ナノインプリント用モールド搬送装置および転写方法
【課題】連続処理が可能で、かつモールドや被転写体を損傷しない転写装置のナノインプリント用モールド搬送装置。
【解決手段】搬送装置３はローラ２１ａ、２１ｂを有し、ローラ２１ａ、２１ｂには、搬送ベルト１３が巻きつけられている。ローラ２１ａ、２１ｂがＡ１、Ａ２方向に回転すると、搬送ベルト１３はＢ方向に移動し、被転写体９を搬送する。搬送装置３の上方にはベルト１１が設けられている。ベルト１１はローラ２３ａ、２３ｂに巻きつけられており、ローラ２３ａ、２３ｂがＣ１、Ｃ２方向に移動することにより、Ｂ方向に移動する。ベルト１１の表面には複数のモールド１５が設けられている。転写の際は、搬送ベルト１３およびベルト１１をＢ方向に移動させながら、モールド１５をアクチュエータを用いて下降させ、被転写体９に押圧することにより、転写形状を連続して形成する。
【解決手段】搬送装置３はローラ２１ａ、２１ｂを有し、ローラ２１ａ、２１ｂには、搬送ベルト１３が巻きつけられている。ローラ２１ａ、２１ｂがＡ１、Ａ２方向に回転すると、搬送ベルト１３はＢ方向に移動し、被転写体９を搬送する。搬送装置３の上方にはベルト１１が設けられている。ベルト１１はローラ２３ａ、２３ｂに巻きつけられており、ローラ２３ａ、２３ｂがＣ１、Ｃ２方向に移動することにより、Ｂ方向に移動する。ベルト１１の表面には複数のモールド１５が設けられている。転写の際は、搬送ベルト１３およびベルト１１をＢ方向に移動させながら、モールド１５をアクチュエータを用いて下降させ、被転写体９に押圧することにより、転写形状を連続して形成する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ナノインプリント技術を用いて半導体等の基板上に形状を転写する転写装置のナノインプリント用モールド搬送装置および転写装置を用いた転写方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体基板上に回路のパターン形状を転写する技術としては、フォトリソグラフィが知られている。
フォトリソグラフィは、半導体基板上に感光剤であるレジストを塗布し、フォトマスクを介してパターン形状を露光によって転写し、その後、レジストを除去することによって、半導体基板上に所望のパターン形状を転写する技術である。
【０００３】
一方、近年では半導体基板の低コスト化、高精度化の要求が高まっている。
しかしながら、フォトリソグラフィは工程が多岐に渡り、生産性が悪く、また、転写形状の微細化によって、要求される寸法精度が、露光に用いられる光源の波長に近づいていることなどから、これ以上の低コスト化、高精度化は困難となってきている。
【０００４】
そこで、フォトリソグラフィに代わる技術として、ナノインプリントと呼ばれる技術が近年注目されている。
【０００５】
ナノインプリントは、パターン形状の転写をインプリント用のモールド、すなわち型で行う技術であり、転写形状が形成されたモールドをレジスト等の被転写体表面に押し付け、押し付けた状態で被転写体の表面を硬化させることによって、被転写体上に転写形状を形成する。
【０００６】
ナノインプリントはフォトリソグラフィと比べて、装置の構造が単純であり、かつ高精度を実現できるため、低コスト、高精度の技術として注目されている。
【０００７】
ここで、ナノインプリント用のモールドは、従来、平板上に形成され、平板を被転写体表面に押し付けることによって形状を転写していた。
【０００８】
一方、このような転写装置では、連続処理ができず、生産性が悪いため、円筒状のローラの表面にモールドを設け、これを回転させながら被転写体上に連続して形状を転写する転写装置が開発されており、以下のようなものが知られている（特許文献１）。
【特許文献１】特開２００１-１９８９７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、円筒状のローラでは、被転写体とモールドの接触が線接触である。
そのため、連続処理を行うと接触時間が短く、被転写体が硬化する前にモールドと被転写体が分離してしまい、被転写体上の転写形状が崩れてしまうおそれがある。
【００１０】
従って、被転写体が硬化するまでの間は、モールドと被転写体とを接触させた状態で、ローラの回転を停止していなければならず、実際には連続処理ができなかった。
【００１１】
また、被転写体からモールドを分離する際には、円筒状のモールドでは垂直に分離することができないため、被転写体からモールドが垂直でない角度をもって分離されることになる。
従って、アスペクト比の大きい転写形状の場合は、分離の際に、モールドや被転写体が損傷してしまうという問題があった。
【００１２】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的は連続処理が可能で、かつモールドや被転写体を損傷しない転写装置のナノインプリント用モールド搬送装置等を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
第１の発明は、被転写体上に、転写形状を有するモールドを押圧することによって、前記被転写体上に転写形状を形成するナノインプリント用転写装置に用いられるナノインプリント用モールド搬送装置であって、被転写体が載置された面に対向して設けられ、連続して移動可能なベルトと、前記ベルトの前記被転写体と対向する面に設けられ、転写形状を有するモールドと、前記モールドを前記被転写体に押圧する押圧手段と、を具備することを特徴とするナノインプリント用モールド搬送装置である。
【００１４】
前記ベルトは、一対の第１のローラに巻きつけられ、一対の前記第１のローラの回転によって連続して移動させる。前記ベルトは、板状部材をつなぎ合わせた構造を有し、前記ローラは、多角形の角柱形状を有していてもよい。
前記ベルトは、複数の板状部材を、前記被転写体を載置する面と平行な面内で連結した環状構造を有しており、前記モールド搬送装置は、前記ベルトを前記被転写体を載置する面と平行な面内で回転させる回転手段を具備し、前記回転手段により前記ベルトを回転させることにより、前記ベルトが連続して移動してもよい。
【００１５】
前記押圧手段は、前記モールドを前記被転写体に対して略垂直に上下動させることが可能なアクチュエータであり、前記アクチュエータによって、前記モールドを下降させることにより、前記モールドが前記被転写体の表面に略垂直に押圧され、前記モールドは、複数個に分割され、前記アクチュエータは、分割された個々の前記モールドごとに、前記ベルトに設けられ、分割された個々の前記モールドが独立して前記アクチュエータにより上下動可能であってもよい。
【００１６】
第２の発明は、被転写体を搬送する搬送装置と、前記搬送装置の前記被転写体を載置する面に対向して設けられ、前記搬送装置の搬送方向に移動可能なベルトと、前記ベルトの前記搬送装置と対向する面に設けられ、転写形状を有するモールドと、前記モールドを前記被転写体に押圧する押圧手段と、を具備するナノインプリント用転写装置を用いて、前記転写形状を前記被転写体上に転写する転写方法であって、前記ベルトを前記被転写体の搬送方向に移動させながら、前記モールドを、前記押圧手段を用いて前記被転写体に押圧することにより、前記転写形状を前記被転写体上に連続して転写することを特徴とする転写方法である。
【００１７】
前記ベルトは、一対の第１のローラに巻きつけられ、一対の前記第１のローラの回転によって連続して移動させる。前記ベルトは、板状部材をつなぎ合わせた構造を有し、前記ローラは、多角形の角柱形状を有していてもよい。
前記ベルトは、複数の板状部材を、前記搬送装置の前記被転写体を載置する面と平行な面内で連結した環状構造を有しており、前記ベルトを、前記被転写体を載置する面と平行な面内で回転させることにより、前記ベルトが移動してもよい。
【００１８】
前記押圧手段は、前記モールドを前記被転写体に対して略垂直に上下動させることが可能なアクチュエータであり、前記アクチュエータによって、前記モールドを下降させることにより、前記モールドが前記被転写体の表面に略垂直に押圧され、前記モールドは、複数個に分割され、前記アクチュエータは、分割された個々の前記モールドごとに、前記ベルトに設けられ、分割された個々の前記モールドが独立して前記アクチュエータにより上下動可能であってもよい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明では転写装置が、表面にモールドが設けられたベルトを備えており、ベルトを被転写体の搬送方向に移動させながら、モールドを被転写体の表面に接触させて転写を行うため、モールドが被転写体と面接触する。
【００２０】
従って、円筒状のモールドを用いた場合と比べてモールドと被転写体の接触時間を長くできるため、モールドと被転写体の接触中に被転写体を硬化させることができ、連続処理が可能となり、生産性が改善される。
【００２１】
また、本発明によれば、転写装置がモールドを被転写体から略垂直に分離する。
従って、分離の際に、モールドや被転写体が損傷するのを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】転写装置１を示す側面図
【図２】図１の搬送装置３とモールド搬送装置５の境界近傍の拡大断面図
【図３】図２の変形例
【図４】転写の際の転写装置１の動作を示す拡大断面図
【図５】転写の際の転写装置１の動作を示す拡大断面図
【図６】転写の際の転写装置１の動作を示す拡大断面図
【図７】転写の際の転写装置１の動作を示す拡大断面図
【図８】モールド搬送装置５ａを示す図
【図９】転写装置１の転写時の変形例を示す図
【図１０】転写装置１ａを示す側面断面図
【図１１】転写装置１ｂを示す側面図
【図１２】図１１の搬送装置３とモールド搬送装置５ｂの境界近傍の拡大断面図
【図１３】図１１の搬送装置３とモールド搬送装置５ｂの境界近傍の拡大断面図
【図１４】転写装置１ｃを示す側面図
【図１５】図１４の搬送装置３とモールド搬送装置５ｃの境界近傍の拡大断面図
【図１６】図１４の搬送装置３とモールド搬送装置５ｃの境界近傍の拡大断面図
【図１７】転写装置１ｄを示す側面図
【図１８】図１７のＧ方向矢視図
【図１９】転写装置１ｅを示す側面図
【図２０】図１９のＧ２方向矢視図
【図２１】図１９のローラ６１ａ付近の拡大断面図
【図２２】図１９のローラ６１ｂ付近の拡大断面図
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面に基づいて本発明に好適な実施形態を詳細に説明する。
図１は、第１の実施形態に係る転写装置１を示す側面図であって、図２は図１の搬送装置３とモールド搬送装置５の境界近傍の拡大断面図である。
また図３は図２の変形例である。
【００２４】
図１に示すように、転写装置１は搬送装置３を有している。
搬送装置３は円筒状のローラ２１ａ、２１ｂを有し、ローラ２１ａ、２１ｂには、帯状の搬送ベルト１３が巻きつけられている。
