バッファユニット、基板処理設備、及び基板処理方法
【課題】バッファ機能と反転機能とを統合運営できるバッファユニット、基板処理設備、及び基板処理方法を提供する。
【解決手段】本発明によるバッファユニット4000は、ベースプレート4110と、ベースプレート4110に互いに離隔されて設置される第1垂直プレート4120と第2垂直プレート4130とを有するフレーム4100と、フォトマスクMが置かれ、第1及び第2垂直プレート4120,4130間に反転自在に設置される第1バッファ4200と、及び第1及び第2垂直プレート4120,4130の外方に設置され、第1バッファ4200に置かれるフォトマスクをグリップし、反転されるように第1バッファ4200を駆動させる駆動部と、を含む。
【解決手段】本発明によるバッファユニット4000は、ベースプレート4110と、ベースプレート4110に互いに離隔されて設置される第1垂直プレート4120と第2垂直プレート4130とを有するフレーム4100と、フォトマスクMが置かれ、第1及び第2垂直プレート4120,4130間に反転自在に設置される第1バッファ4200と、及び第1及び第2垂直プレート4120,4130の外方に設置され、第1バッファ4200に置かれるフォトマスクをグリップし、反転されるように第1バッファ4200を駆動させる駆動部と、を含む。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は基板処理設備に関し、より詳細にはフォトマスクが一時的に留まるバッファユニット、基板処理設備、及び基板処理方法に関する。
【背景技術】
【0002】
フォトマスク(photomask)は、石英やガラス基板上に半導体の微細回路を形成したものであって、例えば透明な石英基板の上層に塗布されたクロム薄膜を利用して半導体集積回路とLCDパターンを実際の大きさの1〜5倍で蝕刻したものである。フォトマスクの微細パターンは、フォトリソグラフィー工程を通じて基板上に形成される。フォトリソグラフィー工程は、フォトレジストを基板上に均一に塗布し、ステッパのような露光装備を利用してフォトマスク上のパターンを縮小投影露光させた後、現像過程を経て2次元のフォトレジストパターンを形成するまでの全過程をいう。
【0003】
もしフォトマスクに異物質が付着されれば、露光工程で光の散乱や吸収のような光反応によって光分解能が減少し、基板上のパターン形成に致命的な欠陥が発生するようになる。したがって、異物質からフォトマスクを保護するために露光工程進行の際、フォトマスクにペリクル(pellicle)という保護手段を装着する。ペリクルはフォトマスクのパターン上に位置することによって、ペリクルに異物質が付着されても、この異物質が基板のイメージに影響を及ばさない高さに位置するようになって、露光工程で異物質による悪影響を排除することができる。
【0004】
一方、フォトマスクの洗浄は、硫酸−過酸化水素混合物のようなケミカル(chemical)を利用する湿式洗浄装備で行われる。もしフォトマスクに接着剤を含む異物質が残留する場合には、フォトマスクの再使用のとき、露光工程で光の触媒によるエネルギーが添加されて露光すればするほど、段々大きくなる成長性異物質(haze defect)として作用する。このような成長性異物質は、望まないパターン転写を発生させるので、フォトマスクから接着剤を含む異物質が効果的に洗浄されなければならない。
【0005】
フォトマスクは洗浄処理面(パターン面)が下に向かった状態(裏返った状態)でフォトマスク洗浄装置に搬入される。したがって、フォトマスク洗浄装置にはフォトマスクを反転させるための反転装置が具備される。既存の反転装置は、フォトマスクを洗浄処理するチャンバー内に具備されるため、ケミカルフューム(fume)による腐蝕が発生し、駆動部で発生するパーティクルによるフォトマスク及びチャンバー内部の汚染の問題が発生する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】韓国特許第10−0899159号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
本発明は、バッファ機能と反転機能とを統合運営できるバッファユニット、基板処理設備、及び基板処理方法を提供するためのものである。
【0008】
本発明の目的はここに制限されなく、言及されなかったその他の目的は下の記載から当業者に明確に理解され得る。
【課題を解決するための手段】
【0009】
上記した課題を達成するために本発明の実施形態によるバッファユニットは、ベースプレートと、前記ベースプレートに互いに離隔されて設置される第1垂直プレートと第2垂直プレートとを有するフレームと、基板が置かれ、前記第1及び第2垂直プレートの間に反転自在に設置される第1バッファと、及び前記第1及び第2垂直プレートの外方に設置され、前記第1バッファに置かれる基板をグリップし、反転されるように前記第1バッファを駆動させる駆動部と、を含むことができる。
【0010】
本発明の実施形態によれば、前記第1バッファは、基板の一面を支持する第1支持部と、前記第1支持部と対向するように設置され、前記第1支持部に置かれた基板の他面を支持する第2支持部と、を含み、前記駆動部は、前記第1支持部と前記第2支持部とを同時に回転させる回転モジュールと、基板が前記第1支持部と前記第2支持部によってグリップされるように前記第2支持部を乗降させる乗降モジュールと、を含むことができる。
【0011】
本発明の実施形態によれば、前記回転モジュールは、前記第1垂直プレートと前記第2垂直プレートに回動自在に装着される中空形態の回転体と、前記回転体を回動させるための回動駆動部と、を含み、前記乗降モジュールは、前記回転体に固定されるシリンダーと、前記シリンダーの駆動によって乗降され、前記回転体を貫通して前記第2支持部と連結される連結ブロックと、を含むことができる。
【0012】
本発明の実施形態によれば、前記フレームは、前記駆動部が位置する駆動部空間が周辺環境と隔離されるように前記第1垂直プレートと前記第2垂直プレートとの外面をカバーする空間区画カバーをさらに含むことができる。
【0013】
本発明の実施形態によれば、前記フレームは、前記空間区画カバーによって設けられる前記駆動部空間へ排気圧を提供するための吸入ポートをさらに含むことができる。
【0014】
本発明の実施形態によれば、前記第1バッファの回転軸に対して基板のグリップポジション中心を偏心させて、基板のローディング位置と反転の後のアンローディング位置とを同一とする。
【0015】
本発明の実施形態によれば、基板の反転無しで単純バッファ機能を有する第2バッファをさらに含むことができる。
【0016】
本発明の実施形態によれば、前記第2バッファは、前記第1垂直プレートと前記第2垂直プレートとに設置され、前記第1バッファの下方に位置され得る。
【0017】
上記した課題を達成するための本発明の基板処理設備は、基板が載せられた容器が置かれるポート及びインデックスロボットを有するインデックス部と、基板処理を遂行する処理部と、前記インデックス部と前記処理部との間に配置されて、これらの間に搬送される基板が一時的に留まるバッファユニットと、を含み、前記バッファユニットは基板を反転させ得るように設けられる。
【0018】
本発明の実施形態によれば、前記バッファユニットは、基板が置かれる複数の第1バッファと、前記第1バッファを反転させるための駆動部と、前面と後面とが開放され前記第1バッファが位置される中央空間と、前記中央空間を中心に両側に配置され、前記駆動部が位置される駆動部空間とを有するフレームと、を含むことができる。
【0019】
本発明の実施形態によれば、前記フレームは、前記中央空間を介して互いに対向するように設置される第1及び第2垂直プレートと、前記駆動部空間が外部環境と隔離されるように前記駆動部空間を囲む空間区画カバーと、前記駆動部空間へ排気圧を提供するための吸入ポートと、を含むことができる。
【0020】
本発明の実施形態によれば、前記第1バッファは、基板の一面を支持する第1支持部と、前記第1支持部と対向するように設置され、前記第1支持部に置かれた基板の他面を支持する第2支持部と、を含み、前記駆動部は、前記第1支持部と前記第2支持部とを回転させる回転モジュールと、基板が前記第1支持部と前記第2支持部にグリップされるように前記第2支持部を乗降させる乗降モジュールと、を含むことができる。
