タッチパネルの製造方法及び表示装置製造方法並びに電子機器製造方法
【課題】印刷法を用いた場合でも品質を保持して歩留まりの低下を抑制する。
【解決手段】基板１の一面側に形成され、互いに交差する方向に延在する複数の第１電極１０及び複数の第２電極２０を有するタッチパネルを製造する。基板上に、複数の第１電極と、第２電極を第１電極との交差部Ｋで分断して離間する形状の電極膜とを形成する電極成膜工程と、少なくとも交差部の第１電極上に印刷法を用いて絶縁膜３０を形成する絶縁膜形成工程と、交差部で離間する第２電極の間を絶縁膜上を経由して接続するブリッジ配線２１を印刷法を用いて形成するブリッジ配線形成工程とを有する。絶縁膜形成工程は、絶縁膜形成材料を含む機能液の流動特性に基づいて、機能液の液滴を吐出する吐出ヘッドを加熱する加熱工程と、加熱された機能液を基板に向けて吐出する吐出工程とを有する。
【解決手段】基板１の一面側に形成され、互いに交差する方向に延在する複数の第１電極１０及び複数の第２電極２０を有するタッチパネルを製造する。基板上に、複数の第１電極と、第２電極を第１電極との交差部Ｋで分断して離間する形状の電極膜とを形成する電極成膜工程と、少なくとも交差部の第１電極上に印刷法を用いて絶縁膜３０を形成する絶縁膜形成工程と、交差部で離間する第２電極の間を絶縁膜上を経由して接続するブリッジ配線２１を印刷法を用いて形成するブリッジ配線形成工程とを有する。絶縁膜形成工程は、絶縁膜形成材料を含む機能液の流動特性に基づいて、機能液の液滴を吐出する吐出ヘッドを加熱する加熱工程と、加熱された機能液を基板に向けて吐出する吐出工程とを有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タッチパネルの製造方法及び表示装置製造方法並びに電子機器製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
静電容量型のタッチスクリーンは、電極が形成されたパネルの所定位置に指などを近づけることによってパネルの電極との間に容量が形成され、このようにして形成された容量を充電する電流を検出することで、所定位置を検出するものである。静電容量型のタッチスクリーンには、例えば、以下のものが開示されている。
【０００３】
特許文献１に記載された座標入力装置は、Ｘ電極が設けられた基板、及びＹ電極が設けられた基板によって液晶層が挟持された構成となっている。そして、Ｘ電極側の基板に近づけた検出ペンの電極が、Ｘ電極及びＹ電極との間で浮遊容量を形成し、浮遊容量を充電する際に誘起される電圧によって、検出ペンの位置を検出する（特許文献１を参照）。
【０００４】
次に、特許文献２に記載された情報入出力装置は、表示部のそれぞれの画素に対応してマトリクス状に配置された電極と、それぞれの電極ごとに設けられたアクティブ素子が同一基板上に形成されている。そして、これらの電極が位置検出の際のセンシング電極として機能する（特許文献２を参照）。
【０００５】
次に、特許文献３に記載された座標入力装置は、互いに交差するＸ電極及びＹ電極が、センサ基板の表面及び裏面のそれぞれに形成された構成となっている。そして、Ｘ電極側から近づけた指によって、Ｘ電極からＹ電極に向かう電気力線の変化に伴う電流変化によって位置を検出する（特許文献３を参照）。
【０００６】
次に、特許文献４に記載された座標位置入力装置は、絶縁層を介して対向して配置され互いに交差する電極が複数設けられた構成となっている。そして、電極に近づいた操作者の指によって変化した電流を検出することによって位置検出を行う（特許文献４を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平４−３３７８２４号公報
【特許文献２】特開平６−３１８１３６号公報
【特許文献３】特開平９−３０５２８９号公報
【特許文献４】特開平１０−６３４０３号公報
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】ＮＡＴＵＲＥ、３８９巻、１９９７年、ｐ.８２７
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。
特許文献１〜４に記載された発明においては、それぞれの方向に延在する電極、あるいは同一基板上に電極及びアクティブ回路を形成する際に、スパッタ法、フォトリソグラフィー法、及びエッチング法などを複数回繰り返すことによって配線層を積層させる構成となっているため、製造コストが上昇するという問題があった。
そこで、例えば、フレキソ、オフセットやインクジェット法といった印刷法等を用いて、上記電極やアクティブ回路を形成することが考えられ、例えば絶縁膜をこうしたＸ電極とＹ電極との交差部分に矩形で形成する方法として、流体噴射装置から絶縁膜形成インクを噴射し、絶縁膜を形成する方法を用いることで製造コストを大幅に抑えることが可能となる。しかしながら、絶縁膜を形成する材料を含む液滴を基板の面に吐出および乾燥して絶縁膜を形成する方法では、厚みを均一化した平坦な絶縁膜を形成することが困難である。つまり、平坦な基板の面の所定の領域に絶縁膜形成用の液滴を着弾させて膜を形成する場合、液滴により形成された絶縁膜形成用の液膜は、着弾して液膜になった状態では非常に薄く均一な厚みになっていても、この液膜から液性媒体が蒸発し乾燥する際に滲み上がりが生じ、不均一になってしまう。すなわち、液性媒体に溶解していた溶質である絶縁膜の材料が、形成されている膜の周縁部に集積し、結果として絶縁膜の周縁部の膜厚が他の部分よりも厚くなり、平坦な絶縁膜が形成されないという問題がある。
これは、「コーヒーリング」または「コーヒーステイン」と呼ばれる現象であり、溶質を液性媒体に溶解させた液滴を乾燥させる際に表面張力などが原因で発生する現象である。すなわち、基板に広がった液膜の外縁部つまり周縁部の蒸発量が他の部分よりも多いため、それを補うように液が周縁部に向かって流れ、その結果、乾燥後、周縁部が盛り上がった膜が形成される現象である（例えば、非特許文献１参照）。
この周縁部の膜厚は溶質の乾燥過程に依存するため、液滴のぬれ広がり形状や面積によって容易に変化するので、凹凸の高さを常に同程度に調整することが難しい。
こうした凹凸をもった絶縁膜を跨いで2つの電極を接続するためのブリッジ配線を形成すると、上記凹凸でブリッジ配線が屈曲するため抵抗値が変わったり、断線したりする可能性がある。特に、配線も配線形成用の液体材料を用いてインクジェット法で形成する場合は、絶縁膜表面の凹凸による影響をさらに受けやすく、凸部の位置に配置された配線形成用の液体材料は凹部に流動してしまうため、配線の厚みや幅をコントロールすることが困難になってしまう。
通常、絶縁膜形成インクから形成した絶縁膜には凹凸にばらつきが大きいため、このような表面に形成したブリッジ配線は厚みが不均一になりやすく、抵抗値が一定にならないために品質の安定性にも難があった。
【００１０】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、印刷法を用いた場合でも品質を保持して歩留まりの低下を抑制できるタッチパネルの製造方法及び表示装置製造方法並びに電子機器製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
本発明のタッチパネルの製造方法は、基板の一面側に形成され、互いに交差する方向に延在する複数の第１電極及び複数の第２電極を有するタッチパネルの製造方法であって、前記基板上に、複数の前記第１電極と、前記第２電極を前記第１電極との交差部で分断して離間する形状の電極膜とを形成する電極成膜工程と、少なくとも前記交差部の前記第１電極上に印刷法を用いて絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、前記交差部で離間する前記第２電極の間を前記絶縁膜上を経由して接続するブリッジ配線を印刷法を用いて形成するブリッジ配線形成工程とを有し、前記絶縁膜形成工程は、絶縁膜形成材料を含む機能液の流動特性に基づいて、前記機能液の液滴を吐出する吐出ヘッドを加熱する加熱工程と、加熱された前記機能液を前記基板に向けて吐出する吐出工程とを有することを特徴とするものである。
従って、本発明のタッチパネルの製造方法では、第１電極と、第２電極となる電極膜とを同一工程において形成し、電極膜同士を接続するブリッジ配線を印刷法によって形成するようにしたことで、第１及び第２電極を形成する工数を削減することができるので、製造コストを低減したタッチパネルの製造方法を提供することができる。
また、本発明では、基板に着弾した機能液の液滴が大きく濡れ拡がらない流動特性（粘度）となる温度に吐出ヘッドを介して機能液の温度を調整することができる。吐出された液滴は基板に到達するまでに熱を奪われて高粘度化するため、本発明では、基板上の液滴が大きく濡れ拡がる前に、短時間で機能液を乾燥させて流動性を低減させ、膜端部における溶媒の乾燥で生じる滲み上がりが生じることを抑制できる。そのため、本発明では屈曲することなく絶縁膜上にブリッジ配線を成膜することができ、断線の危険性が増すことなく、高品質で歩留まりの良いタッチパネルを得ることができる。
【００１２】
また、本発明では、前記機能液が、前記基板に着弾した前記液滴の前記流動特性に基づく濃度で前記絶縁膜形成材料を含み、前記加熱工程では、前記流動特性に基づく濃度で前記絶縁膜形成材料を含む前記機能液の吐出特性に基づいて前記吐出ヘッドを加熱する手順も好適に採用できる。
これにより、本発明では、基板に着弾した機能液の液滴が大きく濡れ拡がらない流動特性（粘度）となる高濃度で機能液が絶縁膜形成材料を含む場合であっても、当該機能液が吐出可能な粘度となる温度に吐出ヘッドを加熱することにより、支障なく機能液を基板に吐出させることが可能になる。
【００１３】
上記の場合、前記基板の温度との差が所定温度以上となるように、前記吐出ヘッドを加熱することにより、支障なく機能液を基板に吐出させることが可能になるとともに、着弾した機能液を所定温度以下に低下させて高粘度化させることができる。
この場合、予め機能液の種類に応じて基板と吐出ヘッドとの間に必要な温度差を求めておき、それぞれの温度（すなわち温度差）を管理することにより、機能液の流動特性を制御して、製造効率の向上を図ることができる。
【００１４】
そして、本発明の表示装置製造方法は、先に記載の製造方法によりタッチパネルを製造する工程を有することを特徴とするものである。
従って、本発明の表示装置製造方法では、材料費のコスト増が防止され、抵抗値の増大、断線の発生等が抑えられた高品質の表示装置を得ることができる。
【００１５】
また、本発明の電子機器製造方法は、先に記載の製造方法により表示装置を製造する工程を有することを特徴とするものである。
従って、本発明の電子機器製造方法では、材料費のコスト増が防止され、抵抗値の増大、断線等に起因する不具合の発生が抑えられた高品質の電子機器を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】タッチパネル１００の模式平面図である。
【図２】タッチパネル１００の模式断面図である。
【図３】タッチパネル１００Ａの模式断面図である。
【図４】タッチパネルの製造方法に係るフローチャート図である。
【図５】液滴吐出装置ＩＪの概略構成を示す斜視図である。
【図６】液体材料の吐出原理を説明するための図である。
【図７】タッチパネル１００の製造工程図である。
【図８】タッチパネル１００の製造工程図である。
【図９】タッチパネル１００の製造工程図である。
【図１０】液晶表示装置５００の模式平面図、及び模式断面図である。
【図１１】本発明に係る電子機器の一例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明のタッチパネルとその製造方法及び表示装置製造方法並びに電子機器製造方法の実施の形態を、図１ないし図１１を参照して説明する。
なお、以下の実施の実施形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等を異ならせている。
【００１８】
［タッチパネル］
図１は、本実施形態に係るタッチパネル１００の模式平面図である。図２は、タッチパネル１００のＡ−Ａ’模式断面図である。
【００１９】
タッチパネル１００は、基板１、入力領域２、及び引き回し配線６０を有する。
基板１は、平面視で矩形状に成形されており、その材質としてガラス、アクリル樹脂などの透明な材質が用いられる。
【００２０】
入力領域２は、図１において一点鎖線で囲まれた領域であり、タッチパネルに入力される指の位置情報を検出する領域である。
入力領域２には、複数のＸ電極（第１電極）１０及び複数のＹ電極（第２電極）２０がそれぞれ配置されている。
Ｘ電極１０は、図示でＸ軸方向に沿って延在し、且つＸ電極１０は、Ｙ軸方向に互いに間隔をあけて複数配列されている。Ｙ電極２０は図示でＹ軸方向に沿って延在し、それぞれのＹ電極２０は、Ｘ軸方向に互いに間隔をあけて配列されている。Ｘ電極１０及びＹ電極２０は、互いのブリッジ配線を交差させることによって入力領域２内の交差部Ｋで交差している。
【００２１】
Ｘ電極１０は、Ｘ軸方向に配列された複数の島状電極部１２と、隣り合う島状電極部１２同士を接続するブリッジ配線１１とを備えている。島状電極部１２は平面視で矩形状に形成され、一方の対角線がＸ軸に沿うように配置されている。
【００２２】
Ｙ電極２０は、Ｙ軸方向に配列された複数の島状電極部２２と、隣り合う島状電極部２２同士を接続するブリッジ配線２１とを備えている。
島状電極部２２は、平面視で矩形状に形成され、一方の対角線がＹ軸に沿うように配置されている。
島状電極部１２と島状電極部２２とは、Ｘ軸方向及びＹ軸方向において互い違いに配置（市松状配置）されており、入力領域２では、矩形状の島状電極部１２、２２が平面視マトリクス状に配置されている。
【００２３】
Ｘ電極１０及びＹ電極２０を構成する材質としては、ＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）やＩＺＯ（インジウム亜鉛酸化物；登録商標）、ＺｎＯ、ポリチオフェン高分子膜やポリアニリン高分子膜などの透光性を有する抵抗体を採用することができる。
【００２４】
引き回し配線６０は、Ｘ電極１０及びＹ電極２０と接続されており、タッチパネル１００の内部あるいは外部装置に設けられた駆動部及び電気信号変換／演算部（いずれも図示は省略）と接続されている。