そして、ローラ２１ａ、２１ｂと搬送ベルト１３とで搬送装置３を構成している。
【００２５】
ローラ２１ａ、２１ｂは図示しないフレーム等に軸支されており、図１のＡ１、Ａ２方向に回転可能である。
即ち、ローラ２１ａ、２１ｂがＡ１、Ａ２方向に回転すると、搬送ベルト１３はＢ方向に移動する。
【００２６】
搬送ベルト１３は被転写体９を搬送するベルトであり、上面には長尺状の被転写体９が載置されている。
即ち、搬送ベルト１３がＢ方向に移動することによって、搬送装置３は被転写体９をＢ方向に搬送する。
【００２７】
被転写体９は半導体基板等であり、図２に示すように、シリコン等の基板９ｂ上に、感光剤であるレジスト９ａが塗布された構造を有している。
レジスト９ａは、第１の実施形態においては、熱により軟化する性質を有する樹脂である。
【００２８】
一方、図１および図２に示すように、搬送装置３の上方には、搬送ベルト１３と対向するように、帯状のベルト１１がさらに設けられている。
また、搬送装置３の上方には、円筒状のローラ２３ａ、２３ｂが設けられている。
ベルト１１はローラ２３ａ、２３ｂに巻きつけられている。
なお、ベルト１１は請求項１に記載されたベルトに対応する部材である。
【００２９】
ローラ２３ａ、２３ｂは図示しないフレーム等に軸支されており、それぞれＣ１、Ｃ２方向に回転可能である。
即ち、ローラ２３ａ、２３ｂがＣ１、Ｃ２方向に回転することにより、ベルト１１の、搬送ベルト１３と対向する面はＢ方向に移動する。
そして、ベルト１１、ローラ２３ａ、２３ｂとでモールド搬送装置５を構成している。
【００３０】
図２に示すように、ベルト１１の搬送ベルト１３と対向する面には、複数のアクチュエータ１７を介して複数のモールド１５が設けられている。
モールド１５の表面には転写形状１９が設けられている。
【００３１】
モールド１５は、レジスト９ａ上に転写形状１９を転写する部材であり、転写形状１９は例えば半導体基板のパターン形状等である。
モールド１５を構成する材料は、微細加工が容易で、かつ転写時の摩耗やせん断に耐えうる材料が好ましい。
【００３２】
このような条件を満たす材料としては、例えばシリコン、チタン、アルミニウム、ニッケル、銅、炭化シリコン、窒化シリコン、ガラス、ダイヤモンド、ダイヤモンドライクカーボン、立方晶窒化ホウ素、樹脂およびこれらを含む化合物、合金等が挙げられる。
【００３３】
一方、第１の実施形態のように、レジスト９ａが熱により軟化する性質を有する樹脂の場合は、後述するように、転写の際にレジスト９ａが加熱されるため、モールド１５が熱の影響を受ける。
そのため、モールド１５を構成する材料には、さらに耐熱性が求められる。
【００３４】
従って、上記の材料のうち、シリコン、チタン、アルミニウム、ニッケル、銅、炭化シリコン、窒化シリコン、ガラス、ダイヤモンド、ダイヤモンドライクカーボン、立方晶窒化ホウ素およびこれらを含む化合物、合金等を用いるのが望ましい。
【００３５】
アクチュエータ１７は、モールド１５を移動させるための駆動部材であり、モールド１５を図２のＤ１、Ｄ２方向に移動可能である。
従って、アクチュエータ１７がモールド１５をＤ１方向に下降させることによって、モールド１５をレジスト９ａ上に略垂直に押圧することができ、押圧されたモールド１５は転写形状１９をレジスト９ａ上に転写する。
【００３６】
一方、モールド１５がレジスト９ａに押圧された状態で、アクチュエータ１７がモールド１５をＤ２方向に上昇させることによって、モールド１５をレジスト９ａ上に略垂直に分離することができる。
また、図３に示すように、アクチュエータ１７はモールド１５を図２のＥ１、Ｅ２方向に傾斜させ、モールド１５の表面がレジスト９ａの表面に対して角度θをなすようにすることも可能であるが、傾斜させる理由は後述する。
【００３７】
さらに、図１および図２に示すように、搬送ベルト１３で囲まれた空間の内部で、かつモールド搬送体５の下部には、加熱部３３、冷却部３７および断熱部３５が設けられている。
加熱部３３、冷却部３７および断熱部３５は、搬送ベルト１３のうち、被転写体９が載置された面の裏面に近接して設けられている。
【００３８】
加熱部３３、冷却部３７および断熱部３５は、レジスト９ａを軟硬化させるための装置であり、このうち、加熱部３３は、ローラ２１ｂ寄りの場所に設けられている。
加熱部３３は例えば電熱ヒータ等である。
【００３９】
一方、冷却部３７は、かつローラ２１ａ寄りの場所に設けられている。
冷却部３７は、例えば電気式や水冷式のクーラ等である。
【００４０】
加熱部３３と冷却部３７の間には、断熱部３５が設けられており、加熱部３３と冷却部３７の間で熱の移動が起こらないようにしている。
【００４１】
即ち、加熱部３３が搬送ベルト１３を加熱することにより、被転写体９の基板９ｂが加熱され、加熱された基板９ｂがレジスト９ａを加熱する。
前述のように、レジスト９ａは熱により軟化する性質を有する樹脂であるため、加熱されると軟化する。
即ち、加熱部３３は、レジスト９ａを間接的に加熱し、軟化させる。
【００４２】
一方、冷却部３７が、搬送ベルト１３を冷却することにより、被転写体９の基板９ｂが冷却され、冷却された基板９ｂがレジスト９ａを冷却する。
即ち、冷却部３７はレジスト９ａを間接的に冷却し、硬化させる。
【００４３】
ここで、加熱部３３は、ローラ２１ｂ寄りの場所に、冷却部３７はローラ２１ａ寄りの場所設けられており、被転写体９はＢ方向に搬送される。
従って、搬送装置３上を搬送される被転写体９は、まず加熱部３３で加熱され、次いで、冷却部３７で冷却されることになる。
【００４４】
次に、転写装置１が被転写体９上に転写を行う際の動作について説明する。
図４〜図７は転写の際の転写装置１の動作を示す拡大断面図である。
【００４５】
まず、作業者、もしくは図示しない搬送機構等が、搬送装置３の搬送ベルト１３上に被転写体９を載置する。
搬送装置３のローラ２１ａ、２１ｂは、それぞれ図１のＡ１、Ａ２方向に回転し、搬送ベルト１３および搬送ベルト１３上に載置された被転写体９を、一定速度でＢ方向へ搬送する。
【００４６】
同時に、モールド搬送装置５のローラ２３ａ、２３ｂは、図１のＣ１、Ｃ２方向に回転し、それによってベルト１１の、搬送ベルト１３と対向する面は、搬送ベルト１３と略等しい速度でＢ方向に移動する。
【００４７】
図４に示すように、搬送装置３に搬送された被転写体９が、加熱部３３の上部に達すると、加熱部３３の発する熱によって、被転写体９のレジスト９ａは間接的に加熱される。
加熱されたレジスト９ａは、やがて軟化して、転写可能な状態となる。
【００４８】
レジスト９ａが転写可能な状態となると、図５に示すように、軟化したレジスト９ａ上のモールド１５ａは、アクチュエータ１７ａによってＤ１方向に下降し、レジスト９ａ上に略垂直に押圧される。
押圧されたモールド１５ａは、レジスト９ａ上に転写形状１９ａを転写する。
【００４９】
ここで、搬送ベルト１３とベルト１１は略等しい速度でＢ方向に移動しているので、レジスト９ａと押圧されたモールド１５ａとは、互いの相対位置がずれることなく、一体となってＢ方向に移動する。
【００５０】
なお、押圧の際は、図３に示すモールド１５と同様に、モールド１５ａをＥ１、Ｅ２方向に傾斜させ、モールド１５ａをレジスト９ａの表面に対して角度θを持って押圧してもよい。
【００５１】
このような押圧方法は、垂直に押圧すると、モールド１５ａとレジスト９ａの間に空気が巻き込まれて、転写形状に気泡による欠陥が生じる恐れがある場合に有効である。
【００５２】
図６に示すように、レジスト９ａがさらにＢ方向に移動し、モールド１５ａに押圧された部分が冷却部３７の上方を通過すると、冷却部３７によって被転写体９のレジスト９ａが間接的に冷却される。
冷却されたレジスト９ａは、やがて硬化して、転写形状１９ａがレジスト９ａ上に固定される。
【００５３】
なお、図６では、レジスト９ａのうち、モールド１５ａに押圧された部分の隣接部分は、加熱部３３によって加熱されて軟化している。
従って、モールド１５ａに隣接して設けられたモールド１５ｂは、アクチュエータ１７ｂによってＤ１方向に下降し、レジスト９ｂを押圧して転写形状１９ｂを転写する。
【００５４】
レジスト９ａが硬化すると、図７に示すように、モールド１５ａはアクチュエータ１７ａによってＤ２方向に略垂直に上昇し、レジスト９ａと分離する。
レジスト９ａ上には、転写形状１９ａと略等しい転写形状２５ａが転写されている。
【００５５】
このように、モールド１５ａは略垂直に上昇してレジスト９ａと分離するため、円筒状のモールドを用いた場合と比べて、分離の際にモールド１５ａや被転写体９が損傷する可能性は低い。
【００５６】
なお、モールド１５ａをレジスト９ａと分離する際は、略垂直に分離するのではなく、アクチュエータ１７ａがモールド１５ａを図７のＥ１、Ｅ２方向に傾斜させることにより、図３に示す角度θを持って分離することも可能である。
このように、角度θを持って分離することにより剥離時に必要な引き剥がし力を低減できる。
ただし、既に述べたように、角度θが大きくなるに従い、パターン形状に影響を及ぼすことが懸念されるため、配慮しなければならない。
【００５７】
一方、図７では、レジスト９ａのうち、モールド１５ｂに押圧された部分は、冷却部３３によって冷却されて硬化している。
また、モールド１５ｂに押圧された部分の隣接部分は、加熱部３３によって加熱されて軟化している。
【００５８】
以後は、搬送ベルト１３とベルト１１が略等しい速度でＢ方向に移動しつつ、レジスト９ａのうち、加熱されて軟化した部分にモールドが押圧されて、転写形状を転写し、冷却されて硬化した部分からはモールドが分離する。
【００５９】
以上の動作は連続して行われ、転写体９のレジスト９ａ表面への転写が終了するまで続けられる。
転写が終了すると、被転写体９は、図示しないロールに巻き取られるか、図示しない別の搬送装置等によって次工程に搬送される。
【００６０】
このように、転写装置１では、各モールドとレジスト９ａとは、互いに対向して設けられたベルト１１および搬送ベルト１３上に設けられ、ベルト１１および搬送ベルト１３の移動中に接触、分離する。
即ち、各モールドとレジスト９ａとは、面接触しているため、円筒状のモールドを用いる場合と比べて各モールドとレジスト９ａの接触時間が長い。
【００６１】
従って、レジスト９ａの軟化、モールドのレジスト９ａへの押圧による形状の転写、レジスト９ａの硬化、モールドのレジスト９ａからの分離、という一連の転写作業を連続して行うことができる。
【００６２】
なお、各モールドとレジスト９ａが接触可能な時間の最大値はローラ２３ａとローラ２３ｂの距離で決まり、この距離が長いほど接触可能な時間も長くなる。
【００６３】
ここで、第１の実施形態の変形例について簡単に説明する。図８はモールド搬送装置５ａを示す図、図９は転写装置１の転写時の変形例を示す図である。
【００６４】