【0021】
本発明の実施形態によれば、前記第1バッファの回転軸に対して基板のグリップポジション中心を偏心させて、基板のローディング位置と反転の後のアンローディング位置とを同一とし得る。
【0022】
本発明の実施形態によれば、前記バッファユニットは、基板を反転させる機能を有する第1バッファと、基板の反転無しで単純バッファ機能を有する第2バッファと、を有することができる。
【0023】
本発明の実施形態によれば、前記第2バッファは、第1バッファの下方に配置される。
【0024】
本発明の実施形態によれば、前記第1バッファは、上下方向に複数個設けられる。
【0025】
本発明の実施形態によれば、前記処理部は、上下方向に積層された第1処理部と第2処理部とを有し、前記第1処理部と前記第2処理部の各々は、搬送ロボットを有する移送路と、前記移送路の側部に前記移送路に沿って配置される複数のモジュールと、を有することができる。
【0026】
本発明の実施形態によれば、前記第1処理部は、グルー除去用処理モジュールと冷却処理モジュールとを含み、前記第2処理部は、加熱処理モジュールと機能水処理モジュールとを含むことができる。
【0027】
上記した課題を達成するための本発明は、容器が置かれるポートと基板に対して処理が成される処理部間にバッファユニットを配置して前記容器と前記処理部との間に搬送される基板が前記バッファユニットに留まり、前記基板は前記バッファユニットに留まる間に反転される。
【0028】
本発明の実施形態によれば、前記基板は、フォトマスクであり、前記処理部は、前記フォトマスクを洗浄する工程を遂行する。
【0029】
本発明の実施形態によれば、前記バッファユニットは、反転機能を有する第1バッファと、反転機能がない第2バッファとを有し、前記容器の基板は前記第2バッファで待機した後、前記第1バッファへ搬送される。
【発明の効果】
【0030】
本発明によると、バッファ機能と反転機能とを統合運営することができる。
【0031】
また、本発明はフォトマスクの汚染を最小化することができる。
【図面の簡単な説明】
【0032】
【図1】本発明の一実施形態による基板処理設備を示す図面である。
【図2】図1に図示された基板処理設備の第1層のレイアウトを示す図面である。
【図3】図1に図示された基板処理設備の第2層のレイアウトを示す図面である。
【図4】バッファユニットの斜視図である。
【図5】バッファユニットの正面図である。
【図6】バッファユニットの平面図である。
【図7】バッファユニットの断面図である。
【図8A】感知部材を示す平面図である。
【図8B】感知部材を示す側面図である。
【図9】第1バッファでのフォトマスク反転過程を段階的に示す図面である。
【図10】第1バッファでのフォトマスク反転過程を段階的に示す図面である。
【図11】第1バッファでのフォトマスク反転過程を段階的に示す図面である。
【図12】第1バッファでのフォトマスク反転過程を段階的に示す図面である。
【図13】第1バッファのみが設けられたバッファユニットを示す図面である。
【図14】第1バッファと第2バッファとが各々1つずつ設けられたバッファユニットを示す図面である。
【発明を実施するための形態】
【0033】
以下、添付された図面を参照して本発明の望ましい実施形態による基板処理設備を詳細に説明する。先ず、各図面の構成要素に参照符号を付加するにあたって、同一な構成要素に対しては、たとえ他の図面上に表示されても、できるだけ同一な符号を付加するようにしている。また、本発明を説明するにあたって、関連する公知構成又は機能に対する具体的な説明が、本発明の要旨を不明瞭にすることになると判断される場合には、その詳細な説明は省略する。
【0034】
(実施形態)
図1は本発明の一実施形態による基板処理設備を示す構成図である。図2及び図3は図1に図示された基板処理設備の第1層と第2層のレイアウトを示す図面である。
【0035】
本実施形態では基板としてフォトマスクを例に挙げて説明する。しかし、基板はフォトマスク以外に半導体ウエハー、平板表示パネル等、多様な種類の基板であり得る。また、本実施形態では基板処理設備がフォトマスクを洗浄する設備であることを例として挙げて説明する。しかし、基板処理設備はウエハー等のような他の種類の基板に洗浄工程を遂行する設備であり得る。また、選択的に、基板処理設備はフォトマスクやウエハー等の基板に対して洗浄工程以外に基板の反転が必要とする他の種類の工程を遂行する設備であり得る。
【0036】
図1乃至図3を参照すれば、基板処理設備1は、インデックス部1000、処理部200、及びバッファユニット4000を含む。
【0037】
インデックス部1000は、フォトマスクMが載せられた容器が置かれる4つのポート1100と、フォトマスクMを移送するためのインデックスロボット1200とを含む。フォトマスクMは、パターン面が下に向かうように裏返った状態で容器に載せられてポート1100に置かれる。したがって、フォトマスクMのパターン面が汚染されることを最小化できる。フォトマスクMは、第1処理部2000又は第2処理部3000に搬入される前に、バッファユニット4000でパターン面が上に向かうように反転される。
【0038】
処理部200は、第1処理部2000と第2処理部3000とを有する。第1処理部2000ではフォトマスクの湿式洗浄が行われる。第1処理部2000は、反転バッファ部(バッファユニット4000)と連結され、この第1処理部2000は、フォトマスクMを搬送するための第1搬送ロボット2200を有する第1移送路2100と、第1移送路2100に沿って配置されるグルー除去用処理モジュール(HSU、GSU)2300,2400と、フォトマスク冷却処理モジュール(CPU)2500とを含む。
【0039】
グルー除去用処理モジュール2300,2400は3個設けられ、フォトマスク冷却処理モジュール2500は1個設けられ得る。
【0040】
グルー除去用処理モジュール(HSU、GSU)2300,2400は、SPM溶液をフォトマスクMの前面に塗布してグルーを除去する前面処理モジュール(HSU)2300と、SPM溶液をフォトマスクMの縁部分に塗布してグルーを除去する部分処理モジュール(GSU)2400とを包含できる。そして、フォトマスク冷却処理モジュール2500は、加熱処理モジュール3300で熱処理されたフォトマスクMの温度を常温まで低くする。
【0041】
第2処理部3000は、第1処理部2000と層で区画されるように配置される。第2処理部3000では、フォトマスクMの乾式及び機能水洗浄が行われる。
【0042】
第2処理部3000は、フォトマスクMを搬送するための第2搬送ロボット3200を有する第2移送路3100と、第2移送路3100に沿って配置される加熱処理モジュール(HPU)3300及び機能水処理モジュール(SCU)3400と、を含む。加熱処理モジュール3300は、紫外線を利用してフォトマスクMを加熱することができる。加熱処理モジュール3300は2個設けられ、機能水処理モジュール3400は2個設けられ得る。
【0043】
バッファユニット4000は、処理部200とインデックス部1000との間に配置される。一実施形態によると、バッファユニット4000は、第1処理部2000とインデックス部1000との間に配置される。選択的に、バッファユニット4000は、第2処理部3000とインデックス部1000との間に配置され得る。バッファユニット4000は、フォトマスクMを反転させる。
【0044】
基板処理設備1では、湿式洗浄のためのモジュールは第1層に設けられ、乾式洗浄のためのモジュールは第2層に設けられる。即ち、薬液を利用する湿式洗浄は第1層に配置してダウンフローによるイオン汚染が乾式処理したフォトマスクMに影響を及ばないようにしている。例えば、本発明の基板処理設備1は、湿式洗浄のためのモジュールと乾式洗浄のためのモジュールとを単一層に全て配置されるように構成することができる。
【0045】
上述した本実施形態では、処理部200がグルー除去用処理モジュール2300,2400、フォトマスク冷却処理モジュール2500、加熱処理モジュール3300、及び機能水処理モジュール3400を具備することを説明した。しかし、処理が行われる基板の種類、及び処理工程によっては、処理部200へ設けられる処理モジュールの種類はこれと異なり得る。
