造する場合に、特に顕著な効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明のスクリーン印刷体の製造方法で用いる印刷機の一例を示す側面図である。
【図２】本発明のスクリーン印刷体の製造方法で用いるスクリーン製版の一例を示す上面図である。
【図３】スクリーン製版を製版枠ホルダに載置する状態を示す斜視図である。
【図４】印刷位置ズレ量の測定点を説明する模式図である。
【図５】第一の試行印刷体の印刷位置ズレ量の測定結果をプロットしたグラフである。
【図６】図５のＡ部拡大図である。
【図７】図５のＣ部拡大図である。
【図８】検量線及び仮想検量線をプロットした一例を示すグラフである。
【図９】検量線及び仮想検量線をプロットした他の例を示すグラフである。
【図１０】スクリーン印刷体の印刷位置ズレ量の測定結果をプロットしたグラフである。
【図１１】図１０のＡ部拡大図である。
【図１２】図１０のＣ部拡大図である。
【図１３】検量線をプロットした一例を示すグラフである。
【符号の説明】
【００５８】
１：開口部、２：マスク材、３：スクリーン、４：製版枠、５：スクリーン製版、６：エアシリンダ、１０：被印刷体、１１：製版枠ホルダ、１２：印刷ステージ、３０：印刷パターン、Ａ〜Ｈ：測定点、ＣＬ：クリアランス、ＬＦ：製版枠の内寸、ＬＰ：印刷パターンの一辺の長さ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷精度に優れたスクリーン印刷体を製造可能なスクリーン印刷体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷用製版（以下、単に「スクリーン製版」又は「製版」ともいう）を使用して、被印刷体の表面上にインクやペースト等からなる印刷膜を形成するスクリーン印刷は、微細パターンの形成が可能であり、また、優れた量産性を有することから幅広い産業分野で利用されている。一般に、スクリーン印刷は、樹脂（例えば感光性乳剤膜）等によってその開口が塞がれたメッシュが版枠に張設されることにより構成されたスクリーンマスクを使用し、このスクリーンマスクの上面にインク材料を載置するとともにスキージを摺動させることによって、スクリーンマスクに形成されている所定の開口部を通じてスクリーンマスクの下面側（基材側）にインク材料を押し出して印刷する方法である。
【０００３】
このスクリーン印刷は、スクリーンマスクが柔軟であるとともに印圧が小さいため、紙類、布、プラスチック、ガラス、金属、セラミックス等の幅広い被印刷材への印刷が可能である。また、インク材料により形成されるパターンを厚くすることが可能であるため、厚膜ＩＣ（ハイブリッドＩＣ）、プリント配線基板、抵抗体やコンデンサ等の電子部品の製造にも応用されている。ところで、スクリーンマスクは、通常、メッシュ上に塗布された感光性乳剤膜をフォトリソグラフィ技術によりパターン形成することによって製造される。或いは、金属膜をフォトリソグラフィ技術によって選択的にエッチングしてメッシュパターン形成することによっても製造される。
【０００４】
スクリーン印刷に用いられる一般的なスクリーン製版は、紗等により構成された支持部材、及びこの支持部材に配設された所定の開口形状の開口部が形成されたマスク材を有する膜状のスクリーンと、このスクリーンがその内側に張設された製版枠とを備えたものである。印刷に際しては、先ずこのスクリーン製版のスクリーンを適当な被印刷体の表面（被印刷面）に配設するとともに、スクリーン上にインクやペースト等を載せる。次いで、スクリーン上でスキージ等を摺動させて開口部からペースト等を押し出せば、被印刷体の被印刷面に、開口部の開口形状、及び開口部が複数形成されている場合には、その配列パターンに対応した印刷パターンを形成することができる。
【０００５】
例えば、電子部品製造の分野では、精度及び量産性の面から、上述のスクリーン印刷が取り入れられている。この分野においては、部品サイズの微小化という近年の技術の流れに伴い、より微細な印刷パターンを、更に高精度に形成したいとする要請が高まりつつある。
【０００６】
しかしながら、製版枠は若干の歪みを有するものであるため、製版枠に張設したスクリーンを完全にフラットな状態とすることは困難である。更に、製版枠の歪みは製版枠によってそれぞれ異なるため、製版枠に張設されたスクリーン上の開口部の配列パターンもそれぞれのスクリーン製版毎に微妙に異なっている。従って、開口部の配列パターンが異なる複数のスクリーン製版を使用してスクリーン印刷を行うと、得られるスクリーン印刷体毎の印刷パターンが微妙に異なってしまうといった不具合が生ずる場合があった。
【０００７】
近年、被印刷体となる基板が大型化される傾向にあるため、大型化した基板への印刷に使用するスクリーン（スクリーン製版）も同様に大型化される傾向にある。従って、基板やスクリーン製版の大型化によって、得られるスクリーン印刷体毎の印刷パターンの相違が更に顕著になっていた。
【０００８】
