パワー半導体装置およびその製造方法
【課題】高温環境に対して使用可能でＧｄ元素を添加したアルミニウムワイヤを有する低コストのパワー半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】アルミニウムに微量のＧｄ元素を添加したボンディングワイヤ（ワイヤ１０）を用い、ボンディング接合部１０ａを２００℃〜４００℃の熱時効処理と、その後に冷却速度が１℃／ｍｉｎ以下の徐冷を行なうことにより、２００℃以上の高温環境に耐え、Ｇｄ添加のアルミニウムワイヤ（ワイヤ１０）を有する低コストのパワー半導体装置およびその製造方法を提供することができる。
【解決手段】アルミニウムに微量のＧｄ元素を添加したボンディングワイヤ（ワイヤ１０）を用い、ボンディング接合部１０ａを２００℃〜４００℃の熱時効処理と、その後に冷却速度が１℃／ｍｉｎ以下の徐冷を行なうことにより、２００℃以上の高温環境に耐え、Ｇｄ添加のアルミニウムワイヤ（ワイヤ１０）を有する低コストのパワー半導体装置およびその製造方法を提供することができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体チップの表面電極に接続するボンディングワイヤにＧｄ元素添加のアルミニウムワイヤを用いたパワー半導体装置およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
車載用半導体装置などには小型化、高性能化が求められている。近年、シリコン半導体基板に代わってＳｉＣ半導体基板で形成される半導体チップが開発されている。このＳｉＣ半導体基板の半導体チップは２００℃付近で使用されるため、ボンディングワイヤもその高温に耐えるものが必要になってきた。
【０００３】
車載用のパワー素子は低コストで大電流を流すため、ボンディングワイヤの素材としてはアルミニウムをベースに微量のＮｉ（ニッケル）元素を添加したアルミニウムやＳｉ（シリコン）添加のアルミニウムが用いられている。
【０００４】
しかし、このＮｉ元素添加のアルミニウムワイヤやＳｉ元素添加のアルミニウムワイヤでは２００℃を超える高温環境で使用することは困難である。
そのため、微量なＧｄ（ガドリニウム）元素をＡｌ（アルミニウム），Ａｕ（金），Ａｇ（銀），Ｃｕ（銅）などに添加して高温環境に耐えるようにしたワイヤが特許文献１に記載されている。
【０００５】
また、特許文献２、３では、ボンディングワイヤの添加元素による信頼性の向上が記載されており、ＩＣ，ＬＳＩ用途の半導体装置であり、ワイヤの主成分はＡｕ，Ａｇ，Ｃｕを対象としている。
【０００６】
また、特許文献４、５では、ボンディングワイヤを変形加工することで接合面積を拡大し信頼性を向上することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−３０１４６号公報
【特許文献２】特開２００２−３５９２６１号公報
【特許文献３】特開平２−２６３４４６号公報
【特許文献４】特開平１１−３３０１３４号公報
【特許文献５】特開２００３−３０３８４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、特許文献１では、これらのワイヤは主にＩＣの回路配線を目的としており、パワー半導体装置に適用した例は記載されていない。また、Ａｕ，Ａｇ，ＣｕなどのワイヤはＡｌワイヤに比べてコスト高である。
また、特許文献２〜５では、ワイヤの主成分をＡｌとし、Ｇｄ元素を添加したボンディングワイヤを適用したパワー半導体装置については記載されていない。
【０００９】