図１におけるモールド搬送装置５では、帯状のベルト１１が円筒状のローラ２３ａ、２３ｂに巻きつけられていたが、図８に示すモールド搬送装置５ａのように、ベルト１３ａを、板状部材１４をつなぎ合わせた構造としてもよい。
また、このような形状とした場合は、ローラの形状は、円筒状ではなく、ローラ２４ａ、２４ｂのような角柱形状にしてもよい。
【００６５】
このような形状にすることにより曲げに弱い構造物を保持することが可能である。
例えば、アクチュエータのような構造物、厚みがあり脆性の大きいモールドを使用することが可能である。
なお、図８ではローラ２４ａ、２４ｂは軸方向の断面形状が８角形であるが、８角形以外の多角形でもよい。
【００６６】
次に、図１における転写装置１では１枚の長尺状の被転写体９上に、転写形状を連続して形成していたが、被転写体９は長尺状である必要はない。
例えば、図９に示すように、短尺状の被転写体１０を複数搬送装置３で搬送し、これらに同時に転写を行ってもよい。
【００６７】
具体的には、図９に示すように、棚４１ａに載置された複数の被転写体１０をロボットアームである移載装置４３ａが搬送装置３に載置する。
被転写体１０は搬送装置３上をＢ方向に搬送され、同じくＢ方向に移動しているモールド搬送装置５のベルト１１に設けられたモールド１５によって、形状を転写される。
【００６８】
形状が転写された被転写体１０は、搬送装置３の端部で、ロボットアームである移載装置４３ｂによって棚４１ｂに移動される。
その後は、被転写体１０は必要に応じて図示しない次工程に搬送される。
【００６９】
このように、第１の実施の形態によれば、転写装置１が、被転写体９を搬送する搬送装置３と、搬送装置３に対向して設けられたベルト１１を有しており、搬送装置３がＢ方向に被転写体９を搬送すると、ベルト１１もＢ方向に移動し、表面に設けられたモールド１５が被転写体９に押圧されて転写形状１９を転写する。
【００７０】
従って、被転写体９とモールド１５の接触が面接触であり、円柱状のモールドを用いた場合と比べて被転写体９とモールド１５の接触時間が長いので、転写作業を連続して行うことができる。
【００７１】
また、第１の実施形態によれば、転写後に、モールド１５を被転写体９から略垂直に分離するので、分離の際にモールド１５や被転写体９が損傷するのを防ぐことができる。
【００７２】
次に、第２の実施形態について説明する。図１０は、第２の実施形態に係る転写装置１ａを示す側面断面図である。
【００７３】
なお、第２の実施形態において、第１の実施形態に係る転写装置１と同様の機能を果たす要素には同一の番号を付し、説明を省略する。
【００７４】
第２の実施形態における転写装置１ａでは、第１の実施形態に係る転写装置１において、加熱部３３、冷却部３７、断熱部３５の代わりに露光部３５ａ、遮光部３３ａ、３７ａが設けられている。
【００７５】
第１の実施形態では、レジスト９ａとして、熱により軟化する性質を有する樹脂を用いていたが、レジスト９ａとして、熱ではなく、光により硬化する光硬化性樹脂を用いる場合がある。
【００７６】
かかる場合は、図１０に示すように、モールド１５ｂ、１５ｃとレジスト９ａが接触する部分の直下に露光部３５ａを備え、それ以外の部分には遮光部３３ａ、３７ａを備える必要がある。
【００７７】
露光部３５ａは、ハロゲンランプや水銀ランプ等の光源を備えた部位であり、これらの光源は、レジスト９ａに向けて紫外線等を照射する。
レジスト９ａは、光により硬化する光硬化性樹脂であるため、照射を受けることにより、硬化する。
なお、遮光部３３ａ、３７ａは光を遮断する部位である。
【００７８】
例えば、図１０では露光部３５ａの上部でモールド１５ｂ、１５ｃがレジスト９ａと接触しており、この状態では、露光部３５ａからの光の照射を受けることにより、レジスト９ａのうち、モールド１５ｂ、１５ｃと接する部分が硬化して、転写形状が固定される。
【００７９】
なお、露光部３５ａからの光がレジスト９ａに照射されるためには、搬送ベルト１３および基板９ｂは透明な材料で構成される必要がある。
また、外部からの迷光等が転写前にレジスト９ａを露光するのを防ぐため、転写装置１ａは、装置全体が図示しない暗箱等で覆われるのが望ましい。
【００８０】
このように、第２の実施形態によれば、転写装置１ａが、被転写体９を搬送する搬送装置３と、搬送装置３に対向して設けられたベルト１１を有しており、搬送装置３がＢ方向に被転写体９を搬送すると、ベルト１１もＢ方向に移動し、表面に設けられたモールド１５ｂ、１５ｃが被転写体９に押圧されて転写形状１９を転写する。
従って、第１の実施形態と同様の効果を奏する。
【００８１】
また、第２の実施形態によれば、被転写体９のレジスト９ａとして、光により硬化する光硬化性樹脂が用いられているため、モールド１５ｂ、１５ｃを構成する材料には必ずしも耐熱性は要求されない。
従って、モールド１５ｂ、１５ｃを構成する材料の選択肢がより広くなる。
【００８２】
次に、第３の実施形態について説明する。図１１は、第３の実施形態に係る転写装置１ｂを示す側面図であって、図１２及び図１３は、図１１の搬送装置３とモールド搬送装置５ｂの境界近傍の拡大断面図である。
【００８３】
なお、第３の実施形態において、第１の実施形態に係る転写装置１と同様の機能を果たす要素には同一の番号を付し、説明を省略する。
【００８４】
第３の実施形態における転写装置１ｂでは、ベルト１１に直接モールド４５が設けられている。
【００８５】
図１１および図１２に示すように、ベルト１１の表面にはモールド４５が設けられている。
ベルト１１で囲まれた空間の内部にはアクチュエータ４９が設けられており、アクチュエータ４９には押圧板４７が設けられている。
【００８６】
押圧板４７は、ベルト１１のうち、搬送ベルト１３と対向する面の裏面に近接して設けられている。
アクチュエータ４９は図示しないフレーム等に保持されている。
【００８７】
アクチュエータ４９は押圧板４７を移動させる駆動部材であり、押圧板を図１２のＤ１、Ｄ２方向に移動させることができる。
押圧板４７は平板状の部材である。
【００８８】
アクチュエータ４９がＤ１方向に押圧板４７を移動させると、図１３に示すように、ベルト１１が押圧板４７に押圧され、押圧板４７と接する部分がレジスト９ａを押圧する。
そのため、モールド４５とレジスト９ａとが面接触する。
【００８９】
従って、ベルト１１および搬送ベルト１３を連続して図１３のＢ方向に移動させながらアクチュエータ４９がＤ１方向に押圧板４７を移動させると、押圧板４７に押圧されたベルト１１が被転写体９を押圧し、モールド４５の転写形状が連続してレジスト９ａ上に転写される。
【００９０】
なお、モールド４５とレジスト９ａの接触面積は、押圧板４７の面積で決まるため、押圧板４７の面積を変更することによって、接触面積を任意に調整可能である。
【００９１】
また、ベルト１１はＢ方向に移動しているため、やがてはレジスト９ａから分離するが、分離する際の角度α１は、ベルト１１と搬送ベルト１３の距離によって異なる。
【００９２】
即ち、ベルト１１と搬送ベルト１３の距離を近づければ近づけるほど、ベルト１１とレジスト９ａのなす角度α１は小さくなり、反対に遠ざければ遠ざけるほど、角度α１は大きくなる。
【００９３】
角度α１が小さいほど、ベルト１１はレジスト９ａからより垂直に分離するため、角度α１はなるべく小さい方が望ましい。
ここで、望ましい角度は例えば３０度以下である。
【００９４】
なお、第３の実施形態のように、ベルト１１が角度α１をもってレジスト９ａから分離する場合は、モールド４５を構成する材料は弾性体であることが望ましい。
このような材料としては、例えばシリコン、チタン、アルミニウム、ニッケル、銅、樹脂等が挙げられる。
【００９５】
このように、第３の実施形態によれば、転写装置１ｂが、被転写体９を搬送する搬送装置３と、搬送装置３に対向して設けられたベルト１１を有しており、搬送装置３がＢ方向に被転写体９を搬送すると、ベルト１１もＢ方向に移動し、表面に設けられたモールド４５が、被転写体９に押圧されて転写形状１９を転写する。
【００９６】
従って、第１の実施形態と同様の効果を奏する。
【００９７】
また、第３の実施形態では、転写装置１ｂはベルト１１をレジスト９ａから分離する際の、ベルト１１と搬送ベルト１３のなす角度α１を任意に設定可能である。
従って、モールド４５をレジスト９ａから略垂直に分離することができ、分離の際に、モールド４５およびレジスト９ａが損傷するのを防ぐことができる。
【００９８】
さらに、第３の実施形態によれば、モールド４５が、ベルト１１に直接設けられているので、第１の実施形態と異なり、アクチュエータをベルト１１上に複数個設ける必要がなく、構造がより簡易である。
【００９９】
次に、第４の実施形態について説明する。
図１４は、第４の実施形態に係る転写装置１ｃを示す側面図であって、図１５及び図１６は、図１４の搬送装置３とモールド搬送装置５ｃの境界近傍の拡大断面図である。
【０１００】
なお、第４の実施形態において、第３の実施形態に係る転写装置１ｂと同様の機能を果たす要素には同一の番号を付し、説明を省略する。
【０１０１】
第４の実施形態は、第３の実施形態において、ローラ５１ａを設けたものであり、ベルト１１がローラ５１ａと搬送ベルト１３の隙間に引き込まれることによって、ローラ５１ａがベルト１１をレジスト９ａに押圧する。
【０１０２】
図１４に示すように、転写装置１ｃではローラ２３ａとローラ２３ｂの間に、さらにローラ５１ａ、５１ｂ等の複数のローラが設けられている。
【０１０３】
ローラ５１ａ、５１ｂは、軸方向が搬送方向であるＢ方向に垂直で、かつ搬送ベルト１３に近接するように設けられており、さらにベルト１１と接するように設けられている。
また、ローラ５１ａ、５１ｂと搬送ベルト１３の間の距離は、ベルト１１と被転写体９の厚さの和と略等しい。
【０１０４】
図１５に示すように、ローラ２３ｂをＣ２方向に回転させると、ベルト１１はＥ１方向に移動する。
ここで、ローラ５１ａが、搬送ベルト１３に近接して設けられているので、ベルト１１はローラ５１ａとレジスト９ａの隙間に引き込まれる。
【０１０５】
また、ローラ５１ａ、５１ｂと搬送ベルト１３の間の距離は、ベルト１１と被転写体９の厚さの和と略等しいので、レジスト９ａとローラ５１ａの間の隙間は、ベルト１１の厚さと略等しくなる。
従って、引き込まれたベルト１１は、ローラ５１ａによってレジスト９ａに押圧され、表面に設けられたモールド４５の形状をレジスト９ａに転写する。
【０１０６】
一方、転写が終了すると、ベルト１１はレジスト９ａから分離するが、図１６に示すように、ベルト１１がローラ５１ｂよりもローラ２３ａ側に移動すると、ベルト１１はＥ２方向に移動するため、Ｆ２方向に上昇することになる。
【０１０７】
ここで、ベルト１１がレジスト９ａから分離する際の角度α２は、ローラ２３ａと搬送ベルト１３の距離によって異なる。
即ち、ローラ２３ａと搬送ベルト１３の距離を近づければ近づけるほど、ベルト１１とレジスト９ａのなす角度α２は小さくなる。