【0046】
基板処理設備は、最大4枚のフォトマスクMを同時に処理できるので、高い生産性を期待できる。
【0047】
フォトマスクMは、パターン面がクロムCr成分で成されているので、静電気に対して非常に脆弱である。したがって、本発明の基板処理設備は、静電気によるダメージを最小化するために移動経路の上(第1移送路2100、第2移送路3100、各々の処理モジュール2300,2400,2500,3300,3400内部)にイオナイザ(ionizer)が設置され得る。
【0048】
図4はバッファユニット4000の斜視図であり、図5はバッファユニット4000の正面図であり、図6はバッファユニット4000の平面図である。図7はバッファユニット4000の断面図である。
【0049】
図4乃至図7を参照すれば、バッファユニット4000は、フレーム4100、反転機能を有する第1バッファ4200、単純バッファ機能を有する第2バッファ4300、及び駆動部4400を含む。第1バッファ4200と第2バッファ4300は各々2個ずつ設けられ得る。
【0050】
フレーム4100は、ベースプレート4110、第1垂直プレート4120、第2垂直プレート4130、及び2つの空間区画カバー4140を含む。
【0051】
第1垂直プレート4120と第2垂直プレート4130とは、ベースプレート4110と垂直に設置される。第1垂直プレート4120と第2垂直プレート4130とは互いに離隔されて配置される。第1垂直プレート4120と第2垂直プレート4130との間の空間は、中央空間(CA)(フォトマスクMの保管及び反転が成される空間)として定義し、第1垂直プレート4120の右側空間と、第2垂直プレート4130の左側空間とは、各々駆動部空間(DA)として定義する。中央空間(CA)は、フォトマスクMが搬入/搬出できるように前面と後面とが開放され、第1バッファ4200と第2バッファ4300とが多段構造に設置される。駆動部空間(DA)には駆動部4400が設置される。駆動部空間(DA)は空間区画カバー4140によって外部環境と隔離される。フレーム4100のベースプレート4110は、駆動部空間(DA)の排気圧(負の圧力)を形成するための吸入ポート4112を具備する。即ち、駆動部空間(DA)は、空間区画カバー4140によって外部環境と隔離されているのみでなく、吸入ポート4112を通じて負の圧力(排気圧)が形成されて中央空間(CA)への気流形成が抑制される。
【0052】
第2バッファ4300は第1バッファ4200の下方に位置される。第2バッファ4300は、フォトマスクMを反転させることなく保管する単純バッファ機能を有する。
【0053】
第1バッファ4200は、回転自在に第1垂直プレート4120と第2垂直プレート4130とに設置される。第1バッファ4200は、第1支持部である固定載置台4210と、第2支持部であるグリッパー載置台4220とを含む。グリッパー載置台4220と固定載置台4210とは、互いに対向するように位置される。グリッパー載置台4220は、固定載置台4210に置かれたフォトマスクMの縁をホールディングするために垂直方向へ乗降される。平面から見ると、固定載置台4210とグリッパー載置台4220は四角枠の形状でなされる。固定載置台4210とグリッパー載置台4220とは、各々の角にフォトマスクMの角が安着される下敷き突起4212、4222(図4に図示される)を含む。
【0054】
駆動部4400は、回転モジュール4410と乗降モジュール4420とを含む。駆動部4400は、駆動部空間(DA)に位置されて、駆動部4400で発生するパーティクルからフォトマスクの逆汚染を防止することができる。
【0055】
回転モジュール4410は、2つの回転体4412と、1つの回動駆動部4414とを含む。
【0056】
回転体4412は、第1垂直プレート4120と第2垂直プレート4130とに各々対応するように設置される。回動駆動部4414は、第1垂直プレート4120に設置される。回動駆動部4414は、回転体4412を180°反転させるためのモーター4416と、ベルト4417と、プーリ4418とを含む。回転体4412は、内部に通路を有する中空形態になされる。固定載置台4210は、両端が回転体4412に固定される。
【0057】
乗降モジュール4420は、シリンダー4422、連結ブロック4424、及びLMガイド4426を含む。シリンダー4422は、駆動部空間(DA)に位置する回転体4412の外側に固定設置される。連結ブロック4424は、シリンダー4422の駆動によって乗降される。LMガイド4426は、回転体4412に固定設置される。LMガイド4426は、シリンダー4422の駆動によって乗降される連結ブロック4424を案内する。連結ブロック4424は、回転体4412の内部通路を通じて、中央空間(CA)に位置したグリッパー載置台4220と連結される。
【0058】
一方、バッファユニット4000は、フォトマスクMの安着の可否を感知する感知部材9300を含む。感知部材9300は、第1バッファ4200と第2バッファ4300各々のフォトマスクMのローディング/アンローディングの高さに設置される。感知部材9300は、交差チェックのために対角線方向に設置される。
【0059】
図8A及び図8Bは図6に図示された感知部材9300を示す平面図及び側面図である。
【0060】
図8A及び図8Bを参照すれば、感知部材9300は、各々のバッファ4200,4300の周辺に位置される。感知部材9300は、フォトマスクMの存在の有無及びフォトマスクMのローディング誤りを同時に感知できる。感知部材9300は、レーザービームを発光する発光部9310と、発光部9310から発光されるレーザービームを受光する受光部9320とが互いに対をなすように設置される。発光部9310と受光部9320とは、レーザービームがフォトマスクMの対角線方向に進行するように配置される。即ち、レーザービームは、フォトマスクMの一側面に斜めに入射される。
【0061】
発光部9310は、レーザービームを発光する発光センサー9312と、レーザービームのビーム幅を制限する第1スリット窓9314が形成された第1遮光板9316とを含む。発光部9310から照射されるレーザービームは、その断面が垂直になるスリット形態になされる。
【0062】
受光部9320は、発光部9310から照射されるレーザービームが出入する第2スリット窓9324が形成された第2遮光板9326と、第2遮光板9326後方に位置されスリット窓9324を通じて入るレーザービームの感度を感知する受光センサー9322とを含む。
【0063】
レーザービームのビーム幅h1は、フォトマスクMの厚みh2より広く、レーザービームはフォトマスクMの一部を透過するように位置される。例えば、フォトマスクMは厚さが6.35mm、レーザービームはビーム幅h1が10mmである場合、フォトマスクMを通過するレーザービームのビーム幅h3が5mmであるとき、フォトマスクMの存在の有無及びローディングの誤りの感知が容易である。即ち、レーザービームは半分(5mm)がフォトマスクMを通過するように配置されることが望ましい。一方、レーザービームは、一部(フォトマスクMを透過する透過ビーム)がフォトマスクMの側面に斜めに入射され、このように入射されたレーザービームは、フォトマスクMを通過しながら、屈折現象によって受光部9320の第2スリット窓9324へ入射されない。そして、フォトマスクMの上面へ通るレーザービームのみが、受光部9320の第2スリット窓9324へ入射される。そのため、フォトマスクMに入射された分、レーザービームの感度は低くなる。
【0064】
図9乃至図12は、第1バッファ4200でのフォトマスクMの反転過程を段階的に示す図面である。
【0065】
図9乃至図12を参照すれば、フォトマスクMは、搬送装置(図示せず)によって反転バッファ部(バッファユニット4000)の中央空間(CA)へ搬入されて、固定載置台4210にローディングされる。フォトマスクMが固定載置台4210にローディングされれば、グリッパー載置台4220は乗降モジュール4320によってダウン移動されてフォトマスクMを上部から支持する。フォトマスクMが固定載置台4210とグリッパー載置台4220とによって固定されれば、第1バッファ4200は、回転モジュール4410によって反転される。反転の後、グリッパー載置台4220は、固定載置台4210の下方に位置される。グリッパー載置台4220は、乗降モジュール4320によって、ダウン移動されてフォトマスクMのホールディングを解除する。このとき、フォトマスクMはグリッパー載置台4220に安着された状態でローディング/アンローディング位置へ移動される。