この発明の目的は、前記の課題を解決して、高温環境に対して使用可能なＧｄ元素を添加したアルミニウムワイヤを有する低コストのパワー半導体装置およびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記の目的を達成するために、特許請求の範囲の請求項１に記載の発明によれば、半導体チップの表面電極にボンディングワイヤがボンディングされるパワー半導体装置において、前記表面電極が、Ｓｉ元素が添加されたアルミニウム膜であり、前記ボンディングワイヤが、Ｇｄ元素が添加されたアルミニウムワイヤであり、前記ボンディングワイヤが前記表面電極に超音波振動でボンディングされる構成にする。
【００１１】
また、特許請求の範囲の請求項２記載の発明によれば、請求項１に記載の発明において、前記半導体チップがＳｉＣチップもしくはＧａＮチップを含むワイドギャップ半導体チップであるかもしくは該ワイドギャップ半導体チップとＳｉチップが混在するとよい。
【００１２】
また、特許請求の範囲の請求項３記載の発明によれば、請求項１に記載の発明において、前記ボンディングワイヤが、少なくとも０．００５重量％〜１重量％のＧｄ元素が添加されたアルミニウムワイヤであるとよい。
【００１３】
また、特許請求の範囲の請求項４に記載の発明によれば、請求項１〜３のいずれか一項に記載の発明において、前記表面電極が、０．５重量％〜３重量％のＳｉ元素が添加されたアルミニウム膜であるとよい。
【００１４】
また、特許請求の範囲の請求項５に記載の発明によれば、半導体チップの表面電極にワイヤがボンディングされるパワー半導体装置の製造方法において、前記表面電極である０．５重量％〜３重量％のＳｉ元素が添加されたアルミニウム膜に０．００５重量％〜１重量％のＧｄ元素が添加されたアルミニウムワイヤが超音波振動でボンディングされる工程と、前記アルミニウムワイヤと前記アルミニウム膜のボンディングされた接合部が、２００℃〜４００℃の高温で熱時効処理される工程と、前記アルミニウムワイヤと前記アルミニウム膜のボンディングされた前記接合部が、不活性ガス雰囲気（例えば、Ｎ２雰囲気）で、１℃／ｍｉｎ以下の温度勾配で冷却される工程と、を含む製造方法とする。
【発明の効果】
【００１５】
この発明によれば、アルミニウムに微量のＧｄ元素を添加したボンディングワイヤを用い、ボンディング接合部を２００℃〜４００℃の熱時効処理と、その後に冷却速度が１℃／ｍｉｎ以下の徐冷を行なうことにより、２００℃以上の高温環境に耐え、Ｇｄ元素添加のアルミニウムワイヤを有する低コストのパワー半導体装置およびその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】この発明の第１実施例のパワー半導体装置の要部断面図である。
【図２】この発明の第２実施例のパワー半導体装置の要部製造工程断面図である。
【図３】図２に続く、この発明の第２実施例のパワー半導体装置の要部製造工程断面図である。
【図４】図３に続く、この発明の第２実施例のパワー半導体装置の要部製造工程断面図である。
【図５】図４に続く、この発明の第２実施例のパワー半導体装置の要部製造工程断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
実施の形態を以下の実施例で説明する。
＜実施例１＞
図１は、この発明の第１実施例のパワー半導体装置の要部断面図である。このパワー半導体装置１００は、放熱ベース板１と、この放熱ベース板１上に高温半田などの接合材２で固着した導電パターン付き絶縁基板３とからなる。また、この導電パターン付き絶縁基板３の導電パターン４ａ上にドレイン電極６ａが高温半田などの接合材８で固着したＳｉＣ−ＭＯＳＦＥＴチップ５ａと、導電パターン付き絶縁基板３の導電パターン４ａ上にカソード電極６ｂが高温半田８で固着したＳｉＣ−ダイオードチップ５ｂとからなる。このＳｉＣ−ＭＯＳＦＥＴチップ５ａとＳｉＣ−ダイオードチップ５ｂは互いに逆並列接続され、インバータ回路などの１アームとして用いられる。また、ＳｉＣ−ＭＯＳＦＥＴチップ５ａのソース電極７ａ、ＳｉＣ−ダイオードチップ５ｂのアノード電極７ｂにボンディングで接続するＧｄ元素添加のアルミニウムワイヤ（ワイヤ１０）と、これらを収納し放熱ベース板１に固着するケース１３からなる。前記したＳｉＣ半導体基板を用いた半導体チップ（ＳｉＣ−ＭＯＳＦＥＴチップ５ａ，ＳｉＣ−ダイオードチップ５ｂ）のほかにＧａＮ半導体基板などのワイドキャップ半導体基板を用いた半導体チップがある。また、このワイドギャップ半導体チップとＳｉ半導体チップが混在して格納されたパワー半導体装置も対象である。