【００２５】
次に、図２の断面図について説明する。
基板１の機能面１ａに、島状電極部１２（図示は省略），島状電極部２２，及びブリッジ配線１１が設けられている。ブリッジ配線１１上には、絶縁膜３０が形成されている。
そして、絶縁膜３０上にブリッジ配線２１が配置されている。
また、基板１の機能面１ａに、引き回し配線６０が配置されている。引き回し配線６０は、機能面１ａに配置された第１層６０ａ及び第１層６０ａに積層された第２層６０ｂによって構成されている。そして、引き回し配線６０を覆って配線保護膜６２が形成されている。
【００２６】
これらの電極及び配線を覆って、平坦化膜４０が形成されている。平坦化膜４０上には、接着層５１を介して保護基板５０が配置されている。基板１の裏面１ｂには、シールド層７０が設けられている。
【００２７】
絶縁膜３０は、立体的に交差するブリッジ配線１１とブリッジ配線２１とを絶縁する。絶縁膜３０は、ポリシロキサン、ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂、及びアクリルモノマーなどを印刷法を用いて塗布し、それを乾燥固化して形成することができる。
ポリシロキサンを用いて形成した場合には、絶縁膜３０はシリコン酸化物からなる無機絶縁膜となる。一方、ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂、及びアクリルモノマーを採用した場合には、絶縁膜３０は樹脂材料からなる有機絶縁膜となる。
【００２８】
絶縁膜３０の構成材料には、比誘電率が４．０以下、望ましくは３．５以下である材料を採用することが好ましい。これにより、ブリッジ配線の交差部における寄生容量を低減して、タッチパネルの位置検出性能を保持することができる。
また絶縁膜３０の構成材料には、屈折率が２．０以下、望ましくは１．７以下である材料を用いることが好ましい。これにより、基板１やＸ電極１０、Ｙ電極２０との屈折率差を小さくすることができ、使用者に絶縁膜３０のパターンが見えてしまうのを防止できる。
【００２９】
引き回し配線６０の第１層６０ａは、Ｘ電極１０又はＹ電極２０を入力領域２の外側の領域まで延出したものであり、ＩＴＯやＩＺＯなどの抵抗体によって形成されている。
第２層６０ｂは、第１層６０ａ上に積層形成され、引き回し配線６０の配線抵抗を低減する。第２層６０ｂは、Ａｕ、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｐｄなどの金属、及びカーボン（グラファイト、カーボンナノチューブなどのナノカーボン）のうち１種類以上を成分とする、有機化合物、ナノ粒子、ナノワイヤーなどを用いて形成することができる。第２層６０ｂの構成材料は、第１層６０ａよりもシート抵抗を小さくすることができるものであれば特に限定されない。
【００３０】
引き回し配線６０を覆う配線保護膜６２は、絶縁膜３０と同様に、ポリシロキサン、ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂、及びアクリルモノマーなどを形成材料に用いた印刷法によって形成することができる。したがって、配線保護膜６２は絶縁膜３０を形成する工程で同時に形成することができる。
【００３１】
平坦化膜４０は、基板１の機能面１ａの少なくとも入力領域２を覆って形成され、Ｘ電極１０やＹ電極２０による機能面１ａの凹凸を平坦化している。平坦化膜４０は、図示のように、機能面１ａの略全面（外部接続端子部を除く）を覆って形成されていることが好ましい。平坦化膜４０により基板１の機能面１ａ側が平坦化されていることで、基板１と保護基板５０とをほぼ全面にわたって均一に接合することができる。
また平坦化膜４０の構成材料には、屈折率が２．０以下、望ましくは１．７以下である材料を用いることが好ましい。これにより、基板１やＸ電極１０、Ｙ電極２０との屈折率差を小さくすることができ、Ｘ電極１０やＹ電極２０の配線パターンを見えにくくすることができる。
【００３２】
保護基板５０は、ガラスやプラスチックなどの透明基板である。あるいは、本実施形態のタッチパネル１００が液晶パネルや有機ＥＬパネルなどの表示装置の前面に配置される場合には、保護基板５０として、表示装置の一部として用いられる光学素子基板（偏光板や位相差板など）を用いることもできる。
【００３３】
シールド層７０は、ＩＴＯやＩＺＯ（登録商標）などの透明導電材料を基板１の裏面１ｂに成膜することで形成される。あるいは、シールド層となる透明導電膜が形成されたフィルムを用意し、かかるフィルムを基板１の裏面１ｂに接着した構成としてもよい。
シールド層７０が設けられていることで、基板１の裏面１ｂ側において電界を遮断する。これにより、タッチパネル１００の電界が表示装置等に作用したり、表示装置等の外部機器の電界がタッチパネル１００に作用したりするのを防止することができる。
【００３４】
なお、本実施形態では基板１の裏面１ｂにシールド層７０を形成しているが、図３に示すように、シールド層を基板１の機能面１ａ側に形成することもできる。図３は、かかる変形例のタッチパネル１００Ａを示す模式断面図である。
図３に示すタッチパネル１００Ａでは、基板１の機能面１ａ上にシールド層７０Ａが形成されており、シールド層７０Ａを覆って絶縁膜８０Ａが形成されている。絶縁膜８０Ａ上の構成は、図２に示したタッチパネル１００と同様である。タッチパネル１００Ａでは、基板１の片面にシールド層７０Ａや、Ｘ電極１０、Ｙ電極２０、引き回し配線６０等を形成するので、製造工程が煩雑化するのを回避でき、製造性に優れたタッチパネルとすることができる。
【００３５】
ここで、タッチパネル１００の動作原理について簡単に説明する。
まず、図示は省略の駆動部から、引き回し配線６０を介してＸ電極１０及びＹ電極２０に所定の電位を供給する。
なお、シールド層７０には、例えばグランドの電位（接地電位）を入力する。
【００３６】
上記のように電位が供給された状態で、保護基板５０側から入力領域２に向けて手指を近づけると、保護基板５０に近づけた手指と、接近位置付近のＸ電極１０及びＹ電極２０のそれぞれとの間に寄生容量が形成される。すると、寄生容量が形成されたＸ電極１０及びＹ電極２０では、この寄生容量を充電するために一時的な電位低下が引き起こされる。
【００３７】
駆動部では、各電極の電位をセンシングしており、上述の電位低下が発生したＸ電極１０及びＹ電極２０を即座に検出する。そして、検出された電極の位置を電気信号変換／演算部によって解析することによって、入力領域２における指の位置情報が検出される。
具体的には、Ｘ軸方向に延在するＸ電極１０によって、手指が接近した位置の入力領域２におけるＹ座標が検出され、Ｙ軸方向に延在するＹ電極２０によって、入力領域２におけるＸ座標が検出される。
【００３８】
［タッチパネルの製造方法］
次に、上記のタッチパネルの製造方法について説明する。
本実施形態においては、図１及び図２に示したタッチパネル１００の製造方法について図面を参照して説明する。図４は、タッチパネルの製造方法に係るフローチャート図である。
【００３９】
本実施形態のタッチパネルの製造工程は、図４に示すように、基板１の機能面１ａに、島状電極部１２，２２、ブリッジ配線１１、及び引き回し配線６０の第１層６０ａを形成する電極成膜工程Ｓ１０と、引き回し配線６０の第１層６０ａに第２層６０ｂを積層する補助配線形成工程Ｓ２０と、ブリッジ配線１１上に絶縁膜３０を形成するとともに、引き回し配線６０を覆って配線保護膜６２を形成する絶縁膜形成工程Ｓ３０と、絶縁膜３０上を経由して隣り合った島状電極部２２同士を接続するブリッジ配線２１を形成するブリッジ配線形成工程Ｓ４０と、基板１の機能面１ａ側を平坦化する平坦化膜４０を形成する平坦化膜形成工程（保護膜形成工程）Ｓ５０と、接着層５１を介して保護基板５０を平坦化膜４０と接合する保護基板接合工程（接着層形成工程）Ｓ６０と、基板１の裏面１ｂにシールド層７０を形成するシールド層形成工程（導電膜形成工程）Ｓ７０とを有している。
【００４０】
本実施形態のタッチパネル１００の製造工程は、印刷法の一種である液滴吐出法によって成膜する工程を有している。そこで、タッチパネルの製造方法の説明に先立ち、液滴吐出装置について説明する。
【００４１】
図５は、液滴吐出装置ＩＪの概略構成を示す斜視図である。液滴吐出装置ＩＪは、液滴吐出ヘッド（吐出ヘッド）１００１と、Ｘ軸方向駆動軸１００４と、Ｙ軸方向ガイド軸１００５と、制御装置ＣＯＮＴと、ステージ１００７と、クリーニング機構１００８と、基台１００９と、ヒータ１０１５、１０２０とを備えている。ここでは、ピエゾ素子（圧電素子）を用いた電気機械変換方式の、液滴吐出装置が用いられる。
【００４２】
ステージ１００７は、この液滴吐出装置ＩＪにより液体材料（配線パターン用インク）を配置される基板Ｐを支持するものであって、基板Ｐを基準位置に固定する図示は省略の固定機構を備えている。
【００４３】
液滴吐出ヘッド１００１は、複数の吐出ノズルを備えたマルチノズルタイプの液滴吐出ヘッドであり、長手方向とＸ軸方向とを一致させている。複数の吐出ノズルは、液滴吐出ヘッド１００１の下面に一定間隔で設けられている。液滴吐出ヘッド１００１の吐出ノズルからは、ステージ１００７に支持されている基板Ｐに対して、前記の導電性微粒子を含む配線パターン用インクが吐出されるようになっている。また、液滴吐出ヘッド１００１には、ヒータ１０２０が設けられており、内部に装填される機能液が所定温度に加熱される。
【００４４】
Ｘ軸方向駆動軸４には、Ｘ軸方向駆動モータ１００２が接続されている。このＸ軸方向駆動モータ１００２は、ステッピングモータ等からなるもので、制御装置ＣＯＮＴからＸ軸方向の駆動信号が供給されると、Ｘ軸方向駆動軸４を回転させる。Ｘ軸方向駆動軸４が回転すると、液滴吐出ヘッド１００１はＸ軸方向に移動する。
【００４５】
Ｙ軸方向ガイド軸１００５は、基台１００９に対して動かないように固定されている。
ステージ７は、Ｙ軸方向駆動モータ３を備えている。Ｙ軸方向駆動モータ１００３はステッピングモータ等であり、制御装置ＣＯＮＴからＹ軸方向の駆動信号が供給されると、ステージ７をＹ軸方向に移動する。
【００４６】
制御装置ＣＯＮＴは、液滴吐出ヘッド１００１に液滴の吐出制御用の電圧を供給する。
また、Ｘ軸方向駆動モータ１００２に液滴吐出ヘッド１００１のＸ軸方向の移動を制御する駆動パルス信号を、Ｙ軸方向駆動モータ１００３にステージ１００７のＹ軸方向の移動を制御する駆動パルス信号を供給する。
【００４７】
クリーニング機構１００８は、液滴吐出ヘッド１００１をクリーニングするものである。クリーニング機構１００８には、図示は省略のＹ軸方向の駆動モータが備えられている。このＹ軸方向の駆動モータの駆動により、クリーニング機構は、Ｙ軸方向ガイド軸１００５に沿って移動する。クリーニング機構１００８の移動も制御装置ＣＯＮＴにより制御される。
また、クリーニング機構１００８には、液滴吐出ヘッド１００１の吐出ノズルを覆い、吐出ノズルから液体材料の蒸発を防ぐキャップ（図示は省略）を有している。
【００４８】
ヒータ１０１５は、ここではランプアニールにより基板Ｐを熱処理する手段であり、基板Ｐ上に配置された液体材料に含まれる溶媒の蒸発及び乾燥を行う。このヒータ１０１５の電源の投入及び遮断も制御装置ＣＯＮＴにより制御される。
【００４９】
液滴吐出装置ＩＪは、液滴吐出ヘッド１００１と基板Ｐを支持するステージ１００７とを相対的に走査しつつ、基板Ｐに対して、液滴吐出ヘッド１００１の下面にＸ軸方向に配列された複数の吐出ノズルから液滴を吐出するようになっている。
【００５０】
図６は、ピエゾ方式による液体材料の吐出原理を説明する図である。図６において、液体材料（配線パターン用インク、機能液）を収容する液体室１０２１に隣接してピエゾ素子１０２２が設置されている。液体室１０２１には、液体材料を収容する材料タンクを含む液体材料供給系１０２３を介して液体材料が供給される。ピエゾ素子１０２２は駆動回路１０２４に接続されており、この駆動回路１０２４を介してピエゾ素子１０２２に電圧を印加し、ピエゾ素子１０２２を変形させることにより、液体室１０２１が変形し、吐出ノズル１０２５から液体材料が吐出される。この場合、印加電圧の値を変化させることにより、ピエゾ素子１０２２の歪み量が制御される。また、印加電圧の周波数を変化させることにより、ピエゾ素子１０２２の歪み速度が制御される。ピエゾ方式による液滴吐出は材料に熱を加えないため、材料の組成に影響を与えにくいという利点を有する。
【００５１】
ここで、タッチパネルの製造方法の説明に戻る。図７及び図８は、タッチパネル１００の製造工程を示す図である。これらの工程図は、図２に示した構造（ブリッジ配線の交差部及び引き回し配線６０）を形成する工程を示している。
【００５２】
まず、電極成膜工程Ｓ１０について説明する。
電極成膜工程Ｓ１０では、例えばガラス基板である基板１上に、図５に示した液滴吐出装置ＩＪによって、例えばＩＴＯ粒子を含む液体材料の液滴を選択的に配置する。具体的には、基板１上に、島状電極部１２とブリッジ配線１１とからなるＸ電極１０を形成し（第１電極形成工程）、また、Ｙ電極２０の一部である島状電極部２２を形成し（第２電極形成工程）、そして、島状電極部１２及び島状電極部２２から延出された引き回し配線６０の第１層６０ａとからなる液体材料のパターンを形成する。その後、基板１上に配置された液体材料（液滴）を乾燥させる。これにより、図７（ａ）に示すように、基板１上に、ＩＴＯ粒子の集合体からなるＸ電極１０（島状電極部１２、ブリッジ配線１１）、島状電極部２２、及び引き回し配線６０の第１層６０ａが形成される。
【００５３】
本実施形態の電極成膜工程Ｓ１０においては、ＩＴＯ粒子を含有する液滴を吐出することによって、ＩＴＯ膜を形成しているが、この他にも、ＩＺＯ（登録商標）の粒子を含有する液滴を用いてＩＺＯ（登録商標）からなる透明導電膜を形成してもよい。
また、電極成膜工程Ｓ１０では、液滴吐出法ではなく、フォトリソグラフィー法を用いたパターン形成方法も用いることができる。すなわち、スパッタ法などにより基板１の機能面１ａのほぼ全面にＩＴＯ膜を形成した後、フォトリソグラフィー法及びエッチング法を用いてＩＴＯ膜をパターニングすることで、Ｘ電極１０（島状電極部１２、ブリッジ配線１１）、島状電極部２２、及び引き回し配線６０の第１層６０ａを形成するようにしてもよい。