スクリーン製版毎の開口パターンの相違の度合いは、印刷により得られる印刷体に応じて許容される一定の公差範囲内であれば、特段の問題を生ずることはない。しかしながら、近年の技術進歩に対応して、印刷精度を更に向上させる必要がある。特に、スクリーン印刷体を積層して積層電子部品を製造する場合には、スクリーン印刷体毎の微細な印刷位置のズレが、これらが積層されることによってより顕著なズレを生じさせることとなる。このため、より高性能な積層電子部品を製造するためには、スクリーン印刷体の印刷位置のズレ量を、許容される一定の公差範囲内とすることが重要である。
【０００９】
関連する従来技術として、スクリーンの支持部材を構成するワイヤ（紗）の交差する部分を係止したスクリーン印刷用製版（特許文献１参照）、製版枠の線熱膨張係数を規定したスクリーン印刷用製版（特許文献２参照）、製版枠の所定の辺を凸形状に湾曲させた状態でスクリーン印刷をする方法（特許文献３参照）、並びに内外両方向に変形可能な製版枠を備えたスクリーン印刷用製版、及びこれを用いた印刷体の製造方法（特許文献４参照）が開示されている。しかしながら、これらのスクリーン印刷用製版や、これらを用いた印刷方法であっても、高い印刷精度を確保する、或いは印刷位置のズレ量を許容される範囲内に抑える等の要請には十分に応えられるものではなく、更なる改良を図る必要性がある。
【００１０】
【特許文献１】特開平９−１３６３９４号公報
【特許文献２】特開平１１−３４２８８号公報
【特許文献３】特開２０００−３１８１２０号公報
【特許文献４】特開２００６−６２２４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、このような従来技術の有する問題点に鑑みてなされたものであり、その課題とするところは、大面積の被印刷面を有する大型の被印刷体に対しても精度に優れたスクリーン印刷を行うことができ、印刷精度に優れたスクリーン印刷体を製造可能なスクリーン印刷体の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者らは上記課題を達成すべく鋭意検討した結果、被印刷体とスクリーンとのクリアランスと、形成される印刷パターンの印刷位置ズレ量との相関関係に基づいて、被印刷体とスクリーンとの最適クリアランスを選択及び設定することによって、上記課題を達成することが可能であることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１３】
即ち、本発明によれば、以下に示すスクリーン印刷体の製造方法が提供される。
【００１４】
［１］平板状の被印刷体の上方に所定のクリアランスを保持した状態で平行に配設された、開口部が形成されたマスク材を有するスクリーンと、前記スクリーンが張設された製版枠とを備えたスクリーン製版の前記スクリーン上をスキージで所定方向に摺動して、前記被印刷体上に所定の印刷パターンが形成されたスクリーン印刷体を得るスクリーン印刷体の製造方法であって、前記製版枠の前記スキージの摺動方向軸と直行する辺の内寸（ＬＦ）に対する、前記印刷パターンの前記スキージの摺動方向軸と直行する辺の長さ（ＬＰ）の比（ＬＰ／ＬＦ）が０．４５以上であり、０．１〜２ｍｍの範囲内における前記クリアランスと、前記印刷パターンの印刷位置ズレ量との相関関係に基づき、前記被印刷体と前記スクリーンとの最適クリアランスを選択及び設定するスクリーン印刷体の製造方法。
【００１５】
［２］前記最適クリアランスを、下記（１）〜（５）の手順に従って選択及び設定する前記［１］に記載のスクリーン印刷体の製造方法。
（１）０．１〜２ｍｍの範囲内における任意の二点以上の値に前記クリアランスを設定して試し刷りを行い、第一の試行印刷体を得る。
（２）前記第一の試行印刷体の印刷位置ズレ量を測定するとともに、設定した前記クリアランスに対して測定した前記印刷位置ズレ量プロットして検量線を得る。
（３）０．１〜２ｍｍの範囲内における任意の一点以上の値に前記クリアランスを設定して試し刷りを行い、第二の試行印刷体を得る。
（４）前記第二の試行印刷体の印刷位置ズレ量を測定するとともに、設定した前記クリアランスに対して測定した前記印刷位置ズレ量をプロットし、次いで、前記検量線をオフセットしてプロットした点を通る仮想検量線を得る。
（５）前記仮想検量線から、前記印刷パターンの印刷位置ズレ量が最も小さくなる前記最適クリアランスを選択及び設定する。
【００１６】
［３］前記最適クリアランスを、下記（６）〜（８）の手順に従って選択及び設定する前記［１］に記載のスクリーン印刷体の製造方法。
（６）０．１〜２ｍｍの範囲内における任意の二点以上の値に前記クリアランスを設定して試し刷りを行い、第三の試行印刷体を得る。
（７）前記第三の試行印刷体の印刷位置ズレ量を測定するとともに、設定した前記クリアランスに対して測定した前記印刷位置ズレ量プロットして検量線を得る。
（８）前記検量線から、前記印刷パターンの印刷位置ズレ量が最も小さくなる前記最適クリアランスを選択及び設定する。
【００１７】
［４］前記クリアランスが、０．３〜１．５ｍｍである前記［１］〜［３］のいずれかに記載のスクリーン印刷体の製造方法。