【００１８】
前記の表面電極（ソース電極７ａやアノード電極７ｂ）は、０．５重量％〜３重量％のＳｉ元素が添加されたアルミニウム膜である。０．５重量％未満では、例えば層間絶縁膜を通し下地のシリコン基板にアルミニウムが拡散して行くので好ましくない。また、３重量％超になると、シリコン粒界が大きくなりボンディングしたとき、下地のシリコン基板にダメージを与えるので好ましくない。
【００１９】
また、ワイヤ１０は０．００５重量％〜１重量％のＧｄ元素が添加されたアルミニウムワイヤで、線径は例えば２５０μｍである。０．００５重量％未満になると耐腐食性が低下して好ましくない。また、１重量％超では硬度が増大しボンディング時にダメージが導入されるの好ましくない。また、アルミニウムは９９．９９重量％以上の純アルミニウムに前記の重量％のＧｄ元素を添加した。
【００２０】
また、前記Ｇｄ元素添加のアルミニウムワイヤ（ワイヤ１０）を前記Ｓｉ添加のアルミニウム膜で形成された表面電極（ソース電極７ａやアノード電極７ｂ）にボンディングした後、２００℃〜４００℃の高温で０．５時間〜３時間の熱時効処理を行なう。熱時効処理温度が２００℃未満では時効処理効果が小さくなり、４００℃超では、導電パターンと半導体チップを接合する接合材２，８である例えば高温半田が損傷を受けるので好ましくない。また、熱時効処理時間が０．５時間未満では時効処理効果が小さく、３時間超では処理時間が長すぎて、製造コストが増大するので好ましくない。
【００２１】
前記の熱時効処理の後に、不活性ガス雰囲気であるＮ２雰囲気で、１℃／ｍｉｎ以下の冷却速度で徐冷して、熱ひずみの導入を抑制しながら冷却する。また、好ましくは０．５℃／ｍｉｎ以下とするとよい。
【００２２】
このように、前記のＧｄ元素添加のアルミニウムワイヤをボンディングワイヤとして用い、さらに熱時効処理や徐冷処理をすることで、２００℃以上の高温環境に耐えるＧｄ元素添加のボンディングワイヤを有する低コストのパワー半導体装置を提供できる。
【００２３】
また、Ｇｄ元素の他にＮｉ元素やＳｉ元素などを添加することにより機械的特性の安定および耐腐食性向上を一層図ることができる。
前記したパワー半導体装置は、例えば、ワイドギャップ素子であるＳｉＣ半導体基板やＧａＮ半導体基板を用いて形成されるショットキーダイオード，ｐｎダイオード，ＭＯＳＦＥＴ，ＩＧＢＴおよびバイポーラトランジスタなどである。しかし、Ｓｉ半導体基板を用いた半導体素子に適用しても構わない。
【００２４】
尚、図中の符号で、４ｂは導電パターン、６は裏面電極、９は外部導出端子、１３はケース、１４は保護材のゲルである。
＜実施例２＞
図２〜図５は、この発明の第２実施例のパワー半導体装置の製造方法を示し、工程順に示した要部製造工程断面図である。
【００２５】
図２において、放熱ベース板１に導電パターン付き絶縁基板３を高温半田２で固着し、導電パターン４ａ上に半導体チップ５（ＳｉＣ−ＭＯＳＦＥＴチップ５ａとＳｉＣ−Ｄｉチップ５ｂ）を高温半田８で固着し、半導体チップ上に表面電極７（ソース電極７ａとアノード電極７ｂ）を形成する。この表面電極７は、０．５重量％〜３重量％のＳｉ元素が添加されたアルミニウム膜で形成される。０．５質量％未満では、ワイヤ１０のＡｌ原子がシリコン基板上の絶縁膜を貫通してシリコン基板に拡散されるので好ましくない。
【００２６】