【００５４】
次に、補助配線形成工程Ｓ２０に移行する。
補助配線形成工程Ｓ２０では、液滴吐出装置ＩＪによって、引き回し配線６０の第２層６０ｂの構成材料を含む液体材料の液滴を第１層６０ａ上に吐出配置する。第２層６０ｂを形成するための液体材料としては、例えば、銀粒子を含む液体材料を用いることができる。その後、吐出配置した液滴を乾燥させる。これにより、図７（ｂ）に示すように、第１層６０ａ上に低抵抗の第２層６０ｂが形成され、２層構造の引き回し配線６０が入力領域２の外側の基板１上に形成される。
【００５５】
引き回し配線６０の第２層６０ｂを形成する液体材料としては、銀粒子を含む液体材料のほか、例えば、Ａｕ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｐｄなどの金属粒子を含む液体材料や、グラファイトやカーボンナノチューブを含む液体材料を用いることができる。金属粒子やカーボン粒子は、ナノ粒子やナノワイヤーの形態で液体材料中に分散される。また、第２層６０ｂを金属膜とする場合には、有機金属化合物を含む液体材料を用いてもよい。
【００５６】
次に、絶縁膜形成工程Ｓ３０及びブリッジ配線形成工程Ｓ４０が順次実行される。
図９は、絶縁膜形成工程Ｓ３０及びブリッジ配線形成工程Ｓ４０をさらに具体的に示す説明図である。図９（ｂ）は、図７（ｃ）に対応する平面図であって、ブリッジ配線２１の形成領域を示す図である。図９（ｃ）は、図７（ｄ）に対応する平面図である。
【００５７】
以下では、図７及び図９を参照しつつ説明する。
絶縁膜形成工程Ｓ３０は、絶縁膜形成材料を含む機能液の流動特性に基づいて、吐出ヘッド１００１を加熱する加熱工程と、加熱された機能液を基板１に向けて吐出する液滴吐出工程とを有している。
【００５８】
具体的には、加熱工程では、基板１に着弾した絶縁膜形成材料を含む機能液が大きく濡れ拡がる（流動する）ことなく短時間で乾燥させて流動性を低減させるべく、絶縁膜形成材料が高濃度で含まれる機能液を用いた場合に、機能液の粘度が大きくて液滴吐出ヘッド１００１からの吐出に支障を来さないように、吐出時における機能液の粘度を小さくするために、ヒータ１０２０を作動させて液滴吐出ヘッド１００１を加熱する。また、液滴吐出ヘッド１００１の温度（機能液の温度）としては、基板１の温度が所定温度以上（ここでは２０℃以上）となるように設定される。
【００５９】
吐出工程では、ヒータ１０２０による液滴吐出ヘッド１００１の加熱により粘度が低下した機能液の液滴を、液滴吐出装置ＩＪによって、図７（ｃ）及び図９（ｂ）に示すように、交差部ＫにおけるＸ電極１０のブリッジ配線１１を埋めるように島状電極部１２、２２の間の隙間に絶縁膜形成材料を含む液状体（機能液）の液滴Ｌを選択的に配置する。
【００６０】
ここで、液滴吐出ヘッド１００１から機能液の液滴は、基板１に到達するまでに熱が奪われるとともに、液滴吐出ヘッド１００１よりも約２０℃以上も低温の基板１に着弾するため、温度低下により短時間で粘度が大きくなって流動性が低減し、大きく濡れ拡がることなく乾燥が進ことによって滲み上がりが抑制される。
このとき、機能液の粘度は加熱によって８〜２０ｍＰａｓとなるように調整することで、液滴吐出ヘッドにおける目詰まり等をより効果的に防止することができ、かつ、基板１に到達するまでに急激に粘度が上昇することでぬれ広がらない程度に流動性が低下するようになる。また、液滴吐出ヘッド１００１の温度（機能液の温度）と基板１の温度差が大きい場合には、機能液が基板１の表面で全く濡れ広がらないために平坦性が損なわれてしまうので、機能液の温度と基板１の温度差は５０℃以下が望ましい。
その後、基板１上の液体材料を加熱し、乾燥固化することで、ブリッジ配線１１上を含んで表面が高い平坦性を有する絶縁膜３０が形成される。
【００６１】
なお、絶縁膜３０を形成するに際しては、少なくともブリッジ配線１１上の領域において液滴を隙間無く配置することが好ましい。これにより、ブリッジ配線１１に達する孔やクラックのない絶縁膜３０を形成することができ、絶縁膜３０における絶縁不良やブリッジ配線２１の断線が防止される。
また、液滴吐出ヘッド１００１の加熱中は、液滴吐出工程の前後においてクリーニング機構１００８のキャップにより吐出ノズルを覆うことで、吐出ノズルからの機能液の蒸発を防止することができる。
【００６２】
続いて、図７（ｃ）に示すように、引き回し配線６０上の領域に対しても液滴を選択的に配置する。その後、基板１上の液体材料を加熱し、乾燥固化することで、引き回し配線６０を覆う配線保護膜６２が形成される。
上記液体材料としては、例えば、ポリシロキサンを含む液体材料や、ポリイミド樹脂、アクリル系樹脂、又はアクリルモノマーを含む液体材料を用いることができる。
絶縁膜形成インクを構成する液性媒体としては、例えば、エステル化合物、エーテル化合物、ヒドロキシケトン、炭酸ジエステル、環状アミド化合物等を用いることができ、中でも、〔１〕多価アルコール（例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブチレングリコール、グリセリン等）の縮合物としてのエーテル（多価アルコールエーテル）や、多価アルコールまたは多価アルコールエーテルのアルキルエーテル（例えば、メチルエーテル、エチルエーテル、ブチルエーテル、ヘキシルエーテル等）、エステル（例えば、ホルメート、アセテート、プロピオネート等）、〔２〕多価カルボン酸（例えば、こはく酸、グルタル酸等）のエステル（例えば、メチルエステル等）、〔３〕分子内に少なくとも１つの水酸基と少なくとも１つのカルボキシル基とを有する化合物（ヒドロキシ酸）のエーテル、エステル等、〔４〕多価アルコールとホスゲンとの反応で得られるような化学構造を有する炭酸ジエステルが好ましい。液性媒体として用いることのできる化合物としては、例えば、２−（２−メトキシ−１−メチルエトキシ）−１−メチルエチルアセテート、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、４−メチル−１，３−ジオキソラン−２−オン、ビス（２−ブトキシエチル）エーテル、グルタル酸ジメチル、エチレングリコールジｎ−ブチレート、１，３−ブチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、１，６−ジアセトキシヘキサン、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、ブトキシプロパノール、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルブチルエーテル、トリエチレングリコールメチルエチルエーテル、トリエチレングリコールメチルブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、３−エトキシプロピオン酸エチル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、３−メトキシブチルアセテート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、オクタン酸エチル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテル、酢酸シクロヘキシル、こはく酸ジエチル、エチレングリコールジアセテート、プロピレングリコールジアセテート、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン、こはく酸ジメチル、１−ブトキシ−２−プロパノール、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、３−メトキシブチルアセテート、ジアセチン、ジプロピレングリコールモノｎ−プロピルエーテル、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル、ブチルグリコレート、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、ジプロピレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、トリエチレングリコールブチルメチルエーテル、ビス（２−プロポキシエチル）エーテル、ジエチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル、ジエチレングリコールブチルエチルエーテル、ジエチレングリコールブチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールエチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールメチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールプロピルエーテルアセテート、トリエチレングリコールメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールエチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールプロピルエーテルアセテート、トリエチレングリコールブチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールブチルエチルエーテル、トリエチレングリコールエチルメチルエーテル、トリエチレングリコールエチルプロピルエーテル、トリエチレングリコールメチルプロピルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ｎ−ノニルアルコール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコール２−エチルヘキシルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−２−エチルヘキシルエーテル、トリプロピレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、ブチルセロソルブアセテート、γ−ブチロラクトン、Ｎメチル−ピロリドン等が挙げられ、これらから選択される１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００６３】
中でも、液性媒体としては、炭酸エチレン（以下、適宜、ＥＣ、と称する）、炭酸プロピレン（以下、適宜、ＰＣ、と称する）、オクタン酸エチル（以下、適宜、ＥＯ、と称する）、ジエチレングリコールブチルエーテルアセテート（以下、適宜、ＢＣＡ、と称する）、エチレングリコールブチルエーテルアセテート（以下、適宜、ＢＭＧＡと称する）、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート（以下、適宜、ＰＥＧＭＥＡ、と称する）、ジエチレングリコールジメチルエーテル（以下、適宜、ＥＤＭ、と称する）、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル（以下、適宜、ＢＤＭ、と称する）、ジエチレングリコールジブチルエーテル（以下、適宜、ＢＤＢ、と称する）、トリエチレングリコールブチルメチルエーテル（以下、適宜、ＢＴＭ、と称する）、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（以下、適宜、ＤＰＭＡ、と称する）、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル（以下、適宜、ＴＰＭ、と称する）、エチレングリコールブチルエーテル（以下、適宜、ＢＣ、と称する）、ジアセトンアルコール（以下、適宜、ＤＡＡ、と称する）よりなる群から選択される１種または２種以上を含むことが好ましく、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートを含むことがより好ましい。
【００６４】
これらの化合物は、比重が０．９から１．２程度であり、粘度が低く、上述したような絶縁膜形成材料との親和性が高い。このため、絶絶縁膜形成材料は液性媒体に好適に溶解／分散することができる。また、液性媒体が上記のような低粘度の化合物で構成されたものであると、加熱した状態において流動性が向上するため液性媒体の供給が滞ることなく、液滴吐出ヘッドにおける目詰まり等をより効果的に防止することができる。
また、上述した中でも、液性媒体が沸点の高いＢＭＧＡ、ＢＣＡ、ＥＣ、ＰＣ、ＢＤＭ、ＢＤＢ、ＢＴＭ、ＴＰＭ、ＥＯ、ＢＤＢ，ＤＰＭＡを含むものである場合、絶縁膜形成用インクがノズルの近傍で非常に乾燥しにくくなり、インク付与工程における飛行曲がりの発生がより効果的に抑制される。
【００６５】
液性媒体の大気圧（１気圧）下における沸点は、１８０〜３００℃であるのが好ましく、１８０〜２９０℃であるのがより好ましく、２００〜２８０℃であるのがさらに好ましい。液性媒体の大気圧下における沸点が前記範囲内の値であると、縁膜形成用インクを吐出する液滴吐出ヘッドにおける乾燥による目詰まり等をより効果的に防止することができ、生産性を特に優れたものとすることができる。
【００６６】
また、液性媒体の２５℃における蒸気圧は、０．７ｍｍＨｇ以下であるのが好ましく、０．１ｍｍＨｇ以下であるのがより好ましい。液性媒体の蒸気圧が前記範囲内と値であると、絶縁膜形成用インクを吐出する液滴吐出ヘッドにおける乾燥による目詰まり等をより効果的に防止することができ、絶縁膜の生産性を特に優れたものとすることができる。
【００６７】
絶縁膜形成用インク中における液性媒体の含有率は、２〜９０ｗｔ％であるのが好ましく、１０〜８５ｗｔ％であるのがより好ましく、３０〜８０ｗｔ％であるのがさらに好ましい。液性媒体の含有率が前記範囲内の値であると、縁膜形成用インクの液滴吐出ヘッドからの吐出性を特に優れたものとしつつ、製造される絶縁膜の厚みを均等に整えることが可能であり、耐久性を優れたものとすることができる。
【００６８】
次に、ブリッジ配線形成工程Ｓ４０に移行する。