【０１０８】
角度α２が小さいほど、ベルト１１はレジスト９ａからより垂直に分離するため、角度α２はなるべく小さい方が望ましい。
ここで、望ましい角度は、例えば３０度以下である。
【０１０９】
このように、第４の実施形態によれば、転写装置１ｃがローラ５１ａを有し、ベルト１１がローラ５１ａと搬送ベルト１３の隙間に引き込まれることによってベルト１１上のモールド４５がレジスト９ａに押圧される。
従って、第３の実施形態と同様の効果を奏する。
【０１１０】
また、第４の実施形態によれば、ベルト１１のレジスト９ａへの押圧をローラ５１ａが行うので、アクチュエータが不要となり、第３の実施形態と比べて、さらに構造が簡易となる。
【０１１１】
次に、第５の実施形態について説明する。
図１７は第５の実施形態に係る転写装置１ｄを示す側面図であって、図１８は図１７のＧ方向矢視図である。
なお、第５の実施形態において、第１の実施形態に係る転写装置１と同様の機能を果たす要素には同一の番号を付し、説明を省略する。
【０１１２】
第５の実施形態においては、第１〜第４の実施形態と異なり、ベルト１１ａは被転写体９が載置された面に平行な面内で回転する構造となっている。
【０１１３】
図１７および図１８に示すように、転写装置１ｄは搬送装置３を有し、搬送装置３の被転写体９が設けられた面に対向してベルト１１ａが設けられている。
【０１１４】
図１８に示すように、ベルト１１ａは、平板状の板状部材１２を複数個連結した構造を有しており、モータ等の図示しない回転手段によって、図１８のＨ方向に回転可能である。
なお、板状部材１２の、搬送装置３と対向する面には、図１７に示すように、複数のアクチュエータを介して複数のモールド１５が設けられている。
【０１１５】
即ち、ベルト１１ａは被転写体９が載置された面に平行な面内で回転する。
そして、係る回転によって、搬送装置３の上部にある板状部材１２はＢ方向に移動する。
【０１１６】
なお、モールド１５の構造および転写の方法は第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【０１１７】
このように、第５の実施形態によれば、転写装置１ｄがベルト１１ａを有し、ベルト１１ａの、被転写体９と対向する面に設けられたモールド１５がレジスト９ａに押圧されることによって転写を行う。
従って、第１の実施形態と同様の効果を奏する。
【０１１８】
また、第５の実施形態によれば、ベルト１１ａは、被転写体９が載置された面に平行な面内で回転するので、モールド１５の凹凸表面側が常に下側を向くことになる。即ち、異物がモールド凹凸に入り込むリスクを低減することが可能である。
【０１１９】
次に、第６の実施形態について説明する。
図１９は第６の実施形態に係る転写装置１ｅを示す側面図であって、図２０は図１９のＧ２方向矢視図である。
また、図２１は図１９のローラ６１ａ付近の拡大断面図、図２２は図１９のローラ６１ｂ付近の拡大断面図である。
【０１２０】
なお、第６の実施形態において、第５の実施形態に係る転写装置１ｄと同様の機能を果たす要素には同一の番号を付し、説明を省略する。
【０１２１】
第６の実施形態における転写装置１ｅは、第５の実施形態における転写装置１ｄにおいて、モールドの押圧手段として、ローラ６１ａを用いたものである。
【０１２２】
図１９および図２０に示すように、ベルト１１ａのうち、搬送ベルト１３と対向する面の裏面に接するようにして、ローラ６１ａ、６１ｂ等の複数のローラが設けられている。
ローラ６１ａ、６１ｂ等の複数のローラと搬送ベルト１３の間の隙間は、ベルト１１ａと被転写体９の厚さの和と略同等である。
【０１２３】
即ち、ベルト１１ａは、ローラ６１ａ、６１ｂ等の複数のローラと搬送ベルト１３に挟まれている。
従って、図２１に示すように、ベルト１１ａは、図２０のＨ方向に回転することにより、図２１のＥ１方向に移動してローラ６１ａと搬送ベルト１３の隙間に引き込まれる。
【０１２４】
この際、ローラ６１ａと搬送ベルト１３の間の距離は、ベルト１１ａと被転写体９の厚さの和と略同等であるため、レジスト９ａとローラ６１ａの間の隙間は、ベルト１１ａの厚さと略等しくなる。
従って、ベルト１１ａはローラ６１ａにＦ１方向に押圧され、レジスト９ａと密着する。
そして、モールド４５の形状がレジスト９ａに転写される。
【０１２５】
一方、転写が終了すると、モールド４５はレジスト９ａから分離するが、図２２に示すように、ローラ６１ｂよりも左側に移動すると、ベルト１１ａはＥ２方向に移動するため、Ｆ２方向に上昇する。
【０１２６】
ここで、ベルト１１ａがレジスト９ａから分離する際の角度α３は、ベルト１１ａと搬送ベルト１３の距離を変更することにより、任意に設定可能である。
即ち、ベルト１１ａと搬送ベルト１３の距離を近づければ近づけるほど、角度α３は小さくなる。
【０１２７】
角度α３が小さいほど、ベルト１１ａはレジスト９ａからより垂直に分離するため、角度α３はなるべく小さい方が望ましい。
ここで、望ましい角度は、例えば３０度以下である。
【０１２８】
このように、第６の実施形態によれば、転写装置１ｅがローラ６１ａを有し、ベルト１１ａがローラ６１ａと搬送ベルト１３の隙間に引き込まれることによってベルト１１ａ上のモールド４５がレジスト９ａに押圧される。
従って、第５の実施形態と同様の効果を奏する。
【０１２９】
また、第６の実施形態によれば、ベルト１１ａをレジスト９ａから分離する際のベルト１１ａと搬送ベルト１３のなす角度α３を任意に設定可能である。
従って、モールド４５を略垂直にレジスト９ａから分離することができ、分離の際に、モールド４５およびレジスト９ａの損傷するのを防ぐことができる。
【０１３０】
さらに、第６の実施形態によれば、モールド４５の押圧手段としてローラ６１ａを備えているため、アクチュエータ等の駆動装置は不要であり、第５の実施形態と比べて構造が簡易である。
【０１３１】
以上、添付図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明したが、本発明の技術的範囲は、前述した実施の形態に左右されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【０１３２】
例えば、第１の実施形態では加熱部３３、冷却部３７および断熱部３５を、搬送ベルト１３で囲まれた空間の内部に設けているが、ベルト１１で囲まれた空間内に設け、ベルト１１およびモールド１５を加熱、冷却することにより、間接的にレジスト９ａを加熱、冷却してもよい。
【０１３３】
同様に、第２の実施形態では、露光部３３ａおよび遮光部３５ａ、３７ａを搬送ベルト１３で囲まれた空間の内部に設けているが、ベルト１１で囲まれた空間内に設けてもよい。
【符号の説明】
【０１３４】
１…………転写装置
３…………搬送装置
５…………モールド搬送装置
９…………被転写体
１１………ベルト
１３………搬送ベルト
１５………モールド
１７………アクチュエータ
１９………転写形状
２１ａ……ローラ
２３ａ……ローラ
３１………硬化装置
３３………加熱部
３３ａ……露光部
３５………断熱部
３７………冷却部
４５………モールド
４７………押圧板
４９………アクチュエータ
５１ａ……ローラ
６１ａ……ローラ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ナノインプリント技術を用いて半導体等の基板上に形状を転写する転写装置のナノインプリント用モールド搬送装置および転写装置を用いた転写方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体基板上に回路のパターン形状を転写する技術としては、フォトリソグラフィが知られている。
フォトリソグラフィは、半導体基板上に感光剤であるレジストを塗布し、フォトマスクを介してパターン形状を露光によって転写し、その後、レジストを除去することによって、半導体基板上に所望のパターン形状を転写する技術である。
【０００３】
一方、近年では半導体基板の低コスト化、高精度化の要求が高まっている。
しかしながら、フォトリソグラフィは工程が多岐に渡り、生産性が悪く、また、転写形状の微細化によって、要求される寸法精度が、露光に用いられる光源の波長に近づいていることなどから、これ以上の低コスト化、高精度化は困難となってきている。
【０００４】
そこで、フォトリソグラフィに代わる技術として、ナノインプリントと呼ばれる技術が近年注目されている。
【０００５】
ナノインプリントは、パターン形状の転写をインプリント用のモールド、すなわち型で行う技術であり、転写形状が形成されたモールドをレジスト等の被転写体表面に押し付け、押し付けた状態で被転写体の表面を硬化させることによって、被転写体上に転写形状を形成する。
【０００６】
ナノインプリントはフォトリソグラフィと比べて、装置の構造が単純であり、かつ高精度を実現できるため、低コスト、高精度の技術として注目されている。
【０００７】
ここで、ナノインプリント用のモールドは、従来、平板上に形成され、平板を被転写体表面に押し付けることによって形状を転写していた。
【０００８】
一方、このような転写装置では、連続処理ができず、生産性が悪いため、円筒状のローラの表面にモールドを設け、これを回転させながら被転写体上に連続して形状を転写する転写装置が開発されており、以下のようなものが知られている（特許文献１）。
【特許文献１】特開２００１-１９８９７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、円筒状のローラでは、被転写体とモールドの接触が線接触である。
そのため、連続処理を行うと接触時間が短く、被転写体が硬化する前にモールドと被転写体が分離してしまい、被転写体上の転写形状が崩れてしまうおそれがある。
【００１０】
従って、被転写体が硬化するまでの間は、モールドと被転写体とを接触させた状態で、ローラの回転を停止していなければならず、実際には連続処理ができなかった。
【００１１】
また、被転写体からモールドを分離する際には、円筒状のモールドでは垂直に分離することができないため、被転写体からモールドが垂直でない角度をもって分離されることになる。
従って、アスペクト比の大きい転写形状の場合は、分離の際に、モールドや被転写体が損傷してしまうという問題があった。
【００１２】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的は連続処理が可能で、かつモールドや被転写体を損傷しない転写装置のナノインプリント用モールド搬送装置等を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
第１の発明は、被転写体上に、転写形状を有するモールドを押圧することによって、前記被転写体上に転写形状を形成するナノインプリント用転写装置に用いられるナノインプリント用モールド搬送装置であって、被転写体が載置された面に対向して設けられ、連続して移動可能なベルトと、前記ベルトの前記被転写体と対向する面に設けられ、転写形状を有するモールドと、前記モールドを前記被転写体に押圧する押圧手段と、を具備することを特徴とするナノインプリント用モールド搬送装置である。