また、３質量％超では、表面電極７を形成するアルミニウム膜の結晶粒が大きくなり硬度も高くなり、ボンディングされる接合部１０ａ下のシリコン基板にクラックが入りやすくなるので好ましくない。
【００２７】
つぎに、図３において、表面電極７にワイヤ１０を超音波振動でボンディングする。ワイヤ１０は、０．００５重量％〜１重量％のＧｄ元素が添加されたアルミニウムワイヤである。０．００５重量％未満では添加量が少なすぎて、耐食性の低下を招くため好ましくない。１重量％超では、ワイヤ１０の強度が高くなり、ボンディングされる接合部１０ａ下のシリコン基板にクラックが入りやすくなるので好ましくない。ここではワイヤ１０を表面電極７にボンディングしたものをユニット１００ａと称す。
【００２８】
つぎに、図４において、ユニット１００ａを加熱炉１１に入れてワイヤ１０と表面電極７の接合部１０ａに対して熱時効処理を行う。この熱時効処理は温度が２００℃〜４００℃、時間が０．５時間〜３時間，Ｎ２雰囲気１２で行なう。熱時効処理温度が２００℃未満では、残留する加工ひずみ量が多すぎて好ましくない。一方、４００℃超では接合材２，８が軟化（または溶融）するので好ましくない。
【００２９】
つぎに、図５において、加熱炉１１にユニット１００ａを入れたまま、炉冷する。炉冷の条件は１℃／ｍｉｎ以下である。この冷却速度は、好ましくは０．５℃／ｍｉｎ以下とさらに緩やかにするよい。冷却速度が１℃／ｍｉｎ超では、熱ひずみの導入量が多くなりこのましくない。
【００３０】
最後に、加熱炉から取り出したユニット１００ａにケース１３を被せて、ゲル１４を充填して図１に示したパワー半導体装置１００が完成する。
【符号の説明】
【００３１】
１ 放熱ベース板
２、８ 高温半田
３ 導電パターン付き絶縁基板
４ａ、４ｂ 導電パターン
５ 半導体チップ
５ａ ＳｉＣ−ＭＯＳＦＥＴチップ
５ｂ ＳｉＣ−Ｄｉチップ
６ 裏面電極
７ 表面電極
７ａ ソース電極
７ｂ アノード電極
９ 外部導出端子
１０ ワイヤ
１１ 加熱炉
１２ Ｎ２雰囲気
１３ ケース
１４ ゲル
１００ 半導体装置
１００ａ ユニット
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体チップの表面電極に接続するボンディングワイヤにＧｄ元素添加のアルミニウムワイヤを用いたパワー半導体装置およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
車載用半導体装置などには小型化、高性能化が求められている。近年、シリコン半導体基板に代わってＳｉＣ半導体基板で形成される半導体チップが開発されている。このＳｉＣ半導体基板の半導体チップは２００℃付近で使用されるため、ボンディングワイヤもその高温に耐えるものが必要になってきた。
【０００３】
車載用のパワー素子は低コストで大電流を流すため、ボンディングワイヤの素材としてはアルミニウムをベースに微量のＮｉ（ニッケル）元素を添加したアルミニウムやＳｉ（シリコン）添加のアルミニウムが用いられている。
【０００４】
しかし、このＮｉ元素添加のアルミニウムワイヤやＳｉ元素添加のアルミニウムワイヤでは２００℃を超える高温環境で使用することは困難である。
そのため、微量なＧｄ（ガドリニウム）元素をＡｌ（アルミニウム），Ａｕ（金），Ａｇ（銀），Ｃｕ（銅）などに添加して高温環境に耐えるようにしたワイヤが特許文献１に記載されている。
【０００５】
また、特許文献２、３では、ボンディングワイヤの添加元素による信頼性の向上が記載されており、ＩＣ，ＬＳＩ用途の半導体装置であり、ワイヤの主成分はＡｕ，Ａｇ，Ｃｕを対象としている。
【０００６】
また、特許文献４、５では、ボンディングワイヤを変形加工することで接合面積を拡大し信頼性を向上することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−３０１４６号公報