ブリッジ配線形成工程Ｓ４０では、図７（ｄ）及び図９（ｃ）に示すように、隣り合って配置された島状電極部２２上と絶縁膜３０上とにわたって、ＩＴＯ粒子を含む液体材料の液滴を配線形状に配置する。その後、基板１上の液体材料を乾燥固化する。これにより、島状電極部２２同士を接続するブリッジ配線２１が形成される。ブリッジ配線２１の形成に用いる液体材料としては、上記したＩＴＯ粒子を含む液体材料のほか、ＩＺＯ（登録商標）粒子や、ＺｎＯ粒子を含む液体材料を用いて形成することもできる。また、ポリチオフェン、ポリアニリン系の有機高分子からなる透明導電膜を形成してもよく、有機高分子が水や溶剤に溶解した液体を配置した場合は１２０℃で３０分程度の低温での焼成が必要である。
【００６９】
ブリッジ配線２１を形成するに際しては、図９（ｃ）に示すように、ブリッジ配線形成工程Ｓ４０で、電極成膜工程Ｓ１０と同一の液体材料を用いてブリッジ配線２１を形成することが好ましい。すなわち、ブリッジ配線２１の構成材料には、Ｘ電極１０や島状電極部２２の構成材料と同一の材料を用いることが好ましい。
【００７０】
次に、平坦化膜形成工程Ｓ５０に移行する。
平坦化膜形成工程Ｓ５０では、図８（ａ）に示すように、基板１の機能面１ａを平坦化させる目的で、絶縁材料からなる平坦化膜４０を機能面１ａのほぼ全面に形成する。
平坦化膜４０は、絶縁膜形成工程Ｓ３０で用いた絶縁膜３０形成用の液体材料と同様の液体材料を用いて形成することができるが、基板１表面の平坦化を目的としているため、樹脂材料を用いて形成することが好ましい。
【００７１】
次に、保護基板接合工程Ｓ６０に移行する。
保護基板接合工程Ｓ６０では、図８（ｂ）に示すように、別途用意した保護基板５０と平坦化膜４０との間に接着剤を配置し、かかる接着剤からなる接着層５１を介して保護基板５０と平坦化膜４０とを貼り合わせる。保護基板５０は、ガラスやプラスチック等からなる透明基板のほか、偏光板や位相差板などの光学素子基板であってもよい。接着層５１を構成する接着剤としては、透明な樹脂材料などを用いることができる。
【００７２】
次に、シールド層形成工程Ｓ７０に移行する。
シールド層形成工程Ｓ７０では、図８（ｃ）に示すように、基板１の裏面１ｂ（機能面１ａとは反対側の面）に導電膜で構成されたシールド層７０を形成する。シールド層７０は、真空成膜法、スクリーン印刷法、オフセット法、液滴吐出法などの公知の成膜法を用いて形成することができる。例えばシールド層７０を液滴吐出法などの印刷法を用いて形成する場合には、電極成膜工程Ｓ１０、及びブリッジ配線形成工程Ｓ４０で使用されるＩＴＯ粒子等を含む液体材料を用いることができる。
また、基板１に対する成膜によりシールド層７０を形成する方法のほかにも、一面又は両面に導電膜が成膜されたフィルムを別途用意し、かかるフィルムを基板１の裏面１ｂに貼り合わせることでフィルム上の導電膜をシールド層７０としてもよい。
【００７３】
なお、本実施形態では、シールド層７０をタッチパネル製造工程の最後に実施することとしているが、シールド層７０は任意のタイミングで形成することができる。例えば、予めシールド層７０が形成された基板１を電極成膜工程Ｓ１０以降の工程に供することもできる。また、電極成膜工程Ｓ１０〜保護基板接合工程Ｓ６０までの任意の工程の間にシールド層形成工程を配してもよい。
【００７４】
また、本実施形態においては、基板１の裏面１ｂにシールド層７０を形成しているが、図３に示した変形例に係るタッチパネル１００Ａのように基板１の機能面１ａ側にシールド層７０Ａを形成する場合には、電極成膜工程Ｓ１０に先立って、シールド層７０Ａを形成する工程と、絶縁膜８０Ａを形成する工程とを実行する。この場合にも、シールド層７０Ａは、シールド層形成工程Ｓ７０と同様の手法によって形成することができる。また、絶縁膜８０Ａの形成工程は、例えば絶縁膜形成工程Ｓ３０と同様とすることができる。
【００７５】
以上に詳細に説明したタッチパネル１００の製造方法によれば、以下の効果を得ることができる。
まず、本実施形態の製造方法では、Ｘ電極１０（島状電極部１２、ブリッジ配線１１）と、Ｙ電極２０を構成する島状電極部２２とを基板１上の同一面に形成し、その後に、ブリッジ配線１１上の領域に液滴吐出法を用いて絶縁膜３０を形成し、その後さらに液滴吐出法を用いて島状電極部２２を接続するブリッジ配線２１を形成する。このようにＸ電極１０と交差するＹ電極２０の接続構造を、印刷法である液滴吐出法を用いて形成することで、従来に比して工数を削減することができ、タッチパネルの製造コストを抑えることができる。
【００７６】
さらに詳しく説明すると、従来の接続構造の形成工程では、図７（ａ）に示した工程の後に、（１）Ｘ電極１０及び島状電極部２２を覆う層間絶縁膜を形成する工程と、（２）隣り合う島状電極部２２にブリッジ配線を架設するためのコンタクトホールを層間絶縁膜に形成する工程と、（３）コンタクトホールを含む領域にブリッジ配線をパターン形成して島状電極部２２同士を接続する工程と、を実施していた。
【００７７】
上述した従来工程と本実施形態の工程とを比較すれば明らかなように、本実施形態に係る製造方法では、従来工程における層間絶縁膜にコンタクトホールを形成するためのフォトリソグラフィー工程（及びエッチング工程）が不要になり、さらに、ブリッジ配線をパターン形成するためのフォトリソグラフィー工程及びエッチング工程も不要になる。
したがって、本実施形態の製造方法によれば、特にコストのかかるフォトリソグラフィー工程を削減することができ、タッチパネルの製造コストを低減することができる。また、液滴吐出法では、それぞれの膜を形成する領域にのみ選択的に液滴を配置するので、材料の使用量を抑えることができ、原材料費の点でも製造コスト低減に寄与する。
【００７８】
（実施例）
（１）絶縁膜形成材料（分子量２５００） が濃度３６％の機能液を用い、液滴吐出ヘッド１００１を５０℃に加熱したときの機能液は粘度１３．５ｍＰａ・Ｓであった。また、温度が室温（例えば２３℃）の基板１上における上記機能液の粘度は４５ｍＰａ・ｓであった。
（２）上記（１）と同じ絶縁膜形成材料が濃度４５％の機能液を用い、液滴吐出ヘッド１００１を５５℃に加熱したときの機能液は粘度１２．１ｍＰａ・Ｓであった。また、温度が３０℃の基板１上における上記機能液の粘度は７０ｍＰａ・ｓであった。
（３）絶縁膜形成材料（分子量１２００） が濃度６５％の機能液を用い、液滴吐出ヘッド１００１を４８℃に加熱したときの機能液は粘度１４．０ｍＰａ・Ｓであった。また、温度が２０℃の基板１上における上記機能液の粘度は１４０ｍＰａ・ｓであった。
上記の実施例（１）〜（３）ではいずれの場合も液滴吐出ヘッド１００１から支障なく機能液の液滴を吐出でき、また平坦性に優れた絶縁膜３０を形成することができた。
（比較例１）絶縁膜形成材料（分子量２５００） が濃度２８％の機能液を用い、液滴吐出ヘッド１００１を３５℃に加熱したときの機能液は粘度１７．２ｍＰａ・Ｓであったが、機能液の粘度が高く吐出安定性に関して不良であった。
【００７９】
このように、本実施形態では、基板１での流動特性を考慮して高濃度で絶縁膜形成材料が含まれる機能液を吐出する場合でも、液滴吐出ヘッド１００１を加熱するため、高濃度で絶縁膜形成材料を含む機能液を用いる場合でも、支障なく液滴として吐出することが可能となる。そのため、本実施形態では、吐出した機能液を大きく濡れ拡がらせる前に短時間で乾燥させて流動性を低減させることが可能となり、膜端部における溶媒の乾燥で生じる滲み上がりが生じることを抑制できる。そのため、本実施形態では屈曲することなく絶縁膜３０上にブリッジ配線２１を形成することができ、断線の危険性が増すことなく、高品質で歩留まりの良いタッチパネルを得ることができる。
【００８０】
また、本実施形態では、基板１の温度との差が所定温度以上となるように、液滴吐出ヘッド１００１を加熱することにより、支障なく機能液を基板に吐出させることが可能になるとともに、着弾した機能液を所定温度以下に低下させて高粘度化させることができる。
この場合、予め機能液の種類に応じて基板１と液滴吐出ヘッド１００１との間に必要な温度差を求めておき、それぞれの温度（すなわち温度差）を管理することにより、機能液の流動特性を制御して、製造効率の向上を図ることができる。
【００８１】
［表示装置］
次に、本発明のタッチパネルを備えた表示装置について説明する。本実施形態では、表示装置の一例として、タッチパネルを備えた液晶表示装置について説明する。図１０は本発明の１実施形態である液晶表示装置５００の模式図であり、（ａ）平面図（ｂ）平面図におけるＨ−Ｈ’断面図を示している。
【００８２】
液晶表示装置５００は、図１０（ａ）に示すように、素子基板４１０、対向基板４２０、及び画像表示領域４１０ａを有している。
素子基板４１０は対向基板４２０に比して広い平面領域を有した矩形状の基板である。
対向基板４２０は液晶表示装置５００における画像表示側であり、ガラスやアクリル樹脂などで形成された透明な基板である。対向基板４２０は、シール材４５２を介して素子基板４１０の中央部に接合されている。
画像表示領域１０ａは、対応基板４２０の平面領域であって、シール材４５２の内周に沿って設けられた周辺見切り４５３の内側領域である。
【００８３】
素子基板４１０における対向基板４２０の周辺には、データ線駆動回路４０１、走査線駆動回路４０４、データ線駆動回路４０１及び走査線駆動回路４０４と接続された接続端子４０２、及び対向基板４２０に対して対向して配置された走査線駆動回路４０４同士を接続する配線４０５などが配置されている。
【００８４】
次に、液晶表示装置５００の断面について説明する。
素子基板４１０の液晶層４５０側の面には、画素電極４０９及び配向膜４１８などが積層されている。
対向基板４２０の液晶層４５０側の面には、遮光膜（ブラックマトリクス）４２３、カラーフィルタ４２２、共通電極４２５、及び配向膜４２９などが積層されている。
液晶層４５０が、素子基板４１０及び対向基板４２０によって挟持されている。
そして、対向基板４２０の外側（液晶層４５０反対側）の面には、接着層１０１を挟んで本発明のタッチパネル１００が配置されている。
【００８５】
以上説明した液晶表示装置によれば、以下の効果を得ることができる。
液晶表示装置５００に設けられたタッチパネル１００は、液滴吐出法によって位置検出用の電極及び電極を交差させる絶縁膜が形成されている。これにより、タッチパネルの製造に係るコストが低減されているので、製造コストを抑えた液晶表示装置とすることができる。
また、液晶表示装置に設けるタッチパネルは、第１の実施形態の変形例であるタッチパネル１００Ａ、あるいは第２の実施形態のタッチパネル２００であってもよい。これらのタッチパネルも、液滴吐出法によって成膜する工程によって製造されており、製造コストが低減されている。したがって、液晶表示装置の製造コストを抑えることができる。
【００８６】
また本実施形態の液晶表示装置においては、対向基板４２０の外側（液晶層４５０と反対側）の面にタッチパネルの各層が形成されていることが好ましい。これによれば、液晶表示装置の対向基板４２０とタッチパネルの基板１とを共通化することができ、より製造コストを低減することができるとともに、液晶表示装置を軽量化することができる。
また、本実施形態においては、液晶表示装置について説明したが、この以外にも、有機ＥＬ装置、電気泳動表示装置などの表示装置においても、本発明のタッチパネルを好適に用いることができる。
【００８７】
次に、本発明のタッチパネル又はタッチパネルを備えた液晶表示装置を有する電子機器の例について説明する。図１１は、モバイル型パーソナルコンピュータ１１００を示す斜視図である。モバイル型パーソナルコンピュータ１１００は、表示部１１０１と、キーボード１１０２を有する本体部１１０３とを備えている。モバイル型パーソナルコンピュータ１１００は、上記実施形態の液晶表示装置５００を表示部１１０１に備えている。
このような構成を備えたモバイル型パーソナルコンピュータ１１００によれば、本発明のタッチパネルが表示部に用いられているので、製造コストを抑えた電子機器とすることができる。
【００８８】
なお、上記の電子機器は、本発明の電子機器を例示するものであって、本発明の技術範囲を限定するものではない。例えば、携帯電話、携帯用オーディオ機器、ＰＤＡ（Personal Digital Assistant）などの表示部にも本発明に係るタッチパネルを好適に用いることができる。
【００８９】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００９０】
例えば、上記実施形態で示した材料・加熱温度等は一例であり、基板１に吐出した機能液が大きく濡れ拡がらず滲み上がりが生じない高濃度の機能液を用いる場合に、液滴として吐出可能な温度に液滴吐出ヘッド１００１を加熱するのであれば他の条件を用いてもよい。
【符号の説明】
【００９１】
１…基板、 １０…Ｘ電極（第１電極）、 １１…ブリッジ配線、 ２０…Ｙ電極（第２電極）、 ２２…島状電極部（電極膜）、 ３０…絶縁膜、 １００…タッチパネル、 １００１…液滴吐出ヘッド（吐出ヘッド）、 Ｋ…交差部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タッチパネルの製造方法及び表示装置製造方法並びに電子機器製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
静電容量型のタッチスクリーンは、電極が形成されたパネルの所定位置に指などを近づけることによってパネルの電極との間に容量が形成され、このようにして形成された容量を充電する電流を検出することで、所定位置を検出するものである。静電容量型のタッチスクリーンには、例えば、以下のものが開示されている。
【０００３】
特許文献１に記載された座標入力装置は、Ｘ電極が設けられた基板、及びＹ電極が設けられた基板によって液晶層が挟持された構成となっている。そして、Ｘ電極側の基板に近づけた検出ペンの電極が、Ｘ電極及びＹ電極との間で浮遊容量を形成し、浮遊容量を充電する際に誘起される電圧によって、検出ペンの位置を検出する（特許文献１を参照）。
【０００４】
次に、特許文献２に記載された情報入出力装置は、表示部のそれぞれの画素に対応してマトリクス状に配置された電極と、それぞれの電極ごとに設けられたアクティブ素子が同一基板上に形成されている。そして、これらの電極が位置検出の際のセンシング電極として機能する（特許文献２を参照）。
【０００５】