【００１８】
［５］前記被印刷体が、焼成されたセラミックス基板又はセラミックスグリーンシートである前記［１］〜［４］のいずれかに記載のスクリーン印刷体の製造方法。
【００１９】
［６］前記被印刷体が、前記セラミックスグリーンシートであり、前記スクリーン印刷体が、その複数が積層されて得られる積層基板の構成要素である前記［５］に記載のスクリーン印刷体の製造方法。
【発明の効果】
【００２０】
本発明のスクリーン印刷体の製造方法によれば、大面積の被印刷面を有する大型の被印刷体に対しても精度に優れたスクリーン印刷を行うことができ、印刷精度に優れたスクリーン印刷体を製造することができる。また、本発明のスクリーン印刷体の製造方法によれば、印刷位置のズレ量が一定の範囲内に抑えられたスクリーン印刷体を製造することが可能である。このため、本発明のスクリーン印刷体の製造方法によって得られるスクリーン印刷体を用いれば、特にこれらの複数を積層した場合であっても、印刷位置のズレ量の総計（積層ズレ）を許容される範囲内に小さく抑えることができるため、より高性能な積層電子部品を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の最良の形態について説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、当業者の通常の知識に基づいて、以下の実施の形態に対し適宜変更、改良等が加えられたものも本発明の範囲に入ることが理解されるべきである。
【００２２】
図１は、本発明のスクリーン印刷体の製造方法で用いるスクリーン製版の一例を示す側面図であり、図３は、スクリーン製版を製版枠ホルダに載置する状態を示す斜視図である。図１及び図３に示すように、本発明のスクリーン印刷体の製造方法の一実施形態においては、先ず、スクリーン製版５を、製版枠ホルダ１１上に載置する。スクリーン製版５は、膜状のスクリーン３と、このスクリーン３が張設された製版枠４とを備えたものである。なお、図１における符号６は、スクリーン製版を製版枠ホルダ１１上に固定するエアシリンダを示す。
【００２３】
図２は、本発明のスクリーン印刷体の製造方法で用いるスクリーン製版の一例を示す上面図である。図２に示すように、スクリーン製版５を構成するスクリーン３は、所定の開口形状の開口部１が一以上形成されたマスク材２を有するものである。なお、スクリーン３は、通常、紗等によって構成された膜状の支持部材（スクリーンメッシュ）を備えており、このスクリーンメッシュの少なくとも一方の膜面上にマスク材が配設されている。スクリーンメッシュを構成する材料については特に限定されないが、高強度、高剛性の材料を用いることが好ましく、具体的には、ムラカミ社製のスクリーンメッシュであるＥＲ線材、ＥＲＨ線材（いずれも商品名）等の材料を好適例として挙げることができる。
【００２４】
マスク材を構成する材料の具体例としては、樹脂や金属等を挙げることができる。このスクリーン３には、所望とする印刷パターンに応じた形状及び数の開口部が形成されている。なお、便宜上、図２においては開口形状が長方形の開口部１が９箇所形成された状態を示している。また、スクリーン製版５は、製版枠４にスクリーン３が張設されることによって構成されており、製版枠４は、一般的には可撓性を有する材質によって形成されている。
【００２５】
図４に示すように、製版枠４のスキージの摺動方向軸と直行する辺の内寸（製版枠４の内寸）を「ＬＦ」、印刷パターン３０のスキージの摺動方向軸と直行する辺の長さ（印刷パターン３０の一辺の長さ）を「ＬＰ」とした場合に、ＬＰ／ＬＦの値は０．４５以上であることが必要であり、好ましくは０．５以上、更に好ましくは０．５２以上、特に好ましくは０．５５以上である。ＬＰ／ＬＦの値を０．４５以上とすることにより、印刷精度に優れたスクリーン印刷体を製造することができる。一般のスクリーン印刷法では、ＬＰ／ＬＦの値が０．３前後で実施されることが多い。しかしながら、被印刷体とスクリーンとのクリアランスを、印刷精度を高めるためのパラメータとして利用する場合には、ＬＰ／ＬＦの値が０．４５未満であると、顕著な効果が現れない。そこで、本発明のスクリーン印刷体の製造方法では、ＬＰ／ＬＦの値を０．４５以上とすることで、クリアランスを印刷精度向上のためのパラメータとして有効に利用している。
【００２６】
図１に示すように、枠状の製版枠ホルダ１１の内側（又は下方）には、平板状の被印刷体１０が、製版枠ホルダ１１の枠面と平行となるように印刷ステージ１２上に載置されている。被印刷体１０の具体例としては、従来のスクリーン印刷で用いられているものを挙げることができる。好適な被印刷体としては、焼成されたセラミックス基板、セラミックスグリーンシート、樹脂基板、ガラス基板、及び金属基板等を挙げることができる。
【００２７】