【特許文献２】特開２００２−３５９２６１号公報
【特許文献３】特開平２−２６３４４６号公報
【特許文献４】特開平１１−３３０１３４号公報
【特許文献５】特開２００３−３０３８４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、特許文献１では、これらのワイヤは主にＩＣの回路配線を目的としており、パワー半導体装置に適用した例は記載されていない。また、Ａｕ，Ａｇ，ＣｕなどのワイヤはＡｌワイヤに比べてコスト高である。
また、特許文献２〜５では、ワイヤの主成分をＡｌとし、Ｇｄ元素を添加したボンディングワイヤを適用したパワー半導体装置については記載されていない。
【０００９】
この発明の目的は、前記の課題を解決して、高温環境に対して使用可能なＧｄ元素を添加したアルミニウムワイヤを有する低コストのパワー半導体装置およびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記の目的を達成するために、特許請求の範囲の請求項１に記載の発明によれば、半導体チップの表面電極にボンディングワイヤがボンディングされるパワー半導体装置において、前記表面電極が、Ｓｉ元素が添加されたアルミニウム膜であり、前記ボンディングワイヤが、Ｇｄ元素が添加されたアルミニウムワイヤであり、前記ボンディングワイヤが前記表面電極に超音波振動でボンディングされる構成にする。
【００１１】
また、特許請求の範囲の請求項２記載の発明によれば、請求項１に記載の発明において、前記半導体チップがＳｉＣチップもしくはＧａＮチップを含むワイドギャップ半導体チップであるかもしくは該ワイドギャップ半導体チップとＳｉチップが混在するとよい。
【００１２】
また、特許請求の範囲の請求項３記載の発明によれば、請求項１に記載の発明において、前記ボンディングワイヤが、少なくとも０．００５重量％〜１重量％のＧｄ元素が添加されたアルミニウムワイヤであるとよい。
【００１３】
また、特許請求の範囲の請求項４に記載の発明によれば、請求項１〜３のいずれか一項に記載の発明において、前記表面電極が、０．５重量％〜３重量％のＳｉ元素が添加されたアルミニウム膜であるとよい。
【００１４】
また、特許請求の範囲の請求項５に記載の発明によれば、半導体チップの表面電極にワイヤがボンディングされるパワー半導体装置の製造方法において、前記表面電極である０．５重量％〜３重量％のＳｉ元素が添加されたアルミニウム膜に０．００５重量％〜１重量％のＧｄ元素が添加されたアルミニウムワイヤが超音波振動でボンディングされる工程と、前記アルミニウムワイヤと前記アルミニウム膜のボンディングされた接合部が、２００℃〜４００℃の高温で熱時効処理される工程と、前記アルミニウムワイヤと前記アルミニウム膜のボンディングされた前記接合部が、不活性ガス雰囲気（例えば、Ｎ２雰囲気）で、１℃／ｍｉｎ以下の温度勾配で冷却される工程と、を含む製造方法とする。
【発明の効果】
【００１５】
この発明によれば、アルミニウムに微量のＧｄ元素を添加したボンディングワイヤを用い、ボンディング接合部を２００℃〜４００℃の熱時効処理と、その後に冷却速度が１℃／ｍｉｎ以下の徐冷を行なうことにより、２００℃以上の高温環境に耐え、Ｇｄ元素添加のアルミニウムワイヤを有する低コストのパワー半導体装置およびその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】この発明の第１実施例のパワー半導体装置の要部断面図である。
【図２】この発明の第２実施例のパワー半導体装置の要部製造工程断面図である。
【図３】図２に続く、この発明の第２実施例のパワー半導体装置の要部製造工程断面図である。
【図４】図３に続く、この発明の第２実施例のパワー半導体装置の要部製造工程断面図である。