次に、特許文献３に記載された座標入力装置は、互いに交差するＸ電極及びＹ電極が、センサ基板の表面及び裏面のそれぞれに形成された構成となっている。そして、Ｘ電極側から近づけた指によって、Ｘ電極からＹ電極に向かう電気力線の変化に伴う電流変化によって位置を検出する（特許文献３を参照）。
【０００６】
次に、特許文献４に記載された座標位置入力装置は、絶縁層を介して対向して配置され互いに交差する電極が複数設けられた構成となっている。そして、電極に近づいた操作者の指によって変化した電流を検出することによって位置検出を行う（特許文献４を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平４−３３７８２４号公報
【特許文献２】特開平６−３１８１３６号公報
【特許文献３】特開平９−３０５２８９号公報
【特許文献４】特開平１０−６３４０３号公報
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】ＮＡＴＵＲＥ、３８９巻、１９９７年、ｐ.８２７
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。
特許文献１〜４に記載された発明においては、それぞれの方向に延在する電極、あるいは同一基板上に電極及びアクティブ回路を形成する際に、スパッタ法、フォトリソグラフィー法、及びエッチング法などを複数回繰り返すことによって配線層を積層させる構成となっているため、製造コストが上昇するという問題があった。
そこで、例えば、フレキソ、オフセットやインクジェット法といった印刷法等を用いて、上記電極やアクティブ回路を形成することが考えられ、例えば絶縁膜をこうしたＸ電極とＹ電極との交差部分に矩形で形成する方法として、流体噴射装置から絶縁膜形成インクを噴射し、絶縁膜を形成する方法を用いることで製造コストを大幅に抑えることが可能となる。しかしながら、絶縁膜を形成する材料を含む液滴を基板の面に吐出および乾燥して絶縁膜を形成する方法では、厚みを均一化した平坦な絶縁膜を形成することが困難である。つまり、平坦な基板の面の所定の領域に絶縁膜形成用の液滴を着弾させて膜を形成する場合、液滴により形成された絶縁膜形成用の液膜は、着弾して液膜になった状態では非常に薄く均一な厚みになっていても、この液膜から液性媒体が蒸発し乾燥する際に滲み上がりが生じ、不均一になってしまう。すなわち、液性媒体に溶解していた溶質である絶縁膜の材料が、形成されている膜の周縁部に集積し、結果として絶縁膜の周縁部の膜厚が他の部分よりも厚くなり、平坦な絶縁膜が形成されないという問題がある。
これは、「コーヒーリング」または「コーヒーステイン」と呼ばれる現象であり、溶質を液性媒体に溶解させた液滴を乾燥させる際に表面張力などが原因で発生する現象である。すなわち、基板に広がった液膜の外縁部つまり周縁部の蒸発量が他の部分よりも多いため、それを補うように液が周縁部に向かって流れ、その結果、乾燥後、周縁部が盛り上がった膜が形成される現象である（例えば、非特許文献１参照）。
この周縁部の膜厚は溶質の乾燥過程に依存するため、液滴のぬれ広がり形状や面積によって容易に変化するので、凹凸の高さを常に同程度に調整することが難しい。
こうした凹凸をもった絶縁膜を跨いで2つの電極を接続するためのブリッジ配線を形成すると、上記凹凸でブリッジ配線が屈曲するため抵抗値が変わったり、断線したりする可能性がある。特に、配線も配線形成用の液体材料を用いてインクジェット法で形成する場合は、絶縁膜表面の凹凸による影響をさらに受けやすく、凸部の位置に配置された配線形成用の液体材料は凹部に流動してしまうため、配線の厚みや幅をコントロールすることが困難になってしまう。
通常、絶縁膜形成インクから形成した絶縁膜には凹凸にばらつきが大きいため、このような表面に形成したブリッジ配線は厚みが不均一になりやすく、抵抗値が一定にならないために品質の安定性にも難があった。
【００１０】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、印刷法を用いた場合でも品質を保持して歩留まりの低下を抑制できるタッチパネルの製造方法及び表示装置製造方法並びに電子機器製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
本発明のタッチパネルの製造方法は、基板の一面側に形成され、互いに交差する方向に延在する複数の第１電極及び複数の第２電極を有するタッチパネルの製造方法であって、前記基板上に、複数の前記第１電極と、前記第２電極を前記第１電極との交差部で分断して離間する形状の電極膜とを形成する電極成膜工程と、少なくとも前記交差部の前記第１電極上に印刷法を用いて絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、前記交差部で離間する前記第２電極の間を前記絶縁膜上を経由して接続するブリッジ配線を印刷法を用いて形成するブリッジ配線形成工程とを有し、前記絶縁膜形成工程は、絶縁膜形成材料を含む機能液の流動特性に基づいて、前記機能液の液滴を吐出する吐出ヘッドを加熱する加熱工程と、加熱された前記機能液を前記基板に向けて吐出する吐出工程とを有することを特徴とするものである。
従って、本発明のタッチパネルの製造方法では、第１電極と、第２電極となる電極膜とを同一工程において形成し、電極膜同士を接続するブリッジ配線を印刷法によって形成するようにしたことで、第１及び第２電極を形成する工数を削減することができるので、製造コストを低減したタッチパネルの製造方法を提供することができる。
また、本発明では、基板に着弾した機能液の液滴が大きく濡れ拡がらない流動特性（粘度）となる温度に吐出ヘッドを介して機能液の温度を調整することができる。吐出された液滴は基板に到達するまでに熱を奪われて高粘度化するため、本発明では、基板上の液滴が大きく濡れ拡がる前に、短時間で機能液を乾燥させて流動性を低減させ、膜端部における溶媒の乾燥で生じる滲み上がりが生じることを抑制できる。そのため、本発明では屈曲することなく絶縁膜上にブリッジ配線を成膜することができ、断線の危険性が増すことなく、高品質で歩留まりの良いタッチパネルを得ることができる。
【００１２】
また、本発明では、前記機能液が、前記基板に着弾した前記液滴の前記流動特性に基づく濃度で前記絶縁膜形成材料を含み、前記加熱工程では、前記流動特性に基づく濃度で前記絶縁膜形成材料を含む前記機能液の吐出特性に基づいて前記吐出ヘッドを加熱する手順も好適に採用できる。
これにより、本発明では、基板に着弾した機能液の液滴が大きく濡れ拡がらない流動特性（粘度）となる高濃度で機能液が絶縁膜形成材料を含む場合であっても、当該機能液が吐出可能な粘度となる温度に吐出ヘッドを加熱することにより、支障なく機能液を基板に吐出させることが可能になる。
【００１３】
上記の場合、前記基板の温度との差が所定温度以上となるように、前記吐出ヘッドを加熱することにより、支障なく機能液を基板に吐出させることが可能になるとともに、着弾した機能液を所定温度以下に低下させて高粘度化させることができる。
この場合、予め機能液の種類に応じて基板と吐出ヘッドとの間に必要な温度差を求めておき、それぞれの温度（すなわち温度差）を管理することにより、機能液の流動特性を制御して、製造効率の向上を図ることができる。
【００１４】
そして、本発明の表示装置製造方法は、先に記載の製造方法によりタッチパネルを製造する工程を有することを特徴とするものである。
従って、本発明の表示装置製造方法では、材料費のコスト増が防止され、抵抗値の増大、断線の発生等が抑えられた高品質の表示装置を得ることができる。
【００１５】
また、本発明の電子機器製造方法は、先に記載の製造方法により表示装置を製造する工程を有することを特徴とするものである。
従って、本発明の電子機器製造方法では、材料費のコスト増が防止され、抵抗値の増大、断線等に起因する不具合の発生が抑えられた高品質の電子機器を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】タッチパネル１００の模式平面図である。
【図２】タッチパネル１００の模式断面図である。
【図３】タッチパネル１００Ａの模式断面図である。
【図４】タッチパネルの製造方法に係るフローチャート図である。
【図５】液滴吐出装置ＩＪの概略構成を示す斜視図である。
【図６】液体材料の吐出原理を説明するための図である。
【図７】タッチパネル１００の製造工程図である。
【図８】タッチパネル１００の製造工程図である。
【図９】タッチパネル１００の製造工程図である。
【図１０】液晶表示装置５００の模式平面図、及び模式断面図である。
【図１１】本発明に係る電子機器の一例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明のタッチパネルとその製造方法及び表示装置製造方法並びに電子機器製造方法の実施の形態を、図１ないし図１１を参照して説明する。
なお、以下の実施の実施形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等を異ならせている。
【００１８】
［タッチパネル］
図１は、本実施形態に係るタッチパネル１００の模式平面図である。図２は、タッチパネル１００のＡ−Ａ’模式断面図である。
【００１９】
タッチパネル１００は、基板１、入力領域２、及び引き回し配線６０を有する。
基板１は、平面視で矩形状に成形されており、その材質としてガラス、アクリル樹脂などの透明な材質が用いられる。
【００２０】
入力領域２は、図１において一点鎖線で囲まれた領域であり、タッチパネルに入力される指の位置情報を検出する領域である。
入力領域２には、複数のＸ電極（第１電極）１０及び複数のＹ電極（第２電極）２０がそれぞれ配置されている。
Ｘ電極１０は、図示でＸ軸方向に沿って延在し、且つＸ電極１０は、Ｙ軸方向に互いに間隔をあけて複数配列されている。Ｙ電極２０は図示でＹ軸方向に沿って延在し、それぞれのＹ電極２０は、Ｘ軸方向に互いに間隔をあけて配列されている。Ｘ電極１０及びＹ電極２０は、互いのブリッジ配線を交差させることによって入力領域２内の交差部Ｋで交差している。
【００２１】
Ｘ電極１０は、Ｘ軸方向に配列された複数の島状電極部１２と、隣り合う島状電極部１２同士を接続するブリッジ配線１１とを備えている。島状電極部１２は平面視で矩形状に形成され、一方の対角線がＸ軸に沿うように配置されている。
【００２２】
Ｙ電極２０は、Ｙ軸方向に配列された複数の島状電極部２２と、隣り合う島状電極部２２同士を接続するブリッジ配線２１とを備えている。
島状電極部２２は、平面視で矩形状に形成され、一方の対角線がＹ軸に沿うように配置されている。
島状電極部１２と島状電極部２２とは、Ｘ軸方向及びＹ軸方向において互い違いに配置（市松状配置）されており、入力領域２では、矩形状の島状電極部１２、２２が平面視マトリクス状に配置されている。
【００２３】
Ｘ電極１０及びＹ電極２０を構成する材質としては、ＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）やＩＺＯ（インジウム亜鉛酸化物；登録商標）、ＺｎＯ、ポリチオフェン高分子膜やポリアニリン高分子膜などの透光性を有する抵抗体を採用することができる。
【００２４】
引き回し配線６０は、Ｘ電極１０及びＹ電極２０と接続されており、タッチパネル１００の内部あるいは外部装置に設けられた駆動部及び電気信号変換／演算部（いずれも図示は省略）と接続されている。
【００２５】
次に、図２の断面図について説明する。
基板１の機能面１ａに、島状電極部１２（図示は省略），島状電極部２２，及びブリッジ配線１１が設けられている。ブリッジ配線１１上には、絶縁膜３０が形成されている。
そして、絶縁膜３０上にブリッジ配線２１が配置されている。
また、基板１の機能面１ａに、引き回し配線６０が配置されている。引き回し配線６０は、機能面１ａに配置された第１層６０ａ及び第１層６０ａに積層された第２層６０ｂによって構成されている。そして、引き回し配線６０を覆って配線保護膜６２が形成されている。
【００２６】
これらの電極及び配線を覆って、平坦化膜４０が形成されている。平坦化膜４０上には、接着層５１を介して保護基板５０が配置されている。基板１の裏面１ｂには、シールド層７０が設けられている。
【００２７】
絶縁膜３０は、立体的に交差するブリッジ配線１１とブリッジ配線２１とを絶縁する。絶縁膜３０は、ポリシロキサン、ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂、及びアクリルモノマーなどを印刷法を用いて塗布し、それを乾燥固化して形成することができる。
ポリシロキサンを用いて形成した場合には、絶縁膜３０はシリコン酸化物からなる無機絶縁膜となる。一方、ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂、及びアクリルモノマーを採用した場合には、絶縁膜３０は樹脂材料からなる有機絶縁膜となる。
【００２８】
絶縁膜３０の構成材料には、比誘電率が４．０以下、望ましくは３．５以下である材料を採用することが好ましい。これにより、ブリッジ配線の交差部における寄生容量を低減して、タッチパネルの位置検出性能を保持することができる。
また絶縁膜３０の構成材料には、屈折率が２．０以下、望ましくは１．７以下である材料を用いることが好ましい。これにより、基板１やＸ電極１０、Ｙ電極２０との屈折率差を小さくすることができ、使用者に絶縁膜３０のパターンが見えてしまうのを防止できる。
【００２９】
引き回し配線６０の第１層６０ａは、Ｘ電極１０又はＹ電極２０を入力領域２の外側の領域まで延出したものであり、ＩＴＯやＩＺＯなどの抵抗体によって形成されている。
第２層６０ｂは、第１層６０ａ上に積層形成され、引き回し配線６０の配線抵抗を低減する。第２層６０ｂは、Ａｕ、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｐｄなどの金属、及びカーボン（グラファイト、カーボンナノチューブなどのナノカーボン）のうち１種類以上を成分とする、有機化合物、ナノ粒子、ナノワイヤーなどを用いて形成することができる。第２層６０ｂの構成材料は、第１層６０ａよりもシート抵抗を小さくすることができるものであれば特に限定されない。
【００３０】