【0066】
ここで、フォトマスクMの回転軸(一点鎖線で示す)は、フォトマスクMより上方に位置される。即ち、フォトマスクMの回転軸に対して、フォトマスクMのグリップポジション中心を偏心させて、フォトマスクMの初期ローディング位置と反転の後のアンローディング位置が同一の位置に維持される。
【0067】
図13は、第1バッファ4200のみが設けられたバッファユニット4000を示す図面であり、図14は第1バッファ4200と第2バッファ4300とが各々1つずつ設けられたバッファユニット4000を示す図面である。
【0068】
図13に示したように、バッファユニット4000は、反転機能を有する第1バッファ4200のみが包含され得る。
【0069】
図14に示したように、バッファユニット4000は、第1バッファ4200と第2バッファ4300とを1個ずつ備えるか、或いは相異なる数を備え得る。また、第1バッファ4200と第2バッファ4300の位置は変更できる。
【0070】
以上の説明は、本発明の技術思想を例示的に説明したに過ぎないので、本発明が属する技術分野で通常の知識を有するものであれば、本発明の本質的な特性から逸脱しない範囲で多様な修正及び変形が可能である。したがって、本発明に開示された実施形態は、本発明の技術思想を限定するためのものではなく、説明するためのものであり、このような実施形態によって本発明の技術思想の範囲が限定されない。本発明の保護範囲は、添付の特許請求の範囲によって解釈されなければならないし、それと同等な範囲内にある全て技術思想は本発明の権利範囲に含まれることとして解釈されなければならない。
【符号の説明】
【0071】
1000・・・インデックス部
2000・・・第1処理部
3000・・・第2処理部
4000・・・バッファユニット
【技術分野】
【0001】
本発明は基板処理設備に関し、より詳細にはフォトマスクが一時的に留まるバッファユニット、基板処理設備、及び基板処理方法に関する。
【背景技術】
【0002】
フォトマスク(photomask)は、石英やガラス基板上に半導体の微細回路を形成したものであって、例えば透明な石英基板の上層に塗布されたクロム薄膜を利用して半導体集積回路とLCDパターンを実際の大きさの1〜5倍で蝕刻したものである。フォトマスクの微細パターンは、フォトリソグラフィー工程を通じて基板上に形成される。フォトリソグラフィー工程は、フォトレジストを基板上に均一に塗布し、ステッパのような露光装備を利用してフォトマスク上のパターンを縮小投影露光させた後、現像過程を経て2次元のフォトレジストパターンを形成するまでの全過程をいう。
【0003】
もしフォトマスクに異物質が付着されれば、露光工程で光の散乱や吸収のような光反応によって光分解能が減少し、基板上のパターン形成に致命的な欠陥が発生するようになる。したがって、異物質からフォトマスクを保護するために露光工程進行の際、フォトマスクにペリクル(pellicle)という保護手段を装着する。ペリクルはフォトマスクのパターン上に位置することによって、ペリクルに異物質が付着されても、この異物質が基板のイメージに影響を及ばさない高さに位置するようになって、露光工程で異物質による悪影響を排除することができる。
【0004】
一方、フォトマスクの洗浄は、硫酸−過酸化水素混合物のようなケミカル(chemical)を利用する湿式洗浄装備で行われる。もしフォトマスクに接着剤を含む異物質が残留する場合には、フォトマスクの再使用のとき、露光工程で光の触媒によるエネルギーが添加されて露光すればするほど、段々大きくなる成長性異物質(haze defect)として作用する。このような成長性異物質は、望まないパターン転写を発生させるので、フォトマスクから接着剤を含む異物質が効果的に洗浄されなければならない。
【0005】
フォトマスクは洗浄処理面(パターン面)が下に向かった状態(裏返った状態)でフォトマスク洗浄装置に搬入される。したがって、フォトマスク洗浄装置にはフォトマスクを反転させるための反転装置が具備される。既存の反転装置は、フォトマスクを洗浄処理するチャンバー内に具備されるため、ケミカルフューム(fume)による腐蝕が発生し、駆動部で発生するパーティクルによるフォトマスク及びチャンバー内部の汚染の問題が発生する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】韓国特許第10−0899159号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
本発明は、バッファ機能と反転機能とを統合運営できるバッファユニット、基板処理設備、及び基板処理方法を提供するためのものである。
【0008】
本発明の目的はここに制限されなく、言及されなかったその他の目的は下の記載から当業者に明確に理解され得る。
【課題を解決するための手段】
【0009】
上記した課題を達成するために本発明の実施形態によるバッファユニットは、ベースプレートと、前記ベースプレートに互いに離隔されて設置される第1垂直プレートと第2垂直プレートとを有するフレームと、基板が置かれ、前記第1及び第2垂直プレートの間に反転自在に設置される第1バッファと、及び前記第1及び第2垂直プレートの外方に設置され、前記第1バッファに置かれる基板をグリップし、反転されるように前記第1バッファを駆動させる駆動部と、を含むことができる。
【0010】
本発明の実施形態によれば、前記第1バッファは、基板の一面を支持する第1支持部と、前記第1支持部と対向するように設置され、前記第1支持部に置かれた基板の他面を支持する第2支持部と、を含み、前記駆動部は、前記第1支持部と前記第2支持部とを同時に回転させる回転モジュールと、基板が前記第1支持部と前記第2支持部によってグリップされるように前記第2支持部を乗降させる乗降モジュールと、を含むことができる。
【0011】
本発明の実施形態によれば、前記回転モジュールは、前記第1垂直プレートと前記第2垂直プレートに回動自在に装着される中空形態の回転体と、前記回転体を回動させるための回動駆動部と、を含み、前記乗降モジュールは、前記回転体に固定されるシリンダーと、前記シリンダーの駆動によって乗降され、前記回転体を貫通して前記第2支持部と連結される連結ブロックと、を含むことができる。
【0012】
本発明の実施形態によれば、前記フレームは、前記駆動部が位置する駆動部空間が周辺環境と隔離されるように前記第1垂直プレートと前記第2垂直プレートとの外面をカバーする空間区画カバーをさらに含むことができる。
【0013】
本発明の実施形態によれば、前記フレームは、前記空間区画カバーによって設けられる前記駆動部空間へ排気圧を提供するための吸入ポートをさらに含むことができる。
【0014】
本発明の実施形態によれば、前記第1バッファの回転軸に対して基板のグリップポジション中心を偏心させて、基板のローディング位置と反転の後のアンローディング位置とを同一とする。
【0015】
本発明の実施形態によれば、基板の反転無しで単純バッファ機能を有する第2バッファをさらに含むことができる。
【0016】
本発明の実施形態によれば、前記第2バッファは、前記第1垂直プレートと前記第2垂直プレートとに設置され、前記第1バッファの下方に位置され得る。
【0017】
上記した課題を達成するための本発明の基板処理設備は、基板が載せられた容器が置かれるポート及びインデックスロボットを有するインデックス部と、基板処理を遂行する処理部と、前記インデックス部と前記処理部との間に配置されて、これらの間に搬送される基板が一時的に留まるバッファユニットと、を含み、前記バッファユニットは基板を反転させ得るように設けられる。
【0018】
本発明の実施形態によれば、前記バッファユニットは、基板が置かれる複数の第1バッファと、前記第1バッファを反転させるための駆動部と、前面と後面とが開放され前記第1バッファが位置される中央空間と、前記中央空間を中心に両側に配置され、前記駆動部が位置される駆動部空間とを有するフレームと、を含むことができる。