【図５】図４に続く、この発明の第２実施例のパワー半導体装置の要部製造工程断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
実施の形態を以下の実施例で説明する。
＜実施例１＞
図１は、この発明の第１実施例のパワー半導体装置の要部断面図である。このパワー半導体装置１００は、放熱ベース板１と、この放熱ベース板１上に高温半田などの接合材２で固着した導電パターン付き絶縁基板３とからなる。また、この導電パターン付き絶縁基板３の導電パターン４ａ上にドレイン電極６ａが高温半田などの接合材８で固着したＳｉＣ−ＭＯＳＦＥＴチップ５ａと、導電パターン付き絶縁基板３の導電パターン４ａ上にカソード電極６ｂが高温半田８で固着したＳｉＣ−ダイオードチップ５ｂとからなる。このＳｉＣ−ＭＯＳＦＥＴチップ５ａとＳｉＣ−ダイオードチップ５ｂは互いに逆並列接続され、インバータ回路などの１アームとして用いられる。また、ＳｉＣ−ＭＯＳＦＥＴチップ５ａのソース電極７ａ、ＳｉＣ−ダイオードチップ５ｂのアノード電極７ｂにボンディングで接続するＧｄ元素添加のアルミニウムワイヤ（ワイヤ１０）と、これらを収納し放熱ベース板１に固着するケース１３からなる。前記したＳｉＣ半導体基板を用いた半導体チップ（ＳｉＣ−ＭＯＳＦＥＴチップ５ａ，ＳｉＣ−ダイオードチップ５ｂ）のほかにＧａＮ半導体基板などのワイドキャップ半導体基板を用いた半導体チップがある。また、このワイドギャップ半導体チップとＳｉ半導体チップが混在して格納されたパワー半導体装置も対象である。
【００１８】
前記の表面電極（ソース電極７ａやアノード電極７ｂ）は、０．５重量％〜３重量％のＳｉ元素が添加されたアルミニウム膜である。０．５重量％未満では、例えば層間絶縁膜を通し下地のシリコン基板にアルミニウムが拡散して行くので好ましくない。また、３重量％超になると、シリコン粒界が大きくなりボンディングしたとき、下地のシリコン基板にダメージを与えるので好ましくない。
【００１９】
また、ワイヤ１０は０．００５重量％〜１重量％のＧｄ元素が添加されたアルミニウムワイヤで、線径は例えば２５０μｍである。０．００５重量％未満になると耐腐食性が低下して好ましくない。また、１重量％超では硬度が増大しボンディング時にダメージが導入されるの好ましくない。また、アルミニウムは９９．９９重量％以上の純アルミニウムに前記の重量％のＧｄ元素を添加した。
【００２０】
また、前記Ｇｄ元素添加のアルミニウムワイヤ（ワイヤ１０）を前記Ｓｉ添加のアルミニウム膜で形成された表面電極（ソース電極７ａやアノード電極７ｂ）にボンディングした後、２００℃〜４００℃の高温で０．５時間〜３時間の熱時効処理を行なう。熱時効処理温度が２００℃未満では時効処理効果が小さくなり、４００℃超では、導電パターンと半導体チップを接合する接合材２，８である例えば高温半田が損傷を受けるので好ましくない。また、熱時効処理時間が０．５時間未満では時効処理効果が小さく、３時間超では処理時間が長すぎて、製造コストが増大するので好ましくない。
【００２１】
前記の熱時効処理の後に、不活性ガス雰囲気であるＮ２雰囲気で、１℃／ｍｉｎ以下の冷却速度で徐冷して、熱ひずみの導入を抑制しながら冷却する。また、好ましくは０．５℃／ｍｉｎ以下とするとよい。
【００２２】
このように、前記のＧｄ元素添加のアルミニウムワイヤをボンディングワイヤとして用い、さらに熱時効処理や徐冷処理をすることで、２００℃以上の高温環境に耐えるＧｄ元素添加のボンディングワイヤを有する低コストのパワー半導体装置を提供できる。
【００２３】
また、Ｇｄ元素の他にＮｉ元素やＳｉ元素などを添加することにより機械的特性の安定および耐腐食性向上を一層図ることができる。
前記したパワー半導体装置は、例えば、ワイドギャップ素子であるＳｉＣ半導体基板やＧａＮ半導体基板を用いて形成されるショットキーダイオード，ｐｎダイオード，ＭＯＳＦＥＴ，ＩＧＢＴおよびバイポーラトランジスタなどである。しかし、Ｓｉ半導体基板を用いた半導体素子に適用しても構わない。