引き回し配線６０を覆う配線保護膜６２は、絶縁膜３０と同様に、ポリシロキサン、ポリイミド系樹脂、アクリル系樹脂、及びアクリルモノマーなどを形成材料に用いた印刷法によって形成することができる。したがって、配線保護膜６２は絶縁膜３０を形成する工程で同時に形成することができる。
【００３１】
平坦化膜４０は、基板１の機能面１ａの少なくとも入力領域２を覆って形成され、Ｘ電極１０やＹ電極２０による機能面１ａの凹凸を平坦化している。平坦化膜４０は、図示のように、機能面１ａの略全面（外部接続端子部を除く）を覆って形成されていることが好ましい。平坦化膜４０により基板１の機能面１ａ側が平坦化されていることで、基板１と保護基板５０とをほぼ全面にわたって均一に接合することができる。
また平坦化膜４０の構成材料には、屈折率が２．０以下、望ましくは１．７以下である材料を用いることが好ましい。これにより、基板１やＸ電極１０、Ｙ電極２０との屈折率差を小さくすることができ、Ｘ電極１０やＹ電極２０の配線パターンを見えにくくすることができる。
【００３２】
保護基板５０は、ガラスやプラスチックなどの透明基板である。あるいは、本実施形態のタッチパネル１００が液晶パネルや有機ＥＬパネルなどの表示装置の前面に配置される場合には、保護基板５０として、表示装置の一部として用いられる光学素子基板（偏光板や位相差板など）を用いることもできる。
【００３３】
シールド層７０は、ＩＴＯやＩＺＯ（登録商標）などの透明導電材料を基板１の裏面１ｂに成膜することで形成される。あるいは、シールド層となる透明導電膜が形成されたフィルムを用意し、かかるフィルムを基板１の裏面１ｂに接着した構成としてもよい。
シールド層７０が設けられていることで、基板１の裏面１ｂ側において電界を遮断する。これにより、タッチパネル１００の電界が表示装置等に作用したり、表示装置等の外部機器の電界がタッチパネル１００に作用したりするのを防止することができる。
【００３４】
なお、本実施形態では基板１の裏面１ｂにシールド層７０を形成しているが、図３に示すように、シールド層を基板１の機能面１ａ側に形成することもできる。図３は、かかる変形例のタッチパネル１００Ａを示す模式断面図である。
図３に示すタッチパネル１００Ａでは、基板１の機能面１ａ上にシールド層７０Ａが形成されており、シールド層７０Ａを覆って絶縁膜８０Ａが形成されている。絶縁膜８０Ａ上の構成は、図２に示したタッチパネル１００と同様である。タッチパネル１００Ａでは、基板１の片面にシールド層７０Ａや、Ｘ電極１０、Ｙ電極２０、引き回し配線６０等を形成するので、製造工程が煩雑化するのを回避でき、製造性に優れたタッチパネルとすることができる。
【００３５】
ここで、タッチパネル１００の動作原理について簡単に説明する。
まず、図示は省略の駆動部から、引き回し配線６０を介してＸ電極１０及びＹ電極２０に所定の電位を供給する。
なお、シールド層７０には、例えばグランドの電位（接地電位）を入力する。
【００３６】
上記のように電位が供給された状態で、保護基板５０側から入力領域２に向けて手指を近づけると、保護基板５０に近づけた手指と、接近位置付近のＸ電極１０及びＹ電極２０のそれぞれとの間に寄生容量が形成される。すると、寄生容量が形成されたＸ電極１０及びＹ電極２０では、この寄生容量を充電するために一時的な電位低下が引き起こされる。
【００３７】
駆動部では、各電極の電位をセンシングしており、上述の電位低下が発生したＸ電極１０及びＹ電極２０を即座に検出する。そして、検出された電極の位置を電気信号変換／演算部によって解析することによって、入力領域２における指の位置情報が検出される。
具体的には、Ｘ軸方向に延在するＸ電極１０によって、手指が接近した位置の入力領域２におけるＹ座標が検出され、Ｙ軸方向に延在するＹ電極２０によって、入力領域２におけるＸ座標が検出される。
【００３８】
［タッチパネルの製造方法］
次に、上記のタッチパネルの製造方法について説明する。
本実施形態においては、図１及び図２に示したタッチパネル１００の製造方法について図面を参照して説明する。図４は、タッチパネルの製造方法に係るフローチャート図である。
【００３９】
本実施形態のタッチパネルの製造工程は、図４に示すように、基板１の機能面１ａに、島状電極部１２，２２、ブリッジ配線１１、及び引き回し配線６０の第１層６０ａを形成する電極成膜工程Ｓ１０と、引き回し配線６０の第１層６０ａに第２層６０ｂを積層する補助配線形成工程Ｓ２０と、ブリッジ配線１１上に絶縁膜３０を形成するとともに、引き回し配線６０を覆って配線保護膜６２を形成する絶縁膜形成工程Ｓ３０と、絶縁膜３０上を経由して隣り合った島状電極部２２同士を接続するブリッジ配線２１を形成するブリッジ配線形成工程Ｓ４０と、基板１の機能面１ａ側を平坦化する平坦化膜４０を形成する平坦化膜形成工程（保護膜形成工程）Ｓ５０と、接着層５１を介して保護基板５０を平坦化膜４０と接合する保護基板接合工程（接着層形成工程）Ｓ６０と、基板１の裏面１ｂにシールド層７０を形成するシールド層形成工程（導電膜形成工程）Ｓ７０とを有している。
【００４０】
本実施形態のタッチパネル１００の製造工程は、印刷法の一種である液滴吐出法によって成膜する工程を有している。そこで、タッチパネルの製造方法の説明に先立ち、液滴吐出装置について説明する。
【００４１】
図５は、液滴吐出装置ＩＪの概略構成を示す斜視図である。液滴吐出装置ＩＪは、液滴吐出ヘッド（吐出ヘッド）１００１と、Ｘ軸方向駆動軸１００４と、Ｙ軸方向ガイド軸１００５と、制御装置ＣＯＮＴと、ステージ１００７と、クリーニング機構１００８と、基台１００９と、ヒータ１０１５、１０２０とを備えている。ここでは、ピエゾ素子（圧電素子）を用いた電気機械変換方式の、液滴吐出装置が用いられる。
【００４２】
ステージ１００７は、この液滴吐出装置ＩＪにより液体材料（配線パターン用インク）を配置される基板Ｐを支持するものであって、基板Ｐを基準位置に固定する図示は省略の固定機構を備えている。
【００４３】
液滴吐出ヘッド１００１は、複数の吐出ノズルを備えたマルチノズルタイプの液滴吐出ヘッドであり、長手方向とＸ軸方向とを一致させている。複数の吐出ノズルは、液滴吐出ヘッド１００１の下面に一定間隔で設けられている。液滴吐出ヘッド１００１の吐出ノズルからは、ステージ１００７に支持されている基板Ｐに対して、前記の導電性微粒子を含む配線パターン用インクが吐出されるようになっている。また、液滴吐出ヘッド１００１には、ヒータ１０２０が設けられており、内部に装填される機能液が所定温度に加熱される。
【００４４】
Ｘ軸方向駆動軸４には、Ｘ軸方向駆動モータ１００２が接続されている。このＸ軸方向駆動モータ１００２は、ステッピングモータ等からなるもので、制御装置ＣＯＮＴからＸ軸方向の駆動信号が供給されると、Ｘ軸方向駆動軸４を回転させる。Ｘ軸方向駆動軸４が回転すると、液滴吐出ヘッド１００１はＸ軸方向に移動する。
【００４５】
Ｙ軸方向ガイド軸１００５は、基台１００９に対して動かないように固定されている。
ステージ７は、Ｙ軸方向駆動モータ３を備えている。Ｙ軸方向駆動モータ１００３はステッピングモータ等であり、制御装置ＣＯＮＴからＹ軸方向の駆動信号が供給されると、ステージ７をＹ軸方向に移動する。
【００４６】
制御装置ＣＯＮＴは、液滴吐出ヘッド１００１に液滴の吐出制御用の電圧を供給する。
また、Ｘ軸方向駆動モータ１００２に液滴吐出ヘッド１００１のＸ軸方向の移動を制御する駆動パルス信号を、Ｙ軸方向駆動モータ１００３にステージ１００７のＹ軸方向の移動を制御する駆動パルス信号を供給する。
【００４７】
クリーニング機構１００８は、液滴吐出ヘッド１００１をクリーニングするものである。クリーニング機構１００８には、図示は省略のＹ軸方向の駆動モータが備えられている。このＹ軸方向の駆動モータの駆動により、クリーニング機構は、Ｙ軸方向ガイド軸１００５に沿って移動する。クリーニング機構１００８の移動も制御装置ＣＯＮＴにより制御される。
また、クリーニング機構１００８には、液滴吐出ヘッド１００１の吐出ノズルを覆い、吐出ノズルから液体材料の蒸発を防ぐキャップ（図示は省略）を有している。
【００４８】
ヒータ１０１５は、ここではランプアニールにより基板Ｐを熱処理する手段であり、基板Ｐ上に配置された液体材料に含まれる溶媒の蒸発及び乾燥を行う。このヒータ１０１５の電源の投入及び遮断も制御装置ＣＯＮＴにより制御される。
【００４９】
液滴吐出装置ＩＪは、液滴吐出ヘッド１００１と基板Ｐを支持するステージ１００７とを相対的に走査しつつ、基板Ｐに対して、液滴吐出ヘッド１００１の下面にＸ軸方向に配列された複数の吐出ノズルから液滴を吐出するようになっている。
【００５０】
図６は、ピエゾ方式による液体材料の吐出原理を説明する図である。図６において、液体材料（配線パターン用インク、機能液）を収容する液体室１０２１に隣接してピエゾ素子１０２２が設置されている。液体室１０２１には、液体材料を収容する材料タンクを含む液体材料供給系１０２３を介して液体材料が供給される。ピエゾ素子１０２２は駆動回路１０２４に接続されており、この駆動回路１０２４を介してピエゾ素子１０２２に電圧を印加し、ピエゾ素子１０２２を変形させることにより、液体室１０２１が変形し、吐出ノズル１０２５から液体材料が吐出される。この場合、印加電圧の値を変化させることにより、ピエゾ素子１０２２の歪み量が制御される。また、印加電圧の周波数を変化させることにより、ピエゾ素子１０２２の歪み速度が制御される。ピエゾ方式による液滴吐出は材料に熱を加えないため、材料の組成に影響を与えにくいという利点を有する。
【００５１】
ここで、タッチパネルの製造方法の説明に戻る。図７及び図８は、タッチパネル１００の製造工程を示す図である。これらの工程図は、図２に示した構造（ブリッジ配線の交差部及び引き回し配線６０）を形成する工程を示している。
【００５２】
まず、電極成膜工程Ｓ１０について説明する。
電極成膜工程Ｓ１０では、例えばガラス基板である基板１上に、図５に示した液滴吐出装置ＩＪによって、例えばＩＴＯ粒子を含む液体材料の液滴を選択的に配置する。具体的には、基板１上に、島状電極部１２とブリッジ配線１１とからなるＸ電極１０を形成し（第１電極形成工程）、また、Ｙ電極２０の一部である島状電極部２２を形成し（第２電極形成工程）、そして、島状電極部１２及び島状電極部２２から延出された引き回し配線６０の第１層６０ａとからなる液体材料のパターンを形成する。その後、基板１上に配置された液体材料（液滴）を乾燥させる。これにより、図７（ａ）に示すように、基板１上に、ＩＴＯ粒子の集合体からなるＸ電極１０（島状電極部１２、ブリッジ配線１１）、島状電極部２２、及び引き回し配線６０の第１層６０ａが形成される。
【００５３】
本実施形態の電極成膜工程Ｓ１０においては、ＩＴＯ粒子を含有する液滴を吐出することによって、ＩＴＯ膜を形成しているが、この他にも、ＩＺＯ（登録商標）の粒子を含有する液滴を用いてＩＺＯ（登録商標）からなる透明導電膜を形成してもよい。
また、電極成膜工程Ｓ１０では、液滴吐出法ではなく、フォトリソグラフィー法を用いたパターン形成方法も用いることができる。すなわち、スパッタ法などにより基板１の機能面１ａのほぼ全面にＩＴＯ膜を形成した後、フォトリソグラフィー法及びエッチング法を用いてＩＴＯ膜をパターニングすることで、Ｘ電極１０（島状電極部１２、ブリッジ配線１１）、島状電極部２２、及び引き回し配線６０の第１層６０ａを形成するようにしてもよい。
【００５４】
次に、補助配線形成工程Ｓ２０に移行する。
補助配線形成工程Ｓ２０では、液滴吐出装置ＩＪによって、引き回し配線６０の第２層６０ｂの構成材料を含む液体材料の液滴を第１層６０ａ上に吐出配置する。第２層６０ｂを形成するための液体材料としては、例えば、銀粒子を含む液体材料を用いることができる。その後、吐出配置した液滴を乾燥させる。これにより、図７（ｂ）に示すように、第１層６０ａ上に低抵抗の第２層６０ｂが形成され、２層構造の引き回し配線６０が入力領域２の外側の基板１上に形成される。
【００５５】
引き回し配線６０の第２層６０ｂを形成する液体材料としては、銀粒子を含む液体材料のほか、例えば、Ａｕ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｐｄなどの金属粒子を含む液体材料や、グラファイトやカーボンナノチューブを含む液体材料を用いることができる。金属粒子やカーボン粒子は、ナノ粒子やナノワイヤーの形態で液体材料中に分散される。また、第２層６０ｂを金属膜とする場合には、有機金属化合物を含む液体材料を用いてもよい。
【００５６】
次に、絶縁膜形成工程Ｓ３０及びブリッジ配線形成工程Ｓ４０が順次実行される。
図９は、絶縁膜形成工程Ｓ３０及びブリッジ配線形成工程Ｓ４０をさらに具体的に示す説明図である。図９（ｂ）は、図７（ｃ）に対応する平面図であって、ブリッジ配線２１の形成領域を示す図である。図９（ｃ）は、図７（ｄ）に対応する平面図である。
【００５７】
以下では、図７及び図９を参照しつつ説明する。
絶縁膜形成工程Ｓ３０は、絶縁膜形成材料を含む機能液の流動特性に基づいて、吐出ヘッド１００１を加熱する加熱工程と、加熱された機能液を基板１に向けて吐出する液滴吐出工程とを有している。
【００５８】
具体的には、加熱工程では、基板１に着弾した絶縁膜形成材料を含む機能液が大きく濡れ拡がる（流動する）ことなく短時間で乾燥させて流動性を低減させるべく、絶縁膜形成材料が高濃度で含まれる機能液を用いた場合に、機能液の粘度が大きくて液滴吐出ヘッド１００１からの吐出に支障を来さないように、吐出時における機能液の粘度を小さくするために、ヒータ１０２０を作動させて液滴吐出ヘッド１００１を加熱する。また、液滴吐出ヘッド１００１の温度（機能液の温度）としては、基板１の温度が所定温度以上（ここでは２０℃以上）となるように設定される。
【００５９】
吐出工程では、ヒータ１０２０による液滴吐出ヘッド１００１の加熱により粘度が低下した機能液の液滴を、液滴吐出装置ＩＪによって、図７（ｃ）及び図９（ｂ）に示すように、交差部ＫにおけるＸ電極１０のブリッジ配線１１を埋めるように島状電極部１２、２２の間の隙間に絶縁膜形成材料を含む液状体（機能液）の液滴Ｌを選択的に配置する。
【００６０】
ここで、液滴吐出ヘッド１００１から機能液の液滴は、基板１に到達するまでに熱が奪われるとともに、液滴吐出ヘッド１００１よりも約２０℃以上も低温の基板１に着弾するため、温度低下により短時間で粘度が大きくなって流動性が低減し、大きく濡れ拡がることなく乾燥が進ことによって滲み上がりが抑制される。