【００１４】
前記ベルトは、一対の第１のローラに巻きつけられ、一対の前記第１のローラの回転によって連続して移動させる。前記ベルトは、板状部材をつなぎ合わせた構造を有し、前記ローラは、多角形の角柱形状を有していてもよい。
前記ベルトは、複数の板状部材を、前記被転写体を載置する面と平行な面内で連結した環状構造を有しており、前記モールド搬送装置は、前記ベルトを前記被転写体を載置する面と平行な面内で回転させる回転手段を具備し、前記回転手段により前記ベルトを回転させることにより、前記ベルトが連続して移動してもよい。
【００１５】
前記押圧手段は、前記モールドを前記被転写体に対して略垂直に上下動させることが可能なアクチュエータであり、前記アクチュエータによって、前記モールドを下降させることにより、前記モールドが前記被転写体の表面に略垂直に押圧され、前記モールドは、複数個に分割され、前記アクチュエータは、分割された個々の前記モールドごとに、前記ベルトに設けられ、分割された個々の前記モールドが独立して前記アクチュエータにより上下動可能であってもよい。
【００１６】
第２の発明は、被転写体を搬送する搬送装置と、前記搬送装置の前記被転写体を載置する面に対向して設けられ、前記搬送装置の搬送方向に移動可能なベルトと、前記ベルトの前記搬送装置と対向する面に設けられ、転写形状を有するモールドと、前記モールドを前記被転写体に押圧する押圧手段と、を具備するナノインプリント用転写装置を用いて、前記転写形状を前記被転写体上に転写する転写方法であって、前記ベルトを前記被転写体の搬送方向に移動させながら、前記モールドを、前記押圧手段を用いて前記被転写体に押圧することにより、前記転写形状を前記被転写体上に連続して転写することを特徴とする転写方法である。
【００１７】
前記ベルトは、一対の第１のローラに巻きつけられ、一対の前記第１のローラの回転によって連続して移動させる。前記ベルトは、板状部材をつなぎ合わせた構造を有し、前記ローラは、多角形の角柱形状を有していてもよい。
前記ベルトは、複数の板状部材を、前記搬送装置の前記被転写体を載置する面と平行な面内で連結した環状構造を有しており、前記ベルトを、前記被転写体を載置する面と平行な面内で回転させることにより、前記ベルトが移動してもよい。
【００１８】
前記押圧手段は、前記モールドを前記被転写体に対して略垂直に上下動させることが可能なアクチュエータであり、前記アクチュエータによって、前記モールドを下降させることにより、前記モールドが前記被転写体の表面に略垂直に押圧され、前記モールドは、複数個に分割され、前記アクチュエータは、分割された個々の前記モールドごとに、前記ベルトに設けられ、分割された個々の前記モールドが独立して前記アクチュエータにより上下動可能であってもよい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明では転写装置が、表面にモールドが設けられたベルトを備えており、ベルトを被転写体の搬送方向に移動させながら、モールドを被転写体の表面に接触させて転写を行うため、モールドが被転写体と面接触する。
【００２０】
従って、円筒状のモールドを用いた場合と比べてモールドと被転写体の接触時間を長くできるため、モールドと被転写体の接触中に被転写体を硬化させることができ、連続処理が可能となり、生産性が改善される。
【００２１】
また、本発明によれば、転写装置がモールドを被転写体から略垂直に分離する。
従って、分離の際に、モールドや被転写体が損傷するのを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】転写装置１を示す側面図
【図２】図１の搬送装置３とモールド搬送装置５の境界近傍の拡大断面図
【図３】図２の変形例
【図４】転写の際の転写装置１の動作を示す拡大断面図
【図５】転写の際の転写装置１の動作を示す拡大断面図
【図６】転写の際の転写装置１の動作を示す拡大断面図
【図７】転写の際の転写装置１の動作を示す拡大断面図
【図８】モールド搬送装置５ａを示す図
【図９】転写装置１の転写時の変形例を示す図
【図１０】転写装置１ａを示す側面断面図
【図１１】転写装置１ｂを示す側面図
【図１２】図１１の搬送装置３とモールド搬送装置５ｂの境界近傍の拡大断面図
【図１３】図１１の搬送装置３とモールド搬送装置５ｂの境界近傍の拡大断面図
【図１４】転写装置１ｃを示す側面図
【図１５】図１４の搬送装置３とモールド搬送装置５ｃの境界近傍の拡大断面図
【図１６】図１４の搬送装置３とモールド搬送装置５ｃの境界近傍の拡大断面図
【図１７】転写装置１ｄを示す側面図
【図１８】図１７のＧ方向矢視図
【図１９】転写装置１ｅを示す側面図
【図２０】図１９のＧ２方向矢視図
【図２１】図１９のローラ６１ａ付近の拡大断面図
【図２２】図１９のローラ６１ｂ付近の拡大断面図
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面に基づいて本発明に好適な実施形態を詳細に説明する。
図１は、第１の実施形態に係る転写装置１を示す側面図であって、図２は図１の搬送装置３とモールド搬送装置５の境界近傍の拡大断面図である。
また図３は図２の変形例である。
【００２４】
図１に示すように、転写装置１は搬送装置３を有している。
搬送装置３は円筒状のローラ２１ａ、２１ｂを有し、ローラ２１ａ、２１ｂには、帯状の搬送ベルト１３が巻きつけられている。
そして、ローラ２１ａ、２１ｂと搬送ベルト１３とで搬送装置３を構成している。
【００２５】
ローラ２１ａ、２１ｂは図示しないフレーム等に軸支されており、図１のＡ１、Ａ２方向に回転可能である。
即ち、ローラ２１ａ、２１ｂがＡ１、Ａ２方向に回転すると、搬送ベルト１３はＢ方向に移動する。
【００２６】
搬送ベルト１３は被転写体９を搬送するベルトであり、上面には長尺状の被転写体９が載置されている。
即ち、搬送ベルト１３がＢ方向に移動することによって、搬送装置３は被転写体９をＢ方向に搬送する。
【００２７】
被転写体９は半導体基板等であり、図２に示すように、シリコン等の基板９ｂ上に、感光剤であるレジスト９ａが塗布された構造を有している。
レジスト９ａは、第１の実施形態においては、熱により軟化する性質を有する樹脂である。
【００２８】
一方、図１および図２に示すように、搬送装置３の上方には、搬送ベルト１３と対向するように、帯状のベルト１１がさらに設けられている。
また、搬送装置３の上方には、円筒状のローラ２３ａ、２３ｂが設けられている。
ベルト１１はローラ２３ａ、２３ｂに巻きつけられている。
なお、ベルト１１は請求項１に記載されたベルトに対応する部材である。
【００２９】
ローラ２３ａ、２３ｂは図示しないフレーム等に軸支されており、それぞれＣ１、Ｃ２方向に回転可能である。
即ち、ローラ２３ａ、２３ｂがＣ１、Ｃ２方向に回転することにより、ベルト１１の、搬送ベルト１３と対向する面はＢ方向に移動する。
そして、ベルト１１、ローラ２３ａ、２３ｂとでモールド搬送装置５を構成している。
【００３０】
図２に示すように、ベルト１１の搬送ベルト１３と対向する面には、複数のアクチュエータ１７を介して複数のモールド１５が設けられている。
モールド１５の表面には転写形状１９が設けられている。
【００３１】
モールド１５は、レジスト９ａ上に転写形状１９を転写する部材であり、転写形状１９は例えば半導体基板のパターン形状等である。
モールド１５を構成する材料は、微細加工が容易で、かつ転写時の摩耗やせん断に耐えうる材料が好ましい。
【００３２】
このような条件を満たす材料としては、例えばシリコン、チタン、アルミニウム、ニッケル、銅、炭化シリコン、窒化シリコン、ガラス、ダイヤモンド、ダイヤモンドライクカーボン、立方晶窒化ホウ素、樹脂およびこれらを含む化合物、合金等が挙げられる。
【００３３】
一方、第１の実施形態のように、レジスト９ａが熱により軟化する性質を有する樹脂の場合は、後述するように、転写の際にレジスト９ａが加熱されるため、モールド１５が熱の影響を受ける。
そのため、モールド１５を構成する材料には、さらに耐熱性が求められる。
【００３４】
従って、上記の材料のうち、シリコン、チタン、アルミニウム、ニッケル、銅、炭化シリコン、窒化シリコン、ガラス、ダイヤモンド、ダイヤモンドライクカーボン、立方晶窒化ホウ素およびこれらを含む化合物、合金等を用いるのが望ましい。
【００３５】
アクチュエータ１７は、モールド１５を移動させるための駆動部材であり、モールド１５を図２のＤ１、Ｄ２方向に移動可能である。
従って、アクチュエータ１７がモールド１５をＤ１方向に下降させることによって、モールド１５をレジスト９ａ上に略垂直に押圧することができ、押圧されたモールド１５は転写形状１９をレジスト９ａ上に転写する。
【００３６】
一方、モールド１５がレジスト９ａに押圧された状態で、アクチュエータ１７がモールド１５をＤ２方向に上昇させることによって、モールド１５をレジスト９ａ上に略垂直に分離することができる。
また、図３に示すように、アクチュエータ１７はモールド１５を図２のＥ１、Ｅ２方向に傾斜させ、モールド１５の表面がレジスト９ａの表面に対して角度θをなすようにすることも可能であるが、傾斜させる理由は後述する。
【００３７】
さらに、図１および図２に示すように、搬送ベルト１３で囲まれた空間の内部で、かつモールド搬送体５の下部には、加熱部３３、冷却部３７および断熱部３５が設けられている。
加熱部３３、冷却部３７および断熱部３５は、搬送ベルト１３のうち、被転写体９が載置された面の裏面に近接して設けられている。
【００３８】
加熱部３３、冷却部３７および断熱部３５は、レジスト９ａを軟硬化させるための装置であり、このうち、加熱部３３は、ローラ２１ｂ寄りの場所に設けられている。
加熱部３３は例えば電熱ヒータ等である。
【００３９】
一方、冷却部３７は、かつローラ２１ａ寄りの場所に設けられている。
冷却部３７は、例えば電気式や水冷式のクーラ等である。
【００４０】
加熱部３３と冷却部３７の間には、断熱部３５が設けられており、加熱部３３と冷却部３７の間で熱の移動が起こらないようにしている。
【００４１】
即ち、加熱部３３が搬送ベルト１３を加熱することにより、被転写体９の基板９ｂが加熱され、加熱された基板９ｂがレジスト９ａを加熱する。
前述のように、レジスト９ａは熱により軟化する性質を有する樹脂であるため、加熱されると軟化する。
即ち、加熱部３３は、レジスト９ａを間接的に加熱し、軟化させる。
【００４２】
一方、冷却部３７が、搬送ベルト１３を冷却することにより、被転写体９の基板９ｂが冷却され、冷却された基板９ｂがレジスト９ａを冷却する。
即ち、冷却部３７はレジスト９ａを間接的に冷却し、硬化させる。
【００４３】