本実施形態のスクリーン印刷体の製造方法では、製版枠ホルダ１１上に、被印刷体１０（の被印刷面）とスクリーン３とが平行となるように、スクリーン製版５を載置する。このとき、被印刷体１０とスクリーン３との間に所定のクリアランスＣＬを保持した状態となるように、スクリーン製版５を載置する。保持するクリアランスＣＬは、０．１〜２ｍｍの範囲内とすることが必要であり、好ましくは０．３〜１．５ｍｍの範囲内、更に好ましくは０．４〜１．５ｍｍの範囲内、特に好ましくは０．５〜１．３ｍｍの範囲内とする。クリアランスＣＬを０．１〜２ｍｍの範囲内とすることにより、繰り返し印刷を行った場合であっても印刷精度が低下し難くなるといった利点がある。なお、クリアランスＣＬが０．１ｍｍ未満であると、形成される印刷パターンににじみ等の不具合が生ずる場合がある。一方、クリアランスＣＬが２ｍｍ超であると、スキージの摺動によって生ずるスクリーン３の伸び量が大きくなり過ぎてしまうために、高精度な印刷を繰り返し行うことが困難となる。
【００２８】
従来、スクリーン印刷によって形成される印刷パターンの位置精度を向上するために、ガラスマスクを用いたリソグラフィの採用やメッシュの高剛性化等、主としてスクリーン製版の工夫や改良等の取り組みがなされてきた。一方、被印刷体とスクリーンとのクリアランスの調整は、形成される印刷パターンの形状を制御する因子と考えられてきた。
【００２９】
これに対して本発明では、所定の数値範囲内におけるクリアランスと、形成される印刷パターンの印刷位置ズレ量（所望とする設計値からみたズレ量）とが相関関係を有することを見出し、この相関関係を利用して印刷位置ズレ量が最も小さくなる最適クリアランスを選択し、選択した最適クリアランスを保持した状態で被印刷体とスクリーンを配置して、スクリーン印刷を実施する。即ち、本発明のスクリーン印刷体の製造方法は、印刷パターンの位置精度を向上するための手段としては従来着目されていなかった、被印刷体とスクリーンとのクリアランス調整により、印刷パターンの印刷位置ズレ量を低減し、印刷精度に優れたスクリーン印刷体を製造可能とする方法である。以下、最適クリアランスを選択及び設定する方法を中心に、本発明のスクリーン印刷体の製造方法の更なる詳細について説明する。
【００３０】
本発明において、最適クリアランスを選択及び設定する方法の具体例としては、以下に示す（１）〜（５）の手順による方法（第一の選択及び設定方法）、並びに（６）〜（８）の手順による方法（第二の選択及び設定方法）を挙げることができる。
【００３１】
（第一の選択及び設定方法）
（１）０．１〜２ｍｍの範囲内における任意の二点以上の値にクリアランスを設定して試し刷りを行い、第一の試行印刷体を得る（手順（１））。次いで、（２）第一の試行印刷体の印刷位置ズレ量を測定するとともに、設定したクリアランスに対して測定した印刷位置ズレ量をプロットして検量線を得る（手順（２））。
【００３２】
図５は、第一の試行印刷体の印刷位置ズレ量の測定結果をプロットしたグラフである。また、図６は、図５のＡ部拡大図であり、図７は、図５のＣ部拡大図である。なお、印刷パターンの位置精度の測定点を説明する模式図を図４に示す。図５〜７においては、０．３〜１．５ｍｍの範囲内においてクリアランスを０．１ｍｍ刻みで設定し、それぞれのクリアランスで試し刷りを実施している。手順（１）において設定するクリアランスの点数は２点以上であればよいが、印刷位置ズレ量とのより高い相関性を得るためには、３点以上のクリアランスを設定することが好ましく、４〜５点のクリアランスを設定することが更に好ましい。但し、８点以上のクリアランスを設定とすると、手順が煩雑となるために好ましくない。
【００３３】
手順（２）においては、図８及び図９に示すように、設定したそれぞれのクリアランス（ｍｍ）に対して、測定した印刷位置ズレ量（ｍｍ）をプロットして検量線を作成する。検量線は、プロットした点に基づいてｎ次最小自乗法によって作成すればよい。図８では、三次関数で近似した場合の検量線（１）を示している。一方、図９においては、一次関数で近似した場合の検量線（２）を示している。
【００３４】
次に、（３）０．１〜２ｍｍの範囲内における任意の一点以上の値にクリアランスを設定して試し刷りを行い、第二の試行印刷体を得る（手順（３））。手順（３）においては、通常、手順（２）で用いたスクリーン製版とは同一の設計仕様であるが異なる（別個体の）スクリーン製版を使用する。同一の設計仕様によるスクリーン製版同士は、一般的に、個体差があるために同一のクリアランスであっても異なる印刷位置ズレ量となる場合が多い。但し、設計仕様が同一であるために、別個体であっても、クリアランスと印刷位置ズレ量との相関関係が相互に近似しているものと想定することができる。
【００３５】
手順（３）において設定するクリアランスの点数は１点以上であればよい。但し、３点以上のクリアランスを設定とすると、手順が煩雑となるために好ましくない。
【００３６】
その後、（４）第二の試行印刷体の印刷位置ズレ量を測定するとともに、設定したクリアランスに対して測定した印刷位置ズレ量をプロットし、次いで、検量線をオフセットしてプロットした点を通る仮想検量線を得る（手順（４））。手順（４）においては、図８に示すように、設定したクリアランス（ｍｍ）に対して、測定した印刷位置ズレ量（ｍｍ）をプロットする。なお、図８においては、クリアランスを０．７ｍｍに設定し、二つのスクリーン製版を用いて二つの第二の試行印刷体を作製した場合を示している。