このとき、機能液の粘度は加熱によって８〜２０ｍＰａｓとなるように調整することで、液滴吐出ヘッドにおける目詰まり等をより効果的に防止することができ、かつ、基板１に到達するまでに急激に粘度が上昇することでぬれ広がらない程度に流動性が低下するようになる。また、液滴吐出ヘッド１００１の温度（機能液の温度）と基板１の温度差が大きい場合には、機能液が基板１の表面で全く濡れ広がらないために平坦性が損なわれてしまうので、機能液の温度と基板１の温度差は５０℃以下が望ましい。
その後、基板１上の液体材料を加熱し、乾燥固化することで、ブリッジ配線１１上を含んで表面が高い平坦性を有する絶縁膜３０が形成される。
【００６１】
なお、絶縁膜３０を形成するに際しては、少なくともブリッジ配線１１上の領域において液滴を隙間無く配置することが好ましい。これにより、ブリッジ配線１１に達する孔やクラックのない絶縁膜３０を形成することができ、絶縁膜３０における絶縁不良やブリッジ配線２１の断線が防止される。
また、液滴吐出ヘッド１００１の加熱中は、液滴吐出工程の前後においてクリーニング機構１００８のキャップにより吐出ノズルを覆うことで、吐出ノズルからの機能液の蒸発を防止することができる。
【００６２】
続いて、図７（ｃ）に示すように、引き回し配線６０上の領域に対しても液滴を選択的に配置する。その後、基板１上の液体材料を加熱し、乾燥固化することで、引き回し配線６０を覆う配線保護膜６２が形成される。
上記液体材料としては、例えば、ポリシロキサンを含む液体材料や、ポリイミド樹脂、アクリル系樹脂、又はアクリルモノマーを含む液体材料を用いることができる。
絶縁膜形成インクを構成する液性媒体としては、例えば、エステル化合物、エーテル化合物、ヒドロキシケトン、炭酸ジエステル、環状アミド化合物等を用いることができ、中でも、〔１〕多価アルコール（例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブチレングリコール、グリセリン等）の縮合物としてのエーテル（多価アルコールエーテル）や、多価アルコールまたは多価アルコールエーテルのアルキルエーテル（例えば、メチルエーテル、エチルエーテル、ブチルエーテル、ヘキシルエーテル等）、エステル（例えば、ホルメート、アセテート、プロピオネート等）、〔２〕多価カルボン酸（例えば、こはく酸、グルタル酸等）のエステル（例えば、メチルエステル等）、〔３〕分子内に少なくとも１つの水酸基と少なくとも１つのカルボキシル基とを有する化合物（ヒドロキシ酸）のエーテル、エステル等、〔４〕多価アルコールとホスゲンとの反応で得られるような化学構造を有する炭酸ジエステルが好ましい。液性媒体として用いることのできる化合物としては、例えば、２−（２−メトキシ−１−メチルエトキシ）−１−メチルエチルアセテート、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、４−メチル−１，３−ジオキソラン−２−オン、ビス（２−ブトキシエチル）エーテル、グルタル酸ジメチル、エチレングリコールジｎ−ブチレート、１，３−ブチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、１，６−ジアセトキシヘキサン、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、ブトキシプロパノール、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルブチルエーテル、トリエチレングリコールメチルエチルエーテル、トリエチレングリコールメチルブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、３−エトキシプロピオン酸エチル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、３−メトキシブチルアセテート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、オクタン酸エチル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテル、酢酸シクロヘキシル、こはく酸ジエチル、エチレングリコールジアセテート、プロピレングリコールジアセテート、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン、こはく酸ジメチル、１−ブトキシ−２−プロパノール、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、３−メトキシブチルアセテート、ジアセチン、ジプロピレングリコールモノｎ−プロピルエーテル、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル、ブチルグリコレート、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、ジプロピレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、トリエチレングリコールブチルメチルエーテル、ビス（２−プロポキシエチル）エーテル、ジエチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル、ジエチレングリコールブチルエチルエーテル、ジエチレングリコールブチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールエチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールメチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールプロピルエーテルアセテート、トリエチレングリコールメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールエチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールプロピルエーテルアセテート、トリエチレングリコールブチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールブチルエチルエーテル、トリエチレングリコールエチルメチルエーテル、トリエチレングリコールエチルプロピルエーテル、トリエチレングリコールメチルプロピルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ｎ−ノニルアルコール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコール２−エチルヘキシルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−２−エチルヘキシルエーテル、トリプロピレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、ブチルセロソルブアセテート、γ−ブチロラクトン、Ｎメチル−ピロリドン等が挙げられ、これらから選択される１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００６３】
中でも、液性媒体としては、炭酸エチレン（以下、適宜、ＥＣ、と称する）、炭酸プロピレン（以下、適宜、ＰＣ、と称する）、オクタン酸エチル（以下、適宜、ＥＯ、と称する）、ジエチレングリコールブチルエーテルアセテート（以下、適宜、ＢＣＡ、と称する）、エチレングリコールブチルエーテルアセテート（以下、適宜、ＢＭＧＡと称する）、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート（以下、適宜、ＰＥＧＭＥＡ、と称する）、ジエチレングリコールジメチルエーテル（以下、適宜、ＥＤＭ、と称する）、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル（以下、適宜、ＢＤＭ、と称する）、ジエチレングリコールジブチルエーテル（以下、適宜、ＢＤＢ、と称する）、トリエチレングリコールブチルメチルエーテル（以下、適宜、ＢＴＭ、と称する）、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（以下、適宜、ＤＰＭＡ、と称する）、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル（以下、適宜、ＴＰＭ、と称する）、エチレングリコールブチルエーテル（以下、適宜、ＢＣ、と称する）、ジアセトンアルコール（以下、適宜、ＤＡＡ、と称する）よりなる群から選択される１種または２種以上を含むことが好ましく、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートを含むことがより好ましい。
【００６４】
これらの化合物は、比重が０．９から１．２程度であり、粘度が低く、上述したような絶縁膜形成材料との親和性が高い。このため、絶絶縁膜形成材料は液性媒体に好適に溶解／分散することができる。また、液性媒体が上記のような低粘度の化合物で構成されたものであると、加熱した状態において流動性が向上するため液性媒体の供給が滞ることなく、液滴吐出ヘッドにおける目詰まり等をより効果的に防止することができる。
また、上述した中でも、液性媒体が沸点の高いＢＭＧＡ、ＢＣＡ、ＥＣ、ＰＣ、ＢＤＭ、ＢＤＢ、ＢＴＭ、ＴＰＭ、ＥＯ、ＢＤＢ，ＤＰＭＡを含むものである場合、絶縁膜形成用インクがノズルの近傍で非常に乾燥しにくくなり、インク付与工程における飛行曲がりの発生がより効果的に抑制される。
【００６５】
液性媒体の大気圧（１気圧）下における沸点は、１８０〜３００℃であるのが好ましく、１８０〜２９０℃であるのがより好ましく、２００〜２８０℃であるのがさらに好ましい。液性媒体の大気圧下における沸点が前記範囲内の値であると、縁膜形成用インクを吐出する液滴吐出ヘッドにおける乾燥による目詰まり等をより効果的に防止することができ、生産性を特に優れたものとすることができる。
【００６６】
また、液性媒体の２５℃における蒸気圧は、０．７ｍｍＨｇ以下であるのが好ましく、０．１ｍｍＨｇ以下であるのがより好ましい。液性媒体の蒸気圧が前記範囲内と値であると、絶縁膜形成用インクを吐出する液滴吐出ヘッドにおける乾燥による目詰まり等をより効果的に防止することができ、絶縁膜の生産性を特に優れたものとすることができる。
【００６７】
絶縁膜形成用インク中における液性媒体の含有率は、２〜９０ｗｔ％であるのが好ましく、１０〜８５ｗｔ％であるのがより好ましく、３０〜８０ｗｔ％であるのがさらに好ましい。液性媒体の含有率が前記範囲内の値であると、縁膜形成用インクの液滴吐出ヘッドからの吐出性を特に優れたものとしつつ、製造される絶縁膜の厚みを均等に整えることが可能であり、耐久性を優れたものとすることができる。
【００６８】
次に、ブリッジ配線形成工程Ｓ４０に移行する。
ブリッジ配線形成工程Ｓ４０では、図７（ｄ）及び図９（ｃ）に示すように、隣り合って配置された島状電極部２２上と絶縁膜３０上とにわたって、ＩＴＯ粒子を含む液体材料の液滴を配線形状に配置する。その後、基板１上の液体材料を乾燥固化する。これにより、島状電極部２２同士を接続するブリッジ配線２１が形成される。ブリッジ配線２１の形成に用いる液体材料としては、上記したＩＴＯ粒子を含む液体材料のほか、ＩＺＯ（登録商標）粒子や、ＺｎＯ粒子を含む液体材料を用いて形成することもできる。また、ポリチオフェン、ポリアニリン系の有機高分子からなる透明導電膜を形成してもよく、有機高分子が水や溶剤に溶解した液体を配置した場合は１２０℃で３０分程度の低温での焼成が必要である。
【００６９】
ブリッジ配線２１を形成するに際しては、図９（ｃ）に示すように、ブリッジ配線形成工程Ｓ４０で、電極成膜工程Ｓ１０と同一の液体材料を用いてブリッジ配線２１を形成することが好ましい。すなわち、ブリッジ配線２１の構成材料には、Ｘ電極１０や島状電極部２２の構成材料と同一の材料を用いることが好ましい。
【００７０】
次に、平坦化膜形成工程Ｓ５０に移行する。
平坦化膜形成工程Ｓ５０では、図８（ａ）に示すように、基板１の機能面１ａを平坦化させる目的で、絶縁材料からなる平坦化膜４０を機能面１ａのほぼ全面に形成する。
平坦化膜４０は、絶縁膜形成工程Ｓ３０で用いた絶縁膜３０形成用の液体材料と同様の液体材料を用いて形成することができるが、基板１表面の平坦化を目的としているため、樹脂材料を用いて形成することが好ましい。
【００７１】
次に、保護基板接合工程Ｓ６０に移行する。
保護基板接合工程Ｓ６０では、図８（ｂ）に示すように、別途用意した保護基板５０と平坦化膜４０との間に接着剤を配置し、かかる接着剤からなる接着層５１を介して保護基板５０と平坦化膜４０とを貼り合わせる。保護基板５０は、ガラスやプラスチック等からなる透明基板のほか、偏光板や位相差板などの光学素子基板であってもよい。接着層５１を構成する接着剤としては、透明な樹脂材料などを用いることができる。
【００７２】
次に、シールド層形成工程Ｓ７０に移行する。
シールド層形成工程Ｓ７０では、図８（ｃ）に示すように、基板１の裏面１ｂ（機能面１ａとは反対側の面）に導電膜で構成されたシールド層７０を形成する。シールド層７０は、真空成膜法、スクリーン印刷法、オフセット法、液滴吐出法などの公知の成膜法を用いて形成することができる。例えばシールド層７０を液滴吐出法などの印刷法を用いて形成する場合には、電極成膜工程Ｓ１０、及びブリッジ配線形成工程Ｓ４０で使用されるＩＴＯ粒子等を含む液体材料を用いることができる。
また、基板１に対する成膜によりシールド層７０を形成する方法のほかにも、一面又は両面に導電膜が成膜されたフィルムを別途用意し、かかるフィルムを基板１の裏面１ｂに貼り合わせることでフィルム上の導電膜をシールド層７０としてもよい。
【００７３】
なお、本実施形態では、シールド層７０をタッチパネル製造工程の最後に実施することとしているが、シールド層７０は任意のタイミングで形成することができる。例えば、予めシールド層７０が形成された基板１を電極成膜工程Ｓ１０以降の工程に供することもできる。また、電極成膜工程Ｓ１０〜保護基板接合工程Ｓ６０までの任意の工程の間にシールド層形成工程を配してもよい。
【００７４】