【0019】
本発明の実施形態によれば、前記フレームは、前記中央空間を介して互いに対向するように設置される第1及び第2垂直プレートと、前記駆動部空間が外部環境と隔離されるように前記駆動部空間を囲む空間区画カバーと、前記駆動部空間へ排気圧を提供するための吸入ポートと、を含むことができる。
【0020】
本発明の実施形態によれば、前記第1バッファは、基板の一面を支持する第1支持部と、前記第1支持部と対向するように設置され、前記第1支持部に置かれた基板の他面を支持する第2支持部と、を含み、前記駆動部は、前記第1支持部と前記第2支持部とを回転させる回転モジュールと、基板が前記第1支持部と前記第2支持部にグリップされるように前記第2支持部を乗降させる乗降モジュールと、を含むことができる。
【0021】
本発明の実施形態によれば、前記第1バッファの回転軸に対して基板のグリップポジション中心を偏心させて、基板のローディング位置と反転の後のアンローディング位置とを同一とし得る。
【0022】
本発明の実施形態によれば、前記バッファユニットは、基板を反転させる機能を有する第1バッファと、基板の反転無しで単純バッファ機能を有する第2バッファと、を有することができる。
【0023】
本発明の実施形態によれば、前記第2バッファは、第1バッファの下方に配置される。
【0024】
本発明の実施形態によれば、前記第1バッファは、上下方向に複数個設けられる。
【0025】
本発明の実施形態によれば、前記処理部は、上下方向に積層された第1処理部と第2処理部とを有し、前記第1処理部と前記第2処理部の各々は、搬送ロボットを有する移送路と、前記移送路の側部に前記移送路に沿って配置される複数のモジュールと、を有することができる。
【0026】
本発明の実施形態によれば、前記第1処理部は、グルー除去用処理モジュールと冷却処理モジュールとを含み、前記第2処理部は、加熱処理モジュールと機能水処理モジュールとを含むことができる。
【0027】
上記した課題を達成するための本発明は、容器が置かれるポートと基板に対して処理が成される処理部間にバッファユニットを配置して前記容器と前記処理部との間に搬送される基板が前記バッファユニットに留まり、前記基板は前記バッファユニットに留まる間に反転される。
【0028】
本発明の実施形態によれば、前記基板は、フォトマスクであり、前記処理部は、前記フォトマスクを洗浄する工程を遂行する。
【0029】
本発明の実施形態によれば、前記バッファユニットは、反転機能を有する第1バッファと、反転機能がない第2バッファとを有し、前記容器の基板は前記第2バッファで待機した後、前記第1バッファへ搬送される。
【発明の効果】
【0030】
本発明によると、バッファ機能と反転機能とを統合運営することができる。
【0031】
また、本発明はフォトマスクの汚染を最小化することができる。
【図面の簡単な説明】
【0032】
【図1】本発明の一実施形態による基板処理設備を示す図面である。
【図2】図1に図示された基板処理設備の第1層のレイアウトを示す図面である。
【図3】図1に図示された基板処理設備の第2層のレイアウトを示す図面である。
【図4】バッファユニットの斜視図である。
【図5】バッファユニットの正面図である。
【図6】バッファユニットの平面図である。
【図7】バッファユニットの断面図である。
【図8A】感知部材を示す平面図である。
【図8B】感知部材を示す側面図である。
【図9】第1バッファでのフォトマスク反転過程を段階的に示す図面である。
【図10】第1バッファでのフォトマスク反転過程を段階的に示す図面である。
【図11】第1バッファでのフォトマスク反転過程を段階的に示す図面である。
【図12】第1バッファでのフォトマスク反転過程を段階的に示す図面である。
【図13】第1バッファのみが設けられたバッファユニットを示す図面である。
【図14】第1バッファと第2バッファとが各々1つずつ設けられたバッファユニットを示す図面である。
【発明を実施するための形態】
【0033】
以下、添付された図面を参照して本発明の望ましい実施形態による基板処理設備を詳細に説明する。先ず、各図面の構成要素に参照符号を付加するにあたって、同一な構成要素に対しては、たとえ他の図面上に表示されても、できるだけ同一な符号を付加するようにしている。また、本発明を説明するにあたって、関連する公知構成又は機能に対する具体的な説明が、本発明の要旨を不明瞭にすることになると判断される場合には、その詳細な説明は省略する。
【0034】
(実施形態)
図1は本発明の一実施形態による基板処理設備を示す構成図である。図2及び図3は図1に図示された基板処理設備の第1層と第2層のレイアウトを示す図面である。
【0035】
本実施形態では基板としてフォトマスクを例に挙げて説明する。しかし、基板はフォトマスク以外に半導体ウエハー、平板表示パネル等、多様な種類の基板であり得る。また、本実施形態では基板処理設備がフォトマスクを洗浄する設備であることを例として挙げて説明する。しかし、基板処理設備はウエハー等のような他の種類の基板に洗浄工程を遂行する設備であり得る。また、選択的に、基板処理設備はフォトマスクやウエハー等の基板に対して洗浄工程以外に基板の反転が必要とする他の種類の工程を遂行する設備であり得る。
【0036】
図1乃至図3を参照すれば、基板処理設備1は、インデックス部1000、処理部200、及びバッファユニット4000を含む。
【0037】
インデックス部1000は、フォトマスクMが載せられた容器が置かれる4つのポート1100と、フォトマスクMを移送するためのインデックスロボット1200とを含む。フォトマスクMは、パターン面が下に向かうように裏返った状態で容器に載せられてポート1100に置かれる。したがって、フォトマスクMのパターン面が汚染されることを最小化できる。フォトマスクMは、第1処理部2000又は第2処理部3000に搬入される前に、バッファユニット4000でパターン面が上に向かうように反転される。
【0038】
処理部200は、第1処理部2000と第2処理部3000とを有する。第1処理部2000ではフォトマスクの湿式洗浄が行われる。第1処理部2000は、反転バッファ部(バッファユニット4000)と連結され、この第1処理部2000は、フォトマスクMを搬送するための第1搬送ロボット2200を有する第1移送路2100と、第1移送路2100に沿って配置されるグルー除去用処理モジュール(HSU、GSU)2300,2400と、フォトマスク冷却処理モジュール(CPU)2500とを含む。
【0039】
グルー除去用処理モジュール2300,2400は3個設けられ、フォトマスク冷却処理モジュール2500は1個設けられ得る。
【0040】
グルー除去用処理モジュール(HSU、GSU)2300,2400は、SPM溶液をフォトマスクMの前面に塗布してグルーを除去する前面処理モジュール(HSU)2300と、SPM溶液をフォトマスクMの縁部分に塗布してグルーを除去する部分処理モジュール(GSU)2400とを包含できる。そして、フォトマスク冷却処理モジュール2500は、加熱処理モジュール3300で熱処理されたフォトマスクMの温度を常温まで低くする。
【0041】
第2処理部3000は、第1処理部2000と層で区画されるように配置される。第2処理部3000では、フォトマスクMの乾式及び機能水洗浄が行われる。
【0042】
第2処理部3000は、フォトマスクMを搬送するための第2搬送ロボット3200を有する第2移送路3100と、第2移送路3100に沿って配置される加熱処理モジュール(HPU)3300及び機能水処理モジュール(SCU)3400と、を含む。加熱処理モジュール3300は、紫外線を利用してフォトマスクMを加熱することができる。加熱処理モジュール3300は2個設けられ、機能水処理モジュール3400は2個設けられ得る。
【0043】
バッファユニット4000は、処理部200とインデックス部1000との間に配置される。一実施形態によると、バッファユニット4000は、第1処理部2000とインデックス部1000との間に配置される。選択的に、バッファユニット4000は、第2処理部3000とインデックス部1000との間に配置され得る。バッファユニット4000は、フォトマスクMを反転させる。
【0044】