【００３７】
次に、手順（２）で作成した検量線（１）をＹ軸方向にオフセットし、プロットした点（図８中、「塗り潰した丸（●）」と「塗り潰した三角」）を通る仮想検量線（１）及び（２）を作成する。検量線は、Ｘ軸（クリアランス）方向及び／又はＹ軸（印刷位置ズレ量）方向にオフセットすればよい。なお、図９においては、一次関数で表した検量線（２）をＹ軸方向にオフセットし、プロットした点（図９中、「塗り潰した丸（●）」と「塗り潰した三角」）を通る仮想検量線（３）及び（４）を作成した例を示している。
【００３８】
次いで、（５）仮想検量線から、印刷パターンの印刷位置ズレ量が最も小さくなる最適クリアランスを選択及び設定する（手順（５））。手順（５）においては、図８に示すように、印刷位置ズレ量＝０（ｍｍ）と仮想検量線（１）との交点、及び印刷位置ズレ量＝０（ｍｍ）と仮想検量線（２）との交点から、それぞれのスクリーン製版についての最適クリアランス（約０．５ｍｍ、及び約０．９ｍｍ）を読み取る。その後、被印刷体とスクリーンとのクリアランスを、読み取った最適クリアランスの値に設定し、その状態でスクリーン印刷を実施すればよい。
【００３９】
（第二の選択及び設定方法）
（６）０．１〜２ｍｍの範囲内における任意の二点以上の値にクリアランスを設定して試し刷りを行い、第三の試行印刷体を得る（手順（６））。次いで、（７）第三の試行印刷体の印刷位置ズレ量を測定するとともに、設定したクリアランスに対して測定した前記印刷位置ズレ量をプロットして検量線を得る（手順（７））。手順（６）において設定するクリアランスの点数は２点以上であればよいが、印刷位置ズレ量とのより高い相関性を得るためには、３点以上のクリアランスを設定することが好ましく、４〜５点のクリアランスを設定することが更に好ましい。但し、８点以上のクリアランスを設定とすると、手順が煩雑となるために好ましくない。
【００４０】
手順（７）においては、図１３に示すように、設定したそれぞれのクリアランス（ｍｍ）に対して、測定した印刷位置ズレ量（ｍｍ）をプロットして検量線を作成する。なお、図１３においては、クリアランスを０．５ｍｍ及び１．０ｍｍに設定し、それぞれのクリアランスで三種類のスクリーン製版を用いて試し刷りを実施し、検量線（３）、（４）、及び（５）を作成した結果を示している。検量線は、プロットした点に基づいてｎ次最小自乗法によって作成すればよい。図１３では、一次関数で近似した場合の検量線（３）、（４）、及び（５）を示している。
【００４１】
次に、（８）検量線から、印刷パターンの印刷位置ズレ量が最も小さくなる最適クリアランスを選択及び設定する（手順（８））。手順（８）においては、図１３に示すように、印刷位置ズレ量＝０（ｍｍ）と仮想検量線（３）との交点、印刷位置ズレ量＝０（ｍｍ）と検量線（４）との交点、及び印刷位置ズレ量＝０（ｍｍ）と仮想検量線（５）との交点から、それぞれのスクリーン製版についての最適クリアランス（約０．５８ｍｍ、約０．８１ｍｍ、及び約０．８２ｍｍ）を読み取る。その後、それぞれの検量線を作成したスクリーン製版を使用し、被印刷体とスクリーンとのクリアランスを読み取った最適クリアランスの値に設定し、その状態でスクリーン印刷を実施すればよい。
【００４２】
上述のように、第一の選択及び設定方法によって最適クリアランスを選択及び設定する場合には、検量線を作成するのに使用したスクリーン製版と、実際の印刷を行うスクリーン製版とが、同一の設計仕様（ロット）であるが別個体であるときに特に有効である。一方、第二の選択及び設定方法によって最適クリアランスを選択及び設定する場合には、検量線を作成するのに使用したスクリーン製版と、実際の印刷を行うスクリーン製版とが同一個体であることを前提としている。
【００４３】
スクリーン印刷は、具体的には以下の要領で行うことができる。即ち、スクリーン３上に所定のインクやペースト等を載せる（図１参照）。次いで、スクリーン３上でスキージ等を摺動させて開口部からペースト等を押し出せば、被印刷体１０の被印刷面に、開口部の開口形状、及び開口部が複数形成されている場合には、その配列パターンに対応した印刷パターンが形成されたスクリーン印刷体を得ることができる。なお、同一の被印刷面に繰り返し印刷を行なえば、印刷パターンを積層することも可能である。
【００４４】
本発明のスクリーン印刷体の製造方法においては、印刷パターンの印刷位置ズレ量と極めて相関性の高い、被印刷体とスクリーンとのクリアランスをパラメータとし、最適なクリアランスを選択して印刷を行うため、極めて精度の高い印刷を行なうことができる。従って、高精度の所定の印刷パターンが形成されたスクリーン印刷体を簡易に製造することができる。また、一般的なスクリーン製版とスクリーン印刷機を、特段の改造等をすることなく使用可能であるために汎用性が高く、印刷コストの低減を図ることができる。
【００４５】