ここで、加熱部３３は、ローラ２１ｂ寄りの場所に、冷却部３７はローラ２１ａ寄りの場所設けられており、被転写体９はＢ方向に搬送される。
従って、搬送装置３上を搬送される被転写体９は、まず加熱部３３で加熱され、次いで、冷却部３７で冷却されることになる。
【００４４】
次に、転写装置１が被転写体９上に転写を行う際の動作について説明する。
図４〜図７は転写の際の転写装置１の動作を示す拡大断面図である。
【００４５】
まず、作業者、もしくは図示しない搬送機構等が、搬送装置３の搬送ベルト１３上に被転写体９を載置する。
搬送装置３のローラ２１ａ、２１ｂは、それぞれ図１のＡ１、Ａ２方向に回転し、搬送ベルト１３および搬送ベルト１３上に載置された被転写体９を、一定速度でＢ方向へ搬送する。
【００４６】
同時に、モールド搬送装置５のローラ２３ａ、２３ｂは、図１のＣ１、Ｃ２方向に回転し、それによってベルト１１の、搬送ベルト１３と対向する面は、搬送ベルト１３と略等しい速度でＢ方向に移動する。
【００４７】
図４に示すように、搬送装置３に搬送された被転写体９が、加熱部３３の上部に達すると、加熱部３３の発する熱によって、被転写体９のレジスト９ａは間接的に加熱される。
加熱されたレジスト９ａは、やがて軟化して、転写可能な状態となる。
【００４８】
レジスト９ａが転写可能な状態となると、図５に示すように、軟化したレジスト９ａ上のモールド１５ａは、アクチュエータ１７ａによってＤ１方向に下降し、レジスト９ａ上に略垂直に押圧される。
押圧されたモールド１５ａは、レジスト９ａ上に転写形状１９ａを転写する。
【００４９】
ここで、搬送ベルト１３とベルト１１は略等しい速度でＢ方向に移動しているので、レジスト９ａと押圧されたモールド１５ａとは、互いの相対位置がずれることなく、一体となってＢ方向に移動する。
【００５０】
なお、押圧の際は、図３に示すモールド１５と同様に、モールド１５ａをＥ１、Ｅ２方向に傾斜させ、モールド１５ａをレジスト９ａの表面に対して角度θを持って押圧してもよい。
【００５１】
このような押圧方法は、垂直に押圧すると、モールド１５ａとレジスト９ａの間に空気が巻き込まれて、転写形状に気泡による欠陥が生じる恐れがある場合に有効である。
【００５２】
図６に示すように、レジスト９ａがさらにＢ方向に移動し、モールド１５ａに押圧された部分が冷却部３７の上方を通過すると、冷却部３７によって被転写体９のレジスト９ａが間接的に冷却される。
冷却されたレジスト９ａは、やがて硬化して、転写形状１９ａがレジスト９ａ上に固定される。
【００５３】
なお、図６では、レジスト９ａのうち、モールド１５ａに押圧された部分の隣接部分は、加熱部３３によって加熱されて軟化している。
従って、モールド１５ａに隣接して設けられたモールド１５ｂは、アクチュエータ１７ｂによってＤ１方向に下降し、レジスト９ｂを押圧して転写形状１９ｂを転写する。
【００５４】
レジスト９ａが硬化すると、図７に示すように、モールド１５ａはアクチュエータ１７ａによってＤ２方向に略垂直に上昇し、レジスト９ａと分離する。
レジスト９ａ上には、転写形状１９ａと略等しい転写形状２５ａが転写されている。
【００５５】
このように、モールド１５ａは略垂直に上昇してレジスト９ａと分離するため、円筒状のモールドを用いた場合と比べて、分離の際にモールド１５ａや被転写体９が損傷する可能性は低い。
【００５６】
なお、モールド１５ａをレジスト９ａと分離する際は、略垂直に分離するのではなく、アクチュエータ１７ａがモールド１５ａを図７のＥ１、Ｅ２方向に傾斜させることにより、図３に示す角度θを持って分離することも可能である。
このように、角度θを持って分離することにより剥離時に必要な引き剥がし力を低減できる。
ただし、既に述べたように、角度θが大きくなるに従い、パターン形状に影響を及ぼすことが懸念されるため、配慮しなければならない。
【００５７】
一方、図７では、レジスト９ａのうち、モールド１５ｂに押圧された部分は、冷却部３３によって冷却されて硬化している。
また、モールド１５ｂに押圧された部分の隣接部分は、加熱部３３によって加熱されて軟化している。
【００５８】
以後は、搬送ベルト１３とベルト１１が略等しい速度でＢ方向に移動しつつ、レジスト９ａのうち、加熱されて軟化した部分にモールドが押圧されて、転写形状を転写し、冷却されて硬化した部分からはモールドが分離する。
【００５９】
以上の動作は連続して行われ、転写体９のレジスト９ａ表面への転写が終了するまで続けられる。
転写が終了すると、被転写体９は、図示しないロールに巻き取られるか、図示しない別の搬送装置等によって次工程に搬送される。
【００６０】
このように、転写装置１では、各モールドとレジスト９ａとは、互いに対向して設けられたベルト１１および搬送ベルト１３上に設けられ、ベルト１１および搬送ベルト１３の移動中に接触、分離する。
即ち、各モールドとレジスト９ａとは、面接触しているため、円筒状のモールドを用いる場合と比べて各モールドとレジスト９ａの接触時間が長い。
【００６１】
従って、レジスト９ａの軟化、モールドのレジスト９ａへの押圧による形状の転写、レジスト９ａの硬化、モールドのレジスト９ａからの分離、という一連の転写作業を連続して行うことができる。
【００６２】
なお、各モールドとレジスト９ａが接触可能な時間の最大値はローラ２３ａとローラ２３ｂの距離で決まり、この距離が長いほど接触可能な時間も長くなる。
【００６３】
ここで、第１の実施形態の変形例について簡単に説明する。図８はモールド搬送装置５ａを示す図、図９は転写装置１の転写時の変形例を示す図である。
【００６４】
図１におけるモールド搬送装置５では、帯状のベルト１１が円筒状のローラ２３ａ、２３ｂに巻きつけられていたが、図８に示すモールド搬送装置５ａのように、ベルト１３ａを、板状部材１４をつなぎ合わせた構造としてもよい。
また、このような形状とした場合は、ローラの形状は、円筒状ではなく、ローラ２４ａ、２４ｂのような角柱形状にしてもよい。
【００６５】
このような形状にすることにより曲げに弱い構造物を保持することが可能である。
例えば、アクチュエータのような構造物、厚みがあり脆性の大きいモールドを使用することが可能である。
なお、図８ではローラ２４ａ、２４ｂは軸方向の断面形状が８角形であるが、８角形以外の多角形でもよい。
【００６６】
次に、図１における転写装置１では１枚の長尺状の被転写体９上に、転写形状を連続して形成していたが、被転写体９は長尺状である必要はない。
例えば、図９に示すように、短尺状の被転写体１０を複数搬送装置３で搬送し、これらに同時に転写を行ってもよい。
【００６７】
具体的には、図９に示すように、棚４１ａに載置された複数の被転写体１０をロボットアームである移載装置４３ａが搬送装置３に載置する。
被転写体１０は搬送装置３上をＢ方向に搬送され、同じくＢ方向に移動しているモールド搬送装置５のベルト１１に設けられたモールド１５によって、形状を転写される。
【００６８】
形状が転写された被転写体１０は、搬送装置３の端部で、ロボットアームである移載装置４３ｂによって棚４１ｂに移動される。
その後は、被転写体１０は必要に応じて図示しない次工程に搬送される。
【００６９】
このように、第１の実施の形態によれば、転写装置１が、被転写体９を搬送する搬送装置３と、搬送装置３に対向して設けられたベルト１１を有しており、搬送装置３がＢ方向に被転写体９を搬送すると、ベルト１１もＢ方向に移動し、表面に設けられたモールド１５が被転写体９に押圧されて転写形状１９を転写する。
【００７０】
従って、被転写体９とモールド１５の接触が面接触であり、円柱状のモールドを用いた場合と比べて被転写体９とモールド１５の接触時間が長いので、転写作業を連続して行うことができる。
【００７１】
また、第１の実施形態によれば、転写後に、モールド１５を被転写体９から略垂直に分離するので、分離の際にモールド１５や被転写体９が損傷するのを防ぐことができる。
【００７２】
次に、第２の実施形態について説明する。図１０は、第２の実施形態に係る転写装置１ａを示す側面断面図である。
【００７３】
なお、第２の実施形態において、第１の実施形態に係る転写装置１と同様の機能を果たす要素には同一の番号を付し、説明を省略する。
【００７４】
第２の実施形態における転写装置１ａでは、第１の実施形態に係る転写装置１において、加熱部３３、冷却部３７、断熱部３５の代わりに露光部３５ａ、遮光部３３ａ、３７ａが設けられている。
【００７５】
第１の実施形態では、レジスト９ａとして、熱により軟化する性質を有する樹脂を用いていたが、レジスト９ａとして、熱ではなく、光により硬化する光硬化性樹脂を用いる場合がある。
【００７６】
かかる場合は、図１０に示すように、モールド１５ｂ、１５ｃとレジスト９ａが接触する部分の直下に露光部３５ａを備え、それ以外の部分には遮光部３３ａ、３７ａを備える必要がある。
【００７７】
露光部３５ａは、ハロゲンランプや水銀ランプ等の光源を備えた部位であり、これらの光源は、レジスト９ａに向けて紫外線等を照射する。
レジスト９ａは、光により硬化する光硬化性樹脂であるため、照射を受けることにより、硬化する。
なお、遮光部３３ａ、３７ａは光を遮断する部位である。
【００７８】
例えば、図１０では露光部３５ａの上部でモールド１５ｂ、１５ｃがレジスト９ａと接触しており、この状態では、露光部３５ａからの光の照射を受けることにより、レジスト９ａのうち、モールド１５ｂ、１５ｃと接する部分が硬化して、転写形状が固定される。
【００７９】
なお、露光部３５ａからの光がレジスト９ａに照射されるためには、搬送ベルト１３および基板９ｂは透明な材料で構成される必要がある。
また、外部からの迷光等が転写前にレジスト９ａを露光するのを防ぐため、転写装置１ａは、装置全体が図示しない暗箱等で覆われるのが望ましい。
【００８０】
このように、第２の実施形態によれば、転写装置１ａが、被転写体９を搬送する搬送装置３と、搬送装置３に対向して設けられたベルト１１を有しており、搬送装置３がＢ方向に被転写体９を搬送すると、ベルト１１もＢ方向に移動し、表面に設けられたモールド１５ｂ、１５ｃが被転写体９に押圧されて転写形状１９を転写する。
従って、第１の実施形態と同様の効果を奏する。
【００８１】
また、第２の実施形態によれば、被転写体９のレジスト９ａとして、光により硬化する光硬化性樹脂が用いられているため、モールド１５ｂ、１５ｃを構成する材料には必ずしも耐熱性は要求されない。
従って、モールド１５ｂ、１５ｃを構成する材料の選択肢がより広くなる。
【００８２】
次に、第３の実施形態について説明する。図１１は、第３の実施形態に係る転写装置１ｂを示す側面図であって、図１２及び図１３は、図１１の搬送装置３とモールド搬送装置５ｂの境界近傍の拡大断面図である。
【００８３】
なお、第３の実施形態において、第１の実施形態に係る転写装置１と同様の機能を果たす要素には同一の番号を付し、説明を省略する。
【００８４】
第３の実施形態における転写装置１ｂでは、ベルト１１に直接モールド４５が設けられている。