また、本実施形態においては、基板１の裏面１ｂにシールド層７０を形成しているが、図３に示した変形例に係るタッチパネル１００Ａのように基板１の機能面１ａ側にシールド層７０Ａを形成する場合には、電極成膜工程Ｓ１０に先立って、シールド層７０Ａを形成する工程と、絶縁膜８０Ａを形成する工程とを実行する。この場合にも、シールド層７０Ａは、シールド層形成工程Ｓ７０と同様の手法によって形成することができる。また、絶縁膜８０Ａの形成工程は、例えば絶縁膜形成工程Ｓ３０と同様とすることができる。
【００７５】
以上に詳細に説明したタッチパネル１００の製造方法によれば、以下の効果を得ることができる。
まず、本実施形態の製造方法では、Ｘ電極１０（島状電極部１２、ブリッジ配線１１）と、Ｙ電極２０を構成する島状電極部２２とを基板１上の同一面に形成し、その後に、ブリッジ配線１１上の領域に液滴吐出法を用いて絶縁膜３０を形成し、その後さらに液滴吐出法を用いて島状電極部２２を接続するブリッジ配線２１を形成する。このようにＸ電極１０と交差するＹ電極２０の接続構造を、印刷法である液滴吐出法を用いて形成することで、従来に比して工数を削減することができ、タッチパネルの製造コストを抑えることができる。
【００７６】
さらに詳しく説明すると、従来の接続構造の形成工程では、図７（ａ）に示した工程の後に、（１）Ｘ電極１０及び島状電極部２２を覆う層間絶縁膜を形成する工程と、（２）隣り合う島状電極部２２にブリッジ配線を架設するためのコンタクトホールを層間絶縁膜に形成する工程と、（３）コンタクトホールを含む領域にブリッジ配線をパターン形成して島状電極部２２同士を接続する工程と、を実施していた。
【００７７】
上述した従来工程と本実施形態の工程とを比較すれば明らかなように、本実施形態に係る製造方法では、従来工程における層間絶縁膜にコンタクトホールを形成するためのフォトリソグラフィー工程（及びエッチング工程）が不要になり、さらに、ブリッジ配線をパターン形成するためのフォトリソグラフィー工程及びエッチング工程も不要になる。
したがって、本実施形態の製造方法によれば、特にコストのかかるフォトリソグラフィー工程を削減することができ、タッチパネルの製造コストを低減することができる。また、液滴吐出法では、それぞれの膜を形成する領域にのみ選択的に液滴を配置するので、材料の使用量を抑えることができ、原材料費の点でも製造コスト低減に寄与する。
【００７８】
（実施例）
（１）絶縁膜形成材料（分子量２５００） が濃度３６％の機能液を用い、液滴吐出ヘッド１００１を５０℃に加熱したときの機能液は粘度１３．５ｍＰａ・Ｓであった。また、温度が室温（例えば２３℃）の基板１上における上記機能液の粘度は４５ｍＰａ・ｓであった。
（２）上記（１）と同じ絶縁膜形成材料が濃度４５％の機能液を用い、液滴吐出ヘッド１００１を５５℃に加熱したときの機能液は粘度１２．１ｍＰａ・Ｓであった。また、温度が３０℃の基板１上における上記機能液の粘度は７０ｍＰａ・ｓであった。
（３）絶縁膜形成材料（分子量１２００） が濃度６５％の機能液を用い、液滴吐出ヘッド１００１を４８℃に加熱したときの機能液は粘度１４．０ｍＰａ・Ｓであった。また、温度が２０℃の基板１上における上記機能液の粘度は１４０ｍＰａ・ｓであった。
上記の実施例（１）〜（３）ではいずれの場合も液滴吐出ヘッド１００１から支障なく機能液の液滴を吐出でき、また平坦性に優れた絶縁膜３０を形成することができた。
（比較例１）絶縁膜形成材料（分子量２５００） が濃度２８％の機能液を用い、液滴吐出ヘッド１００１を３５℃に加熱したときの機能液は粘度１７．２ｍＰａ・Ｓであったが、機能液の粘度が高く吐出安定性に関して不良であった。
【００７９】
このように、本実施形態では、基板１での流動特性を考慮して高濃度で絶縁膜形成材料が含まれる機能液を吐出する場合でも、液滴吐出ヘッド１００１を加熱するため、高濃度で絶縁膜形成材料を含む機能液を用いる場合でも、支障なく液滴として吐出することが可能となる。そのため、本実施形態では、吐出した機能液を大きく濡れ拡がらせる前に短時間で乾燥させて流動性を低減させることが可能となり、膜端部における溶媒の乾燥で生じる滲み上がりが生じることを抑制できる。そのため、本実施形態では屈曲することなく絶縁膜３０上にブリッジ配線２１を形成することができ、断線の危険性が増すことなく、高品質で歩留まりの良いタッチパネルを得ることができる。
【００８０】
また、本実施形態では、基板１の温度との差が所定温度以上となるように、液滴吐出ヘッド１００１を加熱することにより、支障なく機能液を基板に吐出させることが可能になるとともに、着弾した機能液を所定温度以下に低下させて高粘度化させることができる。
この場合、予め機能液の種類に応じて基板１と液滴吐出ヘッド１００１との間に必要な温度差を求めておき、それぞれの温度（すなわち温度差）を管理することにより、機能液の流動特性を制御して、製造効率の向上を図ることができる。
【００８１】
［表示装置］
次に、本発明のタッチパネルを備えた表示装置について説明する。本実施形態では、表示装置の一例として、タッチパネルを備えた液晶表示装置について説明する。図１０は本発明の１実施形態である液晶表示装置５００の模式図であり、（ａ）平面図（ｂ）平面図におけるＨ−Ｈ’断面図を示している。
【００８２】
液晶表示装置５００は、図１０（ａ）に示すように、素子基板４１０、対向基板４２０、及び画像表示領域４１０ａを有している。
素子基板４１０は対向基板４２０に比して広い平面領域を有した矩形状の基板である。
対向基板４２０は液晶表示装置５００における画像表示側であり、ガラスやアクリル樹脂などで形成された透明な基板である。対向基板４２０は、シール材４５２を介して素子基板４１０の中央部に接合されている。
画像表示領域１０ａは、対応基板４２０の平面領域であって、シール材４５２の内周に沿って設けられた周辺見切り４５３の内側領域である。
【００８３】
素子基板４１０における対向基板４２０の周辺には、データ線駆動回路４０１、走査線駆動回路４０４、データ線駆動回路４０１及び走査線駆動回路４０４と接続された接続端子４０２、及び対向基板４２０に対して対向して配置された走査線駆動回路４０４同士を接続する配線４０５などが配置されている。
【００８４】
次に、液晶表示装置５００の断面について説明する。
素子基板４１０の液晶層４５０側の面には、画素電極４０９及び配向膜４１８などが積層されている。
対向基板４２０の液晶層４５０側の面には、遮光膜（ブラックマトリクス）４２３、カラーフィルタ４２２、共通電極４２５、及び配向膜４２９などが積層されている。
液晶層４５０が、素子基板４１０及び対向基板４２０によって挟持されている。
そして、対向基板４２０の外側（液晶層４５０反対側）の面には、接着層１０１を挟んで本発明のタッチパネル１００が配置されている。
【００８５】
以上説明した液晶表示装置によれば、以下の効果を得ることができる。
液晶表示装置５００に設けられたタッチパネル１００は、液滴吐出法によって位置検出用の電極及び電極を交差させる絶縁膜が形成されている。これにより、タッチパネルの製造に係るコストが低減されているので、製造コストを抑えた液晶表示装置とすることができる。
また、液晶表示装置に設けるタッチパネルは、第１の実施形態の変形例であるタッチパネル１００Ａ、あるいは第２の実施形態のタッチパネル２００であってもよい。これらのタッチパネルも、液滴吐出法によって成膜する工程によって製造されており、製造コストが低減されている。したがって、液晶表示装置の製造コストを抑えることができる。
【００８６】
また本実施形態の液晶表示装置においては、対向基板４２０の外側（液晶層４５０と反対側）の面にタッチパネルの各層が形成されていることが好ましい。これによれば、液晶表示装置の対向基板４２０とタッチパネルの基板１とを共通化することができ、より製造コストを低減することができるとともに、液晶表示装置を軽量化することができる。
また、本実施形態においては、液晶表示装置について説明したが、この以外にも、有機ＥＬ装置、電気泳動表示装置などの表示装置においても、本発明のタッチパネルを好適に用いることができる。
【００８７】
次に、本発明のタッチパネル又はタッチパネルを備えた液晶表示装置を有する電子機器の例について説明する。図１１は、モバイル型パーソナルコンピュータ１１００を示す斜視図である。モバイル型パーソナルコンピュータ１１００は、表示部１１０１と、キーボード１１０２を有する本体部１１０３とを備えている。モバイル型パーソナルコンピュータ１１００は、上記実施形態の液晶表示装置５００を表示部１１０１に備えている。
このような構成を備えたモバイル型パーソナルコンピュータ１１００によれば、本発明のタッチパネルが表示部に用いられているので、製造コストを抑えた電子機器とすることができる。
【００８８】
なお、上記の電子機器は、本発明の電子機器を例示するものであって、本発明の技術範囲を限定するものではない。例えば、携帯電話、携帯用オーディオ機器、ＰＤＡ（Personal Digital Assistant）などの表示部にも本発明に係るタッチパネルを好適に用いることができる。
【００８９】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００９０】
例えば、上記実施形態で示した材料・加熱温度等は一例であり、基板１に吐出した機能液が大きく濡れ拡がらず滲み上がりが生じない高濃度の機能液を用いる場合に、液滴として吐出可能な温度に液滴吐出ヘッド１００１を加熱するのであれば他の条件を用いてもよい。
【符号の説明】
【００９１】
１…基板、 １０…Ｘ電極（第１電極）、 １１…ブリッジ配線、 ２０…Ｙ電極（第２電極）、 ２２…島状電極部（電極膜）、 ３０…絶縁膜、 １００…タッチパネル、 １００１…液滴吐出ヘッド（吐出ヘッド）、 Ｋ…交差部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の一面側に形成され、互いに交差する方向に延在する複数の第１電極及び複数の第２電極を有するタッチパネルの製造方法であって、
前記基板上に、複数の前記第１電極と、前記第２電極を前記第１電極との交差部で分断して離間する形状の電極膜とを形成する電極成膜工程と、
少なくとも前記交差部の前記第１電極上に印刷法を用いて絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、
前記交差部で離間する前記第２電極の間を前記絶縁膜上を経由して接続するブリッジ配線を印刷法を用いて形成するブリッジ配線形成工程とを有し、
前記絶縁膜形成工程は、絶縁膜形成材料を含む機能液の流動特性に基づいて、前記機能液の液滴を吐出する吐出ヘッドを加熱する加熱工程と、
加熱された前記機能液を前記基板に向けて吐出する吐出工程とを有することを特徴とするタッチパネルの製造方法。
【請求項２】
請求項１記載のタッチパネルの製造方法において、
前記機能液は、前記基板に着弾した前記液滴の前記流動特性に基づく濃度で前記絶縁膜形成材料を含み、
前記加熱工程では、前記流動特性に基づく濃度で前記絶縁膜形成材料を含む前記機能液の吐出特性に基づいて、前記吐出ヘッドを加熱することを特徴とするタッチパネルの製造方法。
【請求項３】
請求項１記載のタッチパネルの製造方法において、
前記基板の温度との差が所定温度以上となるように、前記吐出ヘッドを加熱することを特徴とするタッチパネルの製造方法。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載の製造方法によりタッチパネルを製造する工程を有することを特徴とする表示装置製造方法。
【請求項５】
請求項４記載の製造方法により表示装置を製造する工程を有することを特徴とする電子機器製造方法。
【請求項１】
基板の一面側に形成され、互いに交差する方向に延在する複数の第１電極及び複数の第２電極を有するタッチパネルの製造方法であって、
前記基板上に、複数の前記第１電極と、前記第２電極を前記第１電極との交差部で分断して離間する形状の電極膜とを形成する電極成膜工程と、
少なくとも前記交差部の前記第１電極上に印刷法を用いて絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、
前記交差部で離間する前記第２電極の間を前記絶縁膜上を経由して接続するブリッジ配線を印刷法を用いて形成するブリッジ配線形成工程とを有し、
前記絶縁膜形成工程は、絶縁膜形成材料を含む機能液の流動特性に基づいて、前記機能液の液滴を吐出する吐出ヘッドを加熱する加熱工程と、
加熱された前記機能液を前記基板に向けて吐出する吐出工程とを有することを特徴とするタッチパネルの製造方法。
【請求項２】
請求項１記載のタッチパネルの製造方法において、
前記機能液は、前記基板に着弾した前記液滴の前記流動特性に基づく濃度で前記絶縁膜形成材料を含み、
前記加熱工程では、前記流動特性に基づく濃度で前記絶縁膜形成材料を含む前記機能液の吐出特性に基づいて、前記吐出ヘッドを加熱することを特徴とするタッチパネルの製造方法。
【請求項３】
請求項１記載のタッチパネルの製造方法において、
前記基板の温度との差が所定温度以上となるように、前記吐出ヘッドを加熱することを特徴とするタッチパネルの製造方法。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載の製造方法によりタッチパネルを製造する工程を有することを特徴とする表示装置製造方法。
【請求項５】
請求項４記載の製造方法により表示装置を製造する工程を有することを特徴とする電子機器製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１０−２６７２２３（Ｐ２０１０−２６７２２３Ａ）
【公開日】平成２２年１１月２５日（２０１０．１１．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１２０２２６（Ｐ２００９−１２０２２６）
【出願日】平成２１年５月１８日（２００９．５．１８）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１１月２５日（２０１０．１１．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年５月１８日（２００９．５．１８）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]