被印刷面の面積が２００ｍｍ×２００ｍｍ（□２００ｍｍ、４００００ｍｍ２）のＬＴＣＣ基板（被印刷体）に対してスクリーン印刷を行う場合において、ＬＴＣＣ基板の積層ズレ抑制の観点から、その印刷パターンには、通常、５μｍ程度の位置精度が要求される。本発明のスクリーン印刷体の製造方法は、製版枠（スクリーン）のサイズ（内寸）が３００ｍｍ×３００ｍｍ（□３００ｍｍ、９００００ｍｍ２）〜４００ｍｍ×４００ｍｍ（□４００ｍｍ、１６００００ｍｍ２）の大型である場合に特に有効である。なお、印刷パターンのサイズについては、１５０ｍｍ×１５０ｍｍ（□１５０ｍｍ、２２５００ｃｍ２）以上の大型である場合に特に有効であり、１８０ｍｍ×１８０ｍｍ（□１８０ｍｍ、３２４００ｍｍ２）以上であることが更に好ましい。
【００４６】
本発明のスクリーン印刷体の製造方法によって得られるスクリーン印刷体としては、高精度の印刷パターンが形成された印刷体を簡易に製造することができるといった特性を生かし、少なくとも誘電体若しくは導体により構成される回路を備えたもの、又は受動素子若しくは能動素子を有するパターンを備えたものを挙げることができる。なお、受動素子としては、コンデンサ素子等を挙げることができ、能動素子としては電気機械変換素子等を挙げることができる。
【００４７】
また、被印刷体が、セラミックスグリーンシートである場合には、スクリーン印刷体が、その複数が積層されて得られる積層基板の構成要素であることが好ましい。なお、この積層基板の具体例としては、ＬＴＣＣ基板、セラミックコンデンサ、積層型圧電アクチュエータ、ＮＯｘ・酸素センサー等を挙げることができる。即ち、本発明のスクリーン印刷体の製造方法によれば、高精度の印刷パターンが形成された印刷体を製造可能であるため、この印刷体を複数積層すれば、印刷体相互の積層ズレが極めて少ないＬＴＣＣ基板等を簡便に作製することができる。また、このようにして作製されたＬＴＣＣ基板を焼成等すれば、極めて精密に回路配置された高性能の回路基板を作製することができる。
【実施例】
【００４８】
以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００４９】
（実施例１）
図４に示すような、内寸３３０ｍｍ×３３０ｍｍのスクリーン製版５（ムラカミ社製、形成される印刷パターンのサイズ：２００ｍｍ×２００ｍｍ）を使用し、０．３〜１．５ｍｍの範囲内においてクリアランスを０．１ｍｍ刻みで設定し、それぞれのクリアランスで試し刷りを行って、１３個の第一の試行印刷体を作製した。作製した第一の試行印刷体の印刷位置ズレ量（設計中心からのズレ量）を測定した。測定結果をプロットしたグラフを図５〜７に示す。設定したそれぞれのクリアランス（ｍｍ）に対して、測定した印刷位置ズレ量（ｍｍ）をプロットし、図８に示す検量線を作成した。なお、図８においては、三次関数（ｙ＝−０．０３５２ｘ３＋０．０８６ｘ２−０．０４９ｘ＋０．００４４）で近似した場合の検量線（１）を示している。
【００５０】
先に使用したスクリーン製版とは、同一の設計仕様（ロット）ではあるが別個のスクリーン製版を使用し、クリアランスを０．７ｍｍに設定した状態で試し刷りを行って第二の試行印刷体を作製した。作製した第二の試行印刷体の印刷位置ズレ量を測定した。測定結果をプロットしたグラフを図１０〜１２に示す。なお、図１０〜１２中、プロットした点を「塗り潰した丸（●）」で示している。設定したクリアランス（０．７ｍｍ）に対して、測定した印刷位置ズレ量（ｍｍ）をプロットし、先に作成した検量線をＹ軸（印刷位置ズレ量）方向にオフセットしてプロットした点を通る仮想検量線を作成した。作成した仮想検量線（１）を図８に示す。印刷位置ズレ量＝０（ｍｍ）と仮想検量線（１）との交点から、第二の試行印刷体を作製するのに用いたスクリーン製版についての最適クリアランス（約０．５ｍｍ）を読み取り、被印刷体とスクリーンとのクリアランスを０．５ｍｍに設定してスクリーン印刷を行い、スクリーン印刷体を製造した。製造したスクリーン印刷体の印刷位置ズレ量を測定した結果をプロットしたグラフを図１０〜１２に示す。
【００５１】
（実施例２）
異なるロットのスクリーン製版を用いたこと以外は、前述の実施例１の場合と同様の手順により、スクリーン印刷体を製造した。製造したスクリーン印刷体の印刷位置ズレ量を測定した結果をプロットしたグラフを図１０〜１２に示す。なお、図１０〜１２中、第二の試行印刷体の印刷位置ズレ量の測定結果をプロットした点を「塗り潰した三角」で示している。
【００５２】
（実施例３）
図４に示すような、内寸３３０ｍｍ×３３０ｍｍのスクリーン製版５（ムラカミ社製、形成される印刷パターンのサイズ：２００ｍｍ×２００ｍｍ）を使用し、クリアランスを０．５ｍｍと１．０ｍｍに設定し、それぞれのクリアランスで試し刷りを行って、２つの第三の試行印刷体を作製し、印刷位置ズレ量を測定した。設定したそれぞれのクリアランス（ｍｍ）に対して、測定した印刷位置ズレ量（ｍｍ）をプロットし、図１３に示す検量線（３）を作成した。
【００５３】