基板処理設備1では、湿式洗浄のためのモジュールは第1層に設けられ、乾式洗浄のためのモジュールは第2層に設けられる。即ち、薬液を利用する湿式洗浄は第1層に配置してダウンフローによるイオン汚染が乾式処理したフォトマスクMに影響を及ばないようにしている。例えば、本発明の基板処理設備1は、湿式洗浄のためのモジュールと乾式洗浄のためのモジュールとを単一層に全て配置されるように構成することができる。
【0045】
上述した本実施形態では、処理部200がグルー除去用処理モジュール2300,2400、フォトマスク冷却処理モジュール2500、加熱処理モジュール3300、及び機能水処理モジュール3400を具備することを説明した。しかし、処理が行われる基板の種類、及び処理工程によっては、処理部200へ設けられる処理モジュールの種類はこれと異なり得る。
【0046】
基板処理設備は、最大4枚のフォトマスクMを同時に処理できるので、高い生産性を期待できる。
【0047】
フォトマスクMは、パターン面がクロムCr成分で成されているので、静電気に対して非常に脆弱である。したがって、本発明の基板処理設備は、静電気によるダメージを最小化するために移動経路の上(第1移送路2100、第2移送路3100、各々の処理モジュール2300,2400,2500,3300,3400内部)にイオナイザ(ionizer)が設置され得る。
【0048】
図4はバッファユニット4000の斜視図であり、図5はバッファユニット4000の正面図であり、図6はバッファユニット4000の平面図である。図7はバッファユニット4000の断面図である。
【0049】
図4乃至図7を参照すれば、バッファユニット4000は、フレーム4100、反転機能を有する第1バッファ4200、単純バッファ機能を有する第2バッファ4300、及び駆動部4400を含む。第1バッファ4200と第2バッファ4300は各々2個ずつ設けられ得る。
【0050】
フレーム4100は、ベースプレート4110、第1垂直プレート4120、第2垂直プレート4130、及び2つの空間区画カバー4140を含む。
【0051】
第1垂直プレート4120と第2垂直プレート4130とは、ベースプレート4110と垂直に設置される。第1垂直プレート4120と第2垂直プレート4130とは互いに離隔されて配置される。第1垂直プレート4120と第2垂直プレート4130との間の空間は、中央空間(CA)(フォトマスクMの保管及び反転が成される空間)として定義し、第1垂直プレート4120の右側空間と、第2垂直プレート4130の左側空間とは、各々駆動部空間(DA)として定義する。中央空間(CA)は、フォトマスクMが搬入/搬出できるように前面と後面とが開放され、第1バッファ4200と第2バッファ4300とが多段構造に設置される。駆動部空間(DA)には駆動部4400が設置される。駆動部空間(DA)は空間区画カバー4140によって外部環境と隔離される。フレーム4100のベースプレート4110は、駆動部空間(DA)の排気圧(負の圧力)を形成するための吸入ポート4112を具備する。即ち、駆動部空間(DA)は、空間区画カバー4140によって外部環境と隔離されているのみでなく、吸入ポート4112を通じて負の圧力(排気圧)が形成されて中央空間(CA)への気流形成が抑制される。
【0052】
第2バッファ4300は第1バッファ4200の下方に位置される。第2バッファ4300は、フォトマスクMを反転させることなく保管する単純バッファ機能を有する。
【0053】
第1バッファ4200は、回転自在に第1垂直プレート4120と第2垂直プレート4130とに設置される。第1バッファ4200は、第1支持部である固定載置台4210と、第2支持部であるグリッパー載置台4220とを含む。グリッパー載置台4220と固定載置台4210とは、互いに対向するように位置される。グリッパー載置台4220は、固定載置台4210に置かれたフォトマスクMの縁をホールディングするために垂直方向へ乗降される。平面から見ると、固定載置台4210とグリッパー載置台4220は四角枠の形状でなされる。固定載置台4210とグリッパー載置台4220とは、各々の角にフォトマスクMの角が安着される下敷き突起4212、4222(図4に図示される)を含む。
【0054】
駆動部4400は、回転モジュール4410と乗降モジュール4420とを含む。駆動部4400は、駆動部空間(DA)に位置されて、駆動部4400で発生するパーティクルからフォトマスクの逆汚染を防止することができる。
【0055】
回転モジュール4410は、2つの回転体4412と、1つの回動駆動部4414とを含む。
【0056】
回転体4412は、第1垂直プレート4120と第2垂直プレート4130とに各々対応するように設置される。回動駆動部4414は、第1垂直プレート4120に設置される。回動駆動部4414は、回転体4412を180°反転させるためのモーター4416と、ベルト4417と、プーリ4418とを含む。回転体4412は、内部に通路を有する中空形態になされる。固定載置台4210は、両端が回転体4412に固定される。
【0057】
乗降モジュール4420は、シリンダー4422、連結ブロック4424、及びLMガイド4426を含む。シリンダー4422は、駆動部空間(DA)に位置する回転体4412の外側に固定設置される。連結ブロック4424は、シリンダー4422の駆動によって乗降される。LMガイド4426は、回転体4412に固定設置される。LMガイド4426は、シリンダー4422の駆動によって乗降される連結ブロック4424を案内する。連結ブロック4424は、回転体4412の内部通路を通じて、中央空間(CA)に位置したグリッパー載置台4220と連結される。
【0058】
一方、バッファユニット4000は、フォトマスクMの安着の可否を感知する感知部材9300を含む。感知部材9300は、第1バッファ4200と第2バッファ4300各々のフォトマスクMのローディング/アンローディングの高さに設置される。感知部材9300は、交差チェックのために対角線方向に設置される。
【0059】
図8A及び図8Bは図6に図示された感知部材9300を示す平面図及び側面図である。
【0060】
図8A及び図8Bを参照すれば、感知部材9300は、各々のバッファ4200,4300の周辺に位置される。感知部材9300は、フォトマスクMの存在の有無及びフォトマスクMのローディング誤りを同時に感知できる。感知部材9300は、レーザービームを発光する発光部9310と、発光部9310から発光されるレーザービームを受光する受光部9320とが互いに対をなすように設置される。発光部9310と受光部9320とは、レーザービームがフォトマスクMの対角線方向に進行するように配置される。即ち、レーザービームは、フォトマスクMの一側面に斜めに入射される。
【0061】
発光部9310は、レーザービームを発光する発光センサー9312と、レーザービームのビーム幅を制限する第1スリット窓9314が形成された第1遮光板9316とを含む。発光部9310から照射されるレーザービームは、その断面が垂直になるスリット形態になされる。
【0062】
受光部9320は、発光部9310から照射されるレーザービームが出入する第2スリット窓9324が形成された第2遮光板9326と、第2遮光板9326後方に位置されスリット窓9324を通じて入るレーザービームの感度を感知する受光センサー9322とを含む。
【0063】
レーザービームのビーム幅h1は、フォトマスクMの厚みh2より広く、レーザービームはフォトマスクMの一部を透過するように位置される。例えば、フォトマスクMは厚さが6.35mm、レーザービームはビーム幅h1が10mmである場合、フォトマスクMを通過するレーザービームのビーム幅h3が5mmであるとき、フォトマスクMの存在の有無及びローディングの誤りの感知が容易である。即ち、レーザービームは半分(5mm)がフォトマスクMを通過するように配置されることが望ましい。一方、レーザービームは、一部(フォトマスクMを透過する透過ビーム)がフォトマスクMの側面に斜めに入射され、このように入射されたレーザービームは、フォトマスクMを通過しながら、屈折現象によって受光部9320の第2スリット窓9324へ入射されない。そして、フォトマスクMの上面へ通るレーザービームのみが、受光部9320の第2スリット窓9324へ入射される。そのため、フォトマスクMに入射された分、レーザービームの感度は低くなる。
【0064】