【００８５】
図１１および図１２に示すように、ベルト１１の表面にはモールド４５が設けられている。
ベルト１１で囲まれた空間の内部にはアクチュエータ４９が設けられており、アクチュエータ４９には押圧板４７が設けられている。
【００８６】
押圧板４７は、ベルト１１のうち、搬送ベルト１３と対向する面の裏面に近接して設けられている。
アクチュエータ４９は図示しないフレーム等に保持されている。
【００８７】
アクチュエータ４９は押圧板４７を移動させる駆動部材であり、押圧板を図１２のＤ１、Ｄ２方向に移動させることができる。
押圧板４７は平板状の部材である。
【００８８】
アクチュエータ４９がＤ１方向に押圧板４７を移動させると、図１３に示すように、ベルト１１が押圧板４７に押圧され、押圧板４７と接する部分がレジスト９ａを押圧する。
そのため、モールド４５とレジスト９ａとが面接触する。
【００８９】
従って、ベルト１１および搬送ベルト１３を連続して図１３のＢ方向に移動させながらアクチュエータ４９がＤ１方向に押圧板４７を移動させると、押圧板４７に押圧されたベルト１１が被転写体９を押圧し、モールド４５の転写形状が連続してレジスト９ａ上に転写される。
【００９０】
なお、モールド４５とレジスト９ａの接触面積は、押圧板４７の面積で決まるため、押圧板４７の面積を変更することによって、接触面積を任意に調整可能である。
【００９１】
また、ベルト１１はＢ方向に移動しているため、やがてはレジスト９ａから分離するが、分離する際の角度α１は、ベルト１１と搬送ベルト１３の距離によって異なる。
【００９２】
即ち、ベルト１１と搬送ベルト１３の距離を近づければ近づけるほど、ベルト１１とレジスト９ａのなす角度α１は小さくなり、反対に遠ざければ遠ざけるほど、角度α１は大きくなる。
【００９３】
角度α１が小さいほど、ベルト１１はレジスト９ａからより垂直に分離するため、角度α１はなるべく小さい方が望ましい。
ここで、望ましい角度は例えば３０度以下である。
【００９４】
なお、第３の実施形態のように、ベルト１１が角度α１をもってレジスト９ａから分離する場合は、モールド４５を構成する材料は弾性体であることが望ましい。
このような材料としては、例えばシリコン、チタン、アルミニウム、ニッケル、銅、樹脂等が挙げられる。
【００９５】
このように、第３の実施形態によれば、転写装置１ｂが、被転写体９を搬送する搬送装置３と、搬送装置３に対向して設けられたベルト１１を有しており、搬送装置３がＢ方向に被転写体９を搬送すると、ベルト１１もＢ方向に移動し、表面に設けられたモールド４５が、被転写体９に押圧されて転写形状１９を転写する。
【００９６】
従って、第１の実施形態と同様の効果を奏する。
【００９７】
また、第３の実施形態では、転写装置１ｂはベルト１１をレジスト９ａから分離する際の、ベルト１１と搬送ベルト１３のなす角度α１を任意に設定可能である。
従って、モールド４５をレジスト９ａから略垂直に分離することができ、分離の際に、モールド４５およびレジスト９ａが損傷するのを防ぐことができる。
【００９８】
さらに、第３の実施形態によれば、モールド４５が、ベルト１１に直接設けられているので、第１の実施形態と異なり、アクチュエータをベルト１１上に複数個設ける必要がなく、構造がより簡易である。
【００９９】
次に、第４の実施形態について説明する。
図１４は、第４の実施形態に係る転写装置１ｃを示す側面図であって、図１５及び図１６は、図１４の搬送装置３とモールド搬送装置５ｃの境界近傍の拡大断面図である。
【０１００】
なお、第４の実施形態において、第３の実施形態に係る転写装置１ｂと同様の機能を果たす要素には同一の番号を付し、説明を省略する。
【０１０１】
第４の実施形態は、第３の実施形態において、ローラ５１ａを設けたものであり、ベルト１１がローラ５１ａと搬送ベルト１３の隙間に引き込まれることによって、ローラ５１ａがベルト１１をレジスト９ａに押圧する。
【０１０２】
図１４に示すように、転写装置１ｃではローラ２３ａとローラ２３ｂの間に、さらにローラ５１ａ、５１ｂ等の複数のローラが設けられている。
【０１０３】
ローラ５１ａ、５１ｂは、軸方向が搬送方向であるＢ方向に垂直で、かつ搬送ベルト１３に近接するように設けられており、さらにベルト１１と接するように設けられている。
また、ローラ５１ａ、５１ｂと搬送ベルト１３の間の距離は、ベルト１１と被転写体９の厚さの和と略等しい。
【０１０４】
図１５に示すように、ローラ２３ｂをＣ２方向に回転させると、ベルト１１はＥ１方向に移動する。
ここで、ローラ５１ａが、搬送ベルト１３に近接して設けられているので、ベルト１１はローラ５１ａとレジスト９ａの隙間に引き込まれる。
【０１０５】
また、ローラ５１ａ、５１ｂと搬送ベルト１３の間の距離は、ベルト１１と被転写体９の厚さの和と略等しいので、レジスト９ａとローラ５１ａの間の隙間は、ベルト１１の厚さと略等しくなる。
従って、引き込まれたベルト１１は、ローラ５１ａによってレジスト９ａに押圧され、表面に設けられたモールド４５の形状をレジスト９ａに転写する。
【０１０６】
一方、転写が終了すると、ベルト１１はレジスト９ａから分離するが、図１６に示すように、ベルト１１がローラ５１ｂよりもローラ２３ａ側に移動すると、ベルト１１はＥ２方向に移動するため、Ｆ２方向に上昇することになる。
【０１０７】
ここで、ベルト１１がレジスト９ａから分離する際の角度α２は、ローラ２３ａと搬送ベルト１３の距離によって異なる。
即ち、ローラ２３ａと搬送ベルト１３の距離を近づければ近づけるほど、ベルト１１とレジスト９ａのなす角度α２は小さくなる。
【０１０８】
角度α２が小さいほど、ベルト１１はレジスト９ａからより垂直に分離するため、角度α２はなるべく小さい方が望ましい。
ここで、望ましい角度は、例えば３０度以下である。
【０１０９】
このように、第４の実施形態によれば、転写装置１ｃがローラ５１ａを有し、ベルト１１がローラ５１ａと搬送ベルト１３の隙間に引き込まれることによってベルト１１上のモールド４５がレジスト９ａに押圧される。
従って、第３の実施形態と同様の効果を奏する。
【０１１０】
また、第４の実施形態によれば、ベルト１１のレジスト９ａへの押圧をローラ５１ａが行うので、アクチュエータが不要となり、第３の実施形態と比べて、さらに構造が簡易となる。
【０１１１】
次に、第５の実施形態について説明する。
図１７は第５の実施形態に係る転写装置１ｄを示す側面図であって、図１８は図１７のＧ方向矢視図である。
なお、第５の実施形態において、第１の実施形態に係る転写装置１と同様の機能を果たす要素には同一の番号を付し、説明を省略する。
【０１１２】
第５の実施形態においては、第１〜第４の実施形態と異なり、ベルト１１ａは被転写体９が載置された面に平行な面内で回転する構造となっている。
【０１１３】
図１７および図１８に示すように、転写装置１ｄは搬送装置３を有し、搬送装置３の被転写体９が設けられた面に対向してベルト１１ａが設けられている。
【０１１４】
図１８に示すように、ベルト１１ａは、平板状の板状部材１２を複数個連結した構造を有しており、モータ等の図示しない回転手段によって、図１８のＨ方向に回転可能である。
なお、板状部材１２の、搬送装置３と対向する面には、図１７に示すように、複数のアクチュエータを介して複数のモールド１５が設けられている。
【０１１５】
即ち、ベルト１１ａは被転写体９が載置された面に平行な面内で回転する。
そして、係る回転によって、搬送装置３の上部にある板状部材１２はＢ方向に移動する。
【０１１６】
なお、モールド１５の構造および転写の方法は第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【０１１７】
このように、第５の実施形態によれば、転写装置１ｄがベルト１１ａを有し、ベルト１１ａの、被転写体９と対向する面に設けられたモールド１５がレジスト９ａに押圧されることによって転写を行う。
従って、第１の実施形態と同様の効果を奏する。
【０１１８】
また、第５の実施形態によれば、ベルト１１ａは、被転写体９が載置された面に平行な面内で回転するので、モールド１５の凹凸表面側が常に下側を向くことになる。即ち、異物がモールド凹凸に入り込むリスクを低減することが可能である。
【０１１９】
次に、第６の実施形態について説明する。
図１９は第６の実施形態に係る転写装置１ｅを示す側面図であって、図２０は図１９のＧ２方向矢視図である。
また、図２１は図１９のローラ６１ａ付近の拡大断面図、図２２は図１９のローラ６１ｂ付近の拡大断面図である。
【０１２０】
なお、第６の実施形態において、第５の実施形態に係る転写装置１ｄと同様の機能を果たす要素には同一の番号を付し、説明を省略する。
【０１２１】
第６の実施形態における転写装置１ｅは、第５の実施形態における転写装置１ｄにおいて、モールドの押圧手段として、ローラ６１ａを用いたものである。
【０１２２】
図１９および図２０に示すように、ベルト１１ａのうち、搬送ベルト１３と対向する面の裏面に接するようにして、ローラ６１ａ、６１ｂ等の複数のローラが設けられている。
ローラ６１ａ、６１ｂ等の複数のローラと搬送ベルト１３の間の隙間は、ベルト１１ａと被転写体９の厚さの和と略同等である。
【０１２３】
即ち、ベルト１１ａは、ローラ６１ａ、６１ｂ等の複数のローラと搬送ベルト１３に挟まれている。
従って、図２１に示すように、ベルト１１ａは、図２０のＨ方向に回転することにより、図２１のＥ１方向に移動してローラ６１ａと搬送ベルト１３の隙間に引き込まれる。
【０１２４】
この際、ローラ６１ａと搬送ベルト１３の間の距離は、ベルト１１ａと被転写体９の厚さの和と略同等であるため、レジスト９ａとローラ６１ａの間の隙間は、ベルト１１ａの厚さと略等しくなる。
従って、ベルト１１ａはローラ６１ａにＦ１方向に押圧され、レジスト９ａと密着する。
そして、モールド４５の形状がレジスト９ａに転写される。
【０１２５】
一方、転写が終了すると、モールド４５はレジスト９ａから分離するが、図２２に示すように、ローラ６１ｂよりも左側に移動すると、ベルト１１ａはＥ２方向に移動するため、Ｆ２方向に上昇する。
【０１２６】
ここで、ベルト１１ａがレジスト９ａから分離する際の角度α３は、ベルト１１ａと搬送ベルト１３の距離を変更することにより、任意に設定可能である。
即ち、ベルト１１ａと搬送ベルト１３の距離を近づければ近づけるほど、角度α３は小さくなる。
【０１２７】
角度α３が小さいほど、ベルト１１ａはレジスト９ａからより垂直に分離するため、角度α３はなるべく小さい方が望ましい。
ここで、望ましい角度は、例えば３０度以下である。
【０１２８】
このように、第６の実施形態によれば、転写装置１ｅがローラ６１ａを有し、ベルト１１ａがローラ６１ａと搬送ベルト１３の隙間に引き込まれることによってベルト１１ａ上のモールド４５がレジスト９ａに押圧される。
従って、第５の実施形態と同様の効果を奏する。
【０１２９】