印刷位置ズレ量＝０（ｍｍ）と検量線（３）との交点から、第三の試行印刷体を作製するのに用いたスクリーン製版についての最適クリアランス（約０．５８ｍｍ）を読み取り、先に使用したスクリーン製版をそのまま使用するとともに、被印刷体とスクリーンとのクリアランスを約０．５８ｍｍに設定してスクリーン印刷を行い、スクリーン印刷体を製造した。製造したスクリーン印刷体の印刷位置ズレ量を測定した結果をプロットしたグラフを図１３に示す。
【００５４】
（実施例４，５）
異なるロットのスクリーン製版を用いたこと以外は、前述の実施例３の場合と同様の手順により、スクリーン印刷体を製造した。なお、それぞれのスクリーン印刷体を製造するに際して作成した検量線（４）及び（５）、並びに製造したスクリーン印刷体の印刷位置ズレ量を測定した結果をプロットしたグラフを図１３に示す。
【００５５】
図１０〜１３に示すように、実施例１〜５のスクリーン印刷体の製造方法によれば、最適なクリアランスを選択及び設定することによって、設計中心からのズレ量が小さく、位置精度の高い印刷パターンが形成されたスクリーン印刷体を製造可能であることが明らかである。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明のスクリーン印刷体の製造方法は、微細パターンの形成が可能であるとともに汎用性が高く、量産にも適していることから、各種電子部品を製造する方法として好適である。また、本発明のスクリーン印刷体の製造方法によれば、スクリーン印刷体の位置ズレ量を、許容される一定の公差範囲内とすることが可能である。従って、本発明のスクリーン印刷体の製造方法は、複数のスクリーン印刷体を積層すること等によって積層電子部品を製造する場合に、特に顕著な効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明のスクリーン印刷体の製造方法で用いる印刷機の一例を示す側面図である。
【図２】本発明のスクリーン印刷体の製造方法で用いるスクリーン製版の一例を示す上面図である。
【図３】スクリーン製版を製版枠ホルダに載置する状態を示す斜視図である。
【図４】印刷位置ズレ量の測定点を説明する模式図である。
【図５】第一の試行印刷体の印刷位置ズレ量の測定結果をプロットしたグラフである。
【図６】図５のＡ部拡大図である。
【図７】図５のＣ部拡大図である。
【図８】検量線及び仮想検量線をプロットした一例を示すグラフである。
【図９】検量線及び仮想検量線をプロットした他の例を示すグラフである。
【図１０】スクリーン印刷体の印刷位置ズレ量の測定結果をプロットしたグラフである。
【図１１】図１０のＡ部拡大図である。
【図１２】図１０のＣ部拡大図である。
【図１３】検量線をプロットした一例を示すグラフである。
【符号の説明】
【００５８】
１：開口部、２：マスク材、３：スクリーン、４：製版枠、５：スクリーン製版、６：エアシリンダ、１０：被印刷体、１１：製版枠ホルダ、１２：印刷ステージ、３０：印刷パターン、Ａ〜Ｈ：測定点、ＣＬ：クリアランス、ＬＦ：製版枠の内寸、ＬＰ：印刷パターンの一辺の長さ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状の被印刷体の上方に所定のクリアランスを保持した状態で平行に配設された、開口部が形成されたマスク材を有するスクリーンと、前記スクリーンが張設された製版枠とを備えたスクリーン製版の前記スクリーン上をスキージで所定方向に摺動して、前記被印刷体上に所定の印刷パターンが形成されたスクリーン印刷体を得るスクリーン印刷体の製造方法であって、
前記製版枠の前記スキージの摺動方向軸と直行する辺の内寸（ＬＦ）に対する、前記印刷パターンの前記スキージの摺動方向軸と直行する辺の長さ（ＬＰ）の比（ＬＰ／ＬＦ）が０．４５以上であり、
０．１〜２ｍｍの範囲内における前記クリアランスと、前記印刷パターンの印刷位置ズレ量との相関関係に基づき、前記被印刷体と前記スクリーンとの最適クリアランスを選択及び設定するスクリーン印刷体の製造方法。
【請求項２】
前記最適クリアランスを、下記（１）〜（５）の手順に従って選択及び設定する請求項１に記載のスクリーン印刷体の製造方法。
（１）０．１〜２ｍｍの範囲内における任意の二点以上の値に前記クリアランスを設定して試し刷りを行い、第一の試行印刷体を得る。
（２）前記第一の試行印刷体の印刷位置ズレ量を測定するとともに、設定した前記クリアランスに対して測定した前記印刷位置ズレ量をプロットして検量線を得る。
（３）０．１〜２ｍｍの範囲内における任意の一点以上の値に前記クリアランスを設定して試し刷りを行い、第二の試行印刷体を得る。
（４）前記第二の試行印刷体の印刷位置ズレ量を測定するとともに、設定した前記クリアランスに対して測定した前記印刷位置ズレ量をプロットし、次いで、前記検量線をオフセットしてプロットした点を通る仮想検量線を得る。
（５）前記仮想検量線から、前記印刷パターンの印刷位置ズレ量が最も小さくなる前記最適クリアランスを選択及び設定する。
【請求項３】