図9乃至図12は、第1バッファ4200でのフォトマスクMの反転過程を段階的に示す図面である。
【0065】
図9乃至図12を参照すれば、フォトマスクMは、搬送装置(図示せず)によって反転バッファ部(バッファユニット4000)の中央空間(CA)へ搬入されて、固定載置台4210にローディングされる。フォトマスクMが固定載置台4210にローディングされれば、グリッパー載置台4220は乗降モジュール4320によってダウン移動されてフォトマスクMを上部から支持する。フォトマスクMが固定載置台4210とグリッパー載置台4220とによって固定されれば、第1バッファ4200は、回転モジュール4410によって反転される。反転の後、グリッパー載置台4220は、固定載置台4210の下方に位置される。グリッパー載置台4220は、乗降モジュール4320によって、ダウン移動されてフォトマスクMのホールディングを解除する。このとき、フォトマスクMはグリッパー載置台4220に安着された状態でローディング/アンローディング位置へ移動される。
【0066】
ここで、フォトマスクMの回転軸(一点鎖線で示す)は、フォトマスクMより上方に位置される。即ち、フォトマスクMの回転軸に対して、フォトマスクMのグリップポジション中心を偏心させて、フォトマスクMの初期ローディング位置と反転の後のアンローディング位置が同一の位置に維持される。
【0067】
図13は、第1バッファ4200のみが設けられたバッファユニット4000を示す図面であり、図14は第1バッファ4200と第2バッファ4300とが各々1つずつ設けられたバッファユニット4000を示す図面である。
【0068】
図13に示したように、バッファユニット4000は、反転機能を有する第1バッファ4200のみが包含され得る。
【0069】
図14に示したように、バッファユニット4000は、第1バッファ4200と第2バッファ4300とを1個ずつ備えるか、或いは相異なる数を備え得る。また、第1バッファ4200と第2バッファ4300の位置は変更できる。
【0070】
以上の説明は、本発明の技術思想を例示的に説明したに過ぎないので、本発明が属する技術分野で通常の知識を有するものであれば、本発明の本質的な特性から逸脱しない範囲で多様な修正及び変形が可能である。したがって、本発明に開示された実施形態は、本発明の技術思想を限定するためのものではなく、説明するためのものであり、このような実施形態によって本発明の技術思想の範囲が限定されない。本発明の保護範囲は、添付の特許請求の範囲によって解釈されなければならないし、それと同等な範囲内にある全て技術思想は本発明の権利範囲に含まれることとして解釈されなければならない。
【符号の説明】
【0071】
1000・・・インデックス部
2000・・・第1処理部
3000・・・第2処理部
4000・・・バッファユニット
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ベースプレートと、前記ベースプレートに互いに離隔されて設置される第1垂直プレートと第2垂直プレートとを有するフレームと、
基板が置かれ、前記第1及び第2垂直プレートの間に反転自在に設置される第1バッファと、
前記第1及び第2垂直プレートの外方に設置され、前記第1バッファに置かれる基板をグリップし、反転されるように前記第1バッファを駆動させる駆動部と、
を含むことを特徴とするバッファユニット。
【請求項2】
前記第1バッファは、
基板の一面を支持する第1支持部と、
前記第1支持部と対向するように設置され、前記第1支持部に置かれた基板の他面を支持する第2支持部と、を含み、
前記駆動部は、
前記第1支持部と前記第2支持部とを同時に回転させる回転モジュールと、
基板が前記第1支持部と前記第2支持部によってグリップされるように前記第2支持部を乗降させる乗降モジュールと、を含むことを特徴とする請求項1に記載のバッファユニット。
【請求項3】
前記回転モジュールは、
前記第1垂直プレートと前記第2垂直プレートに回動自在に装着される中空形態の回転体と、
前記回転体を回動させるための回動駆動部と、を含み、
前記乗降モジュールは、
前記回転体に固定されるシリンダーと、
前記シリンダーの駆動によって乗降され、前記回転体を貫通して前記第2支持部と連結される連結ブロックと、を含むことを特徴とする請求項2に記載のバッファユニット。
【請求項4】
前記フレームは、
前記駆動部が位置する駆動部空間が周辺環境と隔離されるように前記第1垂直プレートと前記第2垂直プレートとの外面をカバーする空間区画カバーをさらに含むことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のバッファユニット。
【請求項5】
前記フレームは、
前記空間区画カバーによって設けられる前記駆動部空間へ排気圧を提供するための吸入ポートをさらに含むことを特徴とする請求項4に記載のバッファユニット。
【請求項6】
前記第1バッファの回転軸に対して基板のグリップポジション中心を偏心させて、基板のローディング位置と反転の後のアンローディング位置とを同一とすることを特徴とする請求項2に記載のバッファユニット。
【請求項7】
基板の反転無しで単純バッファ機能を有する第2バッファをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のバッファユニット。
【請求項8】
前記第2バッファは、前記第1垂直プレートと前記第2垂直プレートとに設置され、前記第1バッファの下方に位置されることを特徴とする請求項7に記載のバッファユニット。
【請求項9】
基板が載せられた容器が置かれるポート及びインデックスロボットを有するインデックス部と、
基板処理を遂行する処理部と、
前記インデックス部と前記処理部との間に配置されて、これらの間に搬送される基板が一時的に留まるバッファユニットと、を含み、
前記バッファユニットは基板を反転させ得るように設けられたことを特徴とする基板処理設備。
【請求項10】
前記バッファユニットは、
基板が置かれる複数の第1バッファと、
前記第1バッファを反転させるための駆動部と、
前面と後面とが開放され前記第1バッファが位置される中央空間と、前記中央空間を中心に両側に配置され、前記駆動部が位置される駆動部空間とを有するフレームと、を含むことを特徴とする請求項9に記載の基板処理設備。
【請求項11】
前記フレームは、
前記中央空間を介して互いに対向するように設置される第1及び第2垂直プレートと、
前記駆動部空間が外部環境と隔離されるように前記駆動部空間を囲む空間区画カバーと、
前記駆動部空間へ排気圧を提供するための吸入ポートと、を含むことを特徴とする請求項10に記載の基板処理設備。
【請求項12】
前記第1バッファは、
基板の一面を支持する第1支持部と、
前記第1支持部と対向するように設置され、前記第1支持部に置かれた基板の他面を支持する第2支持部と、を含み、
前記駆動部は、
前記第1支持部と前記第2支持部とを回転させる回転モジュールと、
基板が前記第1支持部と前記第2支持部にグリップされるように前記第2支持部を乗降させる乗降モジュールと、を含むことを特徴とする請求項10に記載の基板処理設備。
【請求項13】
前記第1バッファの回転軸に対して基板のグリップポジション中心を偏心させて、基板のローディング位置と反転の後のアンローディング位置とを同一とすることを特徴とする請求項12に記載の基板処理設備。
【請求項14】
前記バッファユニットは、
基板を反転させる機能を有する第1バッファと、
基板の反転無しで単純バッファ機能を有する第2バッファと、を有することを特徴とする請求項12に記載の基板処理設備。
【請求項15】
前記第2バッファは、第1バッファの下方に配置されることを特徴とする請求項14に記載の基板処理設備。
【請求項16】
前記第1バッファは、上下方向に複数個設けられることを特徴とする請求項10に記載の基板処理設備。
【請求項17】
前記処理部は、
上下方向に積層された第1処理部と第2処理部とを有し、
前記第1処理部と前記第2処理部の各々は、
搬送ロボットを有する移送路と、
前記移送路の側部に前記移送路に沿って配置される複数のモジュールと、を有することを特徴とする請求項9に記載の基板処理設備。
【請求項18】
前記第1処理部は、グルー除去用処理モジュールと冷却処理モジュールとを含み、