【００２４】
尚、図中の符号で、４ｂは導電パターン、６は裏面電極、９は外部導出端子、１３はケース、１４は保護材のゲルである。
＜実施例２＞
図２〜図５は、この発明の第２実施例のパワー半導体装置の製造方法を示し、工程順に示した要部製造工程断面図である。
【００２５】
図２において、放熱ベース板１に導電パターン付き絶縁基板３を高温半田２で固着し、導電パターン４ａ上に半導体チップ５（ＳｉＣ−ＭＯＳＦＥＴチップ５ａとＳｉＣ−Ｄｉチップ５ｂ）を高温半田８で固着し、半導体チップ上に表面電極７（ソース電極７ａとアノード電極７ｂ）を形成する。この表面電極７は、０．５重量％〜３重量％のＳｉ元素が添加されたアルミニウム膜で形成される。０．５質量％未満では、ワイヤ１０のＡｌ原子がシリコン基板上の絶縁膜を貫通してシリコン基板に拡散されるので好ましくない。
【００２６】
また、３質量％超では、表面電極７を形成するアルミニウム膜の結晶粒が大きくなり硬度も高くなり、ボンディングされる接合部１０ａ下のシリコン基板にクラックが入りやすくなるので好ましくない。
【００２７】
つぎに、図３において、表面電極７にワイヤ１０を超音波振動でボンディングする。ワイヤ１０は、０．００５重量％〜１重量％のＧｄ元素が添加されたアルミニウムワイヤである。０．００５重量％未満では添加量が少なすぎて、耐食性の低下を招くため好ましくない。１重量％超では、ワイヤ１０の強度が高くなり、ボンディングされる接合部１０ａ下のシリコン基板にクラックが入りやすくなるので好ましくない。ここではワイヤ１０を表面電極７にボンディングしたものをユニット１００ａと称す。
【００２８】
つぎに、図４において、ユニット１００ａを加熱炉１１に入れてワイヤ１０と表面電極７の接合部１０ａに対して熱時効処理を行う。この熱時効処理は温度が２００℃〜４００℃、時間が０．５時間〜３時間，Ｎ２雰囲気１２で行なう。熱時効処理温度が２００℃未満では、残留する加工ひずみ量が多すぎて好ましくない。一方、４００℃超では接合材２，８が軟化（または溶融）するので好ましくない。
【００２９】
つぎに、図５において、加熱炉１１にユニット１００ａを入れたまま、炉冷する。炉冷の条件は１℃／ｍｉｎ以下である。この冷却速度は、好ましくは０．５℃／ｍｉｎ以下とさらに緩やかにするよい。冷却速度が１℃／ｍｉｎ超では、熱ひずみの導入量が多くなりこのましくない。
【００３０】
最後に、加熱炉から取り出したユニット１００ａにケース１３を被せて、ゲル１４を充填して図１に示したパワー半導体装置１００が完成する。
【符号の説明】
【００３１】
１ 放熱ベース板
２、８ 高温半田
３ 導電パターン付き絶縁基板
４ａ、４ｂ 導電パターン
５ 半導体チップ
５ａ ＳｉＣ−ＭＯＳＦＥＴチップ
５ｂ ＳｉＣ−Ｄｉチップ
６ 裏面電極
７ 表面電極
７ａ ソース電極
７ｂ アノード電極
９ 外部導出端子
１０ ワイヤ
１１ 加熱炉
１２ Ｎ２雰囲気
１３ ケース
１４ ゲル
１００ 半導体装置
１００ａ ユニット
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体チップの表面電極にボンディングワイヤがボンディングされるパワー半導体装置において、前記表面電極が、シリコン元素が添加されたアルミニウム膜であり前記ボンディングワイヤが、ガドリニウム元素が添加されたアルミニウムワイヤであり、前記ボンディングワイヤが前記表面電極に超音波振動でボンディングされることを特徴とするパワー半導体装置。
【請求項２】
前記半導体チップがＳｉＣチップもしくはＧａＮチップを含むワイドギャップ半導体チップであるかもしくは該ワイドギャップ半導体チップとＳｉチップが混在することを特徴とする請求項１に記載のパワー半導体装置。
【請求項３】