前記最適クリアランスを、下記（６）〜（８）の手順に従って選択及び設定する請求項１に記載のスクリーン印刷体の製造方法。
（６）０．１〜２ｍｍの範囲内における任意の二点以上の値に前記クリアランスを設定して試し刷りを行い、第三の試行印刷体を得る。
（７）前記第三の試行印刷体の印刷位置ズレ量を測定するとともに、設定した前記クリアランスに対して測定した前記印刷位置ズレ量をプロットして検量線を得る。
（８）前記検量線から、前記印刷パターンの印刷位置ズレ量が最も小さくなる前記最適クリアランスを選択及び設定する。
【請求項４】
前記クリアランスが、０．３〜１．５ｍｍである請求項１〜３のいずれか一項に記載のスクリーン印刷体の製造方法。
【請求項５】
前記被印刷体が、焼成されたセラミックス基板又はセラミックスグリーンシートである請求項１〜４のいずれか一項に記載のスクリーン印刷体の製造方法。
【請求項６】
前記被印刷体が、前記セラミックスグリーンシートであり、
前記スクリーン印刷体が、その複数が積層されて得られる積層基板の構成要素である請求項５に記載のスクリーン印刷体の製造方法。
【請求項１】
平板状の被印刷体の上方に所定のクリアランスを保持した状態で平行に配設された、開口部が形成されたマスク材を有するスクリーンと、前記スクリーンが張設された製版枠とを備えたスクリーン製版の前記スクリーン上をスキージで所定方向に摺動して、前記被印刷体上に所定の印刷パターンが形成されたスクリーン印刷体を得るスクリーン印刷体の製造方法であって、
前記製版枠の前記スキージの摺動方向軸と直行する辺の内寸（ＬＦ）に対する、前記印刷パターンの前記スキージの摺動方向軸と直行する辺の長さ（ＬＰ）の比（ＬＰ／ＬＦ）が０．４５以上であり、
０．１〜２ｍｍの範囲内における前記クリアランスと、前記印刷パターンの印刷位置ズレ量との相関関係に基づき、前記被印刷体と前記スクリーンとの最適クリアランスを選択及び設定するスクリーン印刷体の製造方法。
【請求項２】
前記最適クリアランスを、下記（１）〜（５）の手順に従って選択及び設定する請求項１に記載のスクリーン印刷体の製造方法。
（１）０．１〜２ｍｍの範囲内における任意の二点以上の値に前記クリアランスを設定して試し刷りを行い、第一の試行印刷体を得る。
（２）前記第一の試行印刷体の印刷位置ズレ量を測定するとともに、設定した前記クリアランスに対して測定した前記印刷位置ズレ量をプロットして検量線を得る。
（３）０．１〜２ｍｍの範囲内における任意の一点以上の値に前記クリアランスを設定して試し刷りを行い、第二の試行印刷体を得る。
（４）前記第二の試行印刷体の印刷位置ズレ量を測定するとともに、設定した前記クリアランスに対して測定した前記印刷位置ズレ量をプロットし、次いで、前記検量線をオフセットしてプロットした点を通る仮想検量線を得る。
（５）前記仮想検量線から、前記印刷パターンの印刷位置ズレ量が最も小さくなる前記最適クリアランスを選択及び設定する。
【請求項３】
前記最適クリアランスを、下記（６）〜（８）の手順に従って選択及び設定する請求項１に記載のスクリーン印刷体の製造方法。
（６）０．１〜２ｍｍの範囲内における任意の二点以上の値に前記クリアランスを設定して試し刷りを行い、第三の試行印刷体を得る。
（７）前記第三の試行印刷体の印刷位置ズレ量を測定するとともに、設定した前記クリアランスに対して測定した前記印刷位置ズレ量をプロットして検量線を得る。
（８）前記検量線から、前記印刷パターンの印刷位置ズレ量が最も小さくなる前記最適クリアランスを選択及び設定する。
【請求項４】
前記クリアランスが、０．３〜１．５ｍｍである請求項１〜３のいずれか一項に記載のスクリーン印刷体の製造方法。
【請求項５】
前記被印刷体が、焼成されたセラミックス基板又はセラミックスグリーンシートである請求項１〜４のいずれか一項に記載のスクリーン印刷体の製造方法。
【請求項６】
前記被印刷体が、前記セラミックスグリーンシートであり、
前記スクリーン印刷体が、その複数が積層されて得られる積層基板の構成要素である請求項５に記載のスクリーン印刷体の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２００８−２５４４１９（Ｐ２００８−２５４４１９Ａ）
【公開日】平成２０年１０月２３日（２００８．１０．２３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−２８２９７３（Ｐ２００７−２８２９７３）
【出願日】平成１９年１０月３１日（２００７．１０．３１）
【出願人】（０００００４０６４）日本碍子株式会社 (2,325)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年１０月２３日（２００８．１０．２３）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年１０月３１日（２００７．１０．３１）
【出願人】（０００００４０６４）日本碍子株式会社 (2,325)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]