また、第６の実施形態によれば、ベルト１１ａをレジスト９ａから分離する際のベルト１１ａと搬送ベルト１３のなす角度α３を任意に設定可能である。
従って、モールド４５を略垂直にレジスト９ａから分離することができ、分離の際に、モールド４５およびレジスト９ａの損傷するのを防ぐことができる。
【０１３０】
さらに、第６の実施形態によれば、モールド４５の押圧手段としてローラ６１ａを備えているため、アクチュエータ等の駆動装置は不要であり、第５の実施形態と比べて構造が簡易である。
【０１３１】
以上、添付図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明したが、本発明の技術的範囲は、前述した実施の形態に左右されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【０１３２】
例えば、第１の実施形態では加熱部３３、冷却部３７および断熱部３５を、搬送ベルト１３で囲まれた空間の内部に設けているが、ベルト１１で囲まれた空間内に設け、ベルト１１およびモールド１５を加熱、冷却することにより、間接的にレジスト９ａを加熱、冷却してもよい。
【０１３３】
同様に、第２の実施形態では、露光部３３ａおよび遮光部３５ａ、３７ａを搬送ベルト１３で囲まれた空間の内部に設けているが、ベルト１１で囲まれた空間内に設けてもよい。
【符号の説明】
【０１３４】
１…………転写装置
３…………搬送装置
５…………モールド搬送装置
９…………被転写体
１１………ベルト
１３………搬送ベルト
１５………モールド
１７………アクチュエータ
１９………転写形状
２１ａ……ローラ
２３ａ……ローラ
３１………硬化装置
３３………加熱部
３３ａ……露光部
３５………断熱部
３７………冷却部
４５………モールド
４７………押圧板
４９………アクチュエータ
５１ａ……ローラ
６１ａ……ローラ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被転写体上に、転写形状を有するモールドを押圧することによって、前記被転写体上に転写形状を形成するナノインプリント用転写装置に用いられるナノインプリント用モールド搬送装置であって、
被転写体が載置された面に対向して設けられ、連続して移動可能なベルトと、
前記ベルトの前記被転写体と対向する面に設けられ、転写形状を有するモールドと、
前記モールドを前記被転写体に押圧する押圧手段と、
を具備することを特徴とするナノインプリント用モールド搬送装置。
【請求項２】
前記ベルトは、
一対の第１のローラに巻きつけられ、一対の前記第１のローラの回転によって連続して移動することを特徴とする請求項１記載のナノインプリント用モールド搬送装置。
【請求項３】
前記ベルトは、
複数の板状部材を、前記被転写体を載置する面と平行な面内で連結した環状構造を有しており、
前記モールド搬送装置は、前記ベルトを前記被転写体を載置する面と平行な面内で回転させる回転手段を具備し、
前記回転手段により前記ベルトを回転させることにより、前記ベルトが連続して移動することを特徴とする請求項１記載のナノインプリント用モールド搬送装置。
【請求項４】
前記押圧手段は、前記モールドを前記被転写体に対して略垂直に上下動させることが可能なアクチュエータであり、前記アクチュエータによって、前記モールドを下降させることにより、前記モールドが前記被転写体の表面に略垂直に押圧され、
前記モールドは、複数個に分割され、
前記アクチュエータは、分割された個々の前記モールドごとに、前記ベルトに設けられ、
分割された個々の前記モールドが独立して前記アクチュエータにより上下動可能であることを特徴とする請求項１記載のナノインプリント用モールド搬送装置。
【請求項５】
前記ベルトは、板状部材をつなぎ合わせた構造を有し、
前記ローラは、多角形の角柱形状を有することを特徴とする請求項２記載のナノインプリント用モールド搬送装置。
【請求項６】
被転写体を搬送する搬送装置と、
前記搬送装置の前記被転写体を載置する面に対向して設けられ、前記搬送装置の搬送方向に移動可能なベルトと、
前記ベルトの前記搬送装置と対向する面に設けられ、転写形状を有するモールドと、
前記モールドを前記被転写体に押圧する押圧手段と、
を具備するナノインプリント用転写装置を用いて、前記転写形状を前記被転写体上に転写する転写方法であって、
前記ベルトを前記被転写体の搬送方向に移動させながら、前記モールドを、前記押圧手段を用いて前記被転写体に押圧することにより、前記転写形状を前記被転写体上に連続して転写することを特徴とする転写方法。
【請求項７】
前記ベルトは、
一対の第１のローラに巻きつけられ、一対の前記第１のローラの回転によって連続して移動することを特徴とする請求項６記載の転写方法。
【請求項８】
前記ベルトは、
複数の板状部材を、前記搬送装置の前記被転写体を載置する面と平行な面内で連結した環状構造を有しており、
前記ベルトを、前記被転写体を載置する面と平行な面内で回転させることにより、前記ベルトが移動することを特徴とする請求項６記載の転写方法。
【請求項９】
前記押圧手段は、前記モールドを前記被転写体に対して略垂直に上下動させることが可能なアクチュエータであり、前記アクチュエータによって、前記モールドを下降させることにより、前記モールドが前記被転写体の表面に略垂直に押圧され、
前記モールドは、複数個に分割され、
前記アクチュエータは、分割された個々の前記モールドごとに、前記ベルトに設けられ、
分割された個々の前記モールドが独立して前記アクチュエータにより上下動可能であることを特徴とする請求項６記載の転写方法。
【請求項１０】
前記ベルトは、板状部材をつなぎ合わせた構造を有し、
前記ローラは、多角形の角柱形状を有することを特徴とする請求項７記載の転写方法。
【請求項１】
被転写体上に、転写形状を有するモールドを押圧することによって、前記被転写体上に転写形状を形成するナノインプリント用転写装置に用いられるナノインプリント用モールド搬送装置であって、
被転写体が載置された面に対向して設けられ、連続して移動可能なベルトと、
前記ベルトの前記被転写体と対向する面に設けられ、転写形状を有するモールドと、
前記モールドを前記被転写体に押圧する押圧手段と、
を具備することを特徴とするナノインプリント用モールド搬送装置。
【請求項２】
前記ベルトは、
一対の第１のローラに巻きつけられ、一対の前記第１のローラの回転によって連続して移動することを特徴とする請求項１記載のナノインプリント用モールド搬送装置。
【請求項３】
前記ベルトは、
複数の板状部材を、前記被転写体を載置する面と平行な面内で連結した環状構造を有しており、
前記モールド搬送装置は、前記ベルトを前記被転写体を載置する面と平行な面内で回転させる回転手段を具備し、
前記回転手段により前記ベルトを回転させることにより、前記ベルトが連続して移動することを特徴とする請求項１記載のナノインプリント用モールド搬送装置。
【請求項４】
前記押圧手段は、前記モールドを前記被転写体に対して略垂直に上下動させることが可能なアクチュエータであり、前記アクチュエータによって、前記モールドを下降させることにより、前記モールドが前記被転写体の表面に略垂直に押圧され、
前記モールドは、複数個に分割され、
前記アクチュエータは、分割された個々の前記モールドごとに、前記ベルトに設けられ、
分割された個々の前記モールドが独立して前記アクチュエータにより上下動可能であることを特徴とする請求項１記載のナノインプリント用モールド搬送装置。
【請求項５】
前記ベルトは、板状部材をつなぎ合わせた構造を有し、
前記ローラは、多角形の角柱形状を有することを特徴とする請求項２記載のナノインプリント用モールド搬送装置。
【請求項６】
被転写体を搬送する搬送装置と、
前記搬送装置の前記被転写体を載置する面に対向して設けられ、前記搬送装置の搬送方向に移動可能なベルトと、
前記ベルトの前記搬送装置と対向する面に設けられ、転写形状を有するモールドと、
前記モールドを前記被転写体に押圧する押圧手段と、
を具備するナノインプリント用転写装置を用いて、前記転写形状を前記被転写体上に転写する転写方法であって、
前記ベルトを前記被転写体の搬送方向に移動させながら、前記モールドを、前記押圧手段を用いて前記被転写体に押圧することにより、前記転写形状を前記被転写体上に連続して転写することを特徴とする転写方法。
【請求項７】
前記ベルトは、
一対の第１のローラに巻きつけられ、一対の前記第１のローラの回転によって連続して移動することを特徴とする請求項６記載の転写方法。
【請求項８】
前記ベルトは、
複数の板状部材を、前記搬送装置の前記被転写体を載置する面と平行な面内で連結した環状構造を有しており、
前記ベルトを、前記被転写体を載置する面と平行な面内で回転させることにより、前記ベルトが移動することを特徴とする請求項６記載の転写方法。
【請求項９】
前記押圧手段は、前記モールドを前記被転写体に対して略垂直に上下動させることが可能なアクチュエータであり、前記アクチュエータによって、前記モールドを下降させることにより、前記モールドが前記被転写体の表面に略垂直に押圧され、
前記モールドは、複数個に分割され、
前記アクチュエータは、分割された個々の前記モールドごとに、前記ベルトに設けられ、
分割された個々の前記モールドが独立して前記アクチュエータにより上下動可能であることを特徴とする請求項６記載の転写方法。
【請求項１０】
前記ベルトは、板状部材をつなぎ合わせた構造を有し、
前記ローラは、多角形の角柱形状を有することを特徴とする請求項７記載の転写方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【公開番号】特開２０１１−１２９９２７（Ｐ２０１１−１２９９２７Ａ）
【公開日】平成２３年６月３０日（２０１１．６．３０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２８００８８（Ｐ２０１０−２８００８８）
【出願日】平成２２年１２月１６日（２０１０．１２．１６）
【分割の表示】特願２００６−１７３７３３（Ｐ２００６−１７３７３３）の分割
【原出願日】平成１８年６月２３日（２００６．６．２３）
【出願人】（０００００２８９７）大日本印刷株式会社 (14,506)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年６月３０日（２０１１．６．３０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１２月１６日（２０１０．１２．１６）
【分割の表示】特願２００６−１７３７３３（Ｐ２００６−１７３７３３）の分割
【原出願日】平成１８年６月２３日（２００６．６．２３）
【出願人】（０００００２８９７）大日本印刷株式会社 (14,506)
【Ｆターム（参考）】
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