前記ボンディングワイヤが、少なくとも０．００５重量％〜１重量％のガドリニウム元素が添加されたアルミニウムワイヤであることを特徴とする請求項１に記載のパワー半導体装置。
【請求項４】
前記表面電極が、０．５重量％〜３重量％のシリコン元素が添加されたアルミニウム膜であることを特徴とする請求項１または３に記載のパワー半導体装置。
【請求項５】
半導体チップの表面電極にワイヤがボンディングされるパワー半導体装置の製造方法において、
前記表面電極である０．５重量％〜３重量％のシリコン元素が添加されたアルミニウム膜に０．００５重量％〜１重量％のガドリニウム元素が添加されたアルミニウムワイヤが超音波振動でボンディングされる工程と、
前記アルミニウムワイヤと前記アルミニウム膜のボンディングされた接合部が、２００℃〜４００℃の高温で熱時効処理される工程と、
前記アルミニウムワイヤと前記アルミニウム膜のボンディングされた前記接合部が、不活性ガス雰囲気で、１℃／ｍｉｎ以下の冷却速度で冷却される工程と、
を含むことを特徴とするパワー半導体装置の製造方法。
【請求項１】
半導体チップの表面電極にボンディングワイヤがボンディングされるパワー半導体装置において、前記表面電極が、シリコン元素が添加されたアルミニウム膜であり前記ボンディングワイヤが、ガドリニウム元素が添加されたアルミニウムワイヤであり、前記ボンディングワイヤが前記表面電極に超音波振動でボンディングされることを特徴とするパワー半導体装置。
【請求項２】
前記半導体チップがＳｉＣチップもしくはＧａＮチップを含むワイドギャップ半導体チップであるかもしくは該ワイドギャップ半導体チップとＳｉチップが混在することを特徴とする請求項１に記載のパワー半導体装置。
【請求項３】
前記ボンディングワイヤが、少なくとも０．００５重量％〜１重量％のガドリニウム元素が添加されたアルミニウムワイヤであることを特徴とする請求項１に記載のパワー半導体装置。
【請求項４】
前記表面電極が、０．５重量％〜３重量％のシリコン元素が添加されたアルミニウム膜であることを特徴とする請求項１または３に記載のパワー半導体装置。
【請求項５】
半導体チップの表面電極にワイヤがボンディングされるパワー半導体装置の製造方法において、
前記表面電極である０．５重量％〜３重量％のシリコン元素が添加されたアルミニウム膜に０．００５重量％〜１重量％のガドリニウム元素が添加されたアルミニウムワイヤが超音波振動でボンディングされる工程と、
前記アルミニウムワイヤと前記アルミニウム膜のボンディングされた接合部が、２００℃〜４００℃の高温で熱時効処理される工程と、
前記アルミニウムワイヤと前記アルミニウム膜のボンディングされた前記接合部が、不活性ガス雰囲気で、１℃／ｍｉｎ以下の冷却速度で冷却される工程と、
を含むことを特徴とするパワー半導体装置の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２０１３−８９７６３（Ｐ２０１３−８９７６３Ａ）
【公開日】平成２５年５月１３日（２０１３．５．１３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２２８９４２（Ｐ２０１１−２２８９４２）
【出願日】平成２３年１０月１８日（２０１１．１０．１８）
【出願人】（０００００５２３４）富士電機株式会社 (3,146)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月１３日（２０１３．５．１３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１０月１８日（２０１１．１０．１８）
【出願人】（０００００５２３４）富士電機株式会社 (3,146)
【Ｆターム（参考）】
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