前記第2処理部は、加熱処理モジュールと機能水処理モジュールとを含むことを特徴とする請求項17に記載の基板処理設備。
【請求項19】
容器が置かれるポートと基板に対して処理が成される処理部間にバッファユニットを配置して前記容器と前記処理部との間に搬送される基板が前記バッファユニットに留まり、
前記基板は前記バッファユニットに留まる間に反転されることを特徴とする基板処理方法。
【請求項20】
前記基板は、フォトマスクであり、前記処理部は、前記フォトマスクを洗浄する工程を遂行することを特徴とする請求項19に記載の基板処理方法。
【請求項21】
前記バッファユニットは、反転機能を有する第1バッファと、反転機能がない第2バッファとを有し、
前記容器の基板は前記第2バッファで待機した後、前記第1バッファへ搬送されることを特徴とする請求項19又は請求項20に記載の基板処理方法。
【請求項1】
ベースプレートと、前記ベースプレートに互いに離隔されて設置される第1垂直プレートと第2垂直プレートとを有するフレームと、
基板が置かれ、前記第1及び第2垂直プレートの間に反転自在に設置される第1バッファと、
前記第1及び第2垂直プレートの外方に設置され、前記第1バッファに置かれる基板をグリップし、反転されるように前記第1バッファを駆動させる駆動部と、
を含むことを特徴とするバッファユニット。
【請求項2】
前記第1バッファは、
基板の一面を支持する第1支持部と、
前記第1支持部と対向するように設置され、前記第1支持部に置かれた基板の他面を支持する第2支持部と、を含み、
前記駆動部は、
前記第1支持部と前記第2支持部とを同時に回転させる回転モジュールと、
基板が前記第1支持部と前記第2支持部によってグリップされるように前記第2支持部を乗降させる乗降モジュールと、を含むことを特徴とする請求項1に記載のバッファユニット。
【請求項3】
前記回転モジュールは、
前記第1垂直プレートと前記第2垂直プレートに回動自在に装着される中空形態の回転体と、
前記回転体を回動させるための回動駆動部と、を含み、
前記乗降モジュールは、
前記回転体に固定されるシリンダーと、
前記シリンダーの駆動によって乗降され、前記回転体を貫通して前記第2支持部と連結される連結ブロックと、を含むことを特徴とする請求項2に記載のバッファユニット。
【請求項4】
前記フレームは、
前記駆動部が位置する駆動部空間が周辺環境と隔離されるように前記第1垂直プレートと前記第2垂直プレートとの外面をカバーする空間区画カバーをさらに含むことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のバッファユニット。
【請求項5】
前記フレームは、
前記空間区画カバーによって設けられる前記駆動部空間へ排気圧を提供するための吸入ポートをさらに含むことを特徴とする請求項4に記載のバッファユニット。
【請求項6】
前記第1バッファの回転軸に対して基板のグリップポジション中心を偏心させて、基板のローディング位置と反転の後のアンローディング位置とを同一とすることを特徴とする請求項2に記載のバッファユニット。
【請求項7】
基板の反転無しで単純バッファ機能を有する第2バッファをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のバッファユニット。
【請求項8】
前記第2バッファは、前記第1垂直プレートと前記第2垂直プレートとに設置され、前記第1バッファの下方に位置されることを特徴とする請求項7に記載のバッファユニット。
【請求項9】
基板が載せられた容器が置かれるポート及びインデックスロボットを有するインデックス部と、
基板処理を遂行する処理部と、
前記インデックス部と前記処理部との間に配置されて、これらの間に搬送される基板が一時的に留まるバッファユニットと、を含み、
前記バッファユニットは基板を反転させ得るように設けられたことを特徴とする基板処理設備。
【請求項10】
前記バッファユニットは、
基板が置かれる複数の第1バッファと、
前記第1バッファを反転させるための駆動部と、
前面と後面とが開放され前記第1バッファが位置される中央空間と、前記中央空間を中心に両側に配置され、前記駆動部が位置される駆動部空間とを有するフレームと、を含むことを特徴とする請求項9に記載の基板処理設備。
【請求項11】
前記フレームは、
前記中央空間を介して互いに対向するように設置される第1及び第2垂直プレートと、
前記駆動部空間が外部環境と隔離されるように前記駆動部空間を囲む空間区画カバーと、
前記駆動部空間へ排気圧を提供するための吸入ポートと、を含むことを特徴とする請求項10に記載の基板処理設備。
【請求項12】
前記第1バッファは、
基板の一面を支持する第1支持部と、
前記第1支持部と対向するように設置され、前記第1支持部に置かれた基板の他面を支持する第2支持部と、を含み、
前記駆動部は、
前記第1支持部と前記第2支持部とを回転させる回転モジュールと、
基板が前記第1支持部と前記第2支持部にグリップされるように前記第2支持部を乗降させる乗降モジュールと、を含むことを特徴とする請求項10に記載の基板処理設備。
【請求項13】
前記第1バッファの回転軸に対して基板のグリップポジション中心を偏心させて、基板のローディング位置と反転の後のアンローディング位置とを同一とすることを特徴とする請求項12に記載の基板処理設備。
【請求項14】
前記バッファユニットは、
基板を反転させる機能を有する第1バッファと、
基板の反転無しで単純バッファ機能を有する第2バッファと、を有することを特徴とする請求項12に記載の基板処理設備。
【請求項15】
前記第2バッファは、第1バッファの下方に配置されることを特徴とする請求項14に記載の基板処理設備。
【請求項16】
前記第1バッファは、上下方向に複数個設けられることを特徴とする請求項10に記載の基板処理設備。
【請求項17】
前記処理部は、
上下方向に積層された第1処理部と第2処理部とを有し、
前記第1処理部と前記第2処理部の各々は、
搬送ロボットを有する移送路と、
前記移送路の側部に前記移送路に沿って配置される複数のモジュールと、を有することを特徴とする請求項9に記載の基板処理設備。
【請求項18】
前記第1処理部は、グルー除去用処理モジュールと冷却処理モジュールとを含み、
前記第2処理部は、加熱処理モジュールと機能水処理モジュールとを含むことを特徴とする請求項17に記載の基板処理設備。
【請求項19】
容器が置かれるポートと基板に対して処理が成される処理部間にバッファユニットを配置して前記容器と前記処理部との間に搬送される基板が前記バッファユニットに留まり、
前記基板は前記バッファユニットに留まる間に反転されることを特徴とする基板処理方法。
【請求項20】
前記基板は、フォトマスクであり、前記処理部は、前記フォトマスクを洗浄する工程を遂行することを特徴とする請求項19に記載の基板処理方法。
【請求項21】
前記バッファユニットは、反転機能を有する第1バッファと、反転機能がない第2バッファとを有し、
前記容器の基板は前記第2バッファで待機した後、前記第1バッファへ搬送されることを特徴とする請求項19又は請求項20に記載の基板処理方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8A】
【図8B】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8A】
【図8B】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【公開番号】特開2012−252336(P2012−252336A)
【公開日】平成24年12月20日(2012.12.20)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2012−125418(P2012−125418)
【出願日】平成24年5月31日(2012.5.31)
【出願人】(500376449)セメス株式会社 (61)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成24年12月20日(2012.12.20)
【国際特許分類】
【出願日】平成24年5月31日(2012.5.31)
【出願人】(500376449)セメス株式会社 (61)
【Fターム(参考)】
[ Back